FR3089299A1 - METHOD OF ANALYSIS OF EVAPORATIVE FUMES, COMPUTER PROGRAM PRODUCT, ANALYSIS SYSTEM AND ASSOCIATED ADDITIVE MANUFACTURING INSTALLATION - Google Patents

METHOD OF ANALYSIS OF EVAPORATIVE FUMES, COMPUTER PROGRAM PRODUCT, ANALYSIS SYSTEM AND ASSOCIATED ADDITIVE MANUFACTURING INSTALLATION Download PDF

Info

Publication number
FR3089299A1
FR3089299A1 FR1872097A FR1872097A FR3089299A1 FR 3089299 A1 FR3089299 A1 FR 3089299A1 FR 1872097 A FR1872097 A FR 1872097A FR 1872097 A FR1872097 A FR 1872097A FR 3089299 A1 FR3089299 A1 FR 3089299A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
additive manufacturing
analysis
implementation
detector
fumes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR1872097A
Other languages
French (fr)
Other versions
FR3089299B1 (en
Inventor
Jean-Paul Garandet
Hugues PARADIS
Jean-Daniel PENOT
Caroline VIENNE
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority to FR1872097A priority Critical patent/FR3089299B1/en
Priority to EP19829285.6A priority patent/EP3861328B1/en
Priority to PCT/FR2019/052727 priority patent/WO2020104744A1/en
Publication of FR3089299A1 publication Critical patent/FR3089299A1/en
Application granted granted Critical
Publication of FR3089299B1 publication Critical patent/FR3089299B1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y50/00Data acquisition or data processing for additive manufacturing
    • B33Y50/02Data acquisition or data processing for additive manufacturing for controlling or regulating additive manufacturing processes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60Specific applications or type of materials
    • G01N2223/638Specific applications or type of materials gas

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

L’invention concerne une méthode d’analyse de fumées d’évaporation (7) émises durant la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive employant au moins une espèce chimique en tant que matière fusible, la méthode d’analyse comprenant les étapes suivantes : - émission d’au moins un faisceau (23) de rayons X pour irradier au moins une partie des fumées d’évaporation (7) émises au cours de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive ; - détection, par un détecteur (24), de photons de fluorescence émis par l’au moins une partie des fumées d’évaporation (7) irradiée par l’au moins un faisceau (23) de rayons X, et génération d’un signal de détection représentatif de l’énergie déposée par les photons de fluorescence dans le détecteur (24) ; et - identification, à partir du signal de détection, de tout ou partie des espèces chimiques présente dans les fumées d’évaporation (7). Figure pour l’abrégé : figure 1.The invention relates to a method for analyzing evaporation fumes (7) emitted during the implementation of an additive manufacturing process using at least one chemical species as a fusible material, the analysis method comprising the steps following: - emission of at least one beam (23) of X-rays to irradiate at least part of the evaporation fumes (7) emitted during the implementation of the additive manufacturing process; - Detection, by a detector (24), of fluorescence photons emitted by at least part of the evaporation fumes (7) irradiated by the at least one beam (23) of X-rays, and generation of a detection signal representative of the energy deposited by the fluorescence photons in the detector (24); and - identification, from the detection signal, of all or part of the chemical species present in the evaporation fumes (7). Figure for the abstract: Figure 1.

Description

DescriptionDescription

Titre de l’invention : METHODE D’ANALYSE DE FUMEESTitle of the invention: METHOD OF ANALYSIS OF SMOKE

D’EVAPORATION, PRODUIT PROGRAMME D’ORDINATEUR, SYSTEME D’ANALYSE ET INSTALLATION DE FABRICATION ADDITIVE ASSOCIESEVAPORATION, COMPUTER PROGRAM PRODUCT, ANALYSIS SYSTEM AND ASSOCIATED ADDITIVE MANUFACTURING INSTALLATION

Domaine technique [0001] La présente invention concerne une méthode d’analyse de fumées d’évaporation émises durant la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive employant au moins une espèce chimique en tant que matière fusible. L’invention concerne également un produit programme d’ordinateur, un dispositif de traitement, un système d’analyse et une installation de fabrication additive.Technical Field [0001] The present invention relates to a method for analyzing evaporation fumes emitted during the implementation of an additive manufacturing process using at least one chemical species as a fusible material. The invention also relates to a computer program product, a processing device, an analysis system and an additive manufacturing installation.

[0002] L’invention s’applique au domaine de la fabrication additive, et plus particulièrement à la caractérisation de fumées générées au cours de procédés de fabrication additive. Technique antérieure [0003] Les procédés de fabrication additive consistent, classiquement, en la fabrication d’objets solides par la mise en forme de matière en phase liquide, la matière ayant été portée à une température supérieure à sa température de fusion. De tels procédés sont classiquement mis en œuvre au moyen d’un système de fabrication additive.The invention applies to the field of additive manufacturing, and more particularly to the characterization of fumes generated during additive manufacturing processes. PRIOR ART [0003] Additive manufacturing processes conventionally consist in the manufacture of solid objects by shaping material in the liquid phase, the material having been brought to a temperature above its melting temperature. Such processes are conventionally implemented by means of an additive manufacturing system.

[0004] De façon connue, de tels procédés de fabrication additive comprennent, par exemple, les procédés dits de fusion sur lit de poudres (ou encore PBL, acronyme de l’expression anglaise « Powder Bed Fusion ») et les procédés dits de dépôt de matière sous énergie concentrée (ou encore DED, acronyme de l’expression anglaise « Directed Energy Deposition »).In known manner, such additive manufacturing processes include, for example, the so-called powder bed fusion processes (or PBL, acronym of the English expression "Powder Bed Fusion") and the so-called deposition processes of matter under concentrated energy (or DED, acronym of the English expression "Directed Energy Deposition").

[0005] La mise en œuvre de tels procédés de fabrication additive est susceptible de conduire à une évaporation de matière sous forme de fumées.The implementation of such additive manufacturing processes is likely to lead to evaporation of material in the form of fumes.

[0006] Un tel phénomène est problématique.Such a phenomenon is problematic.

[0007] En effet, un tel phénomène conduit à une perte de masse au niveau de la matière solide obtenue au cours du procédé de fabrication additive, ce qui est susceptible de conférer à la pièce fabriquée des propriétés différentes de celles qui sont attendues, par exemple des propriétés mécaniques différentes de celles qui sont attendues.Indeed, such a phenomenon leads to a loss of mass in the solid material obtained during the additive manufacturing process, which is likely to give the manufactured part properties different from those which are expected, by example of mechanical properties different from those expected.

[0008] En outre, dans le cas où la matière utilisée est un mélange de composants destiné à former un alliage après fusion puis solidification, il est possible que lesdits composants s’évaporent dans des proportions différentes, ce qui est susceptible de conférer localement à l’alliage une composition différente de celle souhaitée, et donc potentiellement des propriétés différentes de celles visées, par exemple des propriétés physico-chimiques différentes de celles visées.In addition, in the case where the material used is a mixture of components intended to form an alloy after melting then solidification, it is possible that said components evaporate in different proportions, which is likely to confer locally on the alloy has a composition different from that desired, and therefore potentially properties different from those targeted, for example physico-chemical properties different from those targeted.

[0009] Enfin, de telles fumées polluent l’intérieur du système de fabrication additive et sont susceptibles d’en perturber le fonctionnement, par exemple en générant des dépôts dans le système de fabrication additive, par exemple des dépôts sur des miroirs et des optiques d’émission de source(s) laser utilisées pour provoquer la fusion de la matière.Finally, such fumes pollute the interior of the additive manufacturing system and are likely to disrupt its operation, for example by generating deposits in the additive manufacturing system, for example deposits on mirrors and optics emission from laser source (s) used to cause the material to melt.

[0010] Pour évaluer les proportions relatives des différents composants évaporés sous forme de fumée, il est connu de prélever un échantillon de gaz présents dans le système de fabrication additive, de tirer l’échantillon au vide et de réaliser une ionisation de la matière résiduelle, de façon à déterminer la composition de l’échantillon par spectrométrie de masse.To assess the relative proportions of the various components evaporated in the form of smoke, it is known to take a sample of gases present in the additive manufacturing system, to vacuum the sample and to carry out an ionization of the residual material. , so as to determine the composition of the sample by mass spectrometry.

[0011] Néanmoins, une telle méthode d’analyse ne donne pas entière satisfaction.However, such an analysis method is not entirely satisfactory.

[0012] En effet, une telle méthode d’analyse est coûteuse. En outre, du fait des différentes étapes requises pour la mise en œuvre de l’analyse par spectrométrie de masse, notamment le transport de l’échantillon et le tirage au vide qui sont susceptibles de modifier la composition dudit échantillon analysé, les résultats obtenus par la mise en œuvre d’une telle analyse sont susceptibles de différer des valeurs réelles de composition dans les fumées. En outre, une telle méthode ne convient pas pour fournir une analyse en temps réel de la composition des fumées d’évaporation.Indeed, such an analysis method is expensive. In addition, due to the various stages required for the implementation of the analysis by mass spectrometry, in particular the transport of the sample and the evacuation which are likely to modify the composition of said analyzed sample, the results obtained by the implementation of such an analysis may differ from the actual composition values in the fumes. Furthermore, such a method is not suitable for providing a real-time analysis of the composition of evaporative fumes.

[0013] Un but de l’invention est donc de proposer une méthode d’analyse des fumées d’évaporation émises durant la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive qui fournisse des résultats plus fiables que ceux obtenus par le recours à un spectromètre de masse, tout en présentant un coût raisonnable et en autorisant une analyse en temps réel.An object of the invention is therefore to propose a method for analyzing the evaporation fumes emitted during the implementation of an additive manufacturing process which provides more reliable results than those obtained by the use of a mass spectrometer, while presenting a reasonable cost and allowing real-time analysis.

Exposé de l’invention [0014] A cet effet, l’invention a pour objet une méthode d’analyse du type précité, comprenant les étapes suivantes :Description of the invention To this end, the invention relates to an analysis method of the aforementioned type, comprising the following steps:

[0015] - émission d’au moins un faisceau de rayons X pour irradier au moins une partie des fumées d’évaporation émises au cours de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive ;- emission of at least one X-ray beam to irradiate at least part of the evaporation fumes emitted during the implementation of the additive manufacturing process;

[0016] - détection, par un détecteur, de photons de fluorescence émis par l’au moins une partie des fumées d’évaporation irradiée par l’au moins un faisceau de rayons X, et génération d’un signal de détection représentatif de l’énergie déposée par les photons de fluorescence dans le détecteur ; et [0017] - identification, à partir du signal de détection, de tout ou partie des espèces chimiques présente dans les fumées d’évaporation.- Detection, by a detector, of fluorescence photons emitted by at least part of the evaporation fumes irradiated by the at least one X-ray beam, and generation of a detection signal representative of the energy deposited by fluorescence photons in the detector; and [0017] - identification, from the detection signal, of all or part of the chemical species present in the evaporation fumes.

[0018] En effet, une telle méthode conduit à une analyse in situ des fumées émises durant la fabrication additive. Le prélèvement et le traitement d’un échantillon des fumées ne sont donc plus requis. Il en résulte une détermination de la composition des fumées d’évaporation plus fiable que celle obtenue par la mise en œuvre des méthodes d’analyse connues mettant en œuvre un spectromètre de masse.Indeed, such a method leads to an in situ analysis of the fumes emitted during additive manufacturing. Collecting and processing a smoke sample is therefore no longer required. This results in a more reliable determination of the composition of the evaporation fumes than that obtained by the use of known analysis methods using a mass spectrometer.

[0019] Une telle méthode d’analyse autorise également un suivi en temps réel de la composition des fumées d’évaporation, selon la durée pendant laquelle le signal de détection est analysé.Such an analysis method also allows real-time monitoring of the composition of the evaporation fumes, according to the duration during which the detection signal is analyzed.

[0020] En outre, le recours à la fluorescence X autorise une mise en œuvre plus aisée et moins coûteuse que le recours à un tel spectromètre de masse.In addition, the use of X-ray fluorescence allows easier and less expensive implementation than the use of such a mass spectrometer.

[0021] Suivant d’autres aspects avantageux de l’invention, la méthode d’analyse comporte une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prise(s) isolément ou suivant toutes les combinaisons techniquement possibles :According to other advantageous aspects of the invention, the analysis method comprises one or more of the following characteristics, taken in isolation or in any technically possible combination:

[0022] - l’étape d’identification comprend la prise en compte d’une absorption des photons de fluorescence causée par au moins un gaz formant une atmosphère de travail lors de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive ;- the identification step includes taking into account an absorption of the fluorescence photons caused by at least one gas forming a working atmosphere during the implementation of the additive manufacturing process;

[0023] - la méthode d’analyse comporte, en outre, une étape de détermination de la proportion relative de chaque espèce chimique identifiée dans les fumée d’évaporation ;- The analysis method further includes a step of determining the relative proportion of each chemical species identified in the evaporative smoke;

[0024] - la méthode d’analyse comporte, en outre, le calcul, à partir du signal de détection et de caractéristiques prédéterminées du procédé de fabrication additive, d’une quantité de matière de chaque espèce chimique qui s’est évaporée sous forme de fumée au cours d’un intervalle de temps donné durant la mise en œuvre du procédé de fabrication additive ;- The analysis method further comprises the calculation, from the detection signal and predetermined characteristics of the additive manufacturing process, of an amount of material of each chemical species which has evaporated in the form smoke during a given time interval during the implementation of the additive manufacturing process;

[0025] - la méthode d’analyse comporte, en outre, l’association du résultat de l’étape l’identification, de l’étape de détermination et/ou de l’étape de calcul à une position d’une partie d’une pièce fabriquée au cours de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive, dans un repère prédéterminé.- The analysis method further comprises the association of the result of the identification step, the determination step and / or the calculation step with a position of a part d 'a part manufactured during the implementation of the additive manufacturing process, in a predetermined benchmark.

[0026] L’invention a également pour objet un produit programme d’ordinateur comportant des instructions de code de programme qui, lorsqu’elles sont exécutées par un ordinateur, mettent en œuvre les étapes de la méthode d’analyse tel que définie ci-dessus, en dehors des étapes d’émission et de détection.The invention also relates to a computer program product comprising program code instructions which, when executed by a computer, implement the steps of the analysis method as defined above. above, apart from the transmission and detection steps.

[0027] L’invention a également pour objet un dispositif de traitement configuré pour mettre en œuvre les étapes de la méthode d’analyse tel que définie ci-dessus, en dehors des étapes d’émission et de détection.The invention also relates to a processing device configured to implement the steps of the analysis method as defined above, apart from the emission and detection steps.

[0028] En outre, l’invention a pour objet un système d’analyse pour l’analyse de fumées d’évaporation émises durant la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive employant au moins une espèce chimique, le système d’analyse comprenant :In addition, the invention relates to an analysis system for the analysis of evaporation fumes emitted during the implementation of an additive manufacturing process using at least one chemical species, the system of analysis including:

[0029] - au moins une source de rayons X configurée pour émettre un faisceau de rayons X destiné à irradier au moins une partie des fumées d’évaporation émises au cours de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive ;- at least one X-ray source configured to emit an X-ray beam intended to irradiate at least part of the evaporation fumes emitted during the implementation of the additive manufacturing process;

[0030] - au moins un détecteur configuré pour détecter des photons de fluorescence émis par l’au moins une partie des fumées d’évaporation irradiée par l’au moins un faisceau de rayons X, et pour générer un signal de détection représentatif de l’énergie déposée par les photons de fluorescence dans le détecteur correspondant ; et [0031] - un dispositif de traitement tel que défini ci-dessus.- At least one detector configured to detect fluorescence photons emitted by at least part of the evaporation fumes irradiated by the at least one X-ray beam, and to generate a detection signal representative of the energy deposited by fluorescence photons in the corresponding detector; and [0031] - a processing device as defined above.

[0032] Suivant d’autres aspects avantageux de l’invention, le système d’analyse comporte une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prise(s) isolément ou suivant toutes les combinaisons techniquement possibles :According to other advantageous aspects of the invention, the analysis system includes one or more of the following characteristics, taken in isolation or in any technically possible combination:

[0033] - au moins une source de rayons X est configurée pour émettre un faisceau de rayons- at least one X-ray source is configured to emit a beam of rays

X collimaté, présentant, de préférence, une section circulaire dans un plan orthogonal à sa direction de propagation, et présentant, par exemple, un diamètre compris entre 5 mm et 3 cm, préférentiellement entre 1 cm et 2 cm ;Collimated X, preferably having a circular section in a plane orthogonal to its direction of propagation, and having, for example, a diameter between 5 mm and 3 cm, preferably between 1 cm and 2 cm;

[0034] - au moins une source de rayons X est configurée pour émettre un faisceau de rayons- at least one X-ray source is configured to emit a beam of rays

X collimaté dans un premier plan contenant l’axe de propagation du faisceau de rayons X, et divergent dans un deuxième plan orthogonal au premier plan et contenant ledit axe de propagation, et présentant, de préférence, une épaisseur, dans le premier plan, comprise entre 5 mm et 5 cm, préférentiellement entre 1 cm et 3 cm.X collimated in a first plane containing the axis of propagation of the X-ray beam, and diverge in a second plane orthogonal to the foreground and containing said axis of propagation, and preferably having a thickness, in the first plane, included between 5 mm and 5 cm, preferably between 1 cm and 3 cm.

[0035] En outre, l’invention a pour objet une installation de fabrication additive comprenant un système de fabrication additive et un système d’analyse tel que défini ci-dessus, chaque source de rayons X étant configurée pour émettre un faisceau de rayons X dans le système de fabrication additive, chaque détecteur de photons étant configuré pour collecter des photons présents dans le système de fabrication additive.In addition, the invention relates to an additive manufacturing installation comprising an additive manufacturing system and an analysis system as defined above, each X-ray source being configured to emit an X-ray beam. in the additive manufacturing system, each photon detector being configured to collect photons present in the additive manufacturing system.

[0036] Suivant d’autres aspects avantageux de l’invention, l’installation de fabrication additive comporte une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prise(s) isolément ou suivant toutes les combinaisons techniquement possibles :According to other advantageous aspects of the invention, the additive manufacturing installation includes one or more of the following characteristics, taken alone or in any technically possible combination:

[0037] - chaque source de rayons X est configurée de sorte que le faisceau de rayons X correspondant se propage à une distance comprise entre 2 cm et 10 cm, de préférence entre 3 cm et 5 cm, au-dessus d’une surface libre d’un bain de fusion généré, au sein du système de fabrication additive, par le fonctionnement du système de fabrication additive ;- Each X-ray source is configured so that the corresponding X-ray beam propagates at a distance between 2 cm and 10 cm, preferably between 3 cm and 5 cm, above a free surface a molten bath generated, within the additive manufacturing system, by the operation of the additive manufacturing system;

[0038] - chaque détecteur est agencé pour se trouver à une distance comprise entre 2 cm et cm, de préférence entre 5 cm et 15 cm, au-dessus d’une surface libre d’un bain de fusion généré, au sein du système de fabrication additive, par le fonctionnement du système de fabrication additive.- Each detector is arranged to be at a distance between 2 cm and cm, preferably between 5 cm and 15 cm, above a free surface of a generated fusion bath, within the system additive manufacturing, by the operation of the additive manufacturing system.

Brève description des dessins [0039] L’invention sera mieux comprise à l’aide de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d’exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins annexés sur lesquels :Brief description of the drawings The invention will be better understood with the aid of the description which follows, given solely by way of nonlimiting example and made with reference to the appended drawings in which:

[0040] [fig. 1] la figure 1 est une représentation schématique d’une installation de fabrication additive mettant en œuvre un procédé de fabrication additive PBF, et comprenant un système d’analyse selon l’invention ; et [0041] [fig.2] la figure 2 est une représentation schématique d’une installation de fabrication additive mettant en œuvre un procédé de fabrication additive DED, et comprenant un système d’analyse selon l’invention.[Fig. 1] Figure 1 is a schematic representation of an additive manufacturing installation implementing a PBF additive manufacturing process, and comprising an analysis system according to the invention; and [fig.2] Figure 2 is a schematic representation of an additive manufacturing installation implementing a DED additive manufacturing process, and comprising an analysis system according to the invention.

DESCRIPTION DÉTAILLÉE DES MODES DE RÉALISATION [0042] Une installation 2 de fabrication additive selon l’invention est schématiquement illustrée par la figure 1. L’installation 2 est destinée à la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive PBF.DETAILED DESCRIPTION OF THE EMBODIMENTS An installation 2 of additive manufacturing according to the invention is schematically illustrated in FIG. 1. Installation 2 is intended for the implementation of a PBF additive manufacturing process.

[0043] Une description de l’installation 2 destinée à la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive DED sera fournie ultérieurement, en référence à la figure 2.A description of the installation 2 intended for the implementation of a DED additive manufacturing process will be provided later, with reference to FIG. 2.

[0044] Comme cela apparaît sur la figure 1, l’installation 2 comprend un système de fabrication 4 et un système d’analyse 6.As shown in Figure 1, the installation 2 includes a manufacturing system 4 and an analysis system 6.

[0045] Le système de fabrication 4 est destiné à la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive. En outre, le système d’analyse 6 est destiné à la mise en œuvre d’une méthode d’analyse in situ de fumées d’évaporation 7 émises durant la mise en œuvre du procédé de fabrication additive.The manufacturing system 4 is intended for the implementation of an additive manufacturing process. In addition, the analysis system 6 is intended for the implementation of a method of in situ analysis of evaporation fumes 7 emitted during the implementation of the additive manufacturing process.

[0046] De façon classique, le système de fabrication 4 comprend un substrat, ici un plateau support 8, destiné à supporter une pièce 9 lors de sa fabrication par le procédé de fabrication additive. Le système de fabrication 4 comporte également un plafond 10 s’étendant en regard du plateau support 8, le plafond 10 et le plateau support 8 étant séparés l’un de l’autre par une paroi latérale 12. Le plateau support 8, le plafond 10 et la paroi latérale 12 définissent entre eux une cavité 14.Conventionally, the manufacturing system 4 comprises a substrate, here a support plate 8, intended to support a part 9 during its manufacture by the additive manufacturing process. The manufacturing system 4 also includes a ceiling 10 extending opposite the support plate 8, the ceiling 10 and the support plate 8 being separated from each other by a side wall 12. The support plate 8, the ceiling 10 and the side wall 12 define between them a cavity 14.

[0047] Le système de fabrication 4 comporte également un émetteur 16 configuré pour émettre un faisceau de particules 17, par exemple des photons ou des électrons, destinées à mettre en fusion localement un lit de poudres 18 agencé sur le plateau support 8.The manufacturing system 4 also includes an emitter 16 configured to emit a beam of particles 17, for example photons or electrons, intended for locally melting a bed of powders 18 arranged on the support plate 8.

[0048] La partie du ht de poudres 18 mise en fusion par le faisceau de particules 17 est encore appelée « bain de fusion ».The part of the powder ht 18 melted by the particle beam 17 is also called "fusion bath".

[0049] De façon connue, le système de fabrication 4 comporte également un organe de déflexion 20 configuré pour défléchir le faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 afin de modifier la zone du lit de poudres 18 qui est irradiée par ledit faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16. Par exemple, dans le cas où l’émetteur 16 est un laser, l’organe de déflexion 20 est un miroir, comme représenté sur la figure 1.In known manner, the manufacturing system 4 also includes a deflection member 20 configured to deflect the particle beam 17 from the emitter 16 in order to modify the area of the powder bed 18 which is irradiated by said beam of particles 17 from the emitter 16. For example, in the case where the emitter 16 is a laser, the deflection member 20 is a mirror, as shown in FIG. 1.

[0050] Par exemple, dans le cas où le système de fabrication 4 est destiné à la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive PBF, l’émetteur 16 est configuré de sorte que la puissance déposée dans la zone du lit de poudres 18 par le faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 soit comprise entre 50 W (watt) et 2000 W. En outre, la durée durant laquelle chaque zone du lit de poudres 18 est irradiée par le faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 est, par exemple, comprise entre 10 ps (microseconde) et 1000 ps, préférentiellement entre 50 ps et 300 ps. En outre, l’organe de déflexion 20 est, par exemple, configuré de sorte que la zone du lit de poudres 18 irradiée par le faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 se déplace à une vitesse comprise entre 0,2 m/s (mètre par seconde) et 10 m/s.For example, in the case where the manufacturing system 4 is intended for the implementation of a PBF additive manufacturing process, the transmitter 16 is configured so that the power deposited in the area of the powder bed 18 by the particle beam 17 from the emitter 16 is between 50 W (watt) and 2000 W. In addition, the period during which each zone of the powder bed 18 is irradiated by the particle beam 17 from the transmitter 16 is, for example, between 10 ps (microsecond) and 1000 ps, preferably between 50 ps and 300 ps. In addition, the deflection member 20 is, for example, configured so that the area of the powder bed 18 irradiated by the particle beam 17 from the emitter 16 moves at a speed of between 0.2 m / s (meter per second) and 10 m / s.

[0051] Le système d’analyse 6 comporte au moins une source 22 de rayons X, dite « source X », au moins un détecteur 24, et un dispositif de traitement 26 connecté en sortie de chaque détecteur 24.The analysis system 6 comprises at least one source 22 of X-rays, called "source X", at least one detector 24, and a processing device 26 connected at the output of each detector 24.

[0052] Chaque source X 22 est configurée pour émettre un faisceau 23 de rayons X dans la cavité 14. En particulier, chaque source X 22 est configurée pour émettre un faisceau 23 de rayons X destiné à irradier au moins une partie des fumées d’évaporation 7 générées dans le système de fabrication 4, plus précisément dans la cavité 14, lors de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive.Each source X 22 is configured to emit a beam 23 of X-rays in the cavity 14. In particular, each source X 22 is configured to emit a beam 23 of X-rays intended to irradiate at least a portion of the fumes of evaporation 7 generated in the manufacturing system 4, more precisely in the cavity 14, during the implementation of the additive manufacturing process.

[0053] Chaque détecteur 24 est configuré pour collecter des photons de fluorescence émis par les fumées d’évaporation 7 qui ont été irradiées par le faisceau 23 de rayons X émis par la source X 22, et pour convertir l’énergie déposée par les photons collectés en signal électrique, dit « signal de détection ».Each detector 24 is configured to collect fluorescence photons emitted by evaporation fumes 7 which have been irradiated by the beam 23 of X-rays emitted by the source X 22, and to convert the energy deposited by the photons collected as an electrical signal, known as a “detection signal”.

[0054] Par la suite, l’expression « signal de fluorescence » sera employée pour désigner les photons de fluorescence émis par les fumées d’évaporation 7 qui ont été irradiées par le faisceau 23 de rayons X émis par la source X 22. Le signal de fluorescence est désigné par la référence 25.Thereafter, the expression “fluorescence signal” will be used to designate the fluorescence photons emitted by the evaporation fumes 7 which have been irradiated by the beam 23 of X-rays emitted by the source X 22. The fluorescence signal is designated by reference 25.

[0055] Le dispositif de traitement 26 est configuré pour recevoir en entrée le signal de détection issu de chaque détecteur 24, et pour déterminer des caractéristiques des fumées d’évaporation 7 à partir de chaque signal de détection.The processing device 26 is configured to receive as input the detection signal from each detector 24, and to determine the characteristics of the evaporation fumes 7 from each detection signal.

[0056] Le dispositif de traitement 26 est, par exemple, un ordinateur, ou encore un circuit de type ASIC (de l’anglais « application-specific integrated circuit », signifiant circuit intégré propre à une application) ou un circuit logique programmable (en anglais, « programmable logic device »), tel qu’un circuit FPGA (de l’anglais «field programmable gate array », signifiant réseau de portes programmables in situ).The processing device 26 is, for example, a computer, or a circuit of the ASIC type (from the English “application-specific integrated circuit”, meaning integrated circuit specific to an application) or a programmable logic circuit ( in English, "programmable logic device"), such as an FPGA circuit (from the English "field programmable gate array", meaning network of programmable doors in situ).

[0057] De préférence, chaque source X 22 est montée dans la cavité 14, sur la paroi latérale 12. De préférence également, chaque détecteur 24 est monté dans la cavité 14, sur la paroi latérale 12. En outre, le dispositif de traitement 26 est déporté en dehors du système de fabrication 4. De cette façon, un contrôle plus aisé de sa température, notamment de la température des détecteurs 24, est autorisé. En outre, de cette façon, l’encombrement du système d’analyse 6 dans la cavité 14 est limité ; en particulier, les risques d’interférence avec le faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 sont réduits.Preferably, each X source 22 is mounted in the cavity 14, on the side wall 12. Preferably also, each detector 24 is mounted in the cavity 14, on the side wall 12. In addition, the processing device 26 is deported outside the manufacturing system 4. In this way, easier control of its temperature, in particular the temperature of the detectors 24, is authorized. In addition, in this way, the size of the analysis system 6 in the cavity 14 is limited; in particular, the risks of interference with the particle beam 17 from the emitter 16 are reduced.

[0058] Avantageusement, chaque source X 22 est configurée de façon à ce que le faisceau 23 de rayons X correspondant n’interagisse pas avec le lit de poudres 18 ou avec la pièce 9 en cours de fabrication.Advantageously, each X source 22 is configured so that the corresponding beam of X-rays 23 does not interact with the powder bed 18 or with the part 9 during manufacture.

[0059] Par exemple, chaque source X 22 est configurée de façon à émettre un faisceau 23 de rayons X collimaté, présentant, dans un plan orthogonal à sa direction de propagation, une section circulaire. Dans ce cas, le diamètre du faisceau 23 de rayons X est, par exemple, compris entre 5 mm (millimètre) et 3 cm (centimètre), préférentiellement entre 1 cm et 2 cm.For example, each X source 22 is configured to emit a beam 23 of collimated X-rays, having, in a plane orthogonal to its direction of propagation, a circular section. In this case, the diameter of the beam 23 of X-rays is, for example, between 5 mm (millimeter) and 3 cm (centimeter), preferably between 1 cm and 2 cm.

[0060] Par « faisceau collimaté », il est entendu, au sens de la présente invention, un faisceau présentant une étendue contrôlée, par exemple constante, le long de son axe de propagation. Un tel faisceau collimaté est, par exemple, obtenu grâce à l’utilisation d’un élément en plomb doté d’une ouverture présentant les dimensions souhaitées pour l’étendue du faisceau.By “collimated beam”, it is understood, within the meaning of the present invention, a beam having a controlled extent, for example constant, along its axis of propagation. Such a collimated beam is, for example, obtained through the use of a lead element provided with an opening having the desired dimensions for the extent of the beam.

[0061] En variante, chaque source X 22 est configurée de sorte à émettre un faisceau 23 de rayons X « en éventail », c’est-à-dire un faisceau 23 de rayons X collimaté dans un premier plan contenant l’axe de propagation du faisceau 23 de rayons X, et divergent dans un deuxième plan orthogonal au premier plan et contenant ledit axe de propagation. De préférence, le deuxième plan est parallèle au plateau support 8, c’est-à-dire parallèle au lit de poudres 18. Dans ce cas, l’épaisseur du faisceau en éventail est, par exemple, comprise entre 5 mm et 5 cm, préférentiellement entre 1 cm et 3 cm.As a variant, each X source 22 is configured so as to emit a beam 23 of "fan-shaped" X-rays, that is to say a beam 23 of X-rays collimated in a first plane containing the axis of propagation of the beam 23 of X-rays, and diverge in a second plane orthogonal to the foreground and containing said axis of propagation. Preferably, the second plane is parallel to the support plate 8, that is to say parallel to the powder bed 18. In this case, the thickness of the fan beam is, for example, between 5 mm and 5 cm , preferably between 1 cm and 3 cm.

[0062] De façon avantageuse, chaque source X 22 est configurée de façon à émettre un faisceau 23 de rayons X se propageant à une distance comprise entre 2 cm et 10 cm audessus du lit de poudres 18, préférentiellement entre 3 cm et 5 cm au-dessus du lit de poudres 18. Une telle distance est avantageuse, dans la mesure où l’écoulement des fumées est généralement turbulent à des distances supérieures du lit de poudres 18. Un tel choix de valeurs est également avantageux dans la mesure où l’altitude de gouttes liquides éjectées depuis la zone du lit de poudres 18 qui est irradiée par le faisceau issu de l’émetteur 16 (également appelées « éjectas ») reste généralement inférieure à de telles valeurs.Advantageously, each X source 22 is configured so as to emit a beam 23 of X-rays propagating at a distance between 2 cm and 10 cm above the powder bed 18, preferably between 3 cm and 5 cm at above the powder bed 18. Such a distance is advantageous, insofar as the flow of the fumes is generally turbulent at greater distances from the powder bed 18. Such a choice of values is also advantageous insofar as the altitude of liquid drops ejected from the area of the powder bed 18 which is irradiated by the beam from the emitter 16 (also called "ejectas") generally remains below such values.

[0063] De tels dimensionnements de chaque source X 22 visent à maximiser le volume de fumées irradiées par le faisceau 23 de rayons X, tout en limitant les risques d’interactions avec des éléments autres que les fumées d’évaporation 7, interactions qui seraient susceptibles de nuire à la mise en œuvre de la méthode d’analyse selon l’invention.Such sizing of each X source 22 aims to maximize the volume of fumes irradiated by the beam 23 of X-rays, while limiting the risks of interactions with elements other than the evaporation fumes 7, interactions which would be likely to affect the implementation of the analysis method according to the invention.

[0064] Avantageusement, chaque détecteur 24 est agencé à une distance comprise entre 2 cm et 30 cm au-dessus du lit de poudres 18, préférentiellement entre 5 cm et 15 cm au-dessus du lit de poudres 18.Advantageously, each detector 24 is arranged at a distance of between 2 cm and 30 cm above the powder bed 18, preferably between 5 cm and 15 cm above the powder bed 18.

[0065] Chaque détecteur 24 comporte un organe de collecte de photons et un organe de conversion (non représentés). L’organe de collecte est configuré pour collecter le signal de fluorescence. L’organe de conversion est configuré pour convertir l’énergie déposée par les photons collectés en le signal de détection.Each detector 24 includes a photon collection member and a conversion member (not shown). The collection device is configured to collect the fluorescence signal. The converter is configured to convert the energy deposited by the collected photons into the detection signal.

[0066] De préférence, le détecteur 24 est collimaté et blindé, c’est-à-dire qu’il est à la fois orienté pour détecter des photons d’une zone préalablement définie et également protégé de sorte à recevoir le moins possible de photons ne provenant pas de ladite zone. Une telle protection de chaque détecteur 24 vise à limiter les risques de détection de photons émis par des éléments autres que les fumées d’évaporation 7, interactions qui seraient susceptibles de nuire à la mise en œuvre de la méthode d’analyse selon l’invention, notamment en réduisant le rapport signal sur bruit du signal de détection.Preferably, the detector 24 is collimated and shielded, that is to say that it is both oriented to detect photons from a previously defined area and also protected so as to receive as little as possible from photons not coming from said area. Such protection of each detector 24 aims to limit the risks of detection of photons emitted by elements other than the evaporation fumes 7, interactions which would be likely to harm the implementation of the analysis method according to the invention , in particular by reducing the signal to noise ratio of the detection signal.

[0067] Avantageusement, le système d’analyse 6 comporte une pluralité de sources X 22 et/ ou une pluralité de détecteurs 24, afin d’accroître le nombre de photons émis par fluorescence par les fumées et d’accroître le nombre de photons de fluorescence collectés respectivement, en particulier si les sources X 22 ou les détecteurs 24 sont collimatés.Advantageously, the analysis system 6 comprises a plurality of sources X 22 and / or a plurality of detectors 24, in order to increase the number of photons emitted by fluorescence by the fumes and to increase the number of photons of fluorescence collected respectively, in particular if the X sources 22 or the detectors 24 are collimated.

[0068] Le dispositif de traitement 26 est configuré pour recevoir le signal de détection généré par chaque détecteur 24.The processing device 26 is configured to receive the detection signal generated by each detector 24.

[0069] Le dispositif de traitement 26 est également configuré pour identifier, à partir du signal de détection reçu depuis chaque détecteur 24, tout ou partie des espèces chimiques présentes dans les fumées d’évaporation 7. Plus précisément, le dispositif de traitement 26 est configuré pour identifier toute ou une partie des espèces chimiques présentes dans les fumées d’évaporation 7 à partir du signal de détection reçu par au moins un détecteur 24 et à l’aide d’un étalonnage. Cet étalonnage correspond, par exemple, à une conversion entre une mesure du signal de fluorescence 25 dans une configuration de référence en termes de réglages et de poudres d’une part, et la composition réelle desdites poudres d’autre part. Le dispositif de traitement 26 est également configuré pour mettre en œuvre une analyse du signal de fluorescence, par exemple une étude spectrométrique du signal de fluorescence.The processing device 26 is also configured to identify, from the detection signal received from each detector 24, all or part of the chemical species present in the evaporation fumes 7. More specifically, the processing device 26 is configured to identify all or part of the chemical species present in the evaporation fumes 7 from the detection signal received by at least one detector 24 and by means of a calibration. This calibration corresponds, for example, to a conversion between a measurement of the fluorescence signal 25 in a reference configuration in terms of settings and powders on the one hand, and the actual composition of said powders on the other hand. The processing device 26 is also configured to carry out an analysis of the fluorescence signal, for example a spectrometric study of the fluorescence signal.

[0070] Le dispositif de traitement 26 est également configuré pour détecter, à partir du signal de détection reçu depuis chaque détecteur 24, les proportions relatives, dans les fumées d’évaporation 7, de chaque espèce chimique identifiée. Plus précisément, le dispositif de traitement 26 est configuré pour estimer, à partir du signal de détection reçu depuis chaque détecteur 24, les proportions relatives, dans les fumées d’évaporation 7, de chaque espèce chimique identifiée. Un tel résultat est, par un exemple, tiré du signal de fluorescence 25 émis au cours de l’étalonnage.The processing device 26 is also configured to detect, from the detection signal received from each detector 24, the relative proportions, in the evaporation fumes 7, of each identified chemical species. More specifically, the processing device 26 is configured to estimate, from the detection signal received from each detector 24, the relative proportions, in the evaporation fumes 7, of each identified chemical species. Such a result is, for example, taken from the fluorescence signal 25 emitted during the calibration.

[0071] Avantageusement, le dispositif de traitement 26 est également configuré pour déterminer, pour chaque espèce chimique identifiée, et à partir du signal de détection reçu depuis chaque détecteur 24, la quantité de matière de ladite espèce chimique qui s’est évaporée sous forme de fumée, par exemple au cours d’un intervalle de temps donné durant la mise en œuvre du procédé de fabrication additive. Plus précisément, le dispositif de traitement 26 est configuré selon les résultats de la procédure d’étalonnage pour déterminer, pour chaque espèce chimique identifiée, et à partir du signal de détection reçu depuis chaque détecteur 24, la quantité de matière de ladite espèce chimique qui s’est évaporée sous forme de fumée.Advantageously, the processing device 26 is also configured to determine, for each identified chemical species, and from the detection signal received from each detector 24, the amount of material of said chemical species which has evaporated in the form smoke, for example during a given time interval during the implementation of the additive manufacturing process. More specifically, the processing device 26 is configured according to the results of the calibration procedure to determine, for each identified chemical species, and from the detection signal received from each detector 24, the amount of material of said chemical species which evaporated as smoke.

[0072] Par exemple, pour chaque espèce chimique détectée, le dispositif de traitement 26 est configuré pour déterminer la quantité de matière qui s’est évaporée sous forme de fumée en multipliant la proportion de ladite espèce chimique dans les fumées d’évaporation 7 par un coefficient prédéterminé. Un tel coefficient est, par exemple, déterminé au cours de l’étalonnage de l’installation 2, le signal de fluorescence 25 émis au cours d’un tel étalonnage permettant l’obtention dudit coefficient.For example, for each chemical species detected, the treatment device 26 is configured to determine the quantity of material which has evaporated in the form of smoke by multiplying the proportion of said chemical species in the evaporation fumes 7 by a predetermined coefficient. Such a coefficient is, for example, determined during the calibration of the installation 2, the fluorescence signal 25 emitted during such a calibration making it possible to obtain said coefficient.

[0073] Avantageusement, dans le cas où le système de fabrication 4 est configuré pour la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive non pas sous vide mais dans une atmosphère gazeuse, le dispositif de traitement 26 est configuré pour tenir compte de l’atténuation du ou des gaz constituant l’atmosphère. De tels gaz sont, par exemple, des gaz inertes tels que l’argon ou l’hélium.Advantageously, in the case where the manufacturing system 4 is configured for the implementation of an additive manufacturing process not under vacuum but in a gaseous atmosphere, the treatment device 26 is configured to take account of the attenuation of the gas or gases constituting the atmosphere. Such gases are, for example, inert gases such as argon or helium.

[0074] Un tel traitement est avantageux, dans la mesure où l’atténuation d’un gaz est susceptible de varier avec sa pression, ainsi qu’avec l’énergie des photons qui le traversent. Par exemple, un tel traitement est avantageux pour la mesure des proportions en espèces chimiques légères, qui émettent généralement des photons de fluorescence plus fortement atténués par l’atmosphère ambiante que les photons de fluorescence émis par des espèces chimiques plus lourdes.Such treatment is advantageous, since the attenuation of a gas is likely to vary with its pressure, as well as with the energy of the photons passing through it. For example, such a treatment is advantageous for measuring the proportions of light chemical species, which generally emit fluorescence photons more strongly attenuated by the ambient atmosphere than the fluorescence photons emitted by heavier chemical species.

[0075] Avantageusement, le dispositif de traitement 26 est configuré pour fonctionner selon un premier mode d’analyse, un deuxième mode d’analyse, ou encore une combinaison du premier mode d’analyse et du deuxième mode d’analyse.Advantageously, the processing device 26 is configured to operate according to a first mode of analysis, a second mode of analysis, or even a combination of the first mode of analysis and the second mode of analysis.

[0076] Dans le premier mode d’analyse, le dispositif de traitement 26 est configuré pour déterminer la composition des fumées d’évaporation 7 à partir d’une partie du signal de détection présentant une durée longue, c’est-à-dire plusieurs fois supérieure à une durée d’interaction du faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 avec le lit de poudres 18. Une telle durée d’interaction est définie comme le résultat de la division, par la vitesse à laquelle le faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 balaye la surface du lit de poudres 18, de l’étendue spatiale de la zone du lit de poudres 18 qui est irradiée par ledit faisceau de particules 17.In the first analysis mode, the processing device 26 is configured to determine the composition of the evaporation fumes 7 from a part of the detection signal having a long duration, that is to say several times greater than a duration of interaction of the particle beam 17 coming from the emitter 16 with the powder bed 18. Such a duration of interaction is defined as the result of division, by the speed at which the beam of particles 17 from the emitter 16 scans the surface of the powder bed 18, the spatial extent of the area of the powder bed 18 which is irradiated by said beam of particles 17.

[0077] Par « déterminer la composition des fumées d’évaporation », il est entendu, au sens de la présente invention, identifier tout ou partie des espèces chimiques présentes dans les fumées d’évaporation 7, voire encore détecter les proportions relatives, dans les fumées d’évaporation 7, de chaque espèce chimique identifiée, ou encore déterminer la quantité de matière qui s’est évaporée sous forme de fumée pour chaque espèce identifiée.By “determining the composition of the evaporation fumes”, it is understood, within the meaning of the present invention, to identify all or part of the chemical species present in the evaporation fumes 7, or even to detect the relative proportions, in the evaporation fumes 7, of each identified chemical species, or else determine the quantity of material which has evaporated in the form of smoke for each identified species.

[0078] Dans le deuxième mode d’analyse, le dispositif de traitement 26 est configuré pour déterminer la composition des fumées d’évaporation 7 à partir d’une partie du signal de détection présentant une durée courte, c’est-à-dire du même ordre de grandeur ou inférieure à la durée d’interaction du faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 avec le lit de poudres 18.In the second analysis mode, the processing device 26 is configured to determine the composition of the evaporation fumes 7 from a part of the detection signal having a short duration, that is to say of the same order of magnitude or less than the duration of interaction of the particle beam 17 coming from the emitter 16 with the powder bed 18.

[0079] Le premier mode d’analyse est avantageux, dans la mesure où le recours à des durées longues accroît le rapport signal sur bruit du signal de détection, le bruit comprenant, dans ce cas, les photons qui ne sont pas des photons de fluorescence émis par les fumées d’évaporation. Toutefois, un tel mode d’analyse ne permet généralement pas d’associer une composition de fumées à une position précise du ht de poudres ou de la pièce 9 en cours de réalisation.The first analysis mode is advantageous, insofar as the use of long durations increases the signal-to-noise ratio of the detection signal, the noise comprising, in this case, photons which are not photons of fluorescence emitted by evaporation fumes. However, such a mode of analysis generally does not allow a smoke composition to be associated with a precise position of the powder ht or of part 9 in progress.

[0080] Le deuxième mode d’analyse est avantageux, dans la mesure où le recours à des durées courtes autorise une bonne résolution spatiale, c’est-à-dire qu’il autorise généralement d’associer une composition de fumées à une position précise du lit de poudres ou de la pièce 9 en cours de réalisation. Toutefois, avec un tel mode d’analyse, le rapport signal sur bruit du signal de détection est généralement inférieur à celui qui aurait été obtenu avec le premier mode d’analyse.The second mode of analysis is advantageous, insofar as the use of short durations allows good spatial resolution, that is to say that it generally allows a smoke composition to be associated with a position. precise bed of powders or part 9 in progress. However, with such an analysis mode, the signal to noise ratio of the detection signal is generally lower than that which would have been obtained with the first analysis mode.

[0081] Comme énoncé précédemment, le dispositif de traitement 26 est configuré pour fonctionner selon une combinaison du premier mode d’analyse et du deuxième mode d’analyse, c’est-à-dire que le dispositif de traitement 26 est susceptible de déterminer successivement la composition des fumées d’évaporation 7 à partir de parties (notamment des parties successives) du signal de détection présentant une durée courte, et, simultanément, déterminer la composition des fumées d’évaporation 7 à partir d’une partie du signal de détection présentant une durée longue (notamment formée d’une pluralité de parties présentant une durée courte).As stated above, the processing device 26 is configured to operate according to a combination of the first analysis mode and the second analysis mode, that is to say that the processing device 26 is capable of determining successively the composition of the evaporation fumes 7 from parts (in particular successive parts) of the detection signal having a short duration, and, simultaneously, determining the composition of the evaporation fumes 7 from a part of the signal detection having a long duration (in particular formed of a plurality of parts having a short duration).

[0082] De préférence, le dispositif de traitement 26 est également configuré pour associer les résultats des différents traitements opérés sur le signal de détection à une position dans l’espace dans un repère prédéterminé, par exemple un repère attaché au système de fabrication 4.Preferably, the processing device 26 is also configured to associate the results of the various treatments carried out on the detection signal with a position in space in a predetermined reference point, for example a reference point attached to the manufacturing system 4.

[0083] Le fonctionnement de l’installation de fabrication additive 2 va maintenant être décrit, en référence à la figure 1.The operation of the additive manufacturing installation 2 will now be described, with reference to FIG. 1.

[0084] Le procédé de fabrication additive est mis en œuvre dans le système de fabrication 4, sur le plateau support 8 duquel un lit de poudres 18 est agencé. L’émetteur 16 émet un faisceau de particules 17 pour mettre en fusion localement le lit de poudres 18. En outre, l’organe de déflexion 20 défléchit le faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16 afin de modifier, au cours du temps, la zone du lit de poudres 18 qui est irradiée par ledit faisceau de particules 17 issu de l’émetteur 16. La fusion du lit de poudres 18 conduit généralement à la formation de fumées d’évaporation 7.The additive manufacturing process is implemented in the manufacturing system 4, on the support plate 8 of which a bed of powders 18 is arranged. The emitter 16 emits a particle beam 17 for locally melting the powder bed 18. In addition, the deflection member 20 deflects the particle beam 17 from the emitter 16 in order to modify, over time , the area of the powder bed 18 which is irradiated by said beam of particles 17 coming from the emitter 16. The melting of the powder bed 18 generally leads to the formation of evaporation fumes 7.

[0085] En outre, chaque source X 22 émet un faisceau 23 de rayons X qui irradie au moins une partie des fumées d’évaporation 7.In addition, each X source 22 emits a beam 23 of X-rays which irradiates at least part of the evaporation fumes 7.

[0086] Les espèces chimiques présentes dans la partie des fumées d’évaporation 7 qui est irradiée par le faisceau 23 de rayons X absorbent au moins partiellement les photons X reçus en provenance de la source X 22, ce qui conduit à leur excitation. Les espèces chimiques excitées se désexcitent ensuite en émettant des photons de fluorescence, qui constituent le signal de fluorescence.The chemical species present in the part of the evaporation fumes 7 which is irradiated by the beam 23 of X-rays absorb at least partially the X photons received from the source X 22, which leads to their excitation. The excited chemical species then de-excite by emitting fluorescence photons, which constitute the fluorescence signal.

[0087] Chaque détecteur 24 détecte au moins une partie du signal de fluorescence 25 et génère, en réponse, un signal électrique correspondant, dit « signal de détection », dont la valeur, à un instant donné, est proportionnelle à l’énergie déposée par ladite partie du signal de fluorescence 25 dans le détecteur 24 lors dudit instant.Each detector 24 detects at least part of the fluorescence signal 25 and generates, in response, a corresponding electrical signal, called a “detection signal”, the value of which, at a given instant, is proportional to the energy deposited by said part of the fluorescence signal 25 in the detector 24 at said instant.

[0088] Le dispositif de traitement 26 reçoit chaque signal de détection et détermine la composition des fumées d’évaporation 7 à partir dudit signal de détection, en fonctionnant selon le premier mode d’analyse et/ou le deuxième mode d’analyse (par exemple, en fonction de réglages définis par un opérateur). De préférence, le dispositif de traitement 26 met en œuvre une correction indicative de la transmission d’un ou plusieurs gaz éventuellement présents dans le système de fabrication 4.The processing device 26 receives each detection signal and determines the composition of the evaporation fumes 7 from said detection signal, by operating according to the first analysis mode and / or the second analysis mode (by example, depending on settings defined by an operator). Preferably, the treatment device 26 implements a correction indicative of the transmission of one or more gases possibly present in the manufacturing system 4.

[0089] Par exemple, à partir du signal de détection, le dispositif de traitement 26 identifie les espèces chimiques présentes dans les fumées d’évaporation 7. Le dispositif de traitement 26 calcule également la proportion relative de chaque espèce chimique identifiée dans les fumées d’évaporation 7.For example, from the detection signal, the processing device 26 identifies the chemical species present in the evaporation fumes 7. The processing device 26 also calculates the relative proportion of each chemical species identified in the fumes d evaporation 7.

[0090] En outre, le dispositif de traitement 26 calcule, pour chaque espèce chimique détectée, la quantité de matière qui s’est évaporée sous forme de fumée au cours d’un intervalle de temps donné durant la mise en œuvre du procédé de fabrication additive.In addition, the processing device 26 calculates, for each chemical species detected, the amount of material which has evaporated in the form of smoke during a given time interval during the implementation of the manufacturing process additive.

[0091] Sur la figure 2, est illustré un deuxième mode de réalisation d’une installation 2 de fabrication additive selon l’invention. L’installation 2 de la figure 2 se distingue de l’installation 2 de la figure 1 en ce que son système de fabrication 4 est destiné à la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive DED. Dans ce cas, le plafond 10 et la paroi latérale 12 sont optionnels.In Figure 2, a second embodiment of an installation 2 of additive manufacturing according to the invention is illustrated. The installation 2 of FIG. 2 differs from the installation 2 of FIG. 1 in that its manufacturing system 4 is intended for the implementation of a DED additive manufacturing process. In this case, the ceiling 10 and the side wall 12 are optional.

[0092] Dans un tel mode de réalisation, il n’est pas fait recours à un lit de poudres. Au contraire, la matière fusible est apportée, sous forme de poudre ou d’un fil par un bras 28 mobile dans la cavité 14, plus précisément au niveau d’une partie terminale 30 du bras 28. Par « partie terminale du bras », il est entendu la partie du bras 28 qui est la plus proche du substrat. Dans un procédé de fabrication additive DED, un tel substrat est un plateau, ou encore la pièce 9 en cours de fabrication elle-même (cas d’une réparation ou d’un ajout de fonction, notamment).In such an embodiment, a bed of powders is not used. On the contrary, the fusible material is supplied, in the form of powder or of a wire by an arm 28 movable in the cavity 14, more precisely at the level of an end part 30 of the arm 28. By "end part of the arm" it is understood the part of the arm 28 which is closest to the substrate. In a DED additive manufacturing process, such a substrate is a plate, or even the part 9 during manufacture itself (in the case of repair or addition of function, in particular).

[0093] En outre, dans ce mode de réalisation, l’émetteur 16 prend la forme d’une source d’énergie intégrée au bras 28. L’émetteur 16 est une source de particules, ou encore une source de chaleur, agencée pour mettre en fusion la matière fusible au niveau de la partie terminale 30 du bras 28. Par exemple, l’émetteur 16 est configuré pour fournir une puissance thermique comprise entre 0,5 kW (kilowatt) et 10 kW, avec des vitesses de déplacement comprises entre 0.05 m/s et 0.5 m/s.In addition, in this embodiment, the emitter 16 takes the form of an energy source integrated into the arm 28. The emitter 16 is a source of particles, or even a heat source, arranged for melting the fusible material at the end portion 30 of the arm 28. For example, the transmitter 16 is configured to provide a thermal power of between 0.5 kW (kilowatt) and 10 kW, with displacement speeds included between 0.05 m / s and 0.5 m / s.

[0094] Dans ce cas, le bain de fusion correspond à la partie de la matière fusible qui est mise en fusion du fait du fonctionnement de l’émetteur 16.In this case, the melt corresponds to the part of the fusible material which is melted due to the operation of the transmitter 16.

[0095] En outre, dans ce mode de réalisation, les sources X 22 et/ou les détecteurs 24 sont susceptibles d’être portées par le bras 28. De préférence, et comme cela a été évoqué en relation avec le mode de réalisation de la figure 1, le dispositif de traitement 26 est agencé à distance du système de fabrication 4.In addition, in this embodiment, the X sources 22 and / or the detectors 24 are capable of being carried by the arm 28. Preferably, and as has been mentioned in connection with the embodiment of In FIG. 1, the processing device 26 is arranged at a distance from the manufacturing system 4.

[0096] De façon générale, chaque source X 22 est, avantageusement, configurée de sorte que le faisceau 23 de rayons X correspondant se propage à une distance comprise entre 2 cm et 10 cm, de préférence entre 3 cm et 5 cm, au-dessus d’une surface libre du bain de fusion.In general, each X source 22 is advantageously configured so that the corresponding beam 23 of X-rays propagates at a distance between 2 cm and 10 cm, preferably between 3 cm and 5 cm, au- above a free surface of the melt.

[0097] En outre, chaque détecteur 24 est, avantageusement, agencé pour se trouver à une distance comprise entre 2 cm et 40 cm, de préférence entre 5 cm et 15 cm, au-dessus d’une surface libre du bain de fusion.In addition, each detector 24 is advantageously arranged to be at a distance between 2 cm and 40 cm, preferably between 5 cm and 15 cm, above a free surface of the molten bath.

Claims (1)

Revendications Claims [Revendication 1] [Claim 1] Méthode d’analyse de fumées d’évaporation (7) émises durant la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive employant au moins une espèce chimique en tant que matière fusible, la méthode d’analyse comprenant les étapes suivantes : - émission d’au moins un faisceau (23) de rayons X pour irradier au moins une partie des fumées d’évaporation (7) émises au cours de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive ; - détection, par un détecteur (24), de photons de fluorescence émis par l’au moins une partie des fumées d’évaporation (7) irradiée par l’au moins un faisceau (23) de rayons X, et génération d’un signal de détection représentatif de l’énergie déposée par les photons de fluorescence dans le détecteur (24) ; et - identification, à partir du signal de détection, de tout ou partie des espèces chimiques présente dans les fumées d’évaporation (7). Method of analysis of evaporation fumes (7) emitted during the implementation of an additive manufacturing process using at least one chemical species as a fusible material, the analysis method comprising the following steps: - emission of at least one beam (23) of X-rays to irradiate at least part of the evaporation fumes (7) emitted during the implementation of the additive manufacturing process; - Detection, by a detector (24), of fluorescence photons emitted by at least part of the evaporation fumes (7) irradiated by the at least one beam (23) of X-rays, and generation of a detection signal representative of the energy deposited by the fluorescence photons in the detector (24); and - identification, from the detection signal, of all or part of the chemical species present in the evaporation fumes (7). [Revendication 2] [Claim 2] Méthode d’analyse selon la revendication 1, dans laquelle l’étape d’identification comprend la prise en compte d’une absorption des photons de fluorescence causée par au moins un gaz formant une atmosphère de travail lors de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive. Analysis method according to claim 1, in which the identification step comprises taking into account an absorption of the fluorescence photons caused by at least one gas forming a working atmosphere during the implementation of the additive manufacturing. [Revendication 3] [Claim 3] Méthode d’analyse selon la revendication 1 ou 2, comportant, en outre, une étape de détermination de la proportion relative de chaque espèce chimique identifiée dans les fumée d’évaporation (7). Analysis method according to claim 1 or 2, further comprising a step of determining the relative proportion of each identified chemical species in the evaporative smoke (7). [Revendication 4] [Claim 4] Méthode d’analyse selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, comportant, en outre, le calcul, à partir du signal de détection et de caractéristiques prédéterminées du procédé de fabrication additive, d’une quantité de matière de chaque espèce chimique qui s’est évaporée sous forme de fumée au cours d’un intervalle de temps donné durant la mise en œuvre du procédé de fabrication additive. Analysis method according to any one of claims 1 to 3, further comprising calculating, from the detection signal and predetermined characteristics of the additive manufacturing process, an amount of material of each chemical species which has evaporated in the form of smoke during a given time interval during the implementation of the additive manufacturing process. [Revendication 5] [Claim 5] Méthode d’analyse selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, comportant, en outre, l’association du résultat de l’étape l’identification, de l’étape de détermination et/ou de l’étape de calcul à une position d’une partie d’une pièce (9) fabriquée au cours de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive, dans un repère prédéterminé. Analysis method according to any one of claims 1 to 4, further comprising associating the result of the identification step, the determination step and / or the calculation step with a position of a part of a part (9) manufactured during the implementation of the additive manufacturing process, in a predetermined reference. [Revendication 6] [Claim 6] Produit programme d’ordinateur comportant des instructions de code de programme qui, lorsqu’elles sont exécutées par un ordinateur, mettent en œuvre les étapes de la méthode d’analyse selon l’une quelconque des Computer program product comprising program code instructions which, when executed by a computer, implement the steps of the analysis method according to any of
revendications 1 à 5, en dehors des étapes d’émission et de détection. claims 1 to 5, apart from the emission and detection steps. [Revendication 7] [Claim 7] Dispositif de traitement (26) configuré pour identifier tout ou partie des espèces chimiques présentes dans des fumées d’évaporation (7) émises au cours de la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive, à partir d’un signal de détection généré par un détecteur (24) et représentatif d’une énergie déposée, dans le détecteur (24), par des photons de fluorescence émis par au moins une partie des fumées d’évaporation (7) suite à leur irradiation par au moins un faisceau (23) de rayons X. Processing device (26) configured to identify all or part of the chemical species present in evaporation fumes (7) emitted during the implementation of an additive manufacturing process, from a detection signal generated by a detector (24) and representative of an energy deposited, in the detector (24), by fluorescence photons emitted by at least part of the evaporation fumes (7) following their irradiation by at least one beam ( 23) X-rays. [Revendication 8] [Claim 8] Système d’analyse (6) pour l’analyse de fumées d’évaporation (7) émises durant la mise en œuvre d’un procédé de fabrication additive employant au moins une espèce chimique, le système d’analyse (6) comprenant : - au moins une source (22) de rayons X configurée pour émettre un faisceau (23) de rayons X destiné à irradier au moins une partie des fumées d’évaporation (7) émises au cours de la mise en œuvre du procédé de fabrication additive ; - au moins un détecteur (24) configuré pour détecter des photons de fluorescence émis par l’au moins une partie des fumées d’évaporation (7) irradiée par l’au moins un faisceau (23) de rayons X, et pour générer un signal de détection représentatif de l’énergie déposée par les photons de fluorescence dans le détecteur (24) correspondant ; et - un dispositif de traitement (26) selon la revendication 7. Analysis system (6) for the analysis of evaporation fumes (7) emitted during the implementation of an additive manufacturing process using at least one chemical species, the analysis system (6) comprising: - at least one X-ray source (22) configured to emit an X-ray beam (23) intended to irradiate at least part of the evaporation fumes (7) emitted during the implementation of the additive manufacturing process ; - at least one detector (24) configured to detect fluorescence photons emitted by at least part of the evaporation fumes (7) irradiated by the at least one beam (23) of X-rays, and to generate a detection signal representative of the energy deposited by the fluorescence photons in the corresponding detector (24); and - a treatment device (26) according to claim 7. [Revendication 9] [Claim 9] Système d’analyse selon la revendication 8, dans lequel au moins une source (22) de rayons X est configurée pour émettre un faisceau (23) de rayons X collimaté, présentant, de préférence, une section circulaire dans un plan orthogonal à sa direction de propagation, et présentant, par exemple, un diamètre compris entre 5 mm et 3 cm, préférentiellement entre 1 cm et 2 cm. Analysis system according to claim 8, in which at least one X-ray source (22) is configured to emit a beam (23) of collimated X-rays, preferably having a circular section in a plane orthogonal to its direction. propagation, and having, for example, a diameter between 5 mm and 3 cm, preferably between 1 cm and 2 cm. [Revendication 10] [Claim 10] Système d’analyse selon la revendication 8 ou 9, dans lequel au moins une source (22) de rayons X est configurée pour émettre un faisceau (23) de rayons X collimaté dans un premier plan contenant l’axe de propagation du faisceau (23) de rayons X, et divergent dans un deuxième plan orthogonal au premier plan et contenant ledit axe de propagation, et présentant, de préférence, une épaisseur, dans le premier plan, comprise entre 5 mm et 5 cm, préférentiellement entre 1 cm et 3 cm. Analysis system according to claim 8 or 9, in which at least one X-ray source (22) is configured to emit a beam (23) of collimated X-rays in a first plane containing the axis of propagation of the beam (23 ) of X-rays, and diverge in a second plane orthogonal to the foreground and containing said axis of propagation, and preferably having a thickness, in the foreground, of between 5 mm and 5 cm, preferably between 1 cm and 3 cm. [Revendication 11] [Claim 11] Installation de fabrication additive (2) comprenant un système de fabrication additive (4) et un système d’analyse (6) selon l’une quelconque des revendications 8 à 10, chaque source (22) de rayons X Additive manufacturing installation (2) comprising an additive manufacturing system (4) and an analysis system (6) according to any one of claims 8 to 10, each X-ray source (22)
[Revendication 12] [Revendication 13] étant configurée pour émettre un faisceau (23) de rayons X dans le système de fabrication additive (4), chaque détecteur de photons étant configuré pour collecter des photons présents dans le système de fabrication additive (4).[Claim 12] [Claim 13] being configured to emit an X-ray beam (23) in the additive manufacturing system (4), each photon detector being configured to collect photons present in the additive manufacturing system (4) . Installation (2) selon la revendication 11, dans laquelle chaque source (22) de rayons X est configurée de sorte que le faisceau (23) de rayons X correspondant se propage à une distance comprise entre 2 cm et 10 cm, de préférence entre 3 cm et 5 cm, au-dessus d’une surface libre d’un bain de fusion généré, au sein du système de fabrication additive (4), par le fonctionnement du système de fabrication additive (4). Installation (2) selon l’une des revendications 11 ou 12, dans laquelle chaque détecteur (24) est agencé pour se trouver à une distance comprise entre 2 cm et 40 cm, de préférence entre 5 cm et 15 cm, audessus d’une surface libre d’un bain de fusion généré, au sein du système de fabrication additive (4), par le fonctionnement du système de fabrication additive (4).Installation (2) according to claim 11, wherein each X-ray source (22) is configured so that the corresponding beam (23) of X-rays propagates at a distance between 2 cm and 10 cm, preferably between 3 cm and 5 cm, above a free surface of a molten bath generated, within the additive manufacturing system (4), by the operation of the additive manufacturing system (4). Installation (2) according to one of claims 11 or 12, wherein each detector (24) is arranged to be at a distance between 2 cm and 40 cm, preferably between 5 cm and 15 cm, above a free surface of a molten bath generated, within the additive manufacturing system (4), by the operation of the additive manufacturing system (4).
FR1872097A 2018-11-20 2018-11-29 EVAPORATION FUMES ANALYSIS METHOD, COMPUTER PROGRAM PRODUCT, ASSOCIATED ANALYSIS SYSTEM AND ADDITIVE MANUFACTURING PLANT Active FR3089299B1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1872097A FR3089299B1 (en) 2018-11-29 2018-11-29 EVAPORATION FUMES ANALYSIS METHOD, COMPUTER PROGRAM PRODUCT, ASSOCIATED ANALYSIS SYSTEM AND ADDITIVE MANUFACTURING PLANT
EP19829285.6A EP3861328B1 (en) 2018-11-20 2019-11-15 Method for analyzing evaporation fumes, computer program product, analysis system and additive manufacturing facility associated therewith
PCT/FR2019/052727 WO2020104744A1 (en) 2018-11-20 2019-11-15 Method for analyzing evaporation fumes, computer program product, analysis system and additive manufacturing facility associated therewith

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1872097A FR3089299B1 (en) 2018-11-29 2018-11-29 EVAPORATION FUMES ANALYSIS METHOD, COMPUTER PROGRAM PRODUCT, ASSOCIATED ANALYSIS SYSTEM AND ADDITIVE MANUFACTURING PLANT

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3089299A1 true FR3089299A1 (en) 2020-06-05
FR3089299B1 FR3089299B1 (en) 2021-06-04

Family

ID=67107497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1872097A Active FR3089299B1 (en) 2018-11-20 2018-11-29 EVAPORATION FUMES ANALYSIS METHOD, COMPUTER PROGRAM PRODUCT, ASSOCIATED ANALYSIS SYSTEM AND ADDITIVE MANUFACTURING PLANT

Country Status (1)

Country Link
FR (1) FR3089299B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3114398A1 (en) * 2020-09-24 2022-03-25 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Method of analysis by energy dispersive X-ray spectroscopy of at least one chemical species in a molten pool or a solidified bead produced by an additive manufacturing process or by welding a metal alloy

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1461909A (en) * 1965-01-06 1966-12-09 United States Steel Corp Method and apparatus for determining by x-ray the rate of deposition of a coating from a vapor
EP2881973A1 (en) * 2013-12-04 2015-06-10 Institute of Solid State Physics, University of Latvia Device and method for pvd process diagnostic using X-ray fluorescence local probe

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1461909A (en) * 1965-01-06 1966-12-09 United States Steel Corp Method and apparatus for determining by x-ray the rate of deposition of a coating from a vapor
EP2881973A1 (en) * 2013-12-04 2015-06-10 Institute of Solid State Physics, University of Latvia Device and method for pvd process diagnostic using X-ray fluorescence local probe

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3114398A1 (en) * 2020-09-24 2022-03-25 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Method of analysis by energy dispersive X-ray spectroscopy of at least one chemical species in a molten pool or a solidified bead produced by an additive manufacturing process or by welding a metal alloy

Also Published As

Publication number Publication date
FR3089299B1 (en) 2021-06-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2195643B1 (en) System for analysing a low pressure gas by optical emission spectroscopy
EP0654663B1 (en) Method for elementary analysis through optical emission spectroscopy in a plasma produced by a laser beam in presence of Argon
US20060054497A1 (en) Apparatus, method and system for monitoring chamber parameters associated with a deposition process
CA2359010C (en) Elementary analysis device by optical emission spectrometry on plasma produced by a laser
EP3861328B1 (en) Method for analyzing evaporation fumes, computer program product, analysis system and additive manufacturing facility associated therewith
EP3807029B1 (en) Device and method for detecting the position of a laser beam
WO2012055978A1 (en) Smoke analysis characterization cell
FR3089299A1 (en) METHOD OF ANALYSIS OF EVAPORATIVE FUMES, COMPUTER PROGRAM PRODUCT, ANALYSIS SYSTEM AND ASSOCIATED ADDITIVE MANUFACTURING INSTALLATION
EP2901139B1 (en) Method and system for analysing particles in cold plasma
EP2889602B1 (en) Device for characterising particles in a particle stream under vacuum
EP0930810A1 (en) Plasma torch with adjustable distributor and gas analysis system using such a torch
EP1549933B1 (en) Method and device for spectroscopy of the optical emission of a liquid excited by a laser
FR2735241A1 (en) METHOD FOR REAL-TIME CONTROL OF IONIZING RADIATION RATE FLOW RATE AND DEVICE FOR IMPLEMENTING THE SAME
JP5292323B2 (en) Micro X-ray measuring device
FR3112386A1 (en) System for characterizing particles in the form of an aerosol in an ambient gas and associated method.
FR2600422A1 (en) APPARATUS AND METHOD FOR LOCAL CHEMICAL ANALYSIS ON THE SURFACE OF SOLID MATERIALS BY X-RAY PHOTO-ELECTRON SPECTROSCOPY
CN115629118B (en) Mass spectrometry apparatus and mass spectrometry method
WO2010046595A1 (en) Method and system for analysing the stoichiometry of particles and process for manufacturing particles with stoichiometry control
KR20060122938A (en) Photoelectron measuring device
US20190329493A1 (en) Apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects
FR3114398A1 (en) Method of analysis by energy dispersive X-ray spectroscopy of at least one chemical species in a molten pool or a solidified bead produced by an additive manufacturing process or by welding a metal alloy
EP0235023A1 (en) Process and apparatus to analyse the variation in density of a product in the shape of a cigarette
FR3095863A1 (en) Β-radiation analysis device and associated analysis method
JPH0894475A (en) Gas pressure measuring apparatus employing light scattering
EP2312296A1 (en) Device for optical diagnosis of a high-speed particle flow

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20200605

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 6