FR3082054B1 - Procede de fabrication d'un capteur piezoelectrique et capteur piezoelectrique obtenu par un tel procede - Google Patents
Procede de fabrication d'un capteur piezoelectrique et capteur piezoelectrique obtenu par un tel procede Download PDFInfo
- Publication number
- FR3082054B1 FR3082054B1 FR1854631A FR1854631A FR3082054B1 FR 3082054 B1 FR3082054 B1 FR 3082054B1 FR 1854631 A FR1854631 A FR 1854631A FR 1854631 A FR1854631 A FR 1854631A FR 3082054 B1 FR3082054 B1 FR 3082054B1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- piezoelectric sensor
- housing
- solution
- manufacturing
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 2
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/02—Housings
- G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/02—Forming enclosures or casings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/08—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur piézoélectrique comprenant les étapes suivantes : - une étape de fourniture d'un boîtier en acier inoxydable ; - une étape d'élaboration d'une solution d'un composé comprenant un élément métal ou métalloïde ; - une étape de dépôt d'une couche de ladite solution sur au moins une surface intérieure du boîtier ; - une étape d'oxydation de la couche de solution déposée ; - une étape de mise en place d'un élément piézoélectrique à l'intérieur dudit boîtier ; - une étape de fermeture du boîtier. L'invention concerne également un capteur piézoélectrique obtenu par un tel procédé et comprenant un boîtier en acier fermé, un élément piézoélectrique disposé à l'intérieur dudit boîtier, une couche d'une solution d'un composé comprenant un élément métal ou métalloïde disposée sur au moins une surface intérieure du boîtier.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1854631A FR3082054B1 (fr) | 2018-05-30 | 2018-05-30 | Procede de fabrication d'un capteur piezoelectrique et capteur piezoelectrique obtenu par un tel procede |
PCT/EP2019/063106 WO2019228862A1 (fr) | 2018-05-30 | 2019-05-21 | Procede de fabrication d'un capteur piezoelectrique et capteur piezoelectrique obtenu par un tel procede |
US17/058,119 US11714100B2 (en) | 2018-05-30 | 2019-05-21 | Process for producing a piezoelectric sensor and piezoelectric sensor obtained by means of such a process |
JP2020559538A JP7411570B2 (ja) | 2018-05-30 | 2019-05-21 | 圧電センサーを製造する方法及びそのような方法によって得られる圧電センサー |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1854631 | 2018-05-30 | ||
FR1854631A FR3082054B1 (fr) | 2018-05-30 | 2018-05-30 | Procede de fabrication d'un capteur piezoelectrique et capteur piezoelectrique obtenu par un tel procede |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR3082054A1 FR3082054A1 (fr) | 2019-12-06 |
FR3082054B1 true FR3082054B1 (fr) | 2020-07-03 |
Family
ID=65031214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR1854631A Active FR3082054B1 (fr) | 2018-05-30 | 2018-05-30 | Procede de fabrication d'un capteur piezoelectrique et capteur piezoelectrique obtenu par un tel procede |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11714100B2 (fr) |
JP (1) | JP7411570B2 (fr) |
FR (1) | FR3082054B1 (fr) |
WO (1) | WO2019228862A1 (fr) |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS522392A (en) * | 1975-06-24 | 1977-01-10 | Toshiba Corp | Electricity-sound converting device |
US8410663B2 (en) * | 2006-10-20 | 2013-04-02 | Kyocera Corporation | Piezoelectric actuator unit having a stress relieving layer and method for manufacturing the same |
US7671515B2 (en) * | 2006-11-07 | 2010-03-02 | Robert Bosch, Gmbh | Microelectromechanical devices and fabrication methods |
IT1400619B1 (it) * | 2010-05-12 | 2013-06-14 | Metallux Sa | Sensore di pressione |
US9039976B2 (en) * | 2011-01-31 | 2015-05-26 | Analog Devices, Inc. | MEMS sensors with closed nodal anchors for operation in an in-plane contour mode |
US8375793B2 (en) | 2011-02-10 | 2013-02-19 | Dytran Instruments, Inc. | Accelerometer for high temperature applications |
FR2977377B1 (fr) | 2011-06-30 | 2015-04-24 | Commissariat Energie Atomique | Traducteur ultrasonore haute temperature utilisant un cristal de niobate de lithium brase avec de l'or et de l'indium |
-
2018
- 2018-05-30 FR FR1854631A patent/FR3082054B1/fr active Active
-
2019
- 2019-05-21 JP JP2020559538A patent/JP7411570B2/ja active Active
- 2019-05-21 WO PCT/EP2019/063106 patent/WO2019228862A1/fr active Application Filing
- 2019-05-21 US US17/058,119 patent/US11714100B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR3082054A1 (fr) | 2019-12-06 |
WO2019228862A1 (fr) | 2019-12-05 |
US11714100B2 (en) | 2023-08-01 |
JP2021525464A (ja) | 2021-09-24 |
JP7411570B2 (ja) | 2024-01-11 |
US20210199687A1 (en) | 2021-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2021521656A (ja) | ドアオープナ、輸送チャンバ、及び半導体処理デバイス | |
US20170152968A1 (en) | Corrosion control for chamber components | |
FR3082054B1 (fr) | Procede de fabrication d'un capteur piezoelectrique et capteur piezoelectrique obtenu par un tel procede | |
FR3014132B1 (fr) | Mat d'evacuation de fluides draines pour un ensemble propulsif | |
JP2005320622A (ja) | 交換可能メンテナンス弁 | |
FR3079448B1 (fr) | Procede de fabrication d'un habillage et habillage correspondant | |
FR3045678B1 (fr) | Procede de fabrication d'une couche piezoelectrique monocristalline et dispositif microelectronique, photonique ou optique comprenant une telle couche | |
FR3062819B1 (fr) | Dispositif vitre affleurant pour porte de vehicule, porte, vehicule automobile, procede de fabrication et dispositif d'etancheite monobloc correspondants | |
US20190162316A1 (en) | Ball with high wear resistance and ball valve using the same | |
KR20230004781A (ko) | 레티클 포드 밀봉 | |
FR3035221B1 (fr) | Biocapteurs electrochimiques implantables | |
MA52143A (fr) | <sup2/> <sub2/> 2 procede pour former une couche d'oxyde monophase (fe, cr)o <ns2:sub>3 </ns2:sub> de structure rhomboedrique sur un substrat en acier ou en super alliage | |
FR3091033B1 (fr) | Procede de fabrication d’un dispositif spintronique comportant une couche magnetique active epaisse | |
FR3045575B1 (fr) | Ensemble d'obturation d'un recipient destine a contenir un produit, dispositif de conditionnement et procede associe. | |
EP3193025B1 (fr) | Vérin hydraulique | |
FR3056604B1 (fr) | Procede de fabrication par dli-mocvd d'un composant nucleaire composite | |
FR3095659B1 (fr) | Piece en acier cementee pour l’aeronautique | |
FR3105262B1 (fr) | Procédé et installation de traitement d’une pièce en métal ferreux | |
FR3090065B1 (fr) | Procédé de fabrication d’une conduite flexible et conduite associée | |
WO2019154871A3 (fr) | Ensemble couvercle pour récipient de boisson | |
WO2006106429A3 (fr) | Procede de depot d'acier sur des elements metalliques nitrures | |
SE0303331L (sv) | Ramstruktur av metall för glidande förslutning för breda öppningar | |
FR3003693B1 (fr) | Procede d'encapsulation et dispositif associe. | |
KR102372418B1 (ko) | 회전형 진공 공정챔버의 씰링 구조 | |
FR3056461B1 (fr) | Piece d'interfacage moulee pour un element d'etancheite d'un vehicule |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 2 |
|
PLSC | Publication of the preliminary search report |
Effective date: 20191206 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 3 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 4 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 5 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 6 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 7 |