FR3061311A1 - Composant d'interferometre et son procede de realisation - Google Patents

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Abstract

Composant d'interféromètre (100), ayant un résonateur optique (102) avec un premier élément de miroir (104) et un second élément de miroir (106) installé en regard du premier, le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) sont divisés en un premier segment transparent (108) et un second segment transparent (110) pour laisser passer la lumière à travers le résonateur optique (102), le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) sont écartés, au niveau du premier segment transparent (108), d'un intervalle différent de celui dans le second segment transparent (110).

Description

Titulaire(s) :
ROBERT BOSCH GMBH.
O Demande(s) d’extension :
© Mandataire(s) : CABINET HERRBURGER.
© COMPOSANT D'INTERFEROMETRE ET SON PROCEDE DE REALISATION.
FR 3 061 311 - A1 (57) Composant d'interféromètre (100), ayant un résonateur optique (102) avec un premier élément de miroir (104) et un second élément de miroir (106) installé en regard du premier, le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) sont divisés en un premier segment transparent (108) et un second segment transparent (110) pour laisser passer la lumière à travers le résonateur optique (102), le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) sont écartés, au niveau du premier segment transparent (108), d'un intervalle différent de celui dans le second segment transparent (110).
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Domaine de l’invention
La présente invention a pour objet un composant d’interféromètre et son procédé de réalisation.
L’invention a également pour objet un programme d’ordinateur pour la mise en œuvre du procédé de réalisation du composant ou du procédé de gestion du composant.
Etat de la technique
Le document DE 10 018 444 Al décrit un système semiconducteur pour enregistrer des spectres, des signaux de couleur, des images en couleur ou des éléments analogues avec des puces CCD ou CMOS ayant des pixels photosensibles avec en amont, des filtres couleurs.
Les interféromètres Fabry-Pérot micromécaniques, connus, ont une plage de fonctionnement limitée par l’apparition d’ordres supérieurs dans leur plage de longueurs d’ondes utiles vers les longueurs d’ondes plus faibles. Pour des interrogations analytiques, il est souhaitable de pouvoir fonctionner dans la plus grande plage de longueurs d’ondes possible. Les ordres non souhaités sont alors éliminés du spectre par des éléments optiques supplémentaires.
But de l’invention
Partant de cet état de la technique, la présente invention a pour but de développer un composant d’interféromètre ainsi que son procédé de fabrication, permettant de remédier aux inconvénients de l’état de la technique.
L’invention a également pour but de développer un dispositif utilisant ce procédé et un programme d’ordinateur contenant l’enregistrement du procédé.
Exposé et avantages de l’invention
A cet effet, l’invention a pour objet un composant d’interféromètre, caractérisé en ce qu’il comprend un résonateur optique ayant au moins un premier élément de miroir et un second élément de miroir installé en regard du premier élément de miroir, le premier élément de miroir et le second élément de miroir étant divisés en au moins un premier segment transparent et un second segment transparent pour laisser passer la lumière à travers le résonateur op3061311 tique, le premier élément de miroir et le second élément de miroir étant écartés au niveau du premier segment transparent, d’une distance différente de celle dans le second segment transparent.
Un résonateur optique est, par exemple, un résonateur Fabry-Pérot. Un élément de miroir ou élément réfléchissant est une couche ou plaque réfléchissante ou de miroir, semi-transparente. Les deux éléments de miroir peuvent ainsi, par exemple, être installés parallèlement l’un à l’autre à une certaine distance. La distance peut être modifiée par une mise sous vide appropriée du miroir. Un segment transparent selon l’invention est un segment du résonateur optique ayant un certain intervalle et qui est orienté transversalement à la direction d’incidence de la lumière. La division dans les deux segments transparents se réalise par un décalage parallèle des deux éléments de miroir dans la zone des segments transparents.
L’invention repose sur la considération qu’en divisant les deux éléments de miroir d’un résonateur optique en segments ayant des intervalles différents entre les éléments de miroir et ainsi des longueurs de résonance différentes, on obtient un interféromètre Fabry-Pérot, micromécanique, qui peut s’accorder dans une plage élargie de longueur d’ondes utiles. En particulier, l’extension de cette plage de longueur d’ondes utiles résulte des mesures de plages spectrales partiellement adjacentes dans les différents segments passants.
Selon un exemple de réalisation, le composant d’interféromètre comporte une unité de détecteur pour détecter la lumière. L’unité de détecteur peut se diviser en au moins un premier segment de détecteur pour fournir un premier signal de mesure et un second segment de détecteur pour fournir un second signal de mesure. L’unité de détecteur et le résonateur optique peuvent être combinés pour que le premier segment de détecteur et le premier segment transparent soient face l’un à l’autre et que le second segment de détecteur et le second segment transparent soient l’un face à l’autre. Une unité de détecteur est un photocapteur tel qu’un capteur CCD ou CMOS, une photodiode ou un phototransistor. Cela permet une mesure séparée des spectres transmis par les deux segments transparents.
Le composant d’interféromètre comporte une couche de substrat ayant au moins une première zone transparente et une seconde zone transparente pour la lumière arrivant sur la couche de substrat. La couche de substrat et le résonateur optique sont combinés pour que la première zone transparente et le premier segment transparent soient face à face et que la seconde zone transparente et le second segment transparent soient également face à face. La couche de substrat est une couche en une matière transparente et qui, selon une forme de réalisation, est couverte par segments par une couche opaque. Une zone transparente est un segment transparent de la couche de substrat. Cette forme de réalisation permet de contrôler la lumière sortant du résonateur optique et de la guider avec des pertes d’intensité aussi réduites que possible dans une direction déterminée, notamment sur l’unité de détecteur.
Selon une autre forme de réalisation, l’unité de détecteur, la couche de substrat et le résonateur optique sont combinés pour que la première zone transparente se trouve entre le premier segment transparent et le premier segment de détecteur et que la seconde zone transparente se trouve entre le second segment transparent et le second segment de détecteur. Cela permet de réaliser un composant d’interféromètre particulièrement compact et avec des chemins optiques très courts.
De façon avantageuse, la première zone transparente ou la seconde zone transparente sont formées par une cavité dans la couche de substrat ou les deux zones transparentes sont formées par une cavité dans la couche de substrat. En plus ou en variante, les deux zones transparentes peuvent être transparentes pour des longueurs d’onde différentes. Cela permet de réaliser les zones transparentes avec une mise en œuvre de moyens de fabrication aussi réduite que possible. De plus, on améliore la précision de la mesure par le composant d’interféromètre.
Selon un autre développement, le premier élément de miroir présente une partie en creux dans le premier segment transparent ou dans le second segment transparent ou dans les deux segments transparents. En plus ou en variante, le second élément de miroir du premier segment transparent ou du second segment transparent ou des deux segments transparents a une partie en creux. Ces modes de réalisation permettent d’obtenir, de manière simple, la segmentation du résonateur optique.
Le composant d’interféromètre peut en plus comporter un élément réducteur d’accrochage pour éviter qu’un organe d’accrochage du premier élément de miroir se trouve sur le second élément de miroir. L’élément réducteur d’accrochage se trouve dans la zone transitoire entre le premier segment transparent et le second segment transparent, entre le premier élément de miroir et le second élément de miroir. Un élément réducteur d’accrochage est un composant en une matière réduisant l’accrochage, par exemple, une butée d’arrêt anti adhérence.
L’élément réducteur d’accrochage peut être prévu soit sur le premier élément de miroir, soit sur le second élément de miroir ou encore sur les deux éléments de miroir. Cette forme de réalisation évite l’accrochage du premier élément de miroir au second élément de miroir.
De façon avantageuse, le premier élément de miroir et le second élément de miroir sont divisés au moins en un troisième segment transparent pour laisser passer la lumière à travers le résonateur optique. Le premier élément de miroir et le second élément de miroir du troisième segment transparent ont le même écart que dans le premier segment transparent. En variante, le premier élément de miroir et le second élément de miroir du troisième segment transparent peuvent avoir un écart plus important que dans le premier segment transparent ou dans le second segment transparent, ce qui permet d’étendre la plage utile des longueurs d’ondes du composant d’interféromètre.
Il est avantageux que le second segment transparent se situe entre le premier segment transparent et le troisième segment transparent permettant ainsi un fonctionnement efficace du composant d’interféromètre.
L’invention a également pour objet un procédé pour réaliser un composant d’interféromètre comprenant les étapes suivantes consistant à former un résonateur optique ayant au moins un premier élément de miroir et un second élément de miroir, le premier élément de miroir et le second élément de miroir se faisant face et étant divisés en au moins un premier segment transparent et un second segment transparent pour laisser passer la lumière à travers le résonateur optique, le premier élément de miroir et le second élément de miroir du premier segment transparent étant à une distance différente que dans le second segment transparent.
L’invention a également pour objet un procédé de gestion d’un composant d’interféromètre, caractérisé par les étapes suivantes consistant à enregistrer le premier signal de mesure et le second signal de mesure et déterminer un spectre de transmission du composant d’interféromètre en utilisant le premier signal de mesure et le second signal de mesure.
L’invention a également pour objet un procédé de gestion d’un composant d’interféromètre consistant à enregistrer le premier signal de mesure et le second signal de mesure et déterminer un spectre de transmission du composant d’interféromètre en utilisant le premier signal de mesure et le second signal de mesure.
Les procédés peuvent être implémentés sous la forme de programmes ou de circuits ou d’un mélange de programmes et de circuits dans un appareil de commande.
L’invention crée un dispositif pour exécuter les étapes d’une variante du procédé présenté ci-dessus avec des installations pour exécuter, commander ou appliquer. Cette variante de réalisation de l’invention sous la forme d’un dispositif permet de répondre rapidement et efficacement aux problèmes posés.
Le dispositif comporte au moins une unité de calcul pour traiter les signaux et les données, au moins une unité de mémoire pour enregistrer les signaux ou les données, au moins une interface vers un capteur ou un actionneur pour enregistrer les signaux de capteur fournis par le capteur ou pour émettre des signaux de données ou de commande vers les actionneurs et/ou au moins une interface de communication pour enregistrer ou émettre des données, ces différents moyens étant intégrés dans le protocole de communication. L’unité de calcul est, par exemple, un processeur de signal, un microcontrôleur ou un moyen analogue et l’unité de mémoire est une mémoire flash, une mémoire EEPROM ou une mémoire magnétique. L’interface de com3061311 munication permet d’enregistrer les données par transmission sans fil et/ou avec fil ou encore l’interface de communication permet de lire et d’émettre les données liées à la ligne. Ces données sont, par exemple, transmises de manière électrique ou optique par des lignes de transmission de données ou par une ligne de transmission radio.
Un dispositif selon l’invention est un appareil électrique qui traite les signaux de capteur et en fonction de ceux-ci il génère des signaux de commande et/ou des signaux de données. Le dispositif comporte une interface réalisée sous la forme d’un programme ou d’un circuit. Dans le cas d’une réalisation sous la forme d’un circuit, les interfaces font, par exemple, partie d’un système ASIC qui comporte différentes fonctions du dispositif. Il est également possible que l’interface comporte ses propres circuits intégrés ou du moins qu’elles soient constituées en partie par des composants intégrés. Dans le cas d’une réalisation sous la forme d’un programme, les interfaces sont des modules de programme situés, par exemple, dans un microcontrôleur à côté d’autres modules de programme.
De façon avantageuse, l’invention a également pour objet un produit-programme d’ordinateur ou un programme d’ordinateur avec un code-programme lisible ou un support de mémoire tel qu’un semi-conducteur, un disque dur ou une mémoire optique pour exécuter, convertir ou appliquer les étapes du procédé telles que décrites cidessus.
Dessins
La présente invention sera décrite ci-après à l’aide d’exemples de réalisation d’un composant d’interféromètre représenté dans les dessins annexés dans lesquels :
la figure 1 est une représentation schématique d’un exemple de réalisation d’un composant d’interféromètre, la figure 2 est un schéma d’un mode de réalisation d’un composant d’interféromètre, la figure 3 est un diagramme représentant la transmission normalisée dans un interféromètre Fabry-Pérot en fonction de la longueur d’onde, la figure 4 est un ordinogramme très simplifié d’un procédé de réalisation d’un composant d’interféromètre selon un exemple de réalisation et, la figure 5 montre un ordinogramme d’un procédé de gestion d’un exemple de réalisation d’un composant d’interféromètre.
Description de modes de réalisation de l’invention
La figure 1 montre schématiquement un composant d’interféromètre 100 selon un exemple de réalisation de l’invention. La figure montre une section d’un exemple de réalisation du composant d’interféromètre 100 avec des zones transparentes situées globalement à deux hauteurs de colonne différentes. Le composant d’interféromètre 100 comporte un résonateur optique 102 qui est ici, par exemple, un résonateur Fabry-Pérot appelé ci-après en abrégé simplement résonateur. Ce résonateur a un premier élément de miroir 104 ainsi qu’un second élément de miroir 106 situé à une distance déterminée du premier élément de miroir 104. Les deux éléments de miroir 104, 106 de la figure 1 sont réalisés à titre d’exemple sous la forme de couches de miroir divisées en un premier segment transparent 108 et un second segment transparent 110 pour laisser passer la lumière à travers le résonateur 102. Les deux segments transparents 108, 110 diffèrent en ce que les éléments de miroir 104, 106 des segments transparents 108, 110 ont entre eux un intervalle différent. A titre d’exemple, les éléments de miroir 104, 106 du premier segment transparent 108 sont écartés d’une distance moindre que dans le second segment transparent 110.
Selon l’exemple de réalisation de la figure 1, on réalise la variation de l’intervalle en fonction des segments en ce que le premier élément de miroir 104 présente une partie en creux 112 dans la région du second segment transparent 110 ; les éléments de miroir 104, 106 sont décalés parallèlement en hauteur l’un par rapport à l’autre au niveau de cette partie en creux. Selon l’exemple de réalisation, en plus ou en variante, le second élément de miroir 106 peut avoir une partie en creux ou en relief au niveau d’au moins l’un des deux segments transparents 108, 110.
Comme le montre, à titre d’exemple, la figure 1, le second élément de miroir 106 est installé de manière mobile sur le premier élément de miroir 104 grâce à une perforation 114 selon l’axe optique 116 du composant d’interféromètre 100, de façon mobile sur le premier élément de miroir 104. La distance entre les deux éléments de miroir 104, 106 se modifie par la commande réciproque du miroir à l’aide des deux électrodes de commande 118.
Selon cet exemple de réalisation, le résonateur optique 102 est combiné à une couche de substrat 120 en une matière transparente avec le composant de filtre 122 de l’interféromètre Fabry-Pérot. Le premier élément de miroir 104 est appliqué à la surface de la couche de substrat 120. La couche de substrat 120 a une première zone transparente 124 en regard du premier segment transparent 108 et une seconde zone transparente 126 pour laisser passer la lumière incidente traversant le résonateur optique 102 dans la couche de substrat 120 par rapport au second segment transparent 110. A titre d’exemple, les deux zones transparentes 124, 126 sont formées chacune par une cavité continue dans la couche de substrat 120 et dont les surfaces de paroi ont en plus un revêtement réfléchissant 128.
En outre, le composant d’interféromètre 100 a une unité de détecteur 130 encore appelée composant détecteur qui est divisé de façon analogue au résonateur optique 102 en un premier segment de détecteur 132 et un second segment de détecteur 134. L’unité de détecteur 130 est combinée à la couche de substrat 120 de façon que le premier segment de détecteur 132 soit en regard de la première zone transparente 124 et que le second segment de détecteur 134 soit en regard de la seconde zone transparente 126. La couche de substrat 120 est ainsi située entre le résonateur optique 102 et l’unité de détecteur 130 ; l’axe optique 116 constitue en même temps l’axe optique de l’unité de détecteur 130. Le premier segment de détecteur 132 mesure l’intensité de la lumière incidente passant par la première zone transparente 124 et fournit un premier signal de mesure 136 correspondant. De manière analogue, le second segment de détecteur 134 mesure l’intensité de la lumière incidente ayant traversé la seconde zone 126 et fournissant un second signal de mesure 138 correspondant. L’unité de détecteur 130 est reliée à un dispositif 140 comportant une unité de commande 143 pour l’unité d’enregistrement 142 servant à enregistrer les deux signaux de mesure 136, 138, par une exemple une unité de commande 143 pour régler l’intervalle du résonateur ainsi qu’une unité d’exploitation 144 pour saisir et exploiter les deux signaux de mesure 136, 138 en fonction de l’intervalle du résonateur.
Le résultat de l’exploitation par l’unité d’exploitation 144 est un signal d’exploitation 146 qui représente le spectre de transmission du composant d’interféromètre 100.
En option, l’unité de détecteur 130 comporte en plus des deux segments de détecteur 132, 134, un segment de référence 148 extérieur aux deux zones transparentes 124, 126 pour une mesure d’obscurité en utilisant le dispositif 140.
Selon l’exemple de réalisation de la figure 1, le résonateur optique 102 est en plus divisé en un troisième segment traversant 150 en ce que les deux éléments de miroir 104, 106 se situent à la même distance que le segment transparent 108. Le second segment transparent 110 est situé entre le premier segment transparent 108 et le troisième segment transparent 150. Selon l’exemple de réalisation, le résonateur optique 102 est formé de plus d’un segment transparent. Les segments transparents 108, 110, 150 sont séparés les uns des autres par une zone transitoire 152 ; à titre d’exemple, les deux côtés d’un enfoncement dans le premier élément de miroir 104 de l’exemple de réalisation de la figure 1 signifient que dans la zone transitoire 152 entre les deux segments de miroir 104, 106 on a réalisé un élément réducteur d’accrochage 154 en option ; il s’agit ici d’une butée antiadhérence réalisée à titre d’exemple, à la figure 1, dans le second élément de miroir 106. Les surfaces de la couche de substrat 120 peuvent être munies d’une zone transitoire 152 en forme de miroir ou être revêtues d’une matière absorbante particulière.
Selon la segmentation du résonateur optique 102, la couche de substrat 120 est réalisée avec une troisième zone transparente 156 qui est également ici sous la forme d’un creux en regard du troisième segment transparent 150 pour guider la lumière incidente traversant le premier segment transparent 150 vers le troisième segment de détecteur 158 de l’unité de détecteur 130, installé en regard de la troisième zone transparente 156. De façon analogue aux deux seg ίο ments de détecteur 132, 134, le troisième segment de détecteur 158 fournit un troisième signal de mesure 160 représentant l’intensité spectrale de la lumière ayant traversé la troisième zone transparente 156 ; le dispositif 140 transmet le spectre de transmission du composant d’interféromètre 100 en utilisant en plus le troisième signal de mesure 160.
La figure 2 est un schéma d’un exemple de réalisation d’un composant d’interféromètre 100 selon l’invention. Le composant d’interféromètre 100 correspond, pour l’essentiel, au composant d’interféromètre décrit ci-dessus principalement à l’aide de la figure 1, à la différence que la couche de substrat 120 ne comporte pas de cavité dans la première zone transparente à la lumière 124. Au lieu de cela, la fraction de grande longueur d’onde de la lumière incidente passant par le premier segment transparent 108, est transmise par la matière transparente à la lumière de la couche de substrat 120 ; cette couche est ici réalisée, par exemple, sous la forme d’un substrat de silicium alors que la composante de courte longueur d’onde de la lumière est absorbée. Ainsi, la première zone transparente à la lumière 124 fonctionne comme filtre à arêtes du premier segment transparent 108.
Différents exemples de réalisation de la solution présentée ci-dessus seront développés de nouveau ci-après.
Le composant d’interféromètre 100 est, par exemple, un système de spectromètre intégré, micromécanique, formé d’une unité de détecteur 130 et d’un composant d’interféromètre Fabry-Pérot (non actionné) ; ainsi le résonateur optique 102 a un axe optique commun. Ces deux éléments ont une division commune dans différentes zones. Le résonateur optique 102 a au moins deux éléments de miroir 104, 106 avec au moins deux éléments traversant 108, 110 qui sont ainsi caractérisés de sorte que l’intervalle de colonne entre les éléments de miroir 104, 106 varie d’un segment transparent à un segment transparent. En outre, l’un des deux segments de miroir a, par rapport à la surface de miroir résiduelle, un segment transparent décalé parallèlement en hauteur. Par exemple dans les zones transitoires 152 entre et/ou dans les segments transparents, la couche de substrat 120 a des zones opaques pour au moins une partie de la plage des longueurs d’onde. L’opacité à la lumière par des substrats est obtenue en donnant un effet de miroir ou d’absorption selon une forme de réalisation au revêtement métallique. La couche de substrat 120 peut fonctionner comme filtre passelong sous une partie des segments transparents.
En option, au moins l’un des éléments de miroir a des bosses d’arrêt anti-adhérence comme élément réducteur d’accrochage 154 dans la zone de transition 152.
L’unité de détecteur 130 présente la même division et la même disposition des segments que le composant de filtre 122. Les différents segments de détecteur sont lisibles séparément. Ici, l’unité de détecteur 130 est installée selon le même axe optique de sorte que l’on a un chevauchement maximum entre les segments. Ainsi, les segments transparents sont associés par leurs caractéristiques de transmission spectrale, de manière univoque à un segment de détecteur.
Dans les interféromètres Fabry-Pérot, la condition de résonance pour la transmission maximale (dans le cas le plus simple l’intervalle des colonnes correspond à un multiple entier des longueurs d’ondes) correspond à côté de la longueur d’onde fondamentale, également à des longueurs d’ondes d’ordre supérieur. Cela se traduit en ce que la zone utilisable spectralement d’un interféromètre de Fabry-Pérot est limitée dans la plage des longueurs d’ondes les plus courtes chaque fois par le mode le plus proche dans le sens de l’élévation ou encore en cas d’absence d’un filtre passe-long, les spectres sont combinés au spectre d’ordre supérieur comme le montre la figure 3.
Pour l’analyse, notamment pour l’analyse de produits alimentaires, il est souhaitable, de façon générale, d’avoir un spectre utile aussi court que possible. Plus la zone à mesurer spectralement est grande et avec une forte résolution, et mieux on pourra classifier correctement les mesures et le cas échéant rejeter les éléments ne répondant pas aux critères, ce qui permet de nombreux domaines d’application.
Grâce à l’invention, différentes longueurs d’ondes peuvent être en résonance dans différents segments transparents et être ainsi transmises. En particulier, les zones accordées ne correspondent pas aux mêmes ordres. Pour des différences connues de hauteur d’intervalles, on peut ainsi mettre en relation les longueurs d’ondes de résonance. En formant la différence des courbes de mesure d’intensité des différents segments transparents, le procédé permet de reconstruire le spectre initial dans une plus grande plage spectrale que cela ne serait possible avec une seule hauteur d’intervalle.
Les écarts différents des miroirs se réalisent, par exemple, par une mise en structure préalable de la couche de substrat 120 suivie du dépôt des couches réfléchissantes 104, 106.
Comme déjà indiqué, la couche de substrat 102 comporte, par exemple, dans les zones de transition 152 entre et/ou dans les segments transparents, des zones opaques pour au moins une partie de la plage spectrale. Cela permet également en formant la différence des courbes d’intensité des différentes plages transparentes, de reconstruire le spectre d’origine, de manière univoque, dans une plus grande plage spectrale.
La surface réfléchissante 128 évite que des rayons partiels inclinés, filtrés, sortent de la fenêtre d’un certain segment transparent et soient absorbés par l’unité de détecteur 130 du segment de détecteur voisin, ce qui fausserait le signal.
Au moins l’un des segments réfléchissant comporte notamment dans la zone transitoire 152, un élément réducteur d’accrochage 154. La zone transitoire 152 entre les segments transparents ne peut être utilisée du point de vue optique car elle n’a pas d’intervalle défini. Il serait intéressant d’utiliser la zone transitoire 152 comme élément réducteur d’accrochage 154, car il perturberait plutôt les segments transparents.
Selon un autre exemple de réalisation, les segments de détecteurs sont réalisés en différentes matières de détecteur. Les différents segments de détecteur reçoivent en option des filtres passe-bande ou des filtres à arêtes.
Pour éviter la diaphonie d’un segment transparent vers le segment de détecteur voisin qui ne correspond pas, on installe le composant de filtre pour que la couche de substrat 120 soit tournée vers le haut. On réduit ainsi la distance verticale entre l’unité de détecteur 130 et le composant de filtre 122 et ainsi la diaphonie. L’application peut se faire selon la technique Flip-Chip (puce retournée) par la technique de montage et de liaison ou aussi par le procédé de liaison de puce d’une plaquette de filtre comportant le composant de filtre 122 sur une puce de détecteur comportant l’unité de détecteur 130.
En variante, on intègre, de manière monolithique les segments de détecteur sur le côté substrat de la plaquette de filtre.
La figure 3 montre un diagramme 300 représentant la transmission normalisée dans un interféromètre Fabry-Pérot en fonction d’une longueur d’onde.
La figure 4 montre un ordinogramme d’un procédé 400 de réalisation d’un composant d’interféromètre selon un exemple de réalisation comme le composant d’interféromètre décrit ci-dessus à l’aide des figures 1 et 2. Ainsi, dans l’étape 410 on forme un résonateur optique à partir d’au moins un premier élément de filtre et d’un second élément de filtre. Les deux éléments de filtre seront installés l’un en face de l’autre dans l’étape 410 pour être divisés au moins en un premier segment transparent et un second segment transparent pour laisser passer la lumière à travers le résonateur optique, le premier élément de miroir et le second élément de miroir dans le premier segment transparent ayant un autre écart l’un par rapport à l’autre que dans le second segment transparent.
La figure 5 montre un ordinogramme d’un procédé 500 pour gérer un composant d’interféromètre selon un exemple de réalisation de l’invention. Le procédé 500 s’exécute, par exemple, en utilisant un dispositif tel que celui décrit ci-dessus à l’aide de la figure 1. Dans l’étape 510 on enregistre les deux signaux de mesure. Dans l’étape 520 on exploite les deux signaux de mesure pour déterminer le spectre de transmission du composant d’interféromètre.
100
102
104
106
108
110
112
114
116
118
120
122
124
126
128
130
132
134
136
138
140
142
143
144
146
148
150
152
154
156
158
160
400
NOMENCLATURE DES ELEMENTS PRINCIPAUX
Composant d’interféromètre
Résonateur optique
Premier élément de miroir
Second élément de miroir
Premier segment transparent
Second segment transparent
Partie en creux
Perforation
Axe optique
Electrode de commande
Couche de substrat
Composant de filtre d’interféromètre Fabry-Pérot
Première zone transparente / zone de passage de lumière Seconde zone transparente / zone de passage de lumière Surface réfléchissante
Unité de détecteur
Premier segment de détecteur
Second segment de détecteur
Premier signal de mesure
Second signal de mesure
Dispositif d’enregistrement des signaux de mesure
Unité d’enregistrement
Unité de commande
Unité d’exploitation
Signal d’exploitation
Segment de référence
Troisième segment transparent
Zone transitoire
Elément réducteur d’accrochage
Troisième zone transparente
Troisième segment de détecteur
Troisième signal de mesure
Procédé de réalisation d’un composant d’interféromètre
410 500 510-520 Etape du procédé Procédé de gestion d’un composant d’interféromètre Etapes du procédé 500

Claims (13)

  1. REVENDICATIONS
    1°) Composant d’interféromètre (100), caractérisé en ce qu’il comprend un résonateur optique (102) ayant au moins un premier élément de miroir (104) et un second élément de miroir (106) installé en regard du premier élément de miroir (104), le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) étant divisés en au moins un premier segment transparent (108) et un second segment transparent (110) pour laisser passer la lumière à travers le résonateur optique (102), le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) étant écartés au niveau du premier segment transparent (108), d’un intervalle différent de celui dans le second segment transparent (110).
  2. 2°) Composant d’interféromètre (100) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu’il comporte une unité de détecteur (130) pour détecter la lumière,
    Tunité de détecteur (130) étant segmentée en au moins un premier segment de détecteur (132) pour fournir un premier signal de mesure (136) et en un second segment de détecteur (134) pour fournir un second signal de mesure (138),
    Tunité de détecteur (130) et le résonateur optique (102) étant combinés pour que le premier segment de détecteur (132) et le premier segment transparent (108) soient l’un face à l’autre et que le second segment de détecteur (134) et le second segment transparent (110) soient l’un en face de l’autre.
  3. 3°) Composant d’interféromètre (100) selon Tune des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu’il comprend une couche de substrat (120) ayant au moins une première zone transparente (124) et une seconde zone transparente (126) pour laisser passer la lumière à travers la couche de substrat (120), la couche de substrat (120) et le résonateur optique (102) étant combinés pour que la première zone transparente (124) et le premier segment transparent (108) soient en face l’un de l’autre.
  4. 4°) Composant d’interféromètre (100) selon les revendications 2 et 3, caractérisé en ce que l’unité de détecteur (130), la couche de substrat (120) et le résonateur optique (102) sont combinés pour que la première zone transparente (124) se situe entre le premier segment transparent (108) et le premier segment de détecteur (132) et, la seconde zone transparente (126) se situe entre le second segment passant (110) et le second segment de détecteur (134).
  5. 5°) Composant d’interféromètre (100) selon l’une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que la première zone transparente (124) et/ou la seconde zone transparente (126) sont formées par une cavité dans la couche de substrat (120) et/ou dans lequel la première zone (124) et la seconde zone (126) sont transparentes pour des longueurs d’onde différentes.
  6. 6°) Composant d’interféromètre (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le premier élément de miroir (104) et/ou le second élément de miroir (106) comportent dans un premier segment transparent (108) et/ou le second segment passant (110), une partie en creux (112).
  7. 7°) Composant d’interféromètre (100) selon Tune des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’il comporte au moins un élément réducteur d’accrochage (154) pour éviter l’accrochage du premier élément de miroir (104) au second élément de miroir (106), l’élément réducteur d’accrochage (154) étant dans la zone transitoire (152) entre le premier segment transparent (108) et le second segment transparent (110), entre le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106).
  8. 8°) Composant d’interféromètre (100) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) sont divisés en au moins un troisième segment transparent (150) pour laisser passer la lumière à travers le résonateur optique (102), le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) du troisième segment transparent (150) ayant entre eux la même distance que dans le premier segment transparent (108).
  9. 9°) Composant d’interféromètre (100) selon la revendication 8, caractérisé en ce que le second segment transparent (110) se trouve entre le premier segment transparent (108) et le troisième segment transparent (150).
  10. 10°) Procédé (400) pour réaliser un composant d’interféromètre (100) comprenant les étapes suivantes consistant à :
    former (410) un résonateur optique (102) ayant au moins un premier élément de miroir (104) et un second élément de miroir (106), le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) se faisant face et étant divisés en au moins un premier segment transparent (108) et un second segment transparent (110) pour laisser passer la lumière à travers le résonateur optique (102), le premier élément de miroir (104) et le second élément de miroir (106) du premier segment transparent (108) étant à un intervalle différent de celui dans le second segment transparent (110).
  11. 11°) Procédé (500) de gestion d’un composant d’interféromètre (100) selon l’une des revendications 2 à 9, caractérisé en ce qu’il comprend les étapes suivantes consistant à
    - enregistrer (510) le premier signal de mesure (136) et le second signal de mesure (138) et,
    - déterminer (520) le spectre de transmission du composant d’interféromètre (100) en utilisant le premier signal de mesure
    5 (136) et le second signal de mesure (138).
  12. 12°) Dispositif (140) comportant des unités (142, 144) pour appliquer le procédé (400) selon la revendication 10 et/ou le procédé (500) selon la revendication 11.
  13. 13°) Programme d’ordinateur pour appliquer le procédé (400) de la revendication 10 ou le procédé (500) de la revendication 11 et support de mémoire lisible par une machine avec l’enregistrement de ce programme d’ordinateur.
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