FR3037002A1 - ELECTRONIC DOCUMENT COMPRISING A MICROCIRCUIT AND A DEVICE DETECTING MICROWAVE EXPOSURE - Google Patents

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Abstract

Document électronique (10) comprenant un microcircuit (8) et un dispositif (1) apte à détecter une exposition à une dose de rayonnement micro-onde inférieure à une dose affectant le microcircuit (8).Electronic document (10) comprising a microcircuit (8) and a device (1) able to detect exposure to a dose of microwave radiation less than a dose affecting the microcircuit (8).

Description

1 La présente invention concerne un document électronique comprenant un microcircuit et un dispositif apte à détecter une exposition à un rayonnement micro-onde, afin de détecter 5 une exposition du microcircuit à un rayonnement micro-onde. Dans le domaine des documents électroniques, il est connu d'intégrer un microcircuit. On entend par document électronique, des documents ou objets destinés à contenir des informations relatives à l'utilisateur, ces informations 10 étant inscrite sur le document lui-même et sur le microcircuit. Un tel microcircuit offre classiquement des fonctions sécurisées de stockage d'information et de calcul. Ces fonctions sont typiquement utilisées pour stocker des informations confidentielles, telles que des informations 15 relatives au porteur dudit document, du matériel biométrique ou encore du matériel cryptographique permettant de réaliser des contrôles tendant à tester l'intégrité, l'authenticité et la provenance du document sécurisé et des données qu'il stocke. 20 Une application connue d'un tel document électronique est la réalisation d'un document identitaire, telle une carte d'identité, ou un document de transport, tel un passeport, associé à un porteur, et qui permet d'authentifier ledit porteur, au cours d'une vérification d'identité, par exemple 25 lors d'un passage de frontière. Les contrôles mettant en oeuvre un microcircuit apportent un haut niveau de sécurité et permettent de plus, avantageusement, d'automatiser la réalisation des contrôles. Par conséquent, de tels contrôles sont de plus en plus 30 utilisés. Or il apparait qu'une exposition d'un tel microcircuit à un rayonnement micro-onde, peut affecter, de manière permanente, le microcircuit, et qu'une dose de rayonnement micro-onde adaptée peut rendre le microcircuit inopérant. 35 Ceci s'effectue de plus sans affecter autrement, de manière visible, le document électronique intégrant le microcircuit. Ceci peut être mis à profit par un fraudeur qui est ainsi en mesure de rendre inopérant le microcircuit d'un document 3037002 2 électronique et ce simplement au moyen d'un ustensile répandu, en ce qu'il est présent dans la majorité des cuisines. Dans le cas d'application d'un document identitaire, un microcircuit défaillant n'interdit ni la vérification d'identité, ni le franchissement, par exemple le passage de la frontière. Au contraire, la procédure prévoit généralement que la vérification d'identité est, dans un tel cas, effectuée sur la base des seuls contrôles « manuels », sans les contrôles « électronique » employant le microcircuit. Aussi, un microcircuit inopérant est préjudiciable, en ce que le niveau de sécurité attaché à la vérification d'identité se trouve très nettement réduit, dans un tel cas. Aussi est-il fortement recherché un document électronique comprenant un microcircuit et un dispositif apte à détecter une exposition à un rayonnement micro-onde du dispositif et ainsi du microcircuit. Le dispositif d'un tel document est typiquement apte à être modifié par une exposition à un rayonnement micro-onde et à en conserver une trace, de manière persistante, et avantageusement visible à l'oeil nu. Avantageusement le dispositif est conformé pour réagir à une dose de rayonnement micro-onde inférieure à une dose affectant le microcircuit. De plus, une exposition à un rayonnement micro-onde n'étant pas nécessairement frauduleuse, une caractérisation de la dose de rayonnement micro-onde reçue est avantageuse en ce qu'elle permet d'évaluer l'intention sous-jacente à l'exposition. L'invention a pour objet un document électronique comprenant un microcircuit et un dispositif apte à détecter 30 une exposition à une dose de rayonnement micro-onde inférieure à une dose affectant le microcircuit. Selon une autre caractéristique le dispositif comprend un élément sensible réalisé en un matériau électriquement conducteur, apte à être modifié par une exposition à une 35 ladite dose. Selon une autre caractéristique l'élément sensible est disposé à proximité du microcircuit, préférentiellement superposé au microcircuit. 3037002 3 Selon une autre caractéristique le microcircuit est caractérisé par une finesse de gravure, et l'élément sensible présente au moins une dimension caractéristique inférieure ou égale à cent fois la finesse. 5 Selon une autre caractéristique la dimension caractéristique est l'épaisseur, et ladite épaisseur du matériau électriquement conducteur est comprise entre quelques nanomètres et quelques micromètres, préférentiellement comprise entre 10 nm et 4 pm. 10 Selon une autre caractéristique l'élément sensible comprend, selon une direction transverse à l'épaisseur, au moins un contour comportant au moins une saillie aiguë, une saillie présentant au moins une dimension caractéristique. Selon une autre caractéristique l'élément sensible 15 comprend en outre une deuxième saillie, et la dimension caractéristique est la distance entre les saillies. Selon une autre caractéristique l'élément sensible comprend au moins deux saillies, présentant des dimensions d'extension respectives étagées, afin de caractériser une 20 dose de rayonnement micro-onde reçue. Selon une autre caractéristique au moins un contour est conformé selon une forme fractale. Selon une autre caractéristique l'élément sensible comprend selon une direction transverse à l'épaisseur, au 25 moins deux pistes, et la dimension caractéristique est l'écartement entre lesdites au moins deux pistes et/ou la largeur d'une piste. Selon une autre caractéristique l'élément sensible comprend une pluralité de pistes disposées concentriquement.The present invention relates to an electronic document comprising a microcircuit and a device adapted to detect exposure to microwave radiation, in order to detect an exposure of the microcircuit to microwave radiation. In the field of electronic documents, it is known to integrate a microcircuit. The term "electronic document" means documents or objects intended to contain information relating to the user, this information being written on the document itself and on the microcircuit. Such a microcircuit conventionally offers secure functions of information storage and calculation. These functions are typically used to store confidential information, such as information about the bearer of said document, biometric material or even cryptographic material for carrying out checks to test the integrity, authenticity and provenance of the document. secure and data it stores. A known application of such an electronic document is the production of an identity document, such as an identity card, or a transport document, such as a passport, associated with a carrier, and which makes it possible to authenticate said carrier, during an identity check, for example when crossing a border. Controls using a microcircuit provide a high level of security and moreover, advantageously, to automate the performance of controls. Therefore, such controls are increasingly used. Now it appears that exposure of such a microcircuit to microwave radiation, can permanently affect the microcircuit, and a dose of microwave radiation adapted can make the microcircuit inoperative. This is done moreover without otherwise visibly affecting the electronic document integrating the microcircuit. This can be exploited by a fraudster who is thus able to render inoperative the microcircuit of an electronic document 3037002 2 and simply by means of a utensil spilled, in that it is present in most kitchens. In the case of application of an identity document, a faulty microcircuit does not prohibit the verification of identity or crossing, for example the crossing of the border. On the contrary, the procedure generally provides that the identity verification is, in such a case, carried out on the basis of "manual" controls only, without the "electronic" controls using the microcircuit. Also, an inoperative microcircuit is detrimental, in that the level of security attached to the identity verification is very much reduced in such a case. Also, it is highly sought for an electronic document comprising a microcircuit and a device capable of detecting exposure to microwave radiation of the device and thus the microcircuit. The device of such a document is typically able to be modified by exposure to microwave radiation and to keep a trace, persistently, and advantageously visible to the naked eye. Advantageously, the device is shaped to react to a dose of microwave radiation less than a dose affecting the microcircuit. Moreover, since exposure to microwave radiation is not necessarily fraudulent, a characterization of the dose of microwave radiation received is advantageous in that it makes it possible to evaluate the intention behind the exposure. . The invention relates to an electronic document comprising a microcircuit and a device capable of detecting exposure to a dose of microwave radiation less than a dose affecting the microcircuit. According to another characteristic, the device comprises a sensitive element made of an electrically conductive material, able to be modified by exposure to a said dose. According to another characteristic, the sensitive element is disposed near the microcircuit, preferably superimposed on the microcircuit. According to another characteristic, the microcircuit is characterized by a fineness of etching, and the sensing element has at least one characteristic dimension less than or equal to a hundred times the fineness. According to another characteristic, the characteristic dimension is the thickness, and said thickness of the electrically conductive material is between a few nanometers and a few micrometers, preferably between 10 nm and 4 μm. According to another characteristic, the sensing element comprises, in a direction transverse to the thickness, at least one contour comprising at least one acute projection, a projection having at least one characteristic dimension. According to another characteristic, the sensitive element 15 further comprises a second projection, and the characteristic dimension is the distance between the projections. According to another characteristic, the sensitive element comprises at least two protrusions, having stepped respective extension dimensions, in order to characterize a dose of microwave radiation received. According to another characteristic, at least one contour is shaped according to a fractal shape. According to another characteristic, the sensing element comprises, in a direction transverse to the thickness, at least two tracks, and the characteristic dimension is the spacing between said at least two tracks and / or the width of a track. According to another characteristic, the sensitive element comprises a plurality of tracks arranged concentrically.

Selon une autre caractéristique l'élément sensible comprend un matériau métallique présentant une forte conductivité électrique, préférentiellement une forte conductivité thermique, et encore préférentiellement choisi parmi Cu, Au, Ag.According to another characteristic the sensitive element comprises a metallic material having a high electrical conductivity, preferably a high thermal conductivity, and still preferably selected from Cu, Au, Ag.

Selon une autre caractéristique le dispositif comprend encore un composant thermo sensible, disposé à proximité de l'élément sensible. Selon une autre caractéristique le dispositif comprend 3037002 4 encore un témoin, reproduisant, au moins partiellement, la forme de l'élément sensible, et insensible au dit rayonnement micro-onde. Selon une autre caractéristique le dispositif comprend 5 encore un deuxième élément sensible, apte à être modifié par une exposition à une dose de rayonnement micro-onde supérieure à une dose affectant le microcircuit. L'invention concerne encore un procédé de fabrication d'un tel document électronique où l'élément sensible est 10 obtenu par impression jet d'encre avec une encre conductrice. D'autres caractéristiques, détails et avantages de l'invention ressortiront plus clairement de la description détaillée donnée ci-après à titre indicatif en relation avec 15 des dessins sur lesquels : - la figure la montre un document électronique, et la figure lb est une vue éclatée d'un tel document, - la figure 2 illustre un mode de réalisation, basé sur au moins une saillie, 20 - les figures 3-5 illustre l'érosion des saillies et le principe d'étagement, - la figure 6 illustre un principe de réalisation d'une courbe fractale, - les figures 7 et 8 illustrent deux raffinements 25 successifs d'une courbe fractale, la figure 9 illustre un autre mode de réalisation, basé sur des pistes, - la figure 10 illustre un mode de réalisation, comprenant des pistes concentriques.According to another characteristic, the device further comprises a heat-sensitive component disposed near the sensitive element. According to another characteristic the device further comprises a control, reproducing, at least partially, the shape of the sensitive element, and insensitive to said microwave radiation. According to another characteristic, the device further comprises a second sensitive element, capable of being modified by exposure to a dose of microwave radiation greater than a dose affecting the microcircuit. The invention further relates to a method of manufacturing such an electronic document wherein the sensing element is obtained by inkjet printing with a conductive ink. Other characteristics, details and advantages of the invention will emerge more clearly from the detailed description given below for information in connection with drawings in which: FIG. 1a shows an electronic document, and FIG. An exploded view of such a document, - Figure 2 illustrates an embodiment, based on at least one projection, - Figures 3-5 illustrates the erosion of the projections and the staging principle, - Figure 6 illustrates a principle of producing a fractal curve, - Figures 7 and 8 illustrate two successive refinements of a fractal curve, Figure 9 illustrates another embodiment, based on tracks, - Figure 10 illustrates a mode of realization, comprising concentric tracks.

30 Avant de commencer, il convient de préciser les notations utilisées pour les signes de référence. Un même nombre représente le même élément. Un chiffre seul peut être utilisé pour désigner un élément de manière générique. Ce chiffre 35 peut être complété par une lettre ou par un deuxième chiffre afin de préciser une occurrence particulière d'un tel élément. Ainsi le chiffre 4 est utilisé pour désigner une saillie. Une saillie 4 représente de manière générique toutes 3037002 5 les saillies. La saillie 4a, 4i ou 42 désigne une déclinaison particulière d'une saillie. Une même lettre, respectivement un même deuxième chiffre, fait référence à la même déclinaison. Ainsi 6 désigne, de manière générique, la 5 dimension d'extension d'une saillie 4. 6b, respectivement 63, désigne la dimension d'extension de la saillie 4b, respectivement 43. L'invention concerne un document électronique 10. Un exemple d'un tel document électronique est représenté aux 10 figures la et lb. Il s'agit d'une carte 10 comprenant un corps formé de plusieurs couches plastiques 101 à 106. Un module 30 est encarté de manière solidaire dans une cavité 31 du corps. Ce module comporte un microcircuit 8 et des contacts métalliques 32 servant d'interface avec un terminal 15 extérieur. Selon l'invention il est adjoint au document électronique 10 un dispositif 1 apte à détecter une exposition à un rayonnement micro-onde. Un document électronique 10 est typiquement basé sur un support mince, généralement formé d'au moins une feuille de 20 papier, de carton, de plastique ou de matériau équivalent apte à être conformé en feuille. En plus d'au moins un microcircuit 8, il peut encore comprendre une antenne 9 composée de spires conductrices et insérée dans le support.Before starting, the notation used for the reference signs should be specified. The same number represents the same element. A single digit can be used to designate an element generically. This figure 35 may be supplemented by a letter or a second digit in order to specify a particular occurrence of such an element. Thus the number 4 is used to designate a projection. A protrusion 4 generically represents all the protrusions. The projection 4a, 4i or 42 designates a particular declination of a projection. The same letter, respectively the same second number, refers to the same declination. Thus 6 generically denotes the extension dimension of a projection 4. 6b, respectively 63, denotes the extension dimension of the projection 4b, respectively 43. The invention relates to an electronic document 10. An example of such an electronic document is shown in FIGS. 1a and 1b. This is a card 10 comprising a body formed of a plurality of plastic layers 101 to 106. A module 30 is integrally secured in a cavity 31 of the body. This module comprises a microcircuit 8 and metal contacts 32 serving as an interface with an external terminal. According to the invention there is added to the electronic document 10 a device 1 able to detect exposure to microwave radiation. An electronic document 10 is typically based on a thin support, generally formed of at least one sheet of paper, cardboard, plastic or equivalent material capable of being formed into a sheet. In addition to at least one microcircuit 8, it may further comprise an antenna 9 composed of conductive turns and inserted into the support.

25 Comme il a été décrit précédemment, un microcircuit 8 peut être dégradé, jusqu'à éventuellement le rendre inutilisable, par une exposition à un rayonnement micro-onde. Aussi, un document électronique 10 est avantageusement muni d'au moins un dispositif 1 apte à détecter que le dispositif 30 1, et par extension le microcircuit 8, a été exposé à un rayonnement micro-onde. A défaut d'exposition, la cause d'une panne ou défaillance du microcircuit 8 peut provenir d'une autre cause. S'il est détecté que le dispositif 1 a été soumis à une 35 exposition, il peut être supposé que le microcircuit 8 a lui aussi été soumis à une exposition et vraisemblablement à la même exposition. Le dispositif 1 peut être disposé en tout point du document électronique 10. Une source classique de 3037002 6 rayonnement micro-onde, sous la forme d'un four à micro-ondes domestique, ne permet pas de réaliser un rayonnement très focalisé. De plus le mode d'utilisation d'un tel four, nécessitant l'insertion globale du document électronique en 5 entier conduit à une exposition globale. Aussi une exposition affectant le microcircuit 8 a toutes les chances d'affecter le document électronique 10 en entier, y compris le dispositif 1. Cependant, la supposition précédente est d'autant plus 10 juste que le dispositif 1 est disposé à proximité du microcircuit 8. Afin d'éviter qu'une source de rayonnement micro-onde plus focalisée puisse affecter le microcircuit 8 sans affecter le dispositif détecteur 1, le dispositif 1 est avantageusement disposé au plus près du microcircuit 8. Une 15 disposition particulièrement avantageuse consiste à superposer le dispositif 1 au-dessus ou en dessous du microcircuit 8. Cette caractéristique préférentielle est possible pour les modes de réalisation où le dispositif 1 présente une très faible épaisseur.As previously described, a microcircuit 8 can be degraded, possibly to the point of rendering it unusable, by exposure to microwave radiation. Also, an electronic document 10 is advantageously provided with at least one device 1 capable of detecting that the device 30 1, and by extension the microcircuit 8, has been exposed to microwave radiation. Without exposure, the cause of a failure or failure of the microcircuit 8 may come from another cause. If it is detected that the device 1 has been exposed, it can be assumed that the microcircuit 8 has also been subjected to exposure and presumably to the same exposure. The device 1 may be disposed at any point of the electronic document 10. A conventional source of microwave radiation, in the form of a domestic microwave oven, does not allow to achieve highly focused radiation. Moreover, the mode of use of such an oven, requiring the global insertion of the entire electronic document leads to an overall exposure. Also an exposure affecting the microcircuit 8 is likely to affect the entire electronic document 10, including the device 1. However, the previous assumption is all the more just that the device 1 is disposed near the microcircuit 8 In order to prevent a more focused microwave radiation source from affecting the microcircuit 8 without affecting the detector device 1, the device 1 is advantageously arranged as close as possible to the microcircuit 8. A particularly advantageous arrangement consists in superimposing the device 1 above or below the microcircuit 8. This preferred feature is possible for embodiments where the device 1 has a very small thickness.

20 La localisation du dispositif 1, relativement au microcircuit 8, permet de supposer que le microcircuit 8 est soumis à la même exposition, que le dispositif 1. Ceci est d'autant plus certain que le dispositif 1 est proche du microcircuit 8 et donc vraisemblablement exposé aux mêmes 25 doses. L'estimation ou la caractérisation de la dose reçue par le dispositif 1 est ainsi indicative de la dose reçue par le microcircuit 8. Le dispositif 1 permet avantageusement de détecter une exposition à une dose de rayonnement micro-onde inférieure à 30 une dose affectant le microcircuit 8. Ainsi en supposant que le dispositif 1 reçoit la même dose que le microcircuit 8, le dispositif 1 rend perceptible l'exposition du document avant que le microcircuit 8 ne soit affecté. Ainsi, même en cas d'exposition à une dose insuffisante 35 pour affecter le microcircuit 8, cette exposition peut être détectée. La dose affectant le microcircuit 8 peut être toute dose produisant un effet permanent, ou non, sur le microcircuit 8 3037002 7 et donc toute dose au moins égale à une dose modifiant le comportement du microcircuit 8, relativement à son fonctionnement nominal. Dans le cas, décrit plus loin, où le dispositif 1 est 5 configuré selon plusieurs doses détectables étagées, au moins une de ces doses détectables est inférieure à la dose affectant le microcircuit 8. De manière générale, un microcircuit 8 peut être caractérisé par une finesse de gravure. Cette finesse de 10 gravure est indicative de la dimension minimale (épaisseur, largeur par ex) des pistes conductrices internes au microcircuit 8. La finesse est un indicateur connu de la résistance d'un circuit électronique à une radiation, qu'elle soit d'origine nucléaire, cosmique ou micro-onde. A mesure 15 que diminue la finesse avec l'évolution des technologies électroniques et qu'augmente la densité composants, diminue aussi la résistance de radiations. Afin de détecter une exposition, le dispositif 1 comprend 20 élément sensible 2. Cet élément sensible 2 est un électriquement conducteur afin d'être sensible aux micro-ondes et de pouvoir être modifié par une telle exposition. C'est l'élément sensible 2, partie sensible du dispositif 1, qui est plus particulièrement disposé à proximité du 25 microcircuit 8. Avantageusement cet élément sensible 2 est conformé de manière à être sensible pour une dose inférieure à la dose affectant le microcircuit 8. Cette conformation comprend le choix de la matière constitutive, ses dimensions, ainsi que 30 la ou les formes. Pour les dimensions, l'élément sensible 2 présente une ou plusieurs dimensions, que l'on qualifie de caractéristique. Selon une caractéristique importante une telle dimension caractéristique de l'élément sensible 2 est en relation avec 35 la finesse du microcircuit 8. Ainsi, si l'on considère que l'élément sensible 2 est composé d'un matériau présentant la même sensibilité aux micro-ondes que le microcircuit 8, pour que l'élément sensible 2 réagisse à une dose inférieure à une d'intégration des l'électronique aux 3037002 8 dose affectant le microcircuit 8, il convient que une au moins des dimensions caractéristiques de l'élément sensible 2 soit inférieure ou égale à la finesse, cette finesse étant exprimée comme une dimension.The location of the device 1, relative to the microcircuit 8, makes it possible to assume that the microcircuit 8 is subjected to the same exposure, as the device 1. This is all the more certain that the device 1 is close to the microcircuit 8 and therefore presumably exposed to the same 25 doses. The estimation or characterization of the dose received by the device 1 is thus indicative of the dose received by the microcircuit 8. The device 1 advantageously makes it possible to detect exposure to a dose of microwave radiation less than a dose affecting the microcircuit 8. Thus assuming that the device 1 receives the same dose as the microcircuit 8, the device 1 makes perceptible the exposure of the document before the microcircuit 8 is affected. Thus, even if exposure to a dose insufficient to affect the microcircuit 8, this exposure can be detected. The dose affecting the microcircuit 8 can be any dose producing a permanent effect, or not, on the microcircuit 8 and therefore any dose at least equal to a dose modifying the behavior of the microcircuit 8, relative to its nominal operation. In the case described below, where the device 1 is configured in several staggered detectable doses, at least one of these detectable doses is less than the dose affecting the microcircuit 8. In general, a microcircuit 8 may be characterized by a finesse of engraving. This fineness of etching is indicative of the minimum dimension (thickness, width, for example) of the conductive tracks internal to the microcircuit 8. The fineness is a known indicator of the resistance of an electronic circuit to a radiation, whether it be nuclear, cosmic or microwave origin. As the fineness with the evolution of electronic technologies decreases and the component density increases, so does the resistance of radiation. In order to detect an exposure, the device 1 comprises a sensitive element 2. This sensitive element 2 is electrically conductive in order to be sensitive to microwaves and to be able to be modified by such exposure. It is the sensitive element 2, sensitive part of the device 1, which is more particularly disposed near the microcircuit 8. Advantageously, this sensitive element 2 is shaped so as to be sensitive for a dose lower than the dose affecting the microcircuit 8 This conformation comprises the choice of the constituent material, its dimensions, as well as the shape or forms. For the dimensions, the sensing element 2 has one or more dimensions, which one qualifies as characteristic. According to an important characteristic such a characteristic dimension of the sensitive element 2 is related to the fineness of the microcircuit 8. Thus, if it is considered that the sensitive element 2 is composed of a material having the same sensitivity to the micro As the microcircuit 8, for the sensitive element 2 to react at a dose less than one integration of electronics to the dose affecting the microcircuit 8, it is appropriate that at least one of the characteristic dimensions of the element sensitive 2 is less than or equal to the fineness, this fineness being expressed as a dimension.

5 Dans la pratique, du fait principalement des procédés utilisables pour réaliser un tel élément sensible 2, il est difficile de réaliser cette caractéristique. Ainsi pour une finesse typique de 40 nm, il est très délicat de réaliser un élément sensible présentant une telle dimension 10 caractéristique, par exemple l'épaisseur, inférieure ou égale à 40 nm. Cependant, un microcircuit 8 est classiquement protégé de l'exposition aux micro-ondes par son emballage qui réalise une atténuation non négligeable. Aussi en tenant compte de 15 cette atténuation, il convient que une au moins des dimensions caractéristiques de l'élément sensible 2 soit inférieure ou égale à la finesse multipliée par l'atténuation. Ceci permet de conserver la propriété avantageuse de détection par le dispositif 1 pour une dose 20 inférieure à la dose affectant le microcircuit 8. Une atténuation typique étant égale à cent, il est possible d'accepter une dimension caractéristique inférieure ou égale à cent fois la finesse. De manière connue un rayonnement micro-onde agit 25 principalement aux frontières d'un élément, sur ses bords, en limite de matière. Aussi la ou les dimensions caractéristiques est/sont mesurées entre deux bords, limite de matière, par exemple en épaisseur ou en largeur. Plusieurs modes de réalisation d'un dispositif 1 vont 30 maintenant être décrits, permettant de former des bords distants de cette dimension caractéristique. Selon un mode de réalisation, la dimension caractéristique est l'épaisseur. Dans ce cas l'élément sensible 2 est un film mince. Son épaisseur est typiquement 35 comprise entre quelques nanomètres et quelques micromètres, en fonction de la finesse considérée. Préférentiellement, pour une finesse classique pour un microcircuit usuel, égale à 40 nm, l'épaisseur est comprise entre 40 nm et 4 pm.In practice, mainly because of the methods usable for producing such a sensitive element 2, it is difficult to realize this characteristic. Thus for a typical fineness of 40 nm, it is very difficult to make a sensitive element having such a characteristic dimension, for example the thickness, less than or equal to 40 nm. However, a microcircuit 8 is conventionally protected from exposure to microwaves by its packaging which achieves a significant attenuation. Also with this attenuation in mind, at least one of the characteristic dimensions of the sensing element 2 should be less than or equal to the fineness multiplied by the attenuation. This makes it possible to retain the advantageous property of detection by the device 1 for a dose less than the dose affecting the microcircuit 8. A typical attenuation being equal to one hundred, it is possible to accept a characteristic dimension less than or equal to one hundred times the finesse. In a known manner, a microwave radiation acts mainly at the boundaries of an element, on its edges, in limit of matter. Also the characteristic dimension (s) is / are measured between two edges, material limit, for example in thickness or in width. Several embodiments of a device 1 will now be described, forming edges remote from this characteristic dimension. According to one embodiment, the characteristic dimension is the thickness. In this case the sensitive element 2 is a thin film. Its thickness is typically between a few nanometers and a few micrometers, depending on the fineness considered. Preferably, for a conventional fineness for a conventional microcircuit, equal to 40 nm, the thickness is between 40 nm and 4 pm.

3037002 9 Toutefois, l'invention ne se limite pas aux dimensions citées précédemment. La tendance à la miniaturisation des microcircuits et de la finesse de gravure, ainsi que la maîtrise des technologies d'impression pourront sans nul 5 doute permettre une finesse de gravure inférieure à 40nm, par exemple lOnm. L'épaisseur pourra alors être comprise entre lOnm et 4pm. Selon un autre mode de réalisation, alternatif ou complémentaire au précédent, la dimension caractéristique est 10 transverse à l'épaisseur, soit selon la largeur ou la longueur. Dans ce mode de réalisation la dimension caractéristique est réalisée au moyen de la forme et peut prendre au moins deux variantes. Cette forme est illustrée en vue de face sur les figures 2-10.However, the invention is not limited to the dimensions mentioned above. The trend towards miniaturization of microcircuits and engraving fineness, as well as the mastery of printing technologies, will undoubtedly allow a fineness of etching of less than 40 nm, for example 10 nm. The thickness may then be between 10 nm and 4 pm. According to another embodiment, alternative or complementary to the previous one, the characteristic dimension is transverse to the thickness, either according to the width or the length. In this embodiment the characteristic dimension is realized by means of the form and can take at least two variants. This shape is illustrated in front view in Figures 2-10.

15 Selon une première variante ladite forme comprend au moins un contour comportant au moins une saillie aiguë. Une saillie présente une dimension d'extension 6, et la dimension caractéristique est la dimension d'extension 6. La dimension caractéristique peut encore être la distance entre deux 20 saillies. Tel qu'illustré en vue de face à la figure 2, un dispositif 1 comprend un élément sensible électriquement conducteur 2. Cet élément sensible 2 présente une forme apte à être modifiée par une exposition à un rayonnement micro- 25 onde. Afin de pouvoir être contrôlée et ainsi révéler une telle exposition à un rayonnement micro-onde, la modification de l'élément sensible 2 est avantageusement persistante afin de perdurer, au moins entre l'instant de l'exposition et 30 l'instant où le dispositif 1 est contrôlé. Une modification visible à l'oeil nu n'est pas obligatoire, mais facilite avantageusement le contrôle en ce qu'aucun outillage spécifique n'est nécessaire pour détecter une exposition.According to a first variant, said shape comprises at least one contour comprising at least one acute projection. A projection has an extension dimension 6, and the characteristic dimension is the extension dimension 6. The characteristic dimension may still be the distance between two projections. As illustrated in front of FIG. 2, a device 1 comprises an electrically conductive sensitive element 2. This sensitive element 2 has a shape that can be modified by exposure to microwaves. In order to be able to be controlled and thus to reveal such exposure to microwave radiation, the modification of the sensing element 2 is advantageously persistent in order to persist, at least between the moment of exposure and the moment when the Device 1 is controlled. A modification visible to the naked eye is not mandatory, but advantageously facilitates the control in that no specific tools are necessary to detect an exposure.

35 Un élément sensible 2, sous l'effet d'une exposition à un rayonnement micro-onde, devient le siège de courants induits. La circulation de ces courants provoque un premier effet thermique, échauffant l'élément sensible 2. Cet échauffement 3037002 10 peut être une première cause de modification. Cet échauffement peut causer une dessiccation, une combustion, ou encore une fusion de l'élément sensible 2. Ces différents effets peuvent causer des déformations, des fissures, des 5 fractures, qui le plus souvent sont irréversibles et assurent ainsi avantageusement une persistance de la modification. Selon une caractéristique, le ou les contour(s) 3 limitant l'élément sensible 2 comporte(nt) au moins une saillie 4 aiguë. Ceci est illustré à la figure 2 montrant un 10 exemple de réalisation. Ici un dispositif 1 comprend un élément sensible 2 sensiblement conformé en anneau. Cet anneau est limité par un contour externe 3e et par un contour interne 3i. La matière est comprise entre les deux contours 3i,3e. L'élément sensible 2 peut comprendre plusieurs 15 contours externes 3e en ce qu'il peut être composé de plusieurs parties disjointes. L'élément sensible 2 peut comprendre plusieurs contours internes 3i, distants d'une dimension caractéristique, en ce qu'une telle partie peut comprendre au moins un évidement.A sensitive element 2, under the effect of exposure to microwave radiation, becomes the seat of induced currents. The circulation of these currents causes a first thermal effect, heating the sensitive element 2. This heating 3037002 10 may be a first cause of modification. This heating may cause desiccation, combustion, or a melting of the sensitive element 2. These various effects may cause deformations, cracks, fractures, which are most often irreversible and thus advantageously ensure a persistence of the modification. According to one characteristic, the contour (s) 3 limiting the sensitive element 2 comprises (s) at least one acute projection 4. This is illustrated in Figure 2 showing an exemplary embodiment. Here a device 1 comprises a sensitive element 2 substantially shaped as a ring. This ring is limited by an outer contour 3e and an inner contour 3i. The material is between the two contours 3i, 3e. The sensing element 2 may comprise a plurality of outer contours 3e in that it may be composed of several disjoint parts. The sensing element 2 may comprise several internal contours 3i, spaced apart by a characteristic dimension, in that such a portion may comprise at least one recess.

20 Le contour externe 3e comprend une saillie illustrative 4e. Le contour interne 3i comprend une saillie illustrative 4i. Dans les deux cas, interne ou externe, une saillie est saillante ou sortante, en ce qu'elle s'étend hors du contour 3e,3i, en s'éloignant de la matière, soit selon une normale 25 sortante au contour 3e,3i. Une saillie 4 peut avoir une forme quelconque. Une saillie 4 est avantageusement aiguë en ce que son angle d'ouverture 5, ou angle dans lequel s'inscrit la saillie 4, est aigu. Ainsi l'angle d'ouverture 5i de la saillie 4i est aigu et l'angle d'ouverture 5e de la saillie 30 4e est aigu. L'angle d'ouverture 5 est de préférence inférieur à 90°. Au moins une telle saillie 4 est avantageuse, relativement à un contour 3 plus lisse, moins anguleux, en ce qu'une pointe, telle l'extrémité d'une telle saillie 4 35 favorise les modifications de l'élément sensible 2. Il apparait en effet que les « coins » tant rentrants que sortants, forment autant d'obstacles à la circulation, dans l'élément sensible 2, des courants induits par un rayonnement 3037002 11 micro-ondes. Ainsi un coin sortant, telle une extrémité de saillie 4 forme un piège pour les courants induits. La difficulté de parcours du courant conduit à une augmentation de 5 l'échauffement. Un coin rentrant, forme un diélectrique, qui ensemble avec les deux zones de l'élément sensible 2 situées de part et d'autre, forme un condensateur. Les courants circulants, et ce difficilement, tendent à claquer un tel condensateur.The outer contour 3e comprises an illustrative projection 4e. The inner contour 3i comprises an illustrative projection 4i. In both cases, internal or external, a protrusion is protruding or outgoing, in that it extends out of the contour 3e, 3i, away from the material, or in a normal outgoing to the contour 3e, 3i . A projection 4 may have any shape. A protrusion 4 is advantageously acute in that its opening angle 5, or angle in which the projection 4 fits, is acute. Thus the opening angle 5i of the projection 4i is acute and the opening angle 5e of the projection 4e is acute. The opening angle 5 is preferably less than 90 °. At least one such projection 4 is advantageous, relative to a contour 3 smoother, less angular, in that a tip, such that the end of such a projection 4 35 promotes the modifications of the sensitive element 2. It appears Indeed, the "corners" both incoming and outgoing, are as many obstacles to the circulation in the sensitive element 2 of currents induced by microwave radiation. Thus, an outgoing corner such as a projecting end 4 forms a trap for the induced currents. The difficulty of running the current leads to an increase in the temperature rise. A re-entrant wedge forms a dielectric, which together with the two zones of the sensitive element 2 located on either side, forms a capacitor. Circulating currents, and this with difficulty, tend to crack such a capacitor.

10 Ces différents effets se conjuguent pour produire un échauffement, qui produit et/ou favorise, des phénomènes de fusion et/ou d'évaporation locales. Ceci peut encore conduire à des apparitions de plasma. Ceci peut causer des microfissures dans un premier temps. Ensuite, de par les 15 courants induits, il apparait des étincelles au sein même de l'élément sensible 2. En effet, quand une microfissure se forme, une étincelle crée un gaz ionisé qui réduit d'un coup la résistance électrique de l'élément sensible 2. L'air dans la proximité immédiate de l'élément sensible 2 autorise alors 20 la formation d'un plasma. Ce plasma est conducteur et visible sous la forme d'une étincelle. Le plasma forme à nouveau un circuit conducteur avec tout conducteur à proximité : l'élément sensible 2, les pistes métalliques d'un microcircuit, les éventuelles pistes d'antenne 9, etc. Ceci 25 conduit alors à une nouvelle étincelle encore plus importante et ainsi de suite. Ce phénomène permet au courant généré de sortir de l'élément sensible 2 avec une énergie augmentée, lui permettant de modifier/dégrader les matériaux environnant, y compris l'élément sensible 2 lui-même.These various effects combine to produce a heating, which produces and / or promotes local melting and / or evaporation phenomena. This can still lead to plasma appearances. This can cause microcracks at first. Then, by the induced currents, sparks appear within the same sensitive element 2. Indeed, when a microcrack is formed, a spark creates an ionized gas that reduces suddenly the electrical resistance of the sensing element 2. The air in the immediate vicinity of the sensing element 2 then allows the formation of a plasma. This plasma is conductive and visible in the form of a spark. Plasma again forms a conductive circuit with any conductor nearby: the sensitive element 2, the metal tracks of a microcircuit, any antenna tracks 9, etc. This then leads to an even greater spark and so on. This phenomenon allows the generated current to exit the sensitive element 2 with increased energy, allowing it to modify / degrade the surrounding materials, including the sensitive element 2 itself.

30 L'intérêt d'une saillie 4 est de former d'une part une pointe à son extrémité et d'autre part des rentrants sur ses côtés. Un mode principal de modification/dégradation de l'élément sensible 2 consiste en une érosion des saillies 4.The advantage of a protrusion 4 is to form on the one hand a tip at its end and on the other hand reentrants on its sides. A main mode of modification / degradation of the sensitive element 2 consists of erosion of the projections 4.

35 Ceci est plus particulièrement illustré en référence aux figures 3-5. Les figures 3-5 illustrent, en vue de face, un élément sensible 2 dont une portion de contour 3 comprend trois saillies 4a,4b,4c. La matière est située en dessous du 3037002 12 contour 3 dans le plan des figures. Les saillies 4 présentent chacune une dimension d'extension 6 différente. Ainsi, de gauche à droite, la saillie 4a est la plus petite et présente une petite dimension d'extension 6a, la saillie 4b est 5 intermédiaire ou moyenne et présente une dimension d'extension 6b intermédiaire ou moyenne, et la saillie 4c est la plus grande et présente une grande dimension d'extension 6c. Ainsi, les dimensions 6a-c des saillies 4a-c sont étagées.This is more particularly illustrated with reference to FIGS. 3-5. Figures 3-5 illustrate, in front view, a sensitive element 2, a contour portion 3 comprises three projections 4a, 4b, 4c. The material is located below the 3037002 contour 3 in the plane of the figures. The projections 4 each have a different extension dimension 6. Thus, from left to right, the projection 4a is the smallest and has a small extension dimension 6a, the projection 4b is intermediate or medium and has an intermediate or intermediate extension dimension 6b, and the projection 4c is the larger and has a large dimension of extension 6c. Thus, the dimensions 6a-c of the projections 4a-c are staggered.

10 Il apparait un mode de réalisation dans lequel la dimension caractéristique est définie par la dimension d'extension 6. Ce mode est associé à la modification de l'élément sensible 2 par érosion. Il apparait encore un mode de réalisation dans lequel la 15 dimension caractéristique est définie entre la distance entre deux saillies 4. Ce mode est associé à la modification de l'élément sensible 2 par claquage. La figure 3 montre l'état initial, avant exposition au rayonnement micro-onde. Les pointes des saillies 4a-c sont 20 bien formées et saillantes. La figure 4 montre la dégradation des saillies 4a-c sous l'effet de l'exposition de l'élément sensible 2 au rayonnement micro-onde. Les différents phénomènes précédemment décrits (échauffement, claquage, microfissure, 25 plasma, étincelage, etc.) se conjuguent pour produire un effet d'érosion tendant à émousser les pointes sortantes et saillantes que sont les extrémités des saillies 4a-c, en supprimant toute aspérité ou rugosité, afin de lisser au maximum la forme du contour 3. L'élément sensible 2 est 30 exposé à une dose de rayonnement micro-onde donnée, telle qu'elle cause une érosion retirant une quantité de matière sur une hauteur A de chacune des saillies 4a-c. Il est supposé que cette hauteur A est sensiblement indépendante de la hauteur ou dimension d'extension 6a-c respective de chaque 35 saillie 4a-c et constante d'une saillie à l'autre. La figure 5 montre le résultat. La saillie 4c voit sa pointe émoussée par l'érosion et se retrouve arrondie, sa dimension d'extension initiale 6c est réduite d'une dimension 3037002 13 A pour devenir égale à 6c'. La saillie 4b voit, elle aussi, sa pointe émoussée par l'érosion et se retrouve arrondie, sa dimension d'extension initiale 6b est réduite d'une dimension A pour devenir égale à 6b'. La saillie 4a voit, elle aussi, 5 sa pointe émoussée. Sa dimension d'extension initiale 6a, inférieure ou égale à la dimension A est réduite d'une dimension A et s'annule. La plus petite saillie 4a disparait sous l'effet érosif causé par l'exposition. Les doses de rayonnement micro-onde se cumulent. Une 10 nouvelle exposition, ou une prolongation de l'exposition précédente, emportant une dose de rayonnement micro-onde plus importante, aurait pour conséquence une érosion augmentée, retirant une quantité de matière sur une hauteur supérieure à A. Ceci conduirait, à terme, à une disparition de la saillie 15 moyenne 4b. En poursuivant encore davantage la durée d'exposition, s'accompagnant d'une dose de rayonnement micro-onde encore plus importante, la disparition de la grande saillie 4c pourrait être obtenue. Il s'ensuit que pour une dose de rayonnement micro-onde 20 donnée, en relation avec la dose affectant un microcircuit 8 que l'on souhaite détecter au moyen d'un dispositif 1 associé au dit microcircuit 8, il est possible d'associer une quantité de matière effectivement retirée par érosion sous l'effet de l'exposition et ainsi d'associer une dimension A.It appears an embodiment in which the characteristic dimension is defined by the extension dimension 6. This mode is associated with the modification of the sensing element 2 by erosion. It still appears an embodiment in which the characteristic dimension is defined between the distance between two protrusions 4. This mode is associated with the modification of the sensitive element 2 by breakdown. Figure 3 shows the initial state, before exposure to microwave radiation. The peaks of the projections 4a-c are well formed and protruding. Figure 4 shows the degradation of the projections 4a-c under the effect of the exposure of the sensitive element 2 to the microwave radiation. The various phenomena previously described (heating, breakdown, microcrack, plasma, spark, etc.) combine to produce an erosion effect tending to blunt the outgoing and protruding tips that are the ends of the projections 4a-c, eliminating any roughness or roughness, in order to smooth the shape of the contour to the maximum 3. The sensitive element 2 is exposed to a given dose of microwave radiation, such as to cause erosion removing a quantity of material over a height A of each of the projections 4a-c. It is assumed that this height A is substantially independent of the respective height or extension dimension 6a-c of each protrusion 4a-c and constant from one projection to the other. Figure 5 shows the result. The projection 4c has its point blunted by erosion and is found rounded, its initial extension dimension 6c is reduced by a dimension 3037002 13 A to become equal to 6c '. The projection 4b also sees its point blunted by erosion and is rounded again, its initial extension dimension 6b is reduced by one dimension A to become equal to 6b '. The projection 4a also sees its blunt tip. Its initial expansion dimension 6a, less than or equal to the dimension A is reduced by one dimension A and vanishes. The smallest projection 4a disappears under the erosive effect caused by the exposure. The doses of microwave radiation are cumulative. A further exposure, or prolongation of the previous exposure, carrying a higher dose of microwave radiation, would result in increased erosion, removing a quantity of material over a height greater than A. This would ultimately lead to at a disappearance of the average projection 4b. By continuing even longer exposure, accompanied by a dose of microwave radiation even greater, the disappearance of the large projection 4c could be obtained. It follows that for a given dose of microwave radiation, in relation to the dose affecting a microcircuit 8 that it is desired to detect by means of a device 1 associated with said microcircuit 8, it is possible to associate a quantity of material effectively removed by erosion under the effect of the exposure and thus to associate a dimension A.

25 Il est alors possible de dimensionner au moins une saillie 4 du dispositif 1, selon une dimension d'extension 6 sensiblement égale à la dimension A. Ainsi, si cette saillie 4, disparait lors d'une exposition, ceci est indicatif d'une réception, par le dispositif 1, d'une dose de rayonnement au 30 moins égale à la dose de rayonnement micro-onde donnée, associée à ladite dimension A. En associant cette dimension d'extension 6/dimension A à une dimension caractéristique corrélée à la finesse du microcircuit 8, il est possible de détecter si le 35 microcircuit 8 est ou a été affecté. Aussi selon une autre caractéristique, il est possible de doter un dispositif 1 d'au moins deux saillies 4, présentant des dimensions d'extension 6 respectives étagées. Ces 3037002 14 dimensions étagées, à l'instar des dimensions 6a-c des saillies 4a-c des figures 3-5, permettent de former une échelle permettant de caractériser une dose de rayonnement micro-onde reçue.It is then possible to size at least one projection 4 of the device 1, according to an extension dimension 6 substantially equal to the dimension A. Thus, if this projection 4 disappears during an exposure, this is indicative of a receiving, by the device 1, a dose of radiation at least equal to the given microwave radiation dose, associated with said dimension A. By associating this extension dimension 6 / dimension A with a characteristic dimension correlated with the fineness of the microcircuit 8, it is possible to detect whether the microcircuit 8 is or has been affected. Also according to another feature, it is possible to provide a device 1 with at least two projections 4, having respectively stepped extension dimensions 6. These stepped dimensions, like the dimensions 6a-c of the projections 4a-c of FIGS. 3-5, make it possible to form a scale making it possible to characterize a dose of microwave radiation received.

5 Ainsi avec les trois saillies 4a-c, il est possible de réaliser une échelle de caractérisation de dose à quatre intervalles : 1) aucune érosion notable n'est constatée indiquant que la dose est très faible, 2) la petite saillie 4a est totalement érodée, et la saillie 4b moyenne et la 10 grande saillie 4c sont partiellement érodées indiquant que la dose est plus élevée, 3) la petite saillie 4a et la saillie 4b moyenne sont totalement érodées, et la grande saillie 4c est partiellement érodée indiquant que la dose est encore plus élevée et 4) les trois saillies 4a-c sont totalement 15 érodées indiquant que la dose est très élevée. Selon un mode de réalisation avantageux, au moins un des dits au moins un contour 3 est conformé selon une forme fractale 16,17. Une telle forme fractale 16,17 est avantageuse en ce qu'elle permet d'une part de réaliser un 20 contour 3 comportant un grand nombre de saillies 4, et d'autre part, une telle forme fractale permet d'intégrer dans un même contour 3 des saillies 4 de différentes dimensions, étagées. Le principe de la réalisation d'une courbe fractale est 25 connu et est succinctement rappelé en relation avec la figure 6. Le principe consiste à remplacer un segment 11, tel qu'illustré sur la partie gauche de la figure 6 par une forme de remplacement, pouvant être choisie parmi des formes très variées, dont un exemple est illustré sur la partie droite de 30 la figure 6. Selon un mode de réalisation possible, la forme est telle que le segment 11 soit conservé identique à lui-même pour ses extrémités, sous la forme des segments 12,15. Sa partie médiane est remplacée par un motif, ici par exemple triangulaire, formé par les segments 13,14, formant une 35 saillie 41. La forme de remplacement conserve les deux extrémités identiques à celles du segment initial 11. Elle peut ainsi prendre la place du segment initial 11. La forme de remplacement comprend avantageusement au moins un (ici 3037002 15 quatre) segment. Ceci permet une application récurrente du principe de remplacement, à chacun des nouveaux segments ainsi créés. La figure employée est ici régulière : triangle 5 équilatéral, et occupe le tiers central du segment 11 initial. Les segments 12-15 ont tous la même longueur, égale au tiers de la longueur du segment initial 11. Ceci n'est pas obligatoire, mais facilite cependant une application récurrente, chacun des nouveaux segments 12-15 pouvant à son 10 tour être remplacé par une nouvelle forme de remplacement comprenant quatre sous-segments. Ainsi, en partant d'une figure de base, par exemple un triangle équilatéral, que l'on nomme figure de rang 0, il est possible, en appliquant la transformation précédente à chacun 15 des trois côtés/segments, d'obtenir une étoile à 6 branches, que l'on désigne figure de rang 1, comprenant douze segments. Il est possible d'appliquer à nouveau, de manière récurrente, la transformation à chacun des douze segments nouvellement obtenus.Thus with the three protrusions 4a-c, it is possible to perform a dose characterization scale at four intervals: 1) no significant erosion is found indicating that the dose is very low, 2) the small protrusion 4a is totally eroded, and the mean protrusion 4b and the large protrusion 4c are partially eroded indicating that the dose is higher, 3) the small protrusion 4a and the average protrusion 4b are totally eroded, and the large protrusion 4c is partially eroded indicating that the dose is even higher and 4) the three protuberances 4a-c are totally eroded indicating that the dose is very high. According to an advantageous embodiment, at least one of said at least one contour 3 is shaped according to a fractal shape 16,17. Such a fractal shape 16, 17 is advantageous in that it makes it possible on the one hand to produce an outline 3 comprising a large number of projections 4, and on the other hand, such a fractal shape makes it possible to integrate into one and the same contour 3 protrusions 4 of different dimensions, staggered. The principle of producing a fractal curve is known and is briefly recalled in relation to FIG. 6. The principle consists in replacing a segment 11, as illustrated on the left-hand part of FIG. 6 by a replacement form. , which can be chosen from a wide variety of shapes, an example of which is illustrated on the right side of FIG. 6. According to one possible embodiment, the shape is such that the segment 11 is kept identical to itself for its ends. , in the form of segments 12,15. Its middle part is replaced by a pattern, here for example triangular, formed by the segments 13, 14, forming a projection 41. The replacement shape retains the two ends identical to those of the initial segment 11. It can thus take the place of the initial segment 11. The replacement form advantageously comprises at least one (here three) segment. This allows a recurrent application of the replacement principle, to each of the new segments thus created. The figure used here is regular: equilateral triangle 5, and occupies the central third of the initial segment 11. Segments 12-15 all have the same length, equal to one-third of the length of the initial segment 11. This is not mandatory, but facilitates recurring application, however, each of the new segments 12-15 can in turn be replaced. by a new form of replacement comprising four sub-segments. Thus, starting from a basic figure, for example an equilateral triangle, which is called a figure of rank 0, it is possible, by applying the previous transformation to each of the three sides / segments, to obtain a star. with 6 branches, which is designated figure of rank 1, comprising twelve segments. It is possible to repeatedly apply the transformation to each of the twelve newly obtained segments.

20 La figure 7 montre un détail d'une courbe fractale 16, telle qu'obtenue à un rang n, avec ici n au moins égal à 3. La structure fractale est avantageuse en ce qu'elle fait apparaitre plusieurs niveaux de saillies 41-43, de dimensions respectives 61-63 étagées. En effet on peut constater la 25 présence de grande saillies 41 de dimension d'extension 61, simultanément avec la présence de saillies 42 plus réduites, de dimension d'extension 62, encore simultanément avec la présence de saillies 43 encore plus réduites, de dimension d'extension 63.FIG. 7 shows a detail of a fractal curve 16, as obtained at a rank n, with here n at least equal to 3. The fractal structure is advantageous in that it reveals several levels of projections 41- 43, of respective dimensions 61-63 staggered. Indeed one can note the presence of large projections 41 of extension dimension 61, simultaneously with the presence of projections 62 smaller, extension dimension 62, still simultaneously with the presence of projections 43 even smaller, dimension extension 63.

30 L'application à la courbe fractale 16 de rang n de la figure 7 d'une nouvelle transformation, ou raffinement successif, permet d'obtenir la courbe fractale 17 de rang n+1 illustrée à la figure 8. Cette courbe 17 comporte les mêmes saillies 41-43 que précédemment, auxquelles s'ajoute un 35 nouveau niveau de saillies, encore plus réduites, avec une nouvelle saillie par segment. L'exemple illustré ici est une courbe fractale 16,17, dite ile ou flocon de Koch. C'est une courbe fractale 3037002 16 possible parmi un grand nombre. L'utilisation d'une courbe fractale 16,17 permet avantageusement de combiner en un espace réduit différentes saillies 41-43 de dimensions 61-63 différentes.The application to the fractal curve 16 of rank n of FIG. 7 of a new transformation, or successive refinement, makes it possible to obtain the fractal curve 17 of rank n + 1 illustrated in FIG. 8. This curve 17 comprises the same projections 41-43 as before, to which is added a new level of projections, even more reduced, with a new projection segment. The example illustrated here is a fractal curve 16,17, called ile or Koch flake. It is a fractal curve 3037002 16 possible among a large number. The use of a fractal curve 16, 17 advantageously makes it possible to combine in a reduced space different projections 41-43 of different sizes 61-63.

5 Ainsi, selon un mode de réalisation, une courbe fractale 16 d'ordre n comprend simultanément n niveaux de dimension 61-63 étagées de saillies 41-43. Afin de simplifier la lecture de la ou des saillies érodées par une exposition, selon un mode de réalisation, la 10 courbe fractale 16,17 formant le contour 3 de l'élément sensible 2 peut avantageusement être développée, selon différents rangs. Ainsi, par exemple, un « flocon » à six branches, peut comprendre une branche développée au rang 1, une autre branche développée au rang 2 et ainsi de suite.Thus, according to one embodiment, a n-order fractal curve 16 comprises simultaneously n dimension levels 61-63 stepped with projections 41-43. In order to simplify the reading of the eroded projection (s) by exposure, according to one embodiment, the fractal curve 16,17 forming the outline 3 of the sensing element 2 may advantageously be developed in different ranks. For example, a "snowflake" with six branches may comprise a branch developed at rank 1, another branch developed at rank 2, and so on.

15 Ceci permet de repérer plus rapidement le niveau d'érosion subit en observant quelle branche est affectée. Afin de présenter une bonne sensibilité au rayonnement micro-onde, l'élément sensible 2 est avantageusement de faible épaisseur. Ceci augmente la concentration des courants 20 induits et ainsi l'échauffement de l'élément sensible 2 et ainsi tous les effets tendant à modifier l'élément sensible 2. De plus une faible épaisseur de l'élément sensible 2 augmente sa capacité à se déformer. L'élément sensible 2 présente une extension 25 essentiellement dans le plan des figures. Son épaisseur est mesurée perpendiculairement au plan des figures. Une telle épaisseur faible est avantageuse et constitue un avantage important pour le dispositif 1 permettant son intégration dans des supports minces, tels que feuille de 30 papier, carton ou encore carte plastique et le cas échéant en superposition avec le microcircuit 8. Ceci est important pour les applications envisagées : document électronique, document identitaire, carte à microcircuit, etc., où les supports sont minces.This makes it possible to locate the level of erosion more quickly by observing which branch is affected. In order to have a good sensitivity to microwave radiation, the sensitive element 2 is advantageously thin. This increases the concentration of the induced currents and thus the heating of the sensing element 2 and thus all the effects tending to modify the sensing element 2. Moreover, a small thickness of the sensing element 2 increases its capacity to deform . The sensing element 2 has an extension 25 substantially in the plane of the figures. Its thickness is measured perpendicular to the plane of the figures. Such a small thickness is advantageous and constitutes an important advantage for the device 1 allowing its integration into thin supports, such as paper sheet, cardboard or plastic card and if necessary in superposition with the microcircuit 8. This is important for the envisaged applications: electronic document, identity document, microcircuit card, etc., where the supports are thin.

35 L'élément sensible 2, afin d'assurer sa conduction électrique, comprend un matériau conducteur. Afin de présenter une bonne sensibilité au rayonnement micro-onde, il convient que ce matériau présente une forte conductivité 3037002 17 électrique. Afin de réagir au rayonnement micro-onde par une modification/dégradation importante, il convient que ce matériau présente encore une forte conductivité thermique. Ce matériau peut, selon un mode de réalisation, être un matériau 5 métallique. Selon un mode de réalisation préférentiel, un matériau combinant ces trois caractéristiques est avantageusement choisi parmi le cuivre, Cu, l'or, Au, ou encore l'argent Ag. La similitude de matériaux utilisés entre l'élément 10 sensible 2 du dispositif 1 et les pistes du microcircuit 8, garantit des comportements au rayonnement micro-onde similaires et permet ainsi une dimension caractéristique se comparant directement avec la finesse. En fonction de la sensibilité au rayonnement micro-onde 15 souhaitée, les conductivités électrique ou thermique peuvent être modifiées. Pour cela, il est possible de varier le matériau employé. Il est bien sur possible de réaliser des mélanges/alliages de différents matériaux. Il est encore possible de varier la quantité de matériau, par exemple en 20 variant l'épaisseur de matériau ou encore l'épaisseur de l'élément sensible 2. Selon une deuxième variante, alternative ou complémentaire de la première variante, plus particulièrement illustrée aux figures 9 et 10, la forme de l'élément sensible 25 2 comprend au moins deux pistes 18. La dimension caractéristique est l'écartement 20 entre lesdites au moins deux pistes 18 et/ou la largeur 19 d'une piste 18. Selon un mode de réalisation, plus particulièrement illustré à la figure 10, l'élément sensible 2 comprend une 30 pluralité de pistes 18 disposées concentriquement. La forme des pistes 18 peut être quelconque : rectangulaire, triangulaire, circulaire ou elliptique, telle qu'illustrée. Il est bien évidemment possible de combiner les deux variantes en disposant au moins une saillie 5 sur l'un au 35 moins des contours 3 formés par les bords d'une piste 18. Afin de faciliter la lecture de la modification subie par l'élément sensible 2, il est avantageux d'inclure dans le 3037002 18 dispositif 1 une figure indicative de la forme initiale de l'élément sensible 2 avant exposition. Ainsi il est possible, pour détecter l'amplitude et/ou la localisation de l'érosion, de comparer la forme initiale avant exposition avec la forme 5 finale après exposition et érosion. Cette comparaison est avantageusement simplifiée si les deux formes peuvent être visibles en même temps et avantageusement rapprochées, pour faciliter une comparaison visuelle. Ceci est possible au moyen d'un témoin 7. Le dispositif 1 10 comprend avantageusement un tel témoin 7, reproduisant, au moins partiellement, la forme de l'élément sensible 2, mais n'est pas sensible au rayonnement micro-onde. Ainsi le témoin 7 reste identique à lui-même y compris suite à l'exposition et permet ainsi de figurer la forme initiale de l'élément 15 sensible 2 en fournissant une référence pour une comparaison. Pour cela, le témoin 7 est réalisé au moyen d'un matériau peu ou pas conducteur électrique, peu ou pas conducteur thermique. Ce matériau est avantageusement non métallique. Un mode de réalisation répondant à ces caractéristiques consiste 20 à utiliser une encre classique, le témoin 7 étant réalisé selon tout moyen d'impression. Un témoin 7 reproduit tout ou partie de la forme de l'élément sensible 2. Il reproduit ainsi tout ou partie d'un ou de plusieurs des dits au moins un contour 3. Un témoin 7 25 peut encore être réalisé en plusieurs parties, une partie reproduisant une partie de l'élément sensible 2, tel un premier contour 3, et une autre partie reproduisant une autre partie de l'élément sensible 2. Un témoin 7 présente une dimension et une orientation 30 quelconques. Cependant, afin de faciliter la comparaison avec l'élément sensible 2, selon un mode de réalisation préférentiel, un témoin 7 est réalisé de la même taille et selon la même orientation que l'élément sensible 2. Un témoin 7 peut être éloigné, voir même séparé sur un 35 support différent du document électronique 10. Selon un mode de réalisation illustré à la figure 1, un témoin 7, formellement similaire à l'élément sensible 2 associé, est disposé à proximité immédiate de son élément 3037002 19 sensible 2 associé, sur le document électronique 10. Selon un autre mode de réalisation possible, un témoin 7 est fourni séparément au service chargé du contrôle, comme un outil de contrôle, indépendamment du document électronique 5 10. Afin de tirer parti de l'échauffement produit par l'exposition de l'élément sensible 2, il est encore possible de disposer un composant thermo sensible à proximité de l'élément sensible 2. Le composant thermo sensible est tel 10 qu'il soit modifié, avantageusement de manière persistante, et avantageusement de manière visible, sous l'effet d'un échauffement que lui transmet l'élément sensible 2 limitrophe. Un tel composant peut ainsi comprendre un matériau thermosensible qui peut ainsi changer de couleur ou 15 laisser apparaître un motif, ainsi révélé par la chaleur. Une adjonction dans le dispositif 1 d'un tel composant thermo sensible permet, lors d'une exposition, d'obtenir une modification additionnelle du dispositif 1. Cette modification peut permettre de redonder la détection d'une 20 exposition obtenue par ailleurs. Alternativement, cette modification, utilisant un autre principe physique, peut permettre de réaliser une détection d'exposition selon une autre gamme de doses. Par exemple une dose trop faible pour provoquer une érosion détectable provoque cependant un 25 échauffement de l'élément sensible 2 qui peut être détecté et mémorisé au moyen du composant thermo sensible. Selon certains modes de réalisation, l'élément sensible 2 a été décrit comme un film (très) mince comprenant un matériau conducteur et présentant une forme caractéristique.The sensing element 2, in order to ensure its electrical conduction, comprises a conductive material. In order to have good sensitivity to microwave radiation, this material should have a high electrical conductivity. In order to react to the microwave radiation by a significant modification / degradation, it is appropriate that this material still has a high thermal conductivity. This material may, in one embodiment, be a metallic material. According to a preferred embodiment, a material combining these three characteristics is advantageously chosen from copper, Cu, gold, Au or silver Ag. The similarity of materials used between the sensitive element 2 of the device 1 and the tracks of the microcircuit 8, guarantees similar microwave radiation behaviors and thus allows a characteristic dimension directly comparing with the fineness. Depending on the desired microwave radiation sensitivity, the electrical or thermal conductivities may be varied. For this, it is possible to vary the material used. It is of course possible to make mixtures / alloys of different materials. It is also possible to vary the amount of material, for example by varying the thickness of the material or the thickness of the sensitive element 2. According to a second variant, alternative or complementary to the first variant, more particularly illustrated in FIGS. Figures 9 and 10, the shape of the sensing element 2 comprises at least two tracks 18. The characteristic dimension is the spacing 20 between said at least two tracks 18 and / or the width 19 of a track 18. According to a In one embodiment, more particularly illustrated in FIG. 10, the sensing element 2 comprises a plurality of tracks 18 arranged concentrically. The shape of the tracks 18 can be arbitrary: rectangular, triangular, circular or elliptical, as illustrated. It is of course possible to combine the two variants by arranging at least one protrusion 5 on at least one of the contours 3 formed by the edges of a track 18. In order to facilitate the reading of the modification undergone by the element 2, it is advantageous to include in the 3037002 18 device 1 a figure indicative of the initial shape of the sensitive element 2 before exposure. Thus, it is possible, to detect the magnitude and / or location of erosion, to compare the initial form before exposure with the final form after exposure and erosion. This comparison is advantageously simplified if both forms can be visible at the same time and advantageously close together, to facilitate a visual comparison. This is possible by means of a control 7. The device 1 10 advantageously comprises such a control 7, reproducing, at least partially, the shape of the sensitive element 2, but is not sensitive to microwave radiation. Thus, the control 7 remains identical to itself, including following the exposure, and thus makes it possible to represent the initial shape of the sensitive element 2 by providing a reference for a comparison. For this, the control 7 is made by means of a material with little or no electrical conductor, little or no thermal conductor. This material is advantageously non-metallic. One embodiment of these features is to use a conventional ink, the control 7 being made by any printing means. A witness 7 reproduces all or part of the shape of the sensitive element 2. It thus reproduces all or part of one or more of said at least one contour 3. A control 7 25 can also be made in several parts, a part reproducing a portion of the sensing element 2, such as a first contour 3, and another portion reproducing another portion of the sensing element 2. A control 7 has any dimension and orientation. However, in order to facilitate the comparison with the sensitive element 2, according to a preferred embodiment, a control 7 is made of the same size and in the same orientation as the sensitive element 2. A control 7 can be moved away, see even separated on a different support of the electronic document 10. According to an embodiment illustrated in FIG. 1, a control 7, formally similar to the associated sensing element 2, is disposed in the immediate vicinity of its associated sensitive element 2. in an electronic document 10. According to another possible embodiment, a control 7 is supplied separately to the control service, as a control tool, independently of the electronic document 10. In order to take advantage of the heating produced by the exposure of the sensitive element 2, it is still possible to have a thermo sensitive component near the sensitive element 2. The thermo-sense component The target is such that it is modified, advantageously persistently, and advantageously in a visible manner, under the effect of a heating that the boundary sensitive element 2 transmits to it. Such a component can thus comprise a thermosensitive material which can thus change color or reveal a pattern, thus revealed by heat. An addition in the device 1 of such a thermally sensitive component makes it possible, during an exposure, to obtain an additional modification of the device 1. This modification can make it possible to redundate the detection of an exposure obtained elsewhere. Alternatively, this modification, using another physical principle, may make it possible to perform exposure detection in another dose range. For example, a dose that is too low to cause detectable erosion, however, causes heating of the sensing element 2 which can be detected and stored by means of the thermally sensitive component. In some embodiments, the sensing element 2 has been described as a (very) thin film comprising a conductive material and having a characteristic shape.

30 Un tel film conducteur peut être réalisé par tout moyen. Un mode de réalisation particulièrement adapté consiste en une impression par jet d'encre, avec un encre spéciale en ce qu'elle est conductrice. Cette technologie, connue, emploie des nanoparticules comprenant au moins un matériau conducteur 35 électrique, insérées dans l'encre. Le matériau conducteur comprend avantageusement un matériau métallique présentant une forte conductivité électrique, préférentiellement aussi une forte conductivité thermique, et encore 3037002 20 préférentiellement choisi parmi Cu, Au, Ag. La technique d'impression permet ici de réaliser un élément sensible 2 de la forme voulue, afin de répondre aux caractéristiques de forme et de dimension caractéristique 5 souhaitées. La présence de matériau conducteur dans l'encre assure que l'élément sensible 2 ainsi imprimé soit conducteur. Selon ce mode de réalisation par impression, l'épaisseur est importante. La réalisation d'une impression de 40 nm 10 d'épaisseur est possible mais techniquement délicate et coûteuse. Aussi la prise en compte d'un facteur d'atténuation, typiquement de cent, apporté par l'emballage du microcircuit 8, qui comme décrit précédemment permet d'augmenter d'autant l'épaisseur de l'élément sensible 2, est 15 avantageuse. La réalisation d'une impression de 4 pm d'épaisseur utilise des technologies plus courantes et beaucoup moins chères.Such a conductive film can be made by any means. A particularly suitable embodiment consists of an ink jet printing, with a special ink in that it is conductive. This known technology employs nanoparticles comprising at least one electrically conductive material inserted into the ink. The conductive material advantageously comprises a metallic material having a high electrical conductivity, preferably also a high thermal conductivity, and more preferably 3037002 selected from Cu, Au, Ag. The printing technique allows here to produce a sensitive element 2 of the shape to meet the desired shape and size characteristics. The presence of conductive material in the ink ensures that the sensing element 2 thus printed is conductive. According to this embodiment by printing, the thickness is important. Achieving 40 nm thick printing is possible but technically delicate and expensive. Also taking into account an attenuation factor, typically one hundred, provided by the packaging of the microcircuit 8, which as described above makes it possible to increase the thickness of the sensitive element 2 by the same amount, is advantageous. . Achieving a 4-μm thick print uses more common and much cheaper technologies.

Claims (16)

REVENDICATIONS1. Document électronique (10) comprenant un microcircuit (8), 5 caractérisé en ce qu'il comprend encore un dispositif (1) apte à détecter une exposition à une dose de rayonnement micro-onde inférieure à une dose affectant le microcircuit (8). 10REVENDICATIONS1. Electronic document (10) comprising a microcircuit (8), characterized in that it further comprises a device (1) able to detect exposure to a dose of microwave radiation less than a dose affecting the microcircuit (8). 10 2. Document électronique (10), selon la revendication 1, où le dispositif (1) comprend un élément sensible (2) réalisé en un matériau électriquement conducteur, apte à être modifié par une exposition à la dose de rayonnement micro-onde inférieure à une dose affectant le microcircuit (8) et est 15 disposé à proximité du microcircuit (8).2. Electronic document (10) according to claim 1, wherein the device (1) comprises a sensitive element (2) made of an electrically conductive material, capable of being modified by exposure to the microwave radiation dose less than a dose affecting the microcircuit (8) and is disposed near the microcircuit (8). 3. Document électronique (10), selon la revendication 2, où le microcircuit (8) est caractérisé par une finesse de gravure, et où l'élément sensible (2) présente au moins une 20 dimension caractéristique inférieure ou égale à cent fois la finesse.An electronic document (10), according to claim 2, wherein the microcircuit (8) is characterized by a fineness of etching, and wherein the sensing element (2) has at least one characteristic dimension less than or equal to one hundred times the finesse. 4. Document électronique (10), selon la revendication 3, où la dimension caractéristique est l'épaisseur du matériau 25 électriquement conducteur.The electronic document (10) according to claim 3, wherein the characteristic dimension is the thickness of the electrically conductive material. 5. Document électronique (10), selon la revendication 4, où ladite épaisseur est comprise entre quelques nanomètres et quelques micromètres, préférentiellement comprise entre 10 nm 30 et 4 pm.5. Electronic document (10) according to claim 4, wherein said thickness is between a few nanometers and a few micrometers, preferably between 10 nm and 4 pm. 6. Document électronique (10), selon l'une quelconque des revendications 2 à 5, où l'élément sensible (2) comprend, selon une direction transverse à l'épaisseur, au moins un 35 contour (3) comportant au moins une saillie (4) aiguë, où une saillie (4) présente une dimension d'extension qui est au moins une dimension caractéristique de l'élément sensible. 3037002 22An electronic document (10) according to any one of claims 2 to 5, wherein the sensing element (2) comprises, in a direction transverse to the thickness, at least one contour (3) having at least one projection (4) acute, wherein a projection (4) has an extension dimension which is at least one dimension characteristic of the sensing element. 3037002 22 7. Document électronique (10), selon la revendication 6, où l'élément sensible (2) comprend en outre une deuxième saillie (4), et où la dimension caractéristique est la distance entre lesdites au moins deux saillies (4).The electronic document (10) according to claim 6, wherein the sensing element (2) further comprises a second projection (4), and wherein the characteristic dimension is the distance between said at least two projections (4). 8. Document électronique (10), selon la revendication 7, où l'élément sensible (2) comprend au moins deux saillies (4), présentant des dimensions d'extension (6) respectives étagées, afin de caractériser une dose de rayonnement micro- onde reçue.8. Electronic document (10) according to claim 7, wherein the sensing element (2) comprises at least two protrusions (4), having respective extension dimensions (6) staggered, to characterize a dose of micro radiation - received wave. 9. Document électronique (10), selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, où au moins un des dits au moins un contour (3) est conformé selon une forme fractale.9. Electronic document (10) according to any one of claims 6 to 8, wherein at least one of said at least one contour (3) is shaped in a fractal form. 10. Document électronique (10), selon l'une quelconque des revendications 3 à 9, où l'élément sensible (2) comprend selon une direction transverse à l'épaisseur, au moins deux pistes (18), et présente une dimension caractéristique qui est l'écartement (20) entre lesdites au moins deux pistes (18) et/ou la largeur (19) d'une piste.10. Electronic document (10) according to any one of claims 3 to 9, wherein the sensing element (2) comprises in a direction transverse to the thickness, at least two tracks (18), and has a characteristic dimension which is the spacing (20) between said at least two tracks (18) and / or the width (19) of a track. 11. Document électronique (10), selon la revendication 10, où l'élément sensible (2) comprend une pluralité de pistes (18) 25 disposées concentriquement.An electronic document (10) according to claim 10, wherein the sensing element (2) comprises a plurality of tracks (18) disposed concentrically. 12. Document électronique (10), selon l'une quelconque des revendications 2 à 11, où l'élément sensible (2) comprend un matériau métallique présentant une forte conductivité 30 électrique, préférentiellement une forte conductivité thermique, et encore préférentiellement choisi parmi Cu, Au, Ag.12. Electronic document (10) according to any one of claims 2 to 11, wherein the sensitive element (2) comprises a metallic material having a high electrical conductivity, preferably a high thermal conductivity, and more preferably selected from Cu , Au, Ag. 13. Document électronique (10), selon l'une quelconque des 35 revendications 2 à 12, où le dispositif (1) comprend encore un composant thermo sensible, disposé à proximité de l'élément sensible (2). 3037002 23An electronic document (10) according to any one of claims 2 to 12, wherein the device (1) further comprises a thermally sensitive component disposed near the sensing element (2). 3037002 23 14. Document électronique (10), selon l'une quelconque des revendications 2 à 13, où le dispositif (1) comprend encore un témoin (7), reproduisant, au moins partiellement, la forme de l'élément sensible (2), et insensible au dit rayonnement 5 micro-onde.14. Electronic document (10) according to any one of claims 2 to 13, wherein the device (1) further comprises a control (7) reproducing, at least partially, the shape of the sensitive element (2), and insensitive to said microwave radiation. 15. Document électronique (10), selon l'une quelconque des revendications 2 à 14, où le dispositif (1) comprend encore un deuxième élément sensible, apte à être modifié par une 10 exposition à une dose de rayonnement micro-onde supérieure à une dose affectant le microcircuit (8).An electronic document (10) according to any one of claims 2 to 14, wherein the device (1) further comprises a second sensing element, capable of being modified by exposure to a microwave radiation dose greater than a dose affecting the microcircuit (8). 16. Procédé de fabrication d'un document électronique (10) selon l'une quelconque des revendications 2 à 15, où 15 l'élément sensible (2) est obtenu par impression jet d'encre avec une encre conductrice.A method of manufacturing an electronic document (10) according to any one of claims 2 to 15, wherein the sensing element (2) is obtained by inkjet printing with a conductive ink.
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