FR3008230A1 - MATRIX COLOR IMAGE SENSOR, WITHOUT COLOR FILTERS - Google Patents

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Abstract

L'invention propose un capteur d'image couleur matriciel, sans filtres colorés, dans lequel : - la matrice est arrangée en groupes identiques de X pixels photosensibles voisins P1, P2, P3, P4, pas tous obtenus par un procédé de fabrication rigoureusement identique, de manière à obtenir de manière contrôlée des réponses spectrales différentes dans le spectre de sensibilité du capteur ; -le spectre de sensibilité du capteur est décomposé en M bandes spectrales juxtaposées ; - on mesure la réponse de chacun des pixels d'un groupe pour chacune des M bandes spectrales, par un éclairement de la surface active du capteur avec un niveau de luminance connu, dans cette bande spectrale. Pour chaque pixel, on obtient un coefficient par bande spectrale, qui représente la réponse du pixel soumis à un éclairement dans cette bande. Les M coefficients de chacun des X pixels du groupe ainsi obtenus permettent de résoudre un système de X équations à M inconnues à partir des valeurs de signal fournies par chacun des X pixels en fonction de l'éclairement que reçoit le groupe de pixels, où les M inconnues sont M valeurs Lj de luminance calculées représentant la décomposition de cet éclairement dans chacune des M bandes spectrales, permettant d'obtenir par calcul, une information de couleur à partir des X pixels de chaque groupe.The invention proposes a matrix color image sensor, without color filters, in which: the matrix is arranged in identical groups of X neighboring photosensitive pixels P1, P2, P3, P4, not all obtained by a rigorously identical manufacturing process , so as to obtain in a controlled manner different spectral responses in the sensitivity spectrum of the sensor; the sensitivity spectrum of the sensor is decomposed into M spectral bands juxtaposed; the response of each of the pixels of a group for each of the M spectral bands is measured by illuminating the active surface of the sensor with a known luminance level in this spectral band. For each pixel, a spectral band coefficient is obtained, which represents the response of the pixel subjected to illumination in this band. The M coefficients of each of the X pixels of the group thus obtained make it possible to solve a system of X equations with unknown M from the signal values provided by each of the X pixels as a function of the illumination received by the group of pixels, where the M unknowns are M calculated luminance values Lj representing the decomposition of this illumination in each of the M spectral bands, to obtain by calculation, a color information from the X pixels of each group.

Description

CAPTEUR D'IMAGE COULEUR MATRICIEL, SANS FILTRES COLORES DOMAINE TECHNIQUE L'invention concerne les capteurs électroniques d'image matriciels permettant la prise d'image en couleurs. Elle s'applique plus spécialement aux capteurs matriciels à pixels actifs.TECHNICAL FIELD The invention relates to electronic matrix image sensors for taking color images. It applies more specifically to matrix sensors with active pixels.

ETAT DE LA TECHNIQUE Rappelons qu'un schéma de base d'un pixel actif de capteur matriciel comprend par exemple une photodiode, une capacité de stockage de charges et quelques transistors assurant différentes fonctions de commande du pixel : transfert de charges, réinitialisation, conversion charge/tension et sélection en lecture. Selon l'état de l'art, la prise d'image en couleurs est généralement obtenue au moyen d'une mosaïque de filtres colorés habituellement disposée sur la surface photosensible du capteur : un filtre est placé devant chaque pixel ; le pixel ne reçoit que la couleur qui n'est pas absorbée par le filtre. Une mosaïque de filtres colorés connue est la mosaïque dite de Bayer, agencée en un dessin de carreaux (un carreau=un filtre) disposés en damier, comprenant 50 % de filtres verts, 25 % de filtres rouges, et 25 % de filtres bleus. Ce dessin est spécialement adapté aux caractéristiques de perception de l'oeil humain. Il présente une alternance périodique de filtres colorés de deux couleurs sur chaque ligne, verts et bleus sur une ligne, rouges et verts sur la ligne suivante ; et la même alternance périodique sur les colonnes. Le dessin d'une telle mosaïque MB de filtres colorés est schématiquement représenté sur la figure 1, où les carreaux marqués respectivement R, V, B représentent respectivement les filtres colorés rouges, verts et bleus. Des mosaïques de Bayer à filtres colorés correspondant aux couleurs secondaires, jaune, magenta et cyan, peuvent être également utilisées, avec un dessin en damier similaire, en y remplaçant le vert par le jaune, le rouge par le magenta et le bleu par le cyan.STATE OF THE ART Recall that a basic diagram of a matrix sensor active pixel comprises, for example, a photodiode, a charge storage capacity and a few transistors providing various pixel control functions: charge transfer, reset, charge conversion / voltage and read selection. According to the state of the art, the color image is generally obtained by means of a mosaic of color filters usually arranged on the photosensitive surface of the sensor: a filter is placed in front of each pixel; the pixel receives only the color that is not absorbed by the filter. A mosaic of known color filters is the so-called Bayer mosaic, arranged in a pattern of checkered tiles (a tile = a filter), comprising 50% of green filters, 25% of red filters, and 25% of blue filters. This drawing is specially adapted to the perception characteristics of the human eye. It presents a periodic alternation of colored filters of two colors on each line, green and blue on one line, red and green on the following line; and the same periodic alternation on the columns. The design of such a mosaic of color filters MB is schematically shown in Figure 1, where the tiles respectively marked R, V, B respectively represent the red, green and blue color filters. Bayer mosaics with colored filters corresponding to secondary colors, yellow, magenta and cyan, can also be used, with a similar checkerboard design, replacing green with yellow, red with magenta and blue with cyan .

Dans le contexte de l'invention, il convient de préciser que la couleur qualifiant le filtre coloré à savoir " filtre rouge", "filtre vert" ou "filtre bleu" signifie que le filtre coloré en question est optimisé pour une plage de longueur d'ondes correspondant à cette couleur, pour ne laisser passer que cette plage de longueurs d'onde et absorber autant que possible toutes les autres. Dans ces capteurs à filtres colorés, chaque pixel fournit un signal d'information provenant de la scène observée, dans une couleur, celle que laisse passer le filtre coloré associé. L'information de couleur complète est obtenue en considérant les pixels voisins qui donnent les informations dans les couleurs complémentaires. Selon l'état de l'art, la mosaïque de filtres colorés est formée par dépôt de couches de résines organiques colorées sur la surface du capteur, 10 dont les éléments photosensibles sont formés à partir de silicium. EXPOSE DU PROBLEME TECHNIQUE L'utilisation de filtres colorés organiques pose différents problèmes techniques. 15 Lorsque les capteurs sont destinés à être utilisés dans des environnements difficiles, notamment dans les applications spatiales, dans des conditions de vide poussé et d'exposition à des irradiations, la résine organique réagit mal. Cela peut se traduire par des dépôts d'impuretés sur la face interne du verre du capteur, dus à un dégazage de la résine, ou encore 20 une pollution du capteur. Les qualités optiques du capteur peuvent être fortement dégradées. On pourrait en théorie réaliser des filtres non organiques correspondant aux couleurs désirées, mais cette alternative technologique est très coûteuse. 25 Un autre inconvénient des filtres colorés, organiques ou inorganiques, est qu'ils contribuent pour environ 30% aux pertes en transmission de lumière dans le capteur, ce qui n'est pas négligeable. Pour les filtres colorés réalisés par des résines organiques, ces pertes en transmission sont également variables avec la longueur d'onde. 30 Enfin, certaines applications utilisent des capteurs conçus pour permettre la capture d'images couleurs et infrarouges, de nuit ou de jour. C'est typiquement le cas de caméras de surveillance ou encore de caméras de contrôle industriel. Or les filtres colorés en résine organique ont un pouvoir absorbant quasi nul pour l'infrarouge. Le signal électrique produit par 35 chacun des pixels du capteur contient ainsi non seulement une composante couleur correspondant à la bande passante du filtre coloré organique associé, mais également une composante de proche infrarouge, qu'il convient d'éliminer lorsque l'on souhaite prendre une image couleur. Les capteurs qui doivent permettre la capture d'images couleurs et infrarouges doivent alors être équipés d'un élément optique de filtrage du proche infrarouge monté de manière amovible pour être enlevé lorsqu'on veut prendre des images infrarouges. RESUME DE L'INVENTION Dans l'invention, on cherche à résoudre ces différents problèmes techniques, d'une manière peu coûteuse, s'inscrivant dans un processus de fabrication semi-conducteur standard garant d'un faible coût de production. La solution technique doit permettre de bonnes performances optiques, que ce soit en termes de qualité colorimétrique, résolution spatiale ou de séparation des couleurs. Une idée à la base de l'invention est de réaliser un capteur matriciel sans couches optiques absorbantes réalisant des filtres colorés, plus particulièrement sans filtres organiques colorés. La solution technique propose un arrangement de la matrice de pixels en groupes identiques de X pixels voisins (par exemple X = 4) , les X pixels étant tous différenciés de manière contrôlée, dans le processus de fabrication du pixel, en sorte qu'ils n'aient pas tous la même réponse spectrale dans le spectre de sensibilité du capteur ; plus précisément, on décompose le spectre de sensibilité du capteur en M bandes spectrales adjacentes, avec une caractérisation des X types de pixels du capteur par mesure de la valeur de signal fournie par chacun des X pixels d'un groupe dans chacune des M bandes spectrales pour un éclairement donné ; cette caractérisation fournit M coefficients de réponse pour chacun des X pixels. En utilisation, pour un éclairement quelconque, on sait alors calculer la luminance reçue par chaque pixel dans chacune des M bandes spectrales à partir d'un système de X équations à M inconnues, utilisant X signaux fournis par les X pixels d'un groupe et M coefficients de réponse de chacun des X pixels.In the context of the invention, it should be noted that the color qualifying the color filter namely "red filter", "green filter" or "blue filter" means that the color filter in question is optimized for a range of lengths. wave corresponding to this color, to let pass only this range of wavelengths and absorb as much as possible all the others. In these color filter sensors, each pixel provides an information signal from the observed scene in a color that the associated color filter passes through. The complete color information is obtained by considering the neighboring pixels that give the information in the complementary colors. According to the state of the art, the mosaic of color filters is formed by depositing colored organic resin layers on the surface of the sensor, the photosensitive elements of which are formed from silicon. DESCRIPTION OF THE TECHNICAL PROBLEM The use of organic colored filters poses different technical problems. When the sensors are intended to be used in harsh environments, especially in space applications, under conditions of high vacuum and exposure to irradiation, the organic resin reacts poorly. This can result in deposits of impurities on the internal face of the sensor glass, due to degassing of the resin, or pollution of the sensor. The optical qualities of the sensor can be strongly degraded. In theory, it would be possible to produce non-organic filters corresponding to the desired colors, but this technological alternative is very expensive. Another disadvantage of colored filters, organic or inorganic, is that they contribute about 30% to the light transmission losses in the sensor, which is not negligible. For color filters made by organic resins, these transmission losses are also variable with the wavelength. Finally, some applications use sensors designed to allow the capture of color and infrared images, night or day. This is typically the case of surveillance cameras or industrial control cameras. However, the organic resin colored filters have a quasi-absorbent power for the infrared. The electrical signal produced by each of the pixels of the sensor thus contains not only a color component corresponding to the bandwidth of the associated organic color filter, but also a near-infrared component, which must be eliminated when it is desired to take a color image. The sensors that must allow the capture of color and infrared images must then be equipped with a near infrared filtering optical element mounted removably to be removed when you want to take infrared images. SUMMARY OF THE INVENTION In the invention, it is sought to solve these various technical problems in an inexpensive manner, forming part of a standard semiconductor manufacturing process that guarantees a low production cost. The technical solution must allow good optical performance, whether in terms of colorimetric quality, spatial resolution or color separation. An idea underlying the invention is to provide a matrix sensor without absorbing optical layers producing color filters, more particularly without colored organic filters. The technical solution proposes an arrangement of the pixel matrix in identical groups of X neighboring pixels (for example X = 4), the X pixels being all differentiated in a controlled manner, in the process of manufacturing the pixel, so that they not all have the same spectral response in the sensitivity spectrum of the sensor; more precisely, the sensitivity spectrum of the sensor is subdivided into M adjacent spectral bands, with a characterization of the X pixel types of the sensor by measuring the signal value supplied by each of the X pixels of a group in each of the M spectral bands. for a given illumination; this characterization provides M response coefficients for each of the X pixels. In use, for any illumination, it is then known to calculate the luminance received by each pixel in each of the M spectral bands from a system of X equations with unknown M, using X signals provided by the X pixels of a group and M response coefficients of each of the X pixels.

Telle que caractérisée, l'invention concerne ainsi un capteur d'image matriciel comportant n.p pixels photosensibles agencés selon n lignes et p colonnes, n et p entiers supérieurs ou égaux à deux, avec un pixel à l'intersection d'une ligne et d'une colonne respective. Selon l'invention, les pixels sont organisés en groupes identiques de X pixels adjacents, X supérieur ou égal à deux, les X pixels n'ayant pas tous la même réponse spectrale. La réponse spectrale d'un pixel de rang i dans le groupe est définie par M coefficients connus où j représente un indice variant de 1 à M d'une bande spectrale respective parmi M bandes spectrales juxtaposées formant l'ensemble de la bande spectrale à laquelle le capteur est sensible, avec M entier inférieur ou égal à X. Le capteur comporte un moyen de calcul pour résoudre pour chaque groupe de pixels un système de X équations à M inconnues de la forme : S. =j=1 L I - x C. - avec i entier variant de 1 à X, j entier variant de 1 à M où les données d'entrée sont des valeurs de signal Si fournies par chacun des X pixels adjacents recevant un éclairement commun, et où les M inconnues sont M valeurs Li de luminance calculée représentant la luminance reçue par le groupe de pixels dans chacune des M bandes spectrales. Dans un premier mode de réalisation, M est supérieur ou égal à trois et les M bandes spectrales comportent au moins une bande spectrale correspondant généralement à une couleur bleue, une bande spectrale correspondant généralement à une couleur verte et une bande spectrale correspondant généralement à une couleur rouge. Dans un deuxième mode de réalisation, M est supérieur ou égal à quatre et les M bandes spectrales comportent au moins une bande spectrale correspondant généralement à une couleur bleue, une bande spectrale correspondant généralement à une couleur verte et une bande spectrale correspondant généralement à une couleur rouge, et une bande spectrale correspondant au proche infrarouge. Etant donné qu'on n'utilise pas de filtres de couleur au-dessus des pixels, on aura en général pour chacun des X pixels plusieurs réponses non 35 nulles dans les différentes bandes spectrales car le silicium est naturellement sensible à un éclairement dans la gamme de longueurs d'onde allant d'environ 400 nanomètres à 1100 nanomètres, incluant donc le bleu, le vert, le rouge et le proche infrarouge. Ainsi, en pratique, pour une décomposition en quatre bandes spectrales, on aura parmi les M coefficients Cu au moins trois valeurs non nulles pour presque tous les X pixels. L'invention est particulièrement applicable avec X = 4 pixels dans chaque groupe, mais on pourrait envisager aussi X = 9 pixels. X est de préférence égal à M mais ce n'est pas obligatoire ; il est en général souhaitable d'avoir un nombre de pixels correspondant à une surface globalement carrée. Par exemple, si M = 3, on pourrait n'utiliser que X= 3 pixels pour résoudre un système de trois équations à trois inconnues mais on préférera prendre quatre pixels constituant un groupe de forme carrée, deux pixels en diagonale pouvant être identiques et fournissant deux informations redondantes.As characterized, the invention thus relates to a matrix image sensor comprising np photosensitive pixels arranged according to n lines and p columns, n and p integers greater than or equal to two, with a pixel at the intersection of a line and d a respective column. According to the invention, the pixels are organized into identical groups of X adjacent pixels, X greater than or equal to two, the X pixels not having the same spectral response. The spectral response of a pixel of rank i in the group is defined by M known coefficients where j represents an index varying from 1 to M of a respective spectral band among M juxtaposed spectral bands forming the whole of the spectral band to which the sensor is sensitive, with M being less than or equal to X. The sensor comprises a calculation means for solving for each group of pixels a system of X equations with M unknown of the form: S. = j = 1 LI - x C with integer i ranging from 1 to X, j integer varying from 1 to M where the input data are signal values Si supplied by each of the X adjacent pixels receiving a common illumination, and where the unknown M are M values. Calculated luminance Li representing the luminance received by the group of pixels in each of the M spectral bands. In a first embodiment, M is greater than or equal to three and the M spectral bands comprise at least one spectral band generally corresponding to a blue color, a spectral band generally corresponding to a green color and a spectral band generally corresponding to one color. red. In a second embodiment, M is greater than or equal to four and the M spectral bands comprise at least one spectral band generally corresponding to a blue color, a spectral band generally corresponding to a green color and a spectral band generally corresponding to one color. red, and a spectral band corresponding to the near infrared. Since no color filters are used above the pixels, for each of the X pixels, there will generally be several nonzero responses in the different spectral bands because the silicon is naturally sensitive to illumination in the range. wavelengths ranging from about 400 nanometers to 1100 nanometers, including blue, green, red and near infrared. Thus, in practice, for a decomposition into four spectral bands, there will be among the M coefficients Cu at least three non-zero values for almost all the X pixels. The invention is particularly applicable with X = 4 pixels in each group, but one could also consider X = 9 pixels. X is preferably equal to M but it is not mandatory; it is generally desirable to have a number of pixels corresponding to a generally square area. For example, if M = 3, we could use only X = 3 pixels to solve a system of three equations with three unknowns but we prefer to take four pixels constituting a square-shaped group, two diagonal pixels can be identical and providing two redundant information.

Pour réaliser des pixels de réponses spectrales différentes, on n'utilisera pas de couches organiques déposées au-dessus des pixels après la fabrication du capteur photosensible sur tranche de silicium mais on utilisera uniquement des étapes de traitement des couches minérales de la tranche de silicium. Autrement dit, si on se réfère à l'art antérieur, on distinguait dans les procédés de fabrication classiques de l'art antérieur les étapes de traitement de la tranche de silicium et les étapes dites de "postprocess" consistant dans le dépôt et la gravure de filtres colorés ou éventuellement d'autres couches organiques. Selon la présente invention, la réalisation de pixels de réponses spectrales différentes dans les groupes de X pixels résultera seulement des étapes de traitement du silicium à l'exclusion de toute étape de traitement de couches organiques. Ainsi, on utilisera notamment une ou plusieurs des technologies suivantes : - formation d'une couche superficielle de type P+ plus épaisse sur 30 une photodiode d'au moins un pixel du groupe de X pixels et moins épaisse sur les autres pixels du groupe, - dépôt d'une couche de silicium polycristallin au-dessus de la photodiode d'au moins un pixel du groupe mais pas au-dessus des autres pixels du groupe, - dépôt d'une couche minérale anti-reflet au-dessus d'au moins un pixel du groupe, différente d'une couche minérale anti-reflet au-dessus des autres pixels du groupe ; - formation d'une couche enterrée de type P+ au-dessous de la 5 totalité d'une couche N d'une photodiode d'au moins un pixel du groupe, mais pas au-dessous de la totalité d'une couche N des photodiodes des autres pixels du groupe, - formation d'une couche enterrée de type P+ au-dessous d'une partie seulement de la couche N d'une photodiode d'au moins un pixel du 10 groupe, mais pas au-dessous des photodiodes des autres pixels du groupe. Chacune de ces actions contribue à la modification de la réponse spectrale des pixels, et un groupe de quatre pixels utilisera trois ou quatre de ces possibilités (ou combinaisons de ces possibilités) pour obtenir trois ou quatre réponses spectrales différentes. 15 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention sont présentés dans la description suivante, en référence aux dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 déjà décrite représente une mosaïque de filtres 20 colorés dite de Bayer ; - la figure 2 représente une matrice de pixels que l'on peut agencer en groupes identiques de X pixels adjacents qui sont différenciés par process, en réponse spectrale, selon l'invention; - les figures 3 et 4 illustrent respectivement un exemple de 25 process standard utilisé pour réaliser la photodiode d'un pixel, et la réponse spectrale du pixel dans la bande spectrale à laquelle le capteur est sensible; - les figures 5 et 6 illustrent respectivement un premier exemple de process modifié par rapport au process standard pour réaliser la photodiode d'un pixel, et la réponse spectrale de ce pixel dans la bande spectrale à 30 laquelle le capteur est sensible; - les figures 7 et 8 illustrent respectivement un deuxième exemple de process modifié, et la réponse spectrale obtenue; - les figures 9 et 10 représentent une modification utilisant une couche de silicium polycristallin; - les figures 11 et 12 illustrent respectivement une modification utilisant une couche enterrée, et la réponse spectrale obtenue; - les figures 13 et 14 illustrent une variante de la réalisation des figures 11 et 12 ; - les figures 15 et 16 illustrent une réalisation avec une couche anti-reflet localement modifiée, avec la réponse spectrale correspondante ; - la figure 17 représente une structure de quatre pixels selon l'invention, de réponses spectrales toutes différentes les unes des autres.To make pixels with different spectral responses, organic layers deposited above the pixels will not be used after fabrication of the photosensitive sensor on a silicon wafer, but only processing steps of the mineral layers of the silicon wafer will be used. In other words, if one refers to the prior art, in the prior art manufacturing processes, the steps of treatment of the silicon wafer and the so-called "postprocess" stages consisting in deposition and etching were distinguished. colored filters or possibly other organic layers. According to the present invention, the realization of different spectral response pixels in groups of X pixels will result only from silicon processing steps excluding any organic layer processing step. Thus, one or more of the following technologies will be used: formation of a thicker P + type surface layer on a photodiode of at least one pixel of the group of X pixels and less thick on the other pixels of the group; depositing a polycrystalline silicon layer above the photodiode of at least one pixel of the group but not above the other pixels of the group, depositing an anti-reflection mineral layer over at least one a pixel of the group, different from an anti-reflection mineral layer above the other pixels of the group; formation of a P + type buried layer below the entire N-layer of a photodiode of at least one pixel of the group, but not below the entire N-layer of the photodiodes other pixels of the group, - formation of a P + buried layer below only a portion of the N-layer of a photodiode of at least one pixel of the group, but not below the photodiodes of the other pixels in the group. Each of these actions contributes to the modification of the spectral response of the pixels, and a group of four pixels will use three or four of these possibilities (or combinations of these possibilities) to obtain three or four different spectral responses. Other features and advantages of the invention are presented in the following description, with reference to the accompanying drawings in which: FIG. 1 already described represents a mosaic of Bayer colored filters; FIG. 2 represents a matrix of pixels that can be arranged in identical groups of X adjacent pixels which are differentiated by process, in spectral response, according to the invention; FIGS. 3 and 4 respectively illustrate an example of a standard process used to make the photodiode of a pixel, and the spectral response of the pixel in the spectral band to which the sensor is sensitive; FIGS. 5 and 6 respectively illustrate a first example of a process modified with respect to the standard process for producing the photodiode of a pixel, and the spectral response of this pixel in the spectral band to which the sensor is sensitive; - Figures 7 and 8 respectively illustrate a second example of modified process, and the spectral response obtained; - Figures 9 and 10 show a modification using a polycrystalline silicon layer; FIGS. 11 and 12 respectively illustrate a modification using a buried layer, and the spectral response obtained; - Figures 13 and 14 illustrate a variant of the embodiment of Figures 11 and 12; FIGS. 15 and 16 illustrate an embodiment with a locally modified antireflection layer, with the corresponding spectral response; FIG. 17 represents a structure of four pixels according to the invention, of spectral responses that are all different from each other.

DESCRIPTION DETAILLEE L'invention part de l'hypothèse réaliste que des pixels photosensibles voisins, c'est-à-dire adjacents sur la même ligne ou la même colonne, sont soumis au même éclairement. Elle propose : -un agencement de la matrice en groupes identiques de X pixels photosensibles voisins ; et -dans cet agencement les X pixels ne sont pas tous obtenus par un procédé de fabrication rigoureusement identique, de manière à obtenir de manière contrôlée des réponses spectrales différentes dans le spectre de sensibilité du capteur. Chaque groupe comprend X "types" de pixel. La technologie de fabrication des pixels est une technologie sur plaquette de silicium et les différences de fabrication portent sur la fabrication de la plaquette de silicium elle-même et non sur des couches organiques qui seraient rapportées sur cette plaquette. En effet, dans cette invention, il n'y a pas de filtres colorés organiques pour assurer la transmission d'une seule couleur à un pixel donné. Chaque groupe de X pixels permet cependant d'obtenir une information de couleur à partir des X pixels de ce groupe, par calcul, suivant le principe suivant : - le spectre de sensibilité du capteur est décomposé en M bandes spectrales juxtaposées ; et - on mesure pour chacune des M bandes spectrales, la réponse de chacun des X pixels P1 d'un groupe, i indice variant de 1 à X, en éclairant 35 la surface active du capteur, avec un éclairement dans cette bande spectrale et avec un niveau de luminance connu dans cette bande. Pour chaque pixel Pi, on obtient M coefficients caractéristiques notés où j varie de 1 à M, le coefficient représentant la réponse du pixel Pi soumis à un éclairement du pixel dans la jième bande spectrale, c'est-à-dire le rapport entre le niveau de 5 signal issu du pixel et la luminance reçue par le pixel. Si le capteur fournit un signal de sortie variant proportionnellement au temps d'intégration (ce qui est souvent le cas), on suppose bien sûr que la détermination est faite pour un temps d'intégration donné, et on tient compte ultérieurement du temps d'intégration si celui-ci n'est pas le même que lors de la détermination du 10 coefficient. A l'échelle de la matrice du capteur, il est suffisant d'effectuer ces mesures sur un seul groupe de X pixels différenciés pour caractériser le capteur. On obtient X fois M coefficients caractéristiques qui sont mémorisés dans des moyens de mémorisation prévus dans le capteur. 15 On peut alors mettre en oeuvre une détermination de la réponse de chacun des X pixels du capteur soumis à un éclairement quelconque provenant d'une scène dont on veut capturer l'image, par résolution d'un système à X équations et M inconnues, à partir du signal Si mesuré sur chacun des X pixels, et des coefficients caractéristiques des X pixels. Le 20 système d'équations s'écrit : S. j=1 I L- x C. - avec i entier variant de 1 à X, j entier variant de 1 à M ed où les données d'entrée sont les valeurs de signal Si fournies par chacun 25 des X pixels en fonction de l'éclairement que reçoit le groupe de pixels, et où les M inconnues sont M valeurs Li de luminance calculées représentant la décomposition de cet éclairement dans chacune des M bandes spectrales. Le signal Si fourni par un pixel est en effet la somme des réponses x Ci,i de ce pixel dans chacune des bandes spectrales : Si = Somme pour j 30 variant de 1 à M de [Li x Ci,i]. Le système d'équations permet de déterminer ces M valeurs Li, à la condition toutefois qu'il y ait bien M équations indépendantes, c'est-à-dire qu'il y ait de véritables différences de réponse spectrale des différents pixels. Le nombre X de pixels est supérieur ou égal à M. En effet, pour 35 déterminer M inconnues il faut au moins M équations.DETAILED DESCRIPTION The invention proceeds from the realistic assumption that adjacent photosensitive pixels, that is to say adjacent pixels on the same line or the same column, are subjected to the same illumination. It proposes: an arrangement of the matrix in identical groups of X neighboring photosensitive pixels; and in this arrangement the X pixels are not all obtained by a rigorously identical manufacturing method, so as to obtain in a controlled manner different spectral responses in the sensitivity spectrum of the sensor. Each group includes X "types" of pixel. Pixel fabrication technology is a silicon wafer technology and manufacturing differences are in the manufacture of the silicon wafer itself and not on the organic layers that would be reported on this wafer. Indeed, in this invention, there are no organic color filters to ensure the transmission of a single color to a given pixel. Each group of X pixels, however, makes it possible to obtain color information from the X pixels of this group, by calculation, according to the following principle: the sensitivity spectrum of the sensor is decomposed into M spectral bands juxtaposed; and for each of the M spectral bands, the response of each of the X pixels P1 of a group, i index varying from 1 to X, is measured by illuminating the active surface of the sensor, with an illumination in this spectral band and with a known luminance level in this band. For each pixel Pi, we obtain M noted characteristic coefficients where j varies from 1 to M, the coefficient representing the response of the pixel Pi subjected to an illumination of the pixel in the jth spectral band, that is to say the ratio between the signal level from the pixel and the luminance received by the pixel. If the sensor provides an output signal that varies proportionally to the integration time (which is often the case), it is assumed of course that the determination is made for a given integration time, and the time of the integration is taken into account later. integration if it is not the same as when determining the coefficient. At the scale of the sensor matrix, it is sufficient to perform these measurements on a single group of differentiated X pixels to characterize the sensor. Characteristic coefficients X are obtained which are stored in storage means provided in the sensor. It is then possible to implement a determination of the response of each of the X pixels of the sensor subjected to any illumination coming from a scene whose image is to be captured, by solving a system with X equations and M unknowns, from the signal Si measured on each of the X pixels, and the characteristic coefficients of the X pixels. The system of equations is written: S. j = 1 I L- x C - with i integer varying from 1 to X, j integer varying from 1 to M ed where the input data are the signal values If provided by each of the X pixels as a function of the illumination received by the group of pixels, and where the unknown M are M calculated luminance values Li representing the decomposition of this illumination in each of the M spectral bands. The signal Si supplied by a pixel is indeed the sum of the responses x Ci, i of this pixel in each of the spectral bands: Si = Sum for j varying from 1 to M of [Li x Ci, i]. The system of equations makes it possible to determine these M values Li, provided that there are indeed M independent equations, that is to say that there are real differences in the spectral response of the different pixels. The number X of pixels is greater than or equal to M. Indeed, to determine M unknowns it takes at least M equations.

Le capteur comporte les moyens de calcul permettant de résoudre X équations linéaires à X inconnues. Les moyens de calcul peuvent être mis sur le circuit-intégré comportant la matrice de pixels ou sur un circuit séparé (notamment un réseau de portes logiques FPGA) recevant les valeurs analogiques ou de préférence numériques fournies par la matrice de pixels. Dans l'exemple décrit ci-dessous on considérera que X = 4, c'est-à-dire que chaque groupe comporte quatre pixels arrangés en carré, et on considérera que M = 4, correspondant à une décomposition de spectre classique dans les capteurs couleurs, les bandes spectrales correspondant globalement à des gammes de couleurs respectives bleue, verte, rouge, et proche infrarouge (NIR pour "near infra red"). On pourrait aussi prendre M = 3 (bleu, vert, rouge) tout en conservant quatre pixels pour garder une forme carrée du groupe de pixels ; on utiliserait alors deux pixels identiques, par exemple en diagonale dans le carré, et des troisième et quatrième pixels différents entre eux et différentes des deux premiers. Pour expliquer la mise en oeuvre pratique de l'invention, on va détailler successivement l'agencement dans la matrice des différents types de pixels et des groupes, et des moyens pratiques permettant de différencier des pixels par les étapes de traitement du silicium pour obtenir des réponses spectrales différentes ; on détaillera la méthode de calcul dans un exemple avec quatre types de pixels de réponses spectrales différenciées.The sensor comprises the calculation means for solving X unknown linear equations X. The calculation means can be put on the integrated circuit comprising the pixel matrix or on a separate circuit (in particular an FPGA logic gate array) receiving the analog values or preferably digital values provided by the pixel matrix. In the example described below it will be considered that X = 4, that is to say that each group has four pixels arranged in a square, and it will be considered that M = 4, corresponding to a conventional spectrum decomposition in the sensors. colors, the spectral bands corresponding globally to respective color ranges blue, green, red, and near infrared (NIR for "near infra red"). One could also take M = 3 (blue, green, red) while keeping four pixels to keep a square shape of the group of pixels; we would then use two identical pixels, for example diagonally in the square, and third and fourth pixels different from each other and different from the first two. To explain the practical implementation of the invention, we will successively detail the arrangement in the matrix of different types of pixels and groups, and practical means for differentiating pixels by the silicon processing steps to obtain data. different spectral responses; the method of calculation will be detailed in an example with four types of pixels of differentiated spectral responses.

La figure 2 illustre une matrice de pixels, comprenant des groupes de X pixels voisins, et différenciés en réponse spectrale, selon l'invention. Dit d'une autre façon la matrice comprend X types de pixels en même nombre répartis en groupes identiques, où chaque groupe comprend les X types. Dans l'exemple, X est égal à quatre et les quatre pixels 30 différenciés sont notés P1, P2, P3 et P4. Ces pixels sont de préférence disposés sur deux lignes et deux colonnes, de manière à former un carré. La figure montre par exemple en zones hachurées un premier groupe G1 formé de 4 pixels différenciés P1, P2, P3 et P4, au centre du 35 dessin de la matrice, et un deuxième groupe G2, formé de manière identique avec 4 pixels différenciés P1, P2, P3 et P4, situés dans le coin supérieur gauche sur la figure. Ces deux groupes G1 et G2 n'ont aucun pixel en commun. On peut ainsi décomposer la matrice en groupes de pixels 5 différenciés qui ne partagent aucuns pixels. Dans ce cas, l'information de couleur est fournie par les 4 pixels : la résolution du capteur correspond à la taille du groupe. Mais il est également possible de définir des groupes de pixels qui partagent des pixels. Par exemple, avec X=4, chaque pixel peut appartenir à 10 4 groupes différents ayant chacun quatre types différents. Si on prend l'exemple du pixel P1 du groupe central G1 représenté par un motif rayé oblique sur la figure 2, ce pixel peut appartenir à 3 autres groupes G1', G1 ", G1 "' figurés par des cercles en pointillé sur la figure. On peut ainsi former 4 fois plus de groupes de pixels différenciés. 15 Comme, on le verra par la suite, l'information de couleur sur chaque groupe de X pixels est obtenue par calcul, on améliore la résolution en faisant ce calcul pour tous les groupes de X pixels qu'il est possible de former. Dans un autre exemple où X serait égal à 9, avec un agencement 20 des pixels différenciés dans la matrice en carré sur 3 lignes et 3 colonnes, chaque pixel peut appartenir à 9 groupes différents. En pratique, le nombre X de types de pixels différenciés dans un capteur est limité par différentes considérations : - la perte de résolution, qui peut être compensée en considérant 25 des groupes de pixels qui se chevauchent, mais au prix d'une augmentation du volume de calcul ; - l'éclairement doit pouvoir être considéré comme uniforme à l'échelle de chaque groupe ; plus le nombre de pixels par groupe est élevé, moins cela est vrai : l'information en sortie pour chaque groupe est plus 30 imprécise. - les possibilités technologiques de différenciation des réponses spectrales des différents pixels du groupe, comme cela va être détaillé par la suite. Enfin, pour des raisons de simplicité de mise en oeuvre, 35 l'agencement en carré est préféré, par exemple en carré de 4 ou 9 pixels.FIG. 2 illustrates an array of pixels, comprising groups of X neighboring pixels, and differentiated in spectral response, according to the invention. In another way, the matrix comprises X types of pixels of the same number distributed in identical groups, where each group comprises the X types. In the example, X is equal to four and the four differentiated pixels are denoted P1, P2, P3 and P4. These pixels are preferably arranged on two lines and two columns, so as to form a square. The figure shows, for example in hatched areas, a first group G1 formed of 4 differentiated pixels P1, P2, P3 and P4, in the center of the pattern of the matrix, and a second group G2, formed identically with 4 differentiated pixels P1, P2, P3 and P4, located in the upper left corner in the figure. These two groups G1 and G2 have no pixel in common. The matrix can thus be broken down into groups of differentiated pixels which share no pixels. In this case, the color information is provided by the 4 pixels: the resolution of the sensor corresponds to the size of the group. But it is also possible to define groups of pixels that share pixels. For example, with X = 4, each pixel can belong to 10 different groups each having four different types. If we take the example of the pixel P1 of the central group G1 represented by an oblique striped pattern in FIG. 2, this pixel can belong to 3 other groups G1 ', G1 ", G1"' represented by dotted circles in the figure . It is thus possible to form 4 times more groups of differentiated pixels. As will be seen later, the color information on each group of X pixels is obtained by calculation, the resolution is improved by doing this calculation for all groups of X pixels that can be formed. In another example where X would be 9, with an arrangement of differentiated pixels in the 3-row and 3-column square array, each pixel can belong to 9 different groups. In practice, the number X of differentiated pixel types in a sensor is limited by various considerations: the loss of resolution, which can be compensated by considering overlapping groups of pixels, but at the expense of an increase in volume Calculation ; - the illumination must be considered uniform at the level of each group; the higher the number of pixels per group, the less this is true: the output information for each group is more inaccurate. the technological possibilities of differentiating the spectral responses of the different pixels of the group, as will be detailed later. Finally, for reasons of simplicity of implementation, the square arrangement is preferred, for example in square of 4 or 9 pixels.

Mais l'invention ne se limite pas à un tel agencement. On peut notamment prévoir (mais moins avantageusement) des agencements rectangulaires : sur une ligne et 3 ou 4 colonnes, sur deux lignes et trois colonnes ; on peut également prévoir des agencements avec des pixels de forme hexagonale, etc. Les figures 3, 5, 7, 9, 11 et 13 montrent schématiquement des exemples de différenciation contrôlée des pixels pour un capteur de technologie CMOS réalisé sur substrat silicium et utilisant une photodiode comme élément photosensible dans chaque pixel ; et les figures 4, 6, 8, 10, 12 et 14, illustrent des exemples de réponses spectrales pouvant être obtenues pour la bande de sensibilité du capteur, à savoir le spectre visible et proche infra-rouge. Dans les figures, on a pris l'exemple de pixels obtenus à partir 15 d'un substrat de silicium dopé P+, ce qui correspond à la technologie la plus courante ; l'invention se transpose de façon symétrique à des pixels obtenus à partir d'un substrat silicium dopé N. La figure 3 montre la structure de couches d'un pixel obtenu par des étapes standards, au niveau de l'élément de photodiode (jonction PN) 20 lorsque la photodiode est une photodiode de type "pinned photodiode", c'est-à-dire une photodiode à potentiel de surface fixé par une couche superficielle de type P+. Cette structure comprend de manière bien connue un substrat de silicium 10 dopé P+, d'épaisseur ebulk, recouvert d'une couche épitaxiale 12 25 dopée de type P- et d'épaisseur eepi. Pour la commodité de la représentation, les épaisseurs ne sont pas représentées de manière réaliste sur les figures : l'épaisseur ebulk est de plusieurs centaines de micromètres, l'épaisseur eepi est de quelques micromètres. Une couche 14 de type N est diffusée à partir de la surface de la 30 couche épitaxiale 12. Son épaisseur eN est de l'ordre de quelques centaines de nanomètres. Les couches 12 et 14 forment la jonction PN constituant la photodiode. Enfin, une couche superficielle 16 dopée P+ recouvre 35 classiquement la couche N. Cette couche de surface a une épaisseur standard ep qui peut être de quelques dizaines de nanomètres. Cette couche est utilisée pour maintenir à zéro le potentiel de surface de la photodiode. La figure 4 représente un diagramme typique de réponse spectrale d'une telle photodiode. En abscisse on a porté les longueurs 5 d'onde dans le spectre visible et proche infrarouge, d'environ 400 nanomètres à 1000 nanomètres. En ordonnée on a porté l'efficacité quantique, c'est-à-dire le rendement de conversion de photons en électrons, pour les différentes longueurs d'onde. Ces courbes, ainsi que celles des figures suivantes, sont données à titre illustratif ; ce ne sont pas des courbes 10 expérimentales ; elles sont données pour montrer qu'on peut agir par différents moyens technologiques sur la réponse spectrale de la photodiode. Le spectre utile est décomposé dans cet exemple en quatre bandes spectrales B, V, R, NIR, correspondant approximativement à des gammes de couleurs bleue, verte, rouge, et proche infrarouge en partant des 15 plus courtes longueurs d'onde vers les plus longues. Le pixel de la figure 3 peut alors être caractérisé par quatre coefficients de réponse respectives C1,1, C12, C1,3 et C1,4 correspondant à ces quatre bandes. Un pixel P1 des groupes de quatre pixels peut être constitué avec cette structure classique. Ces coefficients sont obtenus par 20 mesure préalable (ou éventuellement par simulation et/ou calcul) de la réponse de chaque type de pixel à un éclairement limité à chaque fois à l'une des quatre bandes spectrales. La figure 5 représente une structure de photodiode modifiée pour réduire la réponse dans le bleu et dans le vert, aboutissant à des coefficients 25 d'un deuxième pixel P2, qui seraient C2,1, C2,2, C2,3 et C2,4, dans lesquels C2,2 et surtout C2,1 sont significativement plus faibles que C1,2 et C1,1 respectivement. Cette modification est obtenue en augmentant l'épaisseur de la couche superficielle 16 de type P+ sur la photodiode du deuxième pixel P2. En effet, les longueurs d'onde courtes ont une profondeur de pénétration 30 faible dans le silicium et atteignent alors difficilement la couche N. Les électrons créés dans la couche 16 peuvent difficilement parvenir dans la couche N située au-dessous et y être stockés. Ils ne participent donc pas au signal produit par la photodiode. L'épaisseur de la couche 16 peut être de 100 à 300 nanomètres par exemple.But the invention is not limited to such an arrangement. In particular, it is possible to provide (but less advantageously) rectangular arrangements: on one line and 3 or 4 columns, on two lines and three columns; arrangements may also be provided with hexagonal shaped pixels, etc. Figures 3, 5, 7, 9, 11 and 13 schematically show examples of controlled differentiation of pixels for a CMOS technology sensor made on a silicon substrate and using a photodiode as a photosensitive element in each pixel; and Figures 4, 6, 8, 10, 12 and 14 illustrate exemplary spectral responses obtainable for the sensor sensitivity band, namely the visible and near infra-red spectrum. In the figures, we have taken the example of pixels obtained from a P + doped silicon substrate, which corresponds to the most common technology; the invention is symmetrically transposed to pixels obtained from an N-doped silicon substrate. FIG. 3 shows the layer structure of a pixel obtained by standard steps, at the level of the photodiode element (junction PN) 20 when the photodiode is a photodiode of "pinned photodiode" type, that is to say a photodiode with surface potential fixed by a P + type surface layer. This structure comprises, in a well-known manner, a P + doped silicon substrate 10 of ebulk thickness, covered with a P-type doped epitaxial layer 12 and with a thickness eepi. For the convenience of the representation, the thicknesses are not represented in a realistic way in the figures: the ebulk thickness is several hundred micrometers, the thickness eepi is a few micrometers. An N-type layer 14 is diffused from the surface of the epitaxial layer 12. Its thickness eN is of the order of a few hundred nanometers. The layers 12 and 14 form the PN junction constituting the photodiode. Finally, a P + doped surface layer 16 conventionally covers the N layer. This surface layer has a standard ep thickness which may be a few tens of nanometers. This layer is used to maintain the surface potential of the photodiode at zero. FIG. 4 represents a typical spectral response diagram of such a photodiode. In the abscissa, the wavelengths in the visible and near infrared spectrum have been increased from about 400 nanometers to 1000 nanometers. On the ordinate the quantum efficiency, that is to say the conversion efficiency of photons into electrons, has been increased for the different wavelengths. These curves, as well as those of the following figures, are given for illustrative purposes; they are not experimental curves; they are given to show that one can act by different technological means on the spectral response of the photodiode. The useful spectrum is decomposed in this example into four spectral bands B, V, R, NIR, corresponding approximately to blue, green, red, and near-infrared color ranges from shorter to longer wavelengths. . The pixel of FIG. 3 can then be characterized by four respective response coefficients C1,1, C12, C1,3 and C1,4 corresponding to these four bands. A pixel P1 groups of four pixels can be formed with this conventional structure. These coefficients are obtained by preliminary measurement (or possibly by simulation and / or calculation) of the response of each pixel type to an illumination each limited to one of the four spectral bands. Fig. 5 shows a photodiode structure modified to reduce the response in blue and in green, resulting in coefficients of a second pixel P2, which would be C2,1, C2,2, C2,3 and C2,4 , in which C2,2 and especially C2,1 are significantly lower than C1,2 and C1,1 respectively. This modification is obtained by increasing the thickness of the P + type surface layer 16 on the photodiode of the second pixel P2. Indeed, the short wavelengths have a low penetration depth in the silicon and then hardly reach the N layer. The electrons created in the layer 16 can hardly reach the N layer below and be stored there. They do not participate in the signal produced by the photodiode. The thickness of the layer 16 may be 100 to 300 nanometers for example.

La figure 6 montre une courbe de réponse spectrale correspondante où l'efficacité quantique est réduite dans les bandes spectrales correspondant au bleu et au vert. Le groupe de coefficients C2,1, C2,2, C2,3 et C2,4 est différent du groupe C1,1, C1,2, C1,3 et C1,4.Figure 6 shows a corresponding spectral response curve where the quantum efficiency is reduced in the spectral bands corresponding to blue and green. The group of coefficients C2,1, C2,2, C2,3 and C2,4 is different from the group C1,1, C1,2, C1,3 and C1,4.

La figure 7 représente une structure de photodiode similaire à celle de la figure 5 mais dans laquelle on a encore augmenté l'épaisseur de la couche superficielle 16 jusqu'à supprimer pratiquement toute réponse dans le bleu. La figure 8 représente la courbe de réponse spectrale correspondante. L'épaisseur de la couche 16 peut être de 300 à 600 nanomètres. Le pixel P2 pourrait par exemple utiliser cette structure plutôt que celle de la figure 5. Des courbes de réponse analogues à celles des figures 6 et 8 pourraient être obtenues par une autre modification structurelle de la photodiode. Cette modification consiste à déposer au-dessus du pixel P2 une couche de silicium polycristallin d'une épaisseur de quelques centaines de nanomètres, jouant le même rôle que la couche 16 pour absorber les photons de courtes longueurs d'onde. L'utilisation de silicium polycristallin gravé localement au-dessus de certains pixels est technologiquement facile car il est de toutes façons nécessaire d'utiliser du silicium polycristallin pour d'autres éléments de circuit et notamment les transistors des pixels actifs. L'épaisseur de silicium polycristallin utilisée au-dessus des photodiodes est alors de préférence limitée à l'épaisseur utilisée pour les grilles des transistors, typiquement environ 200 nanomètres en technologie CMOS, pouvant atteindre 350 nanomètres dans d'autres technologies. Si on utilise du polysilicium polycristallin, on ne mettra en principe pas de couche superficielle de type P+ telle que la couche 16, cette couche n'étant alors pas indispensable et étant alors plus difficile à mettre en place. Les figures 9 et 10 représentent une telle possibilité, sans ou avec la couche superficielle de type P+ 16. Dans ce dernier cas, on a gardé pour la couche superficielle 16 la même épaisseur standard que celle de la figure 3 mais on a déposé au-dessus de cette couche 16 une couche localisée de silicium polycristallin 18. Cette couche 18 pourrait ne recouvrir qu'une partie de la surface de la photodiode. Son épaisseur est d'autant plus importante qu'on veut atténuer la réponse dans le bleu et le vert.Fig. 7 shows a photodiode structure similar to that of Fig. 5 but in which the thickness of the surface layer 16 has been further increased to virtually eliminate any response in the blue. Figure 8 shows the corresponding spectral response curve. The thickness of the layer 16 may be 300 to 600 nanometers. The pixel P2 could for example use this structure rather than that of FIG. 5. Response curves similar to those of FIGS. 6 and 8 could be obtained by another structural modification of the photodiode. This modification consists in depositing above the pixel P2 a layer of polycrystalline silicon with a thickness of a few hundred nanometers, playing the same role as the layer 16 for absorbing the photons of short wavelengths. The use of polycrystalline silicon etched locally above certain pixels is technologically easy because it is in any case necessary to use polycrystalline silicon for other circuit elements and in particular active pixel transistors. The thickness of polycrystalline silicon used above the photodiodes is then preferably limited to the thickness used for the gates of the transistors, typically about 200 nanometers in CMOS technology, up to 350 nanometers in other technologies. If polycrystalline polysilicon is used, it will in principle not put a P + type surface layer such as the layer 16, this layer is then not essential and then being more difficult to implement. FIGS. 9 and 10 represent such a possibility, without or with the P + type surface layer. In the latter case, the same standard thickness as for FIG. 3 has been kept for the surface layer 16 but that above this layer 16 a localized layer of polycrystalline silicon 18. This layer 18 may cover only a portion of the surface of the photodiode. Its thickness is all the more important that one wants to attenuate the answer in blue and green.

La figure 11 représente encore une autre modification structurelle de la photodiode, permettant de réaliser un troisième pixel P3 dont la réponse spectrale est maintenant atténuée dans le rouge, et atténuée également ou même réduite à zéro dans l'infrarouge. Cette modification 5 consiste à prévoir localement sous la diffusion N de la photodiode du pixel P4 une couche enterrée D_P de type P, plus fortement dopée que la couche épitaxiale. Cette couche sert de barrière de potentiel entre la partie basse de la couche épitaxiale et la jonction PN de la photodiode. Ainsi, les électrons engendrés dans cette partie basse sous l'effet des photons de forte 10 pénétration (rouge et surtout infrarouge) restent localisés au-dessous de la barrière et ne rejoignent pas la couche N. Ils finissent par se recombiner et ne contribuent donc pas au signal utile fourni par la photodiode. La figure 12 représente la réponse spectrale fortement atténuée dans le rouge et l'infrarouge, donnant un pixel avec un groupe de coefficients 15 de réponse C3,1, C3,2, C3,3, et C3,4 différent des précédents groupes. La figure 13 représente une variante qui pourrait être utilisée (par exemple pour le même pixel P3). Dans cette variante, la couche enterrée D_P de type P n'occupe qu'un partie seulement et non la totalité de l'étendue de la photodiode. L'action de cette couche est la même que celle de la figure 20 11 mais à un degré moindre, ce que l'on voit sur la figure correspondante 14, où l'efficacité quantique dans les bandes spectrales R et NIR est atténuée par rapport à celle des figures 4 et 6 mais moins atténuée que celle de la figure 12. La figure 15 représente une manière d'agir sur la courbe de 25 réponse spectrale du fait de la présence d'une ou plusieurs couches antireflet de caractéristiques spécifiques au-dessus de la photodiode du pixel concerné. De manière générale, on n'a pas représenté de couches anti-reflet au-dessus de la photodiode des figures 3, 5, 7, 9, 11, 13, mais une ou plusieurs couches sont présentes et la réponse spectrale qui a été 30 représentée en tient compte. L'action anti-reflet de ces couches dépend du nombre des couches, de leur épaisseur, de l'indice optique des matériaux utilisés. Dans le cas le plus simple, la couche anti-reflet peut être par exemple une couche de nitrure de silicium SiN ou Si3N4 au-dessus d'une couche d'oxyde de silicium. Dans l'art antérieur, les couches anti-reflet sont 35 déposées uniformément sur toute la matrice de pixels. Dans la présente invention, on peut constituer certains pixels avec une couche anti-reflet constituée différemment au-dessus de certains pixels pour donner des propriétés de réflexion différentes et ainsi modifier localement la réponse spectrale.FIG. 11 represents yet another structural modification of the photodiode, making it possible to produce a third pixel P3 whose spectral response is now attenuated in the red, and also attenuated or even reduced to zero in the infrared. This modification 5 consists in locally providing, under the diffusion N of the photodiode of the pixel P4, a buried layer D_P of type P, which is more heavily doped than the epitaxial layer. This layer serves as a potential barrier between the lower part of the epitaxial layer and the PN junction of the photodiode. Thus, the electrons generated in this lower part under the effect of high penetration photons (red and especially infrared) remain localized below the barrier and do not join the N layer. They end up recombining and therefore do not contribute not to the useful signal provided by the photodiode. Figure 12 shows the strongly attenuated spectral response in the red and the infrared, giving a pixel with a group of response coefficients C3,1, C3,2, C3,3, and C3,4 different from the previous groups. Figure 13 shows a variant that could be used (for example for the same pixel P3). In this variant, the P-type buried layer D_P occupies only a part and not the entire extent of the photodiode. The action of this layer is the same as that of FIG. 11, but to a lesser degree, which is seen in the corresponding figure 14, where the quantum efficiency in the R and NIR spectral bands is attenuated relative to FIG. 15 shows a way of acting on the spectral response curve due to the presence of one or more antireflection layers of specific characteristics in FIGS. 4 and 6, but less attenuated than that of FIG. above the photodiode of the pixel concerned. In general, no antireflection layers have been shown above the photodiode of FIGS. 3, 5, 7, 9, 11, 13, but one or more layers are present and the spectral response which has been 30 represented takes account of it. The anti-reflective action of these layers depends on the number of layers, their thickness, the optical index of the materials used. In the simplest case, the anti-reflection layer may for example be a silicon nitride SiN or Si3N4 layer above a silicon oxide layer. In the prior art, the anti-reflection layers are uniformly deposited over the entire pixel array. In the present invention, certain pixels may be constituted with an anti-reflection layer constituted differently above certain pixels to give different reflection properties and thus locally modify the spectral response.

On peut donc constituer par exemple un quatrième type de pixel P4 avec une couche anti-reflet qui agit sur certaines bandes spectrales différemment des autres. Dans un exemple, on choisit la constitution, par exemple l'épaisseur, d'une couche anti-reflet de nitrure de silicium de manière à accroître la réflexion dans le vert (donc à réduire la réponse spectrale dans cette bande). Cette modification est représentée symboliquement sur la figure 15 par une surépaisseur d'une couche antireflet de nitrure de silicium 20, cette surépaisseur étant localisée au niveau du pixel P4 et absente au-dessus des pixels voisins. La figure 16 représente une possibilité de réponse spectrale 15 correspondante, aboutissant à un groupe de coefficients C4,1, C4,2, C4,3, et C4,4 différent des précédents groupes. Enfin, la figure 17 représente à titre d'exemple un ensemble de quatre pixels P1, P2, P3, P4 formant un groupe ayant des réponses 20 spectrales différentes. Les pixels sont représentés juxtaposés sur la figure 17 et constituent dans la réalité un carré. Les photodiodes des différents pixels sont classiquement séparées par des régions d'isolation créant des barrières d'isolation empêchant le mélange de charges générées dans les différentes photodiodes.For example, it is possible to form a fourth type of pixel P4 with an anti-reflection layer which acts on certain spectral bands differently from the others. In one example, the constitution, for example the thickness, of an antireflection layer of silicon nitride is chosen so as to increase the reflection in the green (and thus to reduce the spectral response in this band). This modification is represented symbolically in FIG. 15 by an excess thickness of an antireflection layer of silicon nitride 20, this excess thickness being located at the pixel P4 and absent above the neighboring pixels. Fig. 16 shows a corresponding spectral response capability, resulting in a group of coefficients C4,1, C4,2, C4,3, and C4,4 different from the previous groups. Finally, FIG. 17 illustrates as an example a set of four pixels P1, P2, P3, P4 forming a group having different spectral responses. The pixels are shown juxtaposed in FIG. 17 and constitute in reality a square. The photodiodes of the various pixels are conventionally separated by isolation regions creating isolation barriers preventing the mixing of charges generated in the different photodiodes.

25 Beaucoup de possibilités technologiques existent donc pour modifier la réponse spectrale d'un pixel par une action faite au cours de la fabrication du capteur photosensible c'est-à-dire au niveau du traitement des couches minérales formées sur une tranche de silicium (incluant les couches de passivation et couches anti-reflet). Les possibilités qui ont été décrites ci- 30 dessus à titre d'exemple ont l'avantage de faire partie de la technologie standard des capteurs photosensibles de technologie CMOS même si elles demandent des étapes de masquage supplémentaires. Ainsi : - la couche superficielle 16 existe dans la technologie classique 35 des photodiodes "pinned". Un masque sera rajouté pour former une implantation plus profonde uniquement pour les pixels de type P2 dans l'exemple donné ci-dessus ; - des couches de silicium polycristallin sont disponibles puisqu'elles sont déjà nécessaires pour former des grilles de transistors dans 5 la matrice de pixels CMOS et des grilles de transistors dans les circuits de commande périphériques ; - des couches enterrées profondes telles que D_P (figures 11 et 13) sont disponibles dans les circuits périphériques, pour former des caissons de type N dans lesquels on réalise certains transistors NMOS ; 10 - des couches anti-reflet sont disponibles et il faudra un masque pour déposer des surépaisseurs ou en pratique diminuer localement l'épaisseur d'une couche plus épaisse. L'invention est applicable principalement pour une décomposition 15 du spectre en quatre bandes spectrales mais peut être appliquée aussi à plus de quatre, ou moins de quatre, à la limite pour une simple décomposition en une image visible (sans couleur) et une image infrarouge. L'invention est applicable aussi à des capteurs amincis éclairés par la face arrière, mais les modifications technologiques faites pour modifier 20 la réponse spectrale devront bien entendu en tenir compte. Ainsi par exemple, la couche enterrée D_P devient une couche atténuant la réponse dans les courtes longueurs d'onde si la lumière arrive par l'arrière.Numerous technological possibilities therefore exist for modifying the spectral response of a pixel by an action taken during the manufacture of the photosensitive sensor, that is to say at the level of the treatment of the mineral layers formed on a silicon wafer (including passivation layers and anti-reflection layers). The possibilities which have been described above by way of example have the advantage of being part of the standard CMOS technology sensor technology even if they require additional masking steps. Thus: the surface layer 16 exists in the conventional technology of pinned photodiodes. A mask will be added to form a deeper implantation only for the P2 type pixels in the example given above; polycrystalline silicon layers are available since they are already required to form transistor gates in the CMOS pixel matrix and transistor gates in the peripheral control circuits; deep buried layers such as D_P (FIGS. 11 and 13) are available in the peripheral circuits, to form N-type wells in which certain NMOS transistors are made; Anti-reflective layers are available and it will require a mask to deposit overthicknesses or in practice locally reduce the thickness of a thicker layer. The invention is applicable mainly for spectrum decomposition into four spectral bands but can be applied to more than four or less than four at the limit for simple decomposition into a visible (colorless) image and an infrared image. . The invention is also applicable to thinned sensors illuminated by the back side, but the technological modifications made to modify the spectral response will of course have to take this into account. For example, the buried layer D_P becomes a layer attenuating the response in the short wavelengths if the light comes from behind.

Claims (6)

REVENDICATIONS1. Capteur d'image matriciel comportant n.p pixels photosensibles agencés selon n lignes et p colonnes, n et p entiers supérieurs ou égaux à deux, avec un pixel à l'intersection d'une ligne et d'une colonne respective, caractérisé en ce que les pixels sont organisés en groupes identiques de X pixels adjacents, X supérieur ou égal à deux, les X pixels n'ayant pas tous la même réponse spectrale, la réponse spectrale d'un pixel de rang i dans le groupe étant définie par M coefficients connus où j représente un indice variant de 1 à M d'une bande spectrale respective parmi M bandes spectrales juxtaposées formant l'ensemble de la bande spectrale à laquelle le capteur est sensible, avec M entier inférieur ou égal à X, le capteur comportant un moyen de calcul pour résoudre pour chaque groupe de pixels un système de X équations à M inconnues de la forme : S. j=1 I L- x C. - avec i entier variant de 1 à X, j entier variant de 1 à M ed où les données d'entrée sont des valeurs de signal Si fournies par chacun des X pixels adjacents recevant un éclairement commun, et où les M inconnues sont M valeurs Li de luminance calculée représentant la luminance reçue par le groupe de pixels dans chacune des M bandes spectrales.REVENDICATIONS1. A matrix image sensor comprising np photosensitive pixels arranged in n rows and p columns, n and p integers greater than or equal to two, with a pixel at the intersection of a line and a respective column, characterized in that the pixels are organized into identical groups of X adjacent pixels, X greater than or equal to two, the X pixels not having the same spectral response, the spectral response of a pixel of rank i in the group being defined by M known coefficients where j represents an index varying from 1 to M of a respective spectral band among M juxtaposed spectral bands forming the whole of the spectral band to which the sensor is sensitive, with M integer less than or equal to X, the sensor comprising a means calculation method for solving for each group of pixels a system of X equations with M unknowns of the form: S. j = 1 I L- x C. - with i integer varying from 1 to X, j integer varying from 1 to M ed where the input data is d The signal values Si provided by each of the X adjacent pixels receiving a common illumination, and wherein the unknown M's are M values of calculated luminance Li representing the luminance received by the group of pixels in each of the M spectral bands. 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que M est supérieur ou égal à trois et les M bandes spectrales comportent au moins une bande spectrale correspondant généralement à une couleur bleue, une bande spectrale correspondant généralement à une couleur verte et une bande spectrale correspondant généralement à une couleur rouge.2. Sensor according to claim 1, characterized in that M is greater than or equal to three and the M spectral bands comprise at least one spectral band generally corresponding to a blue color, a spectral band generally corresponding to a green color and a spectral band. generally corresponding to a red color. 3. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que M est supérieur ou égal à quatre et les M bandes spectrales comportent au moins une bande spectrale correspondant généralement à une couleur bleue, une bande spectrale correspondant généralement à une couleur verte et une bande spectrale correspondant généralement à une couleur rouge, et une bande spectrale correspondant au proche infrarouge.3. Sensor according to claim 1, characterized in that M is greater than or equal to four and the M spectral bands comprise at least one spectral band generally corresponding to a blue color, a spectral band generally corresponding to a green color and a spectral band. generally corresponding to a red color, and a spectral band corresponding to the near infrared. 4. Capteur selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le groupe de pixels forme un carré.4. Sensor according to one of claims 1 to 3, characterized in that the pixel group forms a square. 5. Capteur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les pixels d'un groupe possèdent des réponses spectrales différentes en raison d'opérations locales résultant d'étapes de traitement d'une tranche de silicium et en ce que le capteur ne comporte pas de filtres de couleur organiques.5. Sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the pixels of a group have different spectral responses due to local operations resulting from processing steps of a silicon wafer and in that the sensor does not have organic color filters. 6. Capteur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les pixels d'un groupe se distinguent les uns des autres par : - l'épaisseur d'une couche superficielle de type P+ au-dessus d'une photodiode du pixel, - et/ou la présence ou l'épaisseur d'une couche de silicium polycristallin au-dessus de la photodiode, - et/ou la présence d'une couche enterrée de type P au-dessous d'une jonction de photodiode formée par une diffusion N dans une couche épitaxiale de type P, - et/ou la présence d'une modification d'épaisseur ou de constitution de couche anti-reflet au-dessus d'un pixel par rapport à l'épaisseur ou la constitution de cette couche au-dessus des autres pixels.6. Sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the pixels of a group are distinguished from each other by: - the thickness of a P + type surface layer above a pixel photodiode and / or the presence or thickness of a polycrystalline silicon layer above the photodiode, and / or the presence of a buried P-type layer below a photodiode junction formed by an N-diffusion in a P-type epitaxial layer; and / or the presence of a change in thickness or anti-reflective layer formation over a pixel with respect to the thickness or constitution of this layer. layer above the other pixels.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022194040A1 (en) * 2021-03-16 2022-09-22 上海与光彩芯科技有限公司 Spectral chip-based image sensing method and apparatus, spectral recovery method and apparatus, and electronic device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4749851A (en) * 1986-08-29 1988-06-07 Technische Universiteit Delft Method and circuit for determining the wave-length of light
EP0605898A1 (en) * 1993-01-01 1994-07-13 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state image pickup device
EP1551061A2 (en) * 2003-12-31 2005-07-06 Dongbu Electronics Co., Ltd. Cmos image sensor and method for detecting color sensitivity thereof
US20060043519A1 (en) * 2004-08-31 2006-03-02 Sony Corporation Solid-state imaging device, camera module and electronic equipment module
FR2959092A1 (en) * 2010-04-20 2011-10-21 Centre Nat Rech Scient DIGITAL COMPENSATION PROCESSING OF SIGNALS FROM PHOTOSITES OF A COLOR SENSOR

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4749851A (en) * 1986-08-29 1988-06-07 Technische Universiteit Delft Method and circuit for determining the wave-length of light
EP0605898A1 (en) * 1993-01-01 1994-07-13 Canon Kabushiki Kaisha Solid-state image pickup device
EP1551061A2 (en) * 2003-12-31 2005-07-06 Dongbu Electronics Co., Ltd. Cmos image sensor and method for detecting color sensitivity thereof
US20060043519A1 (en) * 2004-08-31 2006-03-02 Sony Corporation Solid-state imaging device, camera module and electronic equipment module
FR2959092A1 (en) * 2010-04-20 2011-10-21 Centre Nat Rech Scient DIGITAL COMPENSATION PROCESSING OF SIGNALS FROM PHOTOSITES OF A COLOR SENSOR

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022194040A1 (en) * 2021-03-16 2022-09-22 上海与光彩芯科技有限公司 Spectral chip-based image sensing method and apparatus, spectral recovery method and apparatus, and electronic device

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