FR3000502A1

FR3000502A1 - Thermally treating a thin part e.g. large-sized aspheric mirrors, comprises vertically placing a thin part during the heat treatment, where the treatment is an annealing process which is carried out to slacken internal stresses in the part

Info

Publication number: FR3000502A1
Application number: FR1262834A
Authority: FR
Inventors: Thomas Lanternier; Stephane Bouillet
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA; Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 2012-12-27
Filing date: 2012-12-27
Publication date: 2014-07-04

Abstract

The method comprises vertically placing a thin part (2) during the heat treatment. The heat treatment is an annealing process which is carried out to slacken internal stresses present in the thin part due to its delayed elasticity. The thin part is covered with thin layers, which are capable of generating other internal stresses.

Description

PROCEDE DE TRAITEMENT THERMIQUE D'UNE PIECE MINCE, NOTAMMENT D'UN COMPOSANT OPTIQUE MINCE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un procédé de traitement thermique d'une pièce mince, notamment d'un composant optique mince. Etant donné une pièce qui est délimitée par deux faces, on la dit mince si la plus grande distance mesurable sur au moins l'une des deux faces est supérieure à environ cinq fois la distance entre les deux faces. Ainsi, dans la présente invention, on considère des pièces dont le rapport d'aspect est de l'ordre de 5:1 ou supérieur à 5:1.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a method of heat treatment of a thin part, in particular of a thin optical component. Given a part which is delimited by two faces, it is said to be thin if the greatest distance measurable on at least one of the two faces is greater than approximately five times the distance between the two faces. Thus, in the present invention, parts having an aspect ratio of about 5: 1 or greater than 5: 1 are considered.

La présente invention trouve des applications notamment dans la réalisation de miroirs asphériques de grandes dimensions, destinés à la recherche en astrophysique ou à la focalisation de lasers de puissance, ou dans la réalisation de miroirs cylindriques, destinés à réfléchir un rayonnement synchrotron. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE La fabrication d'une pièce mince nécessite souvent un traitement thermique de celle-ci. Au cours de ce traitement thermique, on donne à la pièce une orientation fixe dans laquelle des contraintes internes nuisibles sont susceptibles d'être engendrées.The present invention finds applications in particular in the production of large aspherical mirrors, intended for astrophysical research or focusing of power lasers, or in the production of cylindrical mirrors intended to reflect synchrotron radiation. STATE OF THE PRIOR ART The manufacture of a thin part often requires a heat treatment thereof. During this heat treatment, the piece is given a fixed orientation in which harmful internal stresses are likely to be generated.

En particulier, il peut être nécessaire d'appliquer à la pièce mince un traitement thermique, généralement un recuit, en vue de la relaxation de contraintes internes. Et l'orientation fixe, dont il a été question ci-dessus, risque, au contraire, de conduire à un ajout de contraintes internes alors que l'on souhaite les supprimer.In particular, it may be necessary to apply to the thin part a heat treatment, generally an annealing, for the relaxation of internal stresses. And the fixed orientation, which was mentioned above, on the contrary, risk leading to an addition of internal constraints while we want to remove them.

EXPOSÉ DE L'INVENTION La présente invention a pour but de remédier aux inconvénients précédents. Pour ce faire, le traitement thermique est effectué en disposant la pièce verticalement. Selon divers aspects particuliers de la présente invention : -pour relâcher des contraintes volumiques, c'est-à-dire des contraintes internes, dues à l'élasticité retardée d'un composant optique mince, ce dernier est recuit dans une position verticale ; -pour relâcher des contraintes internes, susceptibles d'apparaître dans un composant optique mince que l'on a traité en le recouvrant d'une ou plusieurs couches minces, le composant optique est recuit dans une position verticale ; et -on effectue un traitement thermique d'un composant optique mince en plaçant celui-ci verticalement.DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention aims to overcome the above disadvantages. To do this, the heat treatment is performed by arranging the piece vertically. According to various particular aspects of the present invention: to release voluminal stresses, that is to say internal stresses, due to the delayed elasticity of a thin optical component, the latter is annealed in a vertical position; in order to release internal stresses, which may appear in a thin optical component which has been treated by covering it with one or more thin layers, the optical component is annealed in a vertical position; and performing a heat treatment of a thin optical component by placing it vertically.

De façon précise, la présente invention a pour objet un procédé de traitement thermique d'une pièce mince, notamment d'un composant optique mince, caractérisé en ce que la pièce mince est disposée (notamment maintenue) verticalement pendant le traitement thermique. Selon un mode de réalisation particulier du procédé, objet de l'invention, le traitement thermique est un recuit qui est effectué pour relâcher des contraintes internes, présentes dans la pièce mince et dues à une élasticité retardée de celle-ci, cette pièce étant disposée verticalement pendant le recuit. Selon un autre mode de réalisation particulier, la pièce mince ayant été préalablement recouverte d'une ou plusieurs couches minces, ce qui est susceptible d'y engendrer d'autres contraintes internes, on effectue le recuit en disposant la pièce mince verticalement, en vue de relâcher aussi les autres contraintes internes.Specifically, the subject of the present invention is a method of heat treatment of a thin part, in particular of a thin optical component, characterized in that the thin part is arranged (in particular maintained) vertically during the heat treatment. According to a particular embodiment of the method, object of the invention, the heat treatment is an annealing which is performed to release internal stresses, present in the thin piece and due to a delayed elasticity thereof, this part being arranged vertically during annealing. According to another particular embodiment, the thin part having been previously covered with one or more thin layers, which is likely to generate other internal stresses, the annealing is carried out by arranging the thin piece vertically, in view to release also other internal constraints.

BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : -la figure 1 illustre schématiquement un exemple du procédé, objet de l'invention, et -la figure 2 est une vue schématique d'une pièce que l'on va traiter conformément à l'invention.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention will be better understood on reading the description of exemplary embodiments given below, purely by way of indication and in no way limiting, with reference to the appended drawings in which: FIG. 1 schematically illustrates a example of the method, object of the invention, and FIG 2 is a schematic view of a part that will be treated in accordance with the invention.

EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS On donne, dans ce qui suit, divers exemples de l'invention. Dans un premier exemple, on veut traiter une pièce mince, présentant une élasticité retardée, dans laquelle existent des contraintes internes. Cette pièce est un composant optique mince dont le matériau constitutif est un verre, par exemple de type BK7. On souhaite relaxer les contraintes internes de la pièce. Et, pour ce faire, conformément à l'invention, on chauffe la pièce sans contrainte, dans une position verticale. Dans un autre exemple, une pièce mince faite de céramique, par exemple de type YAG, doit subir un traitement thermique. Elle doit donc être chauffée et risque alors d'être contrainte. Pour empêcher cela, on applique le traitement thermique à la pièce tout en maintenant celle-ci verticalement. Dans le cas où la pièce est en verre, elle est chauffée à une température qui reste très inférieure à la température de transition vitreuse (de l'ordre de 800°C). A titre purement indicatif et nullement limitatif, la température de chauffage ne dépasse pas 200°C. Dans un autre exemple, on veut faire subir un recuit en position verticale à un composant optique mince, en vue de relâcher des contraintes internes de celui-ci. Cet autre exemple est schématiquement illustré par la figure 1.DETAILED DESCRIPTION OF PARTICULAR EMBODIMENTS In the following, various examples of the invention are given. In a first example, it is desired to treat a thin piece with delayed elasticity in which internal stresses exist. This piece is a thin optical component whose constituent material is a glass, for example of the BK7 type. We want to relax the internal stresses of the room. And, to do this, according to the invention, the piece is heated without constraint, in a vertical position. In another example, a thin piece made of ceramic, for example YAG type, must undergo a heat treatment. It must therefore be heated and may then be constrained. To prevent this, the heat treatment is applied to the part while keeping it vertically. In the case where the piece is glass, it is heated to a temperature which remains much lower than the glass transition temperature (of the order of 800 ° C). As a purely indicative and in no way limiting, the heating temperature does not exceed 200 ° C. In another example, it is desired to vertically anneal a thin optical component, in order to release internal stresses thereof. This other example is schematically illustrated in FIG.

On y voit la pièce mince 2 que l'on veut recuire. Elle est placée dans un four 4 qui est pourvu d'un dispositif de chauffage 6. Sur la figure 1, les flèches 8 symbolisent les contraintes internes de la pièce 2. Cette dernière est maintenue verticalement dans le four 4, à l'aide d'un dispositif de maintien approprié, symbolisé par les flèches 10. Le dispositif de maintien dépend de la pièce 2. On peut, par exemple, la maintenir par des montants disposés de part et d'autre de cette pièce. Dans le cas d'une pièce cylindrique, on peut aussi utiliser un barillet. Et, si la pièce est prismatique, notamment parallélépipédique, on peut même, dans certains cas, la poser simplement sur la tranche. L'intérieur 12 du four 4 est rempli d'air mais, si nécessaire, il peut être rempli d'un autre gaz, par exemple un gaz neutre tel que l'argon, à l'aide de moyens appropriés, non représentés. Par ailleurs, il convient de noter que le dépôt d'une ou plusieurs couches minces sur une pièce mince peut y engendrer des contraintes internes qui s'ajoutent aux contraintes liées aux couches minces elles-mêmes. Par exemple, on est souvent amené à effectuer un traitement optique sur un composant optique mince 14 (figure 2). Ce traitement optique consiste à déposer une ou plusieurs couches minces appropriées 16 sur au moins l'une des faces 18 du composant. Un tel traitement optique peut engendrer des contraintes internes dans le composant lorsque le traitement optique est réalisé à une température supérieure à la température ambiante (environ 20°C). Conformément à l'invention, après avoir effectué le traitement optique, on libère ces contraintes internes à l'aide d'un recuit sans contrainte du composant, en disposant, notamment en maintenant, ce dernier verticalement pendant le recuit.We can see the thin piece 2 that we want to anneal. It is placed in an oven 4 which is provided with a heating device 6. In FIG. 1, the arrows 8 symbolize the internal stresses of the part 2. The latter is held vertically in the oven 4, with the aid of FIG. a suitable holding device, symbolized by the arrows 10. The holding device depends on the part 2. It can, for example, maintain it by amounts arranged on either side of this piece. In the case of a cylindrical part, it is also possible to use a barrel. And, if the piece is prismatic, including parallelepiped, we can even, in some cases, simply ask on the edge. The interior 12 of the oven 4 is filled with air but, if necessary, it can be filled with another gas, for example a neutral gas such as argon, using appropriate means, not shown. Furthermore, it should be noted that the deposition of one or more thin layers on a thin part can generate internal stresses in addition to the constraints related to the thin layers themselves. For example, it is often necessary to perform optical processing on a thin optical component 14 (Figure 2). This optical treatment consists of depositing one or more appropriate thin layers 16 on at least one of the faces 18 of the component. Such optical processing may cause internal stresses in the component when the optical treatment is performed at a temperature above room temperature (about 20 ° C). According to the invention, after having carried out the optical treatment, these internal stresses are released by means of stress-free annealing of the component, by arranging, in particular by maintaining, the latter vertically during the annealing.

Claims

REVENDICATIONS1. Process for heat treatment of a thin part (2, 14), in particular of a thin optical component, characterized in that the thin part is arranged vertically during the heat treatment.

2. Method according to claim 1, wherein the heat treatment is an annealing which is performed to release internal stresses, present in the thin piece (2, 14) and due to a delayed elasticity thereof, this piece being arranged vertically during annealing.

3. Method according to claim 2, the thin piece (14) having previously been covered with one or more thin layers (16), which is likely to generate other internal stresses, in which the annealing is carried out. arranging the thin piece vertically, in order to release also the other internal constraints.