FR2942880A1 - Current sensor i.e. single-phase current sensor, has coils electrically connected in series between terminals of electrical signal processing unit such that electrical signal is null when coils are placed in same magnetic field - Google Patents

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Aline Msaed
Jerome Delamare
Olivier Chadebec
Thiec Philippe Le
Robert Cuchet
Arnaud Walther
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Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Institut Polytechnique de Grenoble
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
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Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Institut Polytechnique de Grenoble
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    • G01R33/05—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using the flux-gate principle in thin-film element

Abstract

The sensor (2) has an electric conductor (4) in which single-phase current (I-C) to be measured is circulated, when the current is supplied to the conductor. A transducer has magnetic bars placed near the conductor and respectively extended along axes (36) parallel to the conductor, where the bars form a magnetic core (20). Detection coils (26, 28) are wound around the respective bars. The coils are electrically connected in series between terminals (29A, 29B) of an electrical signal processing unit (29) such that an electrical signal is null when the coils are placed in same magnetic field. An independent claim is also included for a method for manufacturing a current sensor.

Description

CAPTEURS DE COURANT ET PROCEDE DE FABRICATION DE CES CAPTEURS CURRENT SENSORS AND METHOD FOR MANUFACTURING THESE SENSORS

L'invention concerne des capteurs de courant et un procédé de fabrication de ces capteurs. Il existe des capteurs de courant comportant : - un conducteur électrique dans lequel circule le courant à mesurer lorsque ce conducteur est alimenté par ce courant, - un transducteur apte à transformer le champ magnétique produit par le courant circulant dans le conducteur électrique en un signal électrique, et - une unité de traitement de ce signal électrique pour en déduire l'intensité du courant. Typiquement, le transducteur est formé de deux magnétomètres disposés, au-dessus, respectivement de première et seconde sections parallèles du conducteur électrique. Par exemple, chaque magnétomètre produit une tension qui est proportionnelle au champ magnétique dans lequel il est placé. Le fait de placer les magnétomètres au-dessus du conducteur électrique évite d'avoir à faire passer ce conducteur à l'intérieur d'un anneau magnétique. Ces magnétomètres peuvent être raccordés l'un à l'autre de manière à ce que, lorsqu'ils sont placés simultanément dans le même champ magnétique, la tension produite par l'un est égale à l'inverse de la tension produite par l'autre. Cette disposition des magnétomètres permet de rejeter la composante des champs magnétiques perturbateurs tels que le champ magnétique terrestre ou un champ magnétique généré par une autre source à proximité du capteur. The invention relates to current sensors and a method of manufacturing these sensors. There are current sensors comprising: - an electrical conductor in which the current to be measured circulates when this conductor is fed by this current, - a transducer capable of transforming the magnetic field produced by the current flowing in the electrical conductor into an electrical signal and a processing unit of this electrical signal to deduce the intensity of the current. Typically, the transducer is formed of two magnetometers arranged above, respectively first and second parallel sections of the electrical conductor. For example, each magnetometer produces a voltage that is proportional to the magnetic field in which it is placed. Placing the magnetometers above the electrical conductor avoids having to pass this conductor inside a magnetic ring. These magnetometers can be connected to each other so that, when placed simultaneously in the same magnetic field, the voltage produced by one is equal to the inverse of the voltage produced by the other. This disposition of the magnetometers makes it possible to reject the component of disturbing magnetic fields such as the terrestrial magnetic field or a magnetic field generated by another source near the sensor.

Cette autre source de champ magnétique peut être un moteur électrique ou un conducteur électrique dans lequel circule un courant de forte intensité. Toutefois, ces capteurs connus ne sont pas suffisamment précis. En particulier, il a été constaté que les erreurs de mesure d'un tel capteur de courant sont dues, en partie, à des erreurs de positionnement des deux magnétomètres l'un par rapport à l'autre. En effet, chaque magnétomètre présente une direction de mesure le long de laquelle sa sensibilité au champ magnétique à mesurer est maximale. Une erreur d'alignement entre les directions de mesure de ces deux magnétomètres se traduit par une réjection imparfaite des champs magnétiques perturbateurs et donc par une augmentation des erreurs de mesure. Par exemple, une erreur d'alignement de 0,1° entre ces deux directions de mesure peut provoquer une erreur de mesure de plus de 1 %. L'invention vise donc à proposer un capteur de courant dans lequel la rejection des champs magnétiques perturbateurs est améliorée. Elle a donc pour objet un capteur de courant dans lequel le transducteur 40 comprend : - un premier et un second barreaux magnétiques placés à proximité du conducteur électrique, ces premier et second barreaux magnétiques s'étendant, respectivement, le long de premier et second axes parallèles et non colinéaires au conducteur électrique, et - au moins une première et une seconde bobines de détection enroulées, respectivement, autour des premier et second barreaux magnétiques, ces première et seconde bobines étant électriquement raccordées en série entre des bornes de l'unité de traitement de manière à ce que, lorsque ces bobines sont placées dans le même champ magnétique, le signal électrique soit nul. Dans le capteur ci-dessus, le raccordement en série des première et seconde bobines de détection, en plus du parallélisme entre les premier et second axes des barreaux magnétiques, améliore la réjection des champs magnétiques perturbateurs. De plus, ce capteur de courant présente une linéarité améliorée. Autrement dit, la mesure délivrée par ce capteur de courant augmente linéairement avec l'intensité du courant à mesurer sur une plage plus importante qu'avec les capteurs connus. Les modes de réalisation de ce capteur de courant peuvent comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : ^ les premier et second barreaux magnétiques ne forment qu'un seul et même noyau magnétique commun aux première et seconde bobines de détection ; ^ le noyau magnétique commun est rectiligne de sorte que les premier et second axes sont confondus ; ^ le capteur comprend un générateur de champ magnétique d'excitation apte à saturer périodiquement les premier et second barreaux magnétiques et l'unité de traitement est apte à déduire l'intensité du courant à partir de l'amplitude d'une harmonique du signal électrique ; ^ le conducteur électrique présente au moins une première et une seconde sections parallèles traversées par le même courant à mesurer, respectivement, dans un sens et dans le sens opposé et les premier et second barreaux magnétiques sont placés à proximité, respectivement, des première et seconde sections, les premier et second axes de ces barreaux magnétiques étant non colinéaires aux première et seconde sections du conducteur électrique ; ^ les premier et second axes des premier et second barreaux magnétiques sont perpendiculaires aux première et seconde sections du conducteur ; ^ les barreaux magnétiques sont formés d'une bande en matériau magnétique gravée ou déposée sur une couche intermédiaire en matériau électriquement isolant, et chaque bobine de détection comprend des pistes conductrices inférieure et supérieure gravées ou déposées, respectivement, sur des couches inférieure et supérieure en matériau électriquement isolant entre lesquelles est interposée la couche intermédiaire sur laquelle est gravée ou déposée la bande en matériau magnétique ; ^ le conducteur électrique est gravé ou déposé sur une couche en matériau isolant solidaire des couches inférieure, supérieure et intermédiaire. Ces modes de réalisation présentent en outre les avantages suivants : - l'utilisation d'un noyau magnétique commun permet d'avoir une hystérésis identique pour les premier et second barreaux, ce qui améliore la réjection des perturbations magnétiques, - l'utilisation d'un noyau magnétique commun rectiligne simplifie la réalisation du transducteur et facilite l'obtention d'un bon parallélisme entre les premier et second axes des barreaux magnétiques, - la déduction de l'intensité du courant à partir d'harmonique du signal électrique permet d'améliorer la précision du capteur, - utiliser des première et seconde sections dans lesquelles le courant à mesurer circule en sens inverse permet d'améliorer la sensibilité du capteur, - la réalisation du barreau magnétique et des bobines à l'aide de bande et pistes conductrices gravées ou déposées sur des couches de matériau isolant permet de rendre le capteur plus compact et d'améliorer la réjection du champ perturbateur car le champ perturbateur est d'autant plus homogène que la zone dans lesquelles les deux barreaux sont disposés est petite, et - la réalisation des sections du conducteur électrique par gravure ou dépôt sur une couche en matériau isolant solidaire des couches utilisées pour réaliser les bobines permet d'obtenir un positionnement précis et robuste de ces sections par rapport aux bobines et au noyau magnétique, ce qui accroît la précision. L'invention a également pour objet un capteur de courant homopolaire résultant de la somme des courants monophasés de chacune des phases d'un courant polyphasé, ce capteur comprenant : - pour chaque phase, un conducteur électrique dans lequel circule le courant monophasé à mesurer lorsque ce conducteur est alimenté par le courant monophasé de cette phase, - un transducteur apte à transformer le champ magnétique produit par le courant homopolaire en un signal électrique, et - une unité de traitement de ce signal électrique pour en déduire l'intensité du courant homopolaire, Le transducteur de ce capteur de courant homopolaire comprend également pour chaque phase : - un premier et un second barreaux magnétiques placés à proximité du conducteur électrique de cette phase, ces premier et second barreaux magnétiques s'étendant, respectivement, le long de premier et second axes parallèles et non colinéaires au conducteur électrique, - au moins une première et une seconde bobines de détection enroulées, respectivement, autour des premier et second barreaux magnétiques, ces première et seconde bobines étant électriquement raccordées en série entre elles et avec les première et seconde bobines des autres phases entre des bornes de l'unité de traitement de manière à ce que, lorsque toutes ces bobines de détection sont placées dans le même champ magnétique, le signal électrique soit nul. Le raccordement en série des première et seconde bobines de chaque phase entre elles et avec les première et seconde bobines des autres phases permet de sommer précisément les forces électromotrices produites par chacune des phases et donc d'obtenir une mesure précise du courant homopolaire. L'invention a également pour objet un procédé de fabrication des capteurs de courant ci-dessus comportant : - le dépôt ou la gravure d'une piste conductrice dans une couche inférieure pour former une partie inférieure d'une spire d'une bobine de détection ou d'excitation, - le dépôt ou la gravure d'une bande en matériau magnétique dans une couche intermédiaire superposée sur et électriquement isolée de la piste conductrice de la couche inférieure, pour former le noyau magnétique, - le dépôt ou la gravure d'une piste conductrice dans une couche supérieure pour former une partie supérieure de la spire de la bobine de détection ou d'excitation, la couche supérieure étant superposée sur le noyau magnétique et électriquement isolée de ce noyau magnétique, et - la réalisation de traverses conductrices traversant la couche intermédiaire pour connecter électriquement les parties inférieure et supérieure de manière à ce que la spire soit enroulée autour du noyau magnétique. Ce procédé de fabrication permet d'obtenir un alignement très précis des axes des bobines et du noyau magnétique. Cette disposition précise des bobines par rapport au noyau magnétique se traduit par une augmentation de la précision du capteur. De plus, ce procédé permet de raccourcir la distance entre les bobines de détection et le noyau magnétique, ce qui augmente également la précision du capteur. Ce procédé de fabrication peut également comporter la caractéristique suivante : ^ le dépôt ou la gravure d'une bande conductrice sur une couche fixée sans aucun degré de liberté aux couches inférieure, intermédiaire et supérieure pour former le conducteur électrique dans lequel circule le courant à mesurer. This other source of magnetic field may be an electric motor or an electrical conductor in which a high intensity current flows. However, these known sensors are not sufficiently accurate. In particular, it has been found that the measurement errors of such a current sensor are due, in part, to positioning errors of the two magnetometers with respect to one another. Indeed, each magnetometer has a measurement direction along which its sensitivity to the magnetic field to be measured is maximum. An alignment error between the measurement directions of these two magnetometers results in an imperfect rejection of the disturbing magnetic fields and therefore an increase in measurement errors. For example, an alignment error of 0.1 ° between these two measurement directions can cause a measurement error of more than 1%. The invention therefore aims at providing a current sensor in which the rejection of the disturbing magnetic fields is improved. It therefore relates to a current sensor in which the transducer 40 comprises: a first and a second magnetic bar placed close to the electrical conductor, these first and second magnetic bars extending respectively along first and second axes; parallel and non-collinear to the electrical conductor, and - at least first and second detection coils wound respectively around the first and second magnetic bars, said first and second coils being electrically connected in series between terminals of the processing so that when these coils are placed in the same magnetic field, the electrical signal is zero. In the above sensor, the series connection of the first and second detection coils, in addition to the parallelism between the first and second axes of the magnetic bars, improves the rejection of the disturbing magnetic fields. In addition, this current sensor has improved linearity. In other words, the measurement delivered by this current sensor increases linearly with the intensity of the current to be measured over a larger range than with the known sensors. Embodiments of this current sensor may include one or more of the following features: the first and second magnetic bars form one and the same magnetic core common to the first and second sense coils; the common magnetic core is rectilinear so that the first and second axes coincide; the sensor comprises an excitation magnetic field generator capable of periodically saturating the first and second magnetic bars and the processing unit is able to deduce the intensity of the current from the amplitude of a harmonic of the electrical signal ; the electrical conductor has at least first and second parallel sections traversed by the same current to be measured, respectively, in one direction and in the opposite direction and the first and second magnetic bars are placed in proximity, respectively, of the first and second sections, the first and second axes of these magnetic bars being non-collinear with the first and second sections of the electrical conductor; the first and second axes of the first and second magnetic bars are perpendicular to the first and second sections of the conductor; the magnetic bars are formed of a strip of magnetic material etched or deposited on an intermediate layer of electrically insulating material, and each detection coil comprises lower and upper conductive tracks etched or deposited, respectively, on the lower and upper layers in electrically insulating material between which is interposed the intermediate layer on which is engraved or deposited the strip of magnetic material; the electrical conductor is etched or deposited on a layer of insulating material integral with the lower, upper and intermediate layers. These embodiments also have the following advantages: the use of a common magnetic core makes it possible to have identical hysteresis for the first and second bars, which improves the rejection of magnetic disturbances, the use of a rectilinear common magnetic core simplifies the realization of the transducer and facilitates the obtaining of a good parallelism between the first and second axes of the magnetic bars, - the deduction of the intensity of the current from the harmonic of the electrical signal makes it possible to improve the accuracy of the sensor, - use first and second sections in which the current to be measured flows in the opposite direction improves the sensitivity of the sensor, - the realization of the magnetic bar and the coils using tape and conductive tracks engraved or deposited on layers of insulating material makes the sensor more compact and improves the rejection of the disturbing field because the disturbing field is even more homogeneous than the zone in which the two bars are arranged is small, and - the realization of sections of the electrical conductor by etching or deposit on a layer of insulating material integral with the layers used to achieve the coils provides a precise and robust positioning of these sections with respect to the coils and the magnetic core, which increases the accuracy. The subject of the invention is also a homopolar current sensor resulting from the sum of the single-phase currents of each of the phases of a polyphase current, this sensor comprising: for each phase, an electrical conductor in which the single-phase current to be measured when this conductor is powered by the single-phase current of this phase, - a transducer able to transform the magnetic field produced by the homopolar current into an electrical signal, and - a processing unit of this electrical signal to deduce the intensity of the homopolar current The transducer of this homopolar current sensor also comprises for each phase: a first and a second magnetic bar placed close to the electrical conductor of this phase, these first and second magnetic bars extending, respectively, along first and second second parallel and non-collinear axes to the electrical conductor, - at least one first and one second a plurality of sensing coils wound respectively around the first and second magnetic bars, said first and second coils being electrically connected in series with each other and with the first and second coils of the other phases between terminals of the processing unit so as to that when all these detection coils are placed in the same magnetic field, the electrical signal is zero. The series connection of the first and second coils of each phase with each other and with the first and second coils of the other phases makes it possible to precisely summed the electromotive forces produced by each of the phases and thus to obtain an accurate measurement of the homopolar current. The subject of the invention is also a method for manufacturing the above-mentioned current sensors comprising: depositing or etching a conducting track in a lower layer to form a lower part of a coil of a detection coil or excitation, - the deposition or etching of a strip of magnetic material in an intermediate layer superimposed on and electrically isolated from the conductive track of the lower layer, to form the magnetic core, - the deposition or etching of a conductive track in an upper layer to form an upper part of the coil of the detection coil or excitation, the upper layer being superimposed on the magnetic core and electrically isolated from this magnetic core, and - the realization of conductive traverses crossing the intermediate layer for electrically connecting the lower and upper parts so that the coil is wound around the magnetic core. This manufacturing method makes it possible to obtain a very precise alignment of the axes of the coils and the magnetic core. This precise arrangement of coils with respect to the magnetic core results in an increase in the accuracy of the sensor. In addition, this method makes it possible to shorten the distance between the detection coils and the magnetic core, which also increases the accuracy of the sensor. This manufacturing method may also include the following feature: the deposition or etching of a conductive strip on a fixed layer without any degree of freedom to the lower, intermediate and upper layers to form the electrical conductor in which the current to be measured flows. .

Ce mode de réalisation du procédé de fabrication permet un alignement très précis des première et seconde sections du conducteur électrique par rapport aux bobines et au noyau magnétique. Ceci augmente la précision du capteur de courant. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins sur lesquels : - la figure 1 est une illustration schématique d'un capteur de courant monophasé, - les figures 2 et 3 représentent des graphes illustrant le fonctionnement du capteur de la figure 1, respectivement, en absence de courant à mesurer mais en présence d'un champ perturbateur, et en présence de courant à mesurer mais en l'absence de champ perturbateur, - les figures 4 à 10 sont des illustrations schématiques de modes de réalisation du capteur de courant de la figure 1 sous forme de circuit intégré, - la figure 11 est un organigramme d'un procédé de fabrication d'une bobine du capteur des figures 4 à 10, - les figures 12 à 19 sont des illustrations schématiques et en coupe de différentes étapes de fabrication du procédé de la figure 11, - la figure 20 est une illustration schématique d'un capteur de courant homopolaire, et - la figure 21 est une illustration schématique d'une variante du capteur de courant de la figure 1. Dans ces figures, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. Dans la suite de cette description, les caractéristiques et fonctions bien connues de l'homme du métier ne sont pas décrites en détails. La figure 1 représente un capteur 2 de courant. Ce capteur 2 comprend un conducteur électrique 4 dans lequel circule le courant monophasé le à mesurer. Le courant le peut être soit un courant alternatif soit un courant continu. Ce conducteur 4 présente deux sections parallèles 6 et 8. La section 6 s'étend le long d'un axe 10 et la section 8 s'étend le long d'un axe 12. Ces axes 10 et 12 sont parallèles l'un par rapport à l'autre et espacés d'une distance d. Par exemple, d est ici de l'ordre de quelques centimètres. Ici, le conducteur 2 présente la forme d'un U qui s'étend dans un plan X, Y, la direction Y étant parallèle aux axes 10 et 12. Dans la section 6, le courant le circule dans un sens et dans la section 8 le courant le circule dans le sens opposé. Sur la figure 1, le sens de circulation du courant le est représenté par des flèches 14. Le capteur 2 comprend également un générateur d'un champ d'excitation Hexc. Ce champ Hexc est capable de saturer, de façon périodique, un noyau magnétique 20. Par exemple, le générateur est réalisé à l'aide : - d'une bobine 22 enroulée autour du noyau 20, et - d'une source 24 de courant d'excitation Iexc raccordée aux extrémités de la bobine 22. Le courant IeXC a une fréquence fexc. L'intensité de ce courant IeXC est choisie de manière à générer un champ Hexc capable de saturer le noyau 20. This embodiment of the manufacturing method allows a very precise alignment of the first and second sections of the electrical conductor with respect to the coils and the magnetic core. This increases the accuracy of the current sensor. The invention will be better understood on reading the description which follows, given solely by way of nonlimiting example and with reference to the drawings in which: FIG. 1 is a schematic illustration of a single-phase current sensor FIGS. 2 and 3 represent graphs illustrating the operation of the sensor of FIG. 1, respectively, in the absence of a current to be measured but in the presence of a disturbing field, and in the presence of a current to be measured but in the absence of FIG. 4 to 10 are diagrammatic illustrations of embodiments of the current sensor of FIG. 1 in the form of an integrated circuit; FIG. 11 is a flowchart of a method of manufacturing a sensor coil; FIGS. 4 to 10, FIGS. 12 to 19 are diagrammatic and sectional illustrations of various manufacturing steps of the process of FIG. 11, FIG. 20 is a diagrammatic illustration of FIG. Homopolar current sensor, and - Figure 21 is a schematic illustration of a variant of the current sensor of Figure 1. In these figures, the same references are used to designate the same elements. In the rest of this description, the features and functions well known to those skilled in the art are not described in detail. Figure 1 shows a current sensor 2. This sensor 2 comprises an electrical conductor 4 in which circulates the single-phase current to be measured. The current can be either an alternating current or a direct current. This conductor 4 has two parallel sections 6 and 8. The section 6 extends along an axis 10 and the section 8 extends along an axis 12. These axes 10 and 12 are parallel to each other. relative to each other and spaced a distance d. For example, d is here of the order of a few centimeters. Here, the conductor 2 has the shape of a U which extends in a plane X, Y, the direction Y being parallel to the axes 10 and 12. In section 6, the current circulates in one direction and in the section 8 the current circulates in the opposite direction. In FIG. 1, the current flow direction is represented by arrows 14. The sensor 2 also comprises a generator of an excitation field Hexc. This field Hexc is capable of saturating, periodically, a magnetic core 20. For example, the generator is made using: - a coil 22 wound around the core 20, and - a source 24 of current Iexc excitation connected to the ends of the coil 22. The current IeXC has a frequency fexc. The intensity of this current IeXC is chosen so as to generate a Hexc field capable of saturating the core 20.

De préférence, les spires de la bobine 22 sont régulièrement espacées les unes des autres sur toute la longueur du noyau magnétique 20. Par exemple, la bobine 22 comprend 300 spires. Des bobines 26, 28 de détection sont également enroulées autour du noyau 20 pour transformer le champ magnétique en un signal électrique. Plus précisément, lorsque ces bobines 26 et 28 sont traversées par des champs magnétiques, elles produisent des forces électromotrices notées, respectivement, VI et V2. Par exemple, ces bobines sont enroulées au-dessus des spires de la bobine 22. Preferably, the turns of the coil 22 are regularly spaced from each other over the entire length of the magnetic core 20. For example, the coil 22 comprises 300 turns. Detection coils 26, 28 are also wound around the core 20 to transform the magnetic field into an electrical signal. More precisely, when these coils 26 and 28 are traversed by magnetic fields, they produce electromotive forces denoted respectively, VI and V2. For example, these coils are wound over the turns of the coil 22.

Les extrémités du noyau 20 autour desquelles s'entourent les bobines 26 et 28 sont appelées barreaux magnétiques . Les bobines 26 et 28 sont disposées à proximité, respectivement, des sections 6 et 8 de manière à ce que le champ magnétique H,c créé par le courant le qui circule dans ces sections traverse la section transversale de chacune de ces bobines 26, 28. Par exemple, l'axe d'enroulement des spires de chacune des bobines 26 et 28 est sensiblement perpendiculaire aux axes 10 et 12. Dans ce texte, par sensiblement perpendiculaire, on indique que l'angle est égal à 90° à 5° et, de préférence, à 10. Les bobines 26 et 28 sont placées au-dessus, respectivement, des sections 6 et 8. Par exemple, le centre de chaque bobine 26 et 28 est situé exactement au-dessus du milieu de la largeur des sections 6 et 8. Ainsi, le même champ H,c traverse dans un sens la section transversale de la bobine 26 et dans le sens opposé la section transversale de la bobine 28. Les bobines 26 et 28 sont électriquement raccordées en série l'une avec l'autre entre des bornes 29A et 29B d'une unité 29 de traitement du signal électrique produit. De plus, ici la bobine 28 est enroulée autour du noyau 20 en sens inverse de la bobine 26 de manière à annuler la tension résiduelle des bobines de détection. Les bobines 26 et 28 sont également équilibrées l'une par rapport à l'autre de manière à ce que, si elles sont traversées par le même champ magnétique, le signal électrique produit est nul. Ici, on considère qu'un signal électrique est nul s'il ne peut pas être distingué du bruit. L'équilibrage des bobines 26 et 28 peut consister à ajuster très précisément le nombre de spires de chacune de ces bobines pour qu'en absence de courant Ic, la tension entre les bornes 29A et 29B soit nulle. The ends of the core 20 around which surround the coils 26 and 28 are called magnetic bars. The coils 26 and 28 are arranged close to sections 6 and 8, respectively, so that the magnetic field H, c created by the current 1c flowing in these sections passes through the cross-section of each of these coils 26, 28. For example, the winding axis of the turns of each of the coils 26 and 28 is substantially perpendicular to the axes 10 and 12. In this text, by substantially perpendicular, it is indicated that the angle is equal to 90 ° to 5 °. and, preferably, at 10. The reels 26 and 28 are placed above, respectively, sections 6 and 8. For example, the center of each spool 26 and 28 is located exactly above the middle of the width of the spools. sections 6 and 8. Thus, the same field H, c crosses in one direction the cross section of the coil 26 and in the opposite direction the cross section of the coil 28. The coils 26 and 28 are electrically connected in series one of them. with the other between terminals 29A and 29B of a unit 29 for processing the electrical signal produced. In addition, here the coil 28 is wound around the core 20 in the opposite direction of the coil 26 so as to cancel the residual voltage of the detection coils. The coils 26 and 28 are also balanced with respect to each other so that, if they are traversed by the same magnetic field, the electrical signal produced is zero. Here, it is considered that an electrical signal is zero if it can not be distinguished from the noise. The balancing of the coils 26 and 28 may consist in very precisely adjusting the number of turns of each of these coils so that in the absence of current Ic, the voltage between the terminals 29A and 29B is zero.

L'unité 29 est apte à déduire l'intensité du courant le à partir du signal électrique reçu entre ses bornes 29A et 29B. A cet effet, l'unité 29 comprend un capteur 30 de tension et une unité de calcul 32 propre à convertir la tension mesurée par le capteur 30 en une intensité du courant I. A cet effet, cette unité 32 utilise l'amplitude des harmoniques de la tension mesurée. Par exemple, c'est l'amplitude des harmoniques à des multiples entiers de la fréquence fexc qui est utilisée. De préférence, l'amplitude utilisée est celle des harmoniques paires et, typiquement, de la seconde harmonique à 2fexc. Le noyau 20 s'étend dans un plan parallèle au plan dans lequel s'étend le conducteur 4 de manière à ne pas entourer ce conducteur. Le noyau 20 est un noyau magnétique réalisé dans un matériau magnétique saturable. Par exemple, le noyau magnétique est réalisé en matériau amorphe tel que du FeCoSiB. Ici, ce noyau magnétique se compose de deux extrémités correspondant à ce qui a été appelé précédemment les barreaux magnétiques et d'une partie intermédiaire raccordant magnétiquement ces deux barreaux magnétiques. Pour simplifier la réalisation du noyau 20, les barreaux magnétiques et la partie intermédiaire sont alignés. Ainsi, le noyau 20 est un noyau rectiligne. Le noyau 20 s'étend ici le long d'un axe 36 sensiblement perpendiculaire aux axes 10 et 12. Le noyau 20 ne forme qu'un seul bloc de matière. Le fonctionnement du capteur 2 va maintenant être décrit en regard des graphes des figures 2 et 3. The unit 29 is able to deduce the intensity of the current 1c from the electrical signal received between its terminals 29A and 29B. For this purpose, the unit 29 comprises a voltage sensor 30 and a calculation unit 32 able to convert the voltage measured by the sensor 30 into an intensity of the current I. For this purpose, this unit 32 uses the amplitude of the harmonics the measured voltage. For example, it is the amplitude of the harmonics at integer multiples of the frequency fexc that is used. Preferably, the amplitude used is that of even harmonics and, typically, of the second harmonic at 2fexc. The core 20 extends in a plane parallel to the plane in which the conductor 4 extends so as not to surround this conductor. The core 20 is a magnetic core made of a saturable magnetic material. For example, the magnetic core is made of amorphous material such as FeCoSiB. Here, this magnetic core consists of two ends corresponding to what was previously called the magnetic bars and an intermediate portion magnetically connecting these two magnetic bars. To simplify the realization of the core 20, the magnetic bars and the intermediate portion are aligned. Thus, the core 20 is a straight core. The core 20 extends here along an axis 36 substantially perpendicular to the axes 10 and 12. The core 20 forms a single block of material. The operation of the sensor 2 will now be described with reference to the graphs of FIGS. 2 and 3.

Les graphes de la figure 2 correspondent à la situation dans laquelle le courant le est nul et le capteur 2 est placé dans un champ magnétique perturbateur Hp uniforme. Le champ Hp résulte, par exemple, de la combinaison du champ magnétique terrestre et d'un champ magnétique produit par un conducteur électrique voisin parcouru par un courant d'intensité élevée. The graphs of FIG. 2 correspond to the situation in which the current is zero and the sensor 2 is placed in a uniform perturbing magnetic field Hp. The field Hp results, for example, from the combination of the earth's magnetic field and a magnetic field produced by a neighboring electrical conductor traversed by a current of high intensity.

Le capteur 2 fonctionne comme les magnétomètres connus sous le terme anglais de fluxgate ainsi son fonctionnement n'est que brièvement abordé. La courbe 40 en trait continu représente schématiquement l'évolution au cours du temps du champ magnétique Happ dans lequel est placée la bobine 26. Ce champ magnétique Happ est le résultat de l'addition du champ magnétique Hexc, du champ magnétique Hic et du champ magnétique perturbateur Hp. Sur les graphes de la figure 2, le champ magnétique Hic est nul car le courant le est nul. La courbe 42 représente les mêmes données que la courbe 40 mais pour la bobine 28. Les lignes 40 et 42 sont symétriques car, lorsque le champ Hic est nul, le champ Happ qui traverse les sections transversales des bobines 26 et 28 est le même. La courbe 42 est inversée par rapport à la courbe 40 car les bobines 26 et 28 sont enroulées en sens inverse l'une de l'autre. Sur ces graphes, les limites au-delà desquelles le noyau 20 sature sont représentées par des lignes en pointillé 44 et 46. Au-delà de ces limites, l'induction magnétique B à l'intérieur du noyau 20 est sensiblement constante quel que soit le champ magnétique Happ. C'est ce qui est représenté par la courbe 48. The sensor 2 operates as the magnetometers known as fluxgate and its operation is only briefly discussed. Curve 40 in solid lines schematically represents the evolution over time of the magnetic field Happ in which the coil 26 is placed. This magnetic field Happ is the result of the addition of the magnetic field Hexc, the magnetic field Hic and the field disruptive magnetic Hp. In the graphs of FIG. 2, the magnetic field Hic is zero because the current is zero. The curve 42 represents the same data as the curve 40 but for the coil 28. The lines 40 and 42 are symmetrical because, when the field Hic is zero, the field Happ which crosses the cross sections of the coils 26 and 28 is the same. The curve 42 is inverted with respect to the curve 40 because the coils 26 and 28 are wound in opposite directions from each other. On these graphs, the limits beyond which the saturated core 20 are represented by dashed lines 44 and 46. Beyond these limits, the magnetic induction B within the core 20 is substantially constant regardless the magnetic field Happ. This is represented by curve 48.

Très schématiquement, comme représenté par les courbes 50 et 52, à chaque fois que le champ Happ dépasse l'une des limites 44 et 46, l'induction magnétique B à l'intérieur du noyau 20 est écrêtée. Cet écrêtage des formes d'onde de l'induction magnétique se traduit par l'apparition d'harmoniques dans la décomposition de Fourier de cette forme d'onde. Ici, étant donné que les bobines 26 et 28 sont placées dans le même champ magnétique Happ, les forces électromotrices VI et V2 qu'elles produisent sont de même amplitude mais de signes opposés. Dès lors, étant donné que les bobines 26 et 28 sont raccordées en série, la tension mesurée Vsu,,, par le capteur 30 est nulle comme représenté par la courbe 56. La figure 3 représente les mêmes courbes mais dans le cas où un courant le circule dans le conducteur 4. Ce courant le génère un champ magnétique H,c. Toutefois, étant donné que le courant le circule dans la section 6 en sens inverse de ce qui se passe dans la section 8, le champ Hic traverse la bobine 26 dans un sens et traverse la bobine 28 dans un sens opposé. Ainsi, le champ Happ vu par la bobine 26 est le résultat de la somme des champs Hexc, Hp et Hic tandis que le champ Happ vue par la bobine 28 est le résultat de la somme des champs Hexc, Hp et -H,c. On comprend donc que le passage du courant dans le conducteur 4 génère un déséquilibre entre le champ magnétique Happ vu par la bobine 26 et celui vu par la bobine 28. Ce déséquilibre est directement proportionnel à 2Ie. Dès lors, la tension Vsu,,, qui résulte de la somme des forces électromotrices VI et V2 n'est pas nulle (courbe 56). L'unité 32 est apte à partir de la tension Vsu,,, mesurée à déterminer l'intensité du courant I. Par exemple, à cet effet, une décomposition de Fourier peut être utilisée pour déterminer l'amplitude de l'harmonique à la fréquence 2fexc. L'amplitude de cette harmonique est proportionnelle à l'intensité du courant le sur une large plage de fonctionnement. La figure 4 représente un autre mode de réalisation d'un capteur 60 de courant. Ce capteur 60 est similaire au capteur 2 à l'exception du fait qu'il est réalisé à l'aide de moyens utilisés en microélectronique pour réaliser les circuits intégrés. A titre d'illustration, la plus grande largeur du capteur 60 est inférieure à 5 mm et, de préférence, inférieure à 2 ou à 1 mm. Dans cette figure ainsi que dans les figures suivantes, les éléments qui remplissent les mêmes fonctions que les éléments correspondants dans la figure 1 portent les mêmes références. De plus, l'unité de traitement 29 et la source 24 n'ont pas été représentés. Dans ce mode de réalisation, le conducteur 4 est réalisé par une piste en matériau conducteur gravée ou déposée sur une couche en matériau isolant. Pour simplifier la figure 4, les différentes couches en matériau isolant n'ont pas été représentées. La bobine 22 d'excitation comporte ici des pistes supérieures 22A et des pistes inférieures 22B en forme de L gravées ou déposées, respectivement, sur des couches supérieure et inférieure. Ces couches inférieure et supérieure sont situées en dessous et au-dessus d'une couche intermédiaire sur laquelle est gravée ou déposée une bande formant le noyau magnétique 20. Pour former la bobine 22, les pistes inférieures 22A et 22B sont raccordées les unes aux autres par des traverses conductrices verticales 22C (Figure 6), c'est-à-dire s'étendant le long de la direction Z perpendiculaire aux directions X et Y. De façon similaire, les bobines 26 et 28 comportent des pistes supérieures 26A, 28A et des pistes inférieures 26B, 28B en forme de L . Ces pistes supérieures et inférieures sont raccordées également par l'intermédiaire de traverses conductrices verticales de manière à former des enroulements autour du noyau 20. Un exemple de procédé de fabrication des bobines du capteur 60 est décrit plus en détail en regard de la figure 11. Very schematically, as represented by the curves 50 and 52, whenever the Happ field exceeds one of the limits 44 and 46, the magnetic induction B within the core 20 is clipped. This clipping of the waveforms of the magnetic induction results in the appearance of harmonics in the Fourier decomposition of this waveform. Here, since the coils 26 and 28 are placed in the same magnetic field Happ, the electromotive forces VI and V2 that they produce are of the same amplitude but of opposite signs. Therefore, since the coils 26 and 28 are connected in series, the measured voltage Vsu ,,, by the sensor 30 is zero as represented by the curve 56. Figure 3 shows the same curves but in the case where a current circulates in the conductor 4. This current generates a magnetic field H, c. However, since the current flows in section 6 in the opposite direction of what happens in section 8, the Hic field passes through the coil 26 in one direction and passes through the coil 28 in the opposite direction. Thus, the field Happ seen by the coil 26 is the result of the sum of the fields Hexc, Hp and Hic while the field Happ seen by the coil 28 is the result of the sum of the fields Hexc, Hp and -H, c. It is therefore understood that the passage of the current in the conductor 4 generates an imbalance between the magnetic field Happ seen by the coil 26 and that seen by the coil 28. This imbalance is directly proportional to 2Ie. Therefore, the voltage Vsu ,,, resulting from the sum of the electromotive forces VI and V2 is not zero (curve 56). The unit 32 is adapted from the voltage Vsu ,, measured to determine the intensity of the current I. For example, for this purpose, a Fourier decomposition can be used to determine the amplitude of the harmonic at the frequency 2fexc. The amplitude of this harmonic is proportional to the intensity of the current the over a wide range of operation. Figure 4 shows another embodiment of a current sensor 60. This sensor 60 is similar to the sensor 2, except that it is produced using means used in microelectronics to produce the integrated circuits. By way of illustration, the largest width of the sensor 60 is less than 5 mm, and preferably less than 2 or 1 mm. In this figure as well as in the following figures, the elements which fulfill the same functions as the corresponding elements in FIG. 1 bear the same references. In addition, the processing unit 29 and the source 24 have not been shown. In this embodiment, the conductor 4 is made by a track of conductive material etched or deposited on a layer of insulating material. To simplify FIG. 4, the different layers of insulating material have not been shown. The excitation coil 22 here comprises upper tracks 22A and L-shaped lower tracks 22B etched or deposited, respectively, on upper and lower layers. These lower and upper layers are located below and above an intermediate layer on which is engraved or deposited a strip forming the magnetic core 20. To form the coil 22, the lower tracks 22A and 22B are connected to each other by vertical conductive rails 22C (FIG. 6), that is to say extending along the Z direction perpendicular to the X and Y directions. Similarly, the coils 26 and 28 comprise upper tracks 26A, 28A and lower tracks 26B, 28B L-shaped. These upper and lower tracks are also connected via vertical conductive crosspieces so as to form windings around the core 20. An example of a method of manufacturing the coils of the sensor 60 is described in more detail with reference to FIG. 11.

La figure 5 représente un autre mode de réalisation d'un capteur 70 de courant. Ce capteur 70 est identique au capteur 60 à l'exception que les pistes supérieures et inférieures 22A, 26A, 28A, 22B, 26B et 28B des bobines 22, 26 et 28 ont chacune la forme d'une bande rectiligne. Les bandes rectilignes formant les pistes supérieures 22A, 26A et 28A sont inclinées dans un sens par rapport à l'axe 36 et les bandes rectilignes formant les pistes inférieures 22B, 26B et 28B sont inclinées dans un sens opposé. Dans le capteur 70, les bobines 26 et 28 sont enroulées dans le même sens autour du noyau 20. Toutefois, elles sont électriquement raccordées en série et en opposition l'une de l'autre de manière à ce que les forces électromotrices VI et V2 s'annulent mutuellement lorsque que ces bobines sont placées dans le même champ magnétique. Ceci permet d'annuler la tension résiduelle des bobines de détection. La figure 6 représente une vue en coupe selon le plan XZ des bobines 22, 26 et 28 et du noyau 20 du capteur 60. Sur cette vue, les traverses, numérotées 22C, 26C et 28C reliant respectivement les pistes 22A et 22B, 26A et 26B et 28A et 28B sont visibles. Dans le mode de réalisation de la figure 6, le capteur 60 est réalisé sur un substrat 74 partiellement représenté. Par exemple, ce substrat 74 est un substrat en silicium ou en verre. Figure 5 shows another embodiment of a current sensor 70. This sensor 70 is identical to the sensor 60 with the exception that the upper and lower tracks 22A, 26A, 28A, 22B, 26B and 28B of the coils 22, 26 and 28 each have the shape of a straight strip. The straight strips forming the upper tracks 22A, 26A and 28A are inclined in one direction relative to the axis 36 and the straight strips forming the lower tracks 22B, 26B and 28B are inclined in an opposite direction. In the sensor 70, the coils 26 and 28 are wound in the same direction around the core 20. However, they are electrically connected in series and in opposition to one another so that the electromotive forces VI and V2 cancel each other out when these coils are placed in the same magnetic field. This makes it possible to cancel the residual voltage of the detection coils. FIG. 6 represents a sectional view along the XZ plane of the coils 22, 26 and 28 and the core 20 of the sensor 60. In this view, the cross members, numbered 22C, 26C and 28C respectively connecting the tracks 22A and 22B, 26A and 26B and 28A and 28B are visible. In the embodiment of Figure 6, the sensor 60 is formed on a substrate 74 partially shown. For example, this substrate 74 is a silicon or glass substrate.

Des pistes gravées ou déposées sur la surface supérieure du substrat 74 forment les sections 6 et 8 du conducteur 4. Les pistes inférieures 22B, 26B et 28B des bobines sont gravées ou déposées dans une couche d'isolant électrique 76. Cette couche d'isolant isole électriquement les pistes inférieures 22B, 26B et 28B des sections 6 et 8 du conducteur 4. Tracks etched or deposited on the upper surface of the substrate 74 form the sections 6 and 8 of the conductor 4. The lower tracks 22B, 26B and 28B of the coils are etched or deposited in a layer of electrical insulation 76. This layer of insulation electrically isolates the lower tracks 22B, 26B and 28B of the sections 6 and 8 of the conductor 4.

Au-dessus de la couche 76 est superposée une autre couche d'isolant 78 dans laquelle est incorporé le noyau magnétique 20. Les pistes supérieures 22A, 26A et 28A des bobines sont gravées ou déposées sur la surface supérieure de cette couche 78. Cette couche 78 est traversée par les traverses conductrices 22C, 26C et 28C qui servent à raccorder électriquement les pistes supérieures aux pistes inférieures des bobines. Enfin, une couche de protection 80 recouvre les pistes supérieures 22A, 26A et 28A des bobines. Par exemple, cette couche de protection est réalisée en polymère. Des trous 81, 82, 84 et 86 d'accès aux bobines 22, 26 et 28 sont réalisés dans la couche 80. Ces trous permettent de raccorder électriquement la bobine 22 à la source de courant 24 et les bobines 26 et 28 aux bornes 29A, 29B Ce mode de réalisation permet de rapprocher les sections 6 et 8 des bobines 26 et 28, ce qui augmente la sensibilité et permet, par exemple, la mesure de courant dont l'intensité serait de quelques picoampères. De plus, le fait de réaliser les sections 6 et 8 et les bobines 22, 26 et 28 sur un même substrat 74 permet de positionner très précisément les bobines 26 et 28 par rapport aux sections 6 et 8, ce qui améliore également la précision de la mesure. La figure 7 représente un autre mode de réalisation qui se différencie de celui décrit en regard de la figure 6 uniquement par le fait que les sections 6 et 8 sont gravées ou déposées sur une couche d'isolant 90 plaquée sur la surface inférieure de la couche 74. Ce mode de réalisation permet d'éloigner les sections 6 et 8 des bobines 26 et 28 et donc d'augmenter l'isolation galvanique. Ainsi, il est possible de mesurer des courants d'intensité plus grande que dans le cas du mode de réalisation de la figure 6 sans détériorer le capteur de courant. Le mode de réalisation de la figure 8 est identique au mode de réalisation de la figure 7 à l'exception du fait que les sections 6 et 8 se présentent sous la forme de conducteurs collés à l'aide d'une colle 92 sur la face inférieure de l'isolant 90. Un substrat 94 peut également être rapporté sur la face inférieure de la colle 92 de manière à coincer les sections 6 et 8 entre d'une part l'isolant 90 et d'autre part le substrat 94. Cet espace entre l'isolant 90 et le substrat 94 est de préférence rempli à l'aide de la colle 92 de manière à immobiliser et à garantir un bon positionnement de ces sections 6 et 8 par rapport aux bobines 26 et 28. Le mode de réalisation de la figure 9 est identique à celui décrit en regard de la figure 8 à l'exception que les sections 6 et 8 sont collées sur la couche protectrice 80 et non plus sur la couche d'isolant 90. Ce mode de réalisation présente une sensibilité accrue par rapport au mode de réalisation de la figure 8 étant donné que les sections 6 et 8 sont beaucoup plus proches des bobines 26 et 28. Par contre, l'isolation galvanique est réduite. Le mode de réalisation de la figure 10 est identique au mode de réalisation de la figure 6 à l'exception du fait que le capteur de courant est réalisé en deux parties. D'une part, une partie 96 identique à ce qui a été décrit en regard de la figure 6 à l'exception du fait que les sections 6 et 8 ont été omises. D'autre part, une partie 98 formée d'un substrat 99 sur lequel sont gravés ou déposés les différents conducteurs du capteur dans lesquels circule du courant. En particulier, les sections 6 et 8 sont gravées ou déposées sur la surface du substrat 99. Les éléments suivants sont également gravés ou déposés sur la surface de ce substrat 99 : - des pistes 100, 102 pour raccorder la bobine 22 à la source de courant 24, - des pistes 104 et 106 pour raccorder les extrémités des bobines 26 et 28 au capteur 30. La partie inférieure 98 est électriquement raccordée à la partie supérieure 96 par l'intermédiaire de points de soudure 108 à 111. Above the layer 76 is superimposed another insulating layer 78 in which is incorporated the magnetic core 20. The upper tracks 22A, 26A and 28A of the coils are etched or deposited on the upper surface of this layer 78. This layer 78 is traversed by the conductive cross members 22C, 26C and 28C which serve to electrically connect the upper tracks to the lower tracks of the coils. Finally, a protective layer 80 covers the upper tracks 22A, 26A and 28A of the coils. For example, this protective layer is made of polymer. Access holes 81, 82, 84 and 86 to the coils 22, 26 and 28 are made in the layer 80. These holes make it possible to electrically connect the coil 22 to the current source 24 and the coils 26 and 28 to the terminals 29A. This embodiment makes it possible to bring the sections 6 and 8 closer to the coils 26 and 28, which increases the sensitivity and makes it possible, for example, to measure the current whose intensity would be a few picoamperes. In addition, the fact of making the sections 6 and 8 and the coils 22, 26 and 28 on the same substrate 74 makes it possible to very precisely position the coils 26 and 28 with respect to the sections 6 and 8, which also improves the accuracy of the measurement. FIG. 7 represents another embodiment which differs from that described with reference to FIG. 6 only in that the sections 6 and 8 are etched or deposited on an insulating layer 90 plated on the lower surface of the layer 74. This embodiment makes it possible to move the sections 6 and 8 away from the coils 26 and 28 and thus to increase the galvanic isolation. Thus, it is possible to measure currents of greater intensity than in the case of the embodiment of FIG. 6 without damaging the current sensor. The embodiment of FIG. 8 is identical to the embodiment of FIG. 7 with the exception that sections 6 and 8 are in the form of conductors glued with a glue 92 on the face 90 of the insulator 90. A substrate 94 may also be attached to the underside of the glue 92 so as to wedge the sections 6 and 8 between the insulator 90 and the substrate 94. The space between the insulator 90 and the substrate 94 is preferably filled by means of the glue 92 so as to immobilize and ensure proper positioning of these sections 6 and 8 with respect to the coils 26 and 28. The embodiment of Figure 9 is identical to that described with reference to Figure 8 except that sections 6 and 8 are glued on the protective layer 80 and no longer on the insulating layer 90. This embodiment has a sensitivity increased compared to the embodiment of Figure 8 etan Because sections 6 and 8 are much closer to coils 26 and 28. On the other hand, the galvanic isolation is reduced. The embodiment of FIG. 10 is identical to the embodiment of FIG. 6 with the exception that the current sensor is made in two parts. On the one hand, a portion 96 identical to that described with reference to Figure 6 except that sections 6 and 8 have been omitted. On the other hand, a portion 98 formed of a substrate 99 on which are etched or deposited the different conductors of the sensor in which current flows. In particular, the sections 6 and 8 are etched or deposited on the surface of the substrate 99. The following elements are also etched or deposited on the surface of this substrate 99: - tracks 100, 102 for connecting the coil 22 to the source of current 24, - tracks 104 and 106 for connecting the ends of the coils 26 and 28 to the sensor 30. The lower portion 98 is electrically connected to the upper portion 96 through solder points 108 to 111.

Ce mode de réalisation permet d'ajouter un capteur de courant sur des circuits existants représentés ici par la partie 98. D'autres techniques d'assemblage des parties 96 et 98 peuvent être utilisées et notamment les techniques dites flip chip , techniques d'assemblage à l'aide de billes fusibles disposées sur des surfaces mouillantes agencées en regard sur chacune des parties à assembler. Un procédé de fabrication des bobines décrites en regard des figures 4 à 10 va maintenant être décrit en regard de la figure 11. Pour simplifier cette description, seule la fabrication de la bobine 22 et du noyau 20 est décrite en détail. La fabrication des bobines 26 et 28 est réalisée de façon similaire. This embodiment makes it possible to add a current sensor to existing circuits represented here by the part 98. Other techniques for assembling the parts 96 and 98 can be used and in particular the so-called flip chip techniques, assembly techniques. using fusible beads disposed on wetting surfaces arranged facing each of the parts to be assembled. A method of manufacturing the coils described with reference to Figures 4 to 10 will now be described with reference to Figure 11. To simplify this description, only the manufacture of the coil 22 and the core 20 is described in detail. The manufacture of coils 26 and 28 is performed in a similar manner.

Initialement, lors d'une étape 120, la couche isolante 76 est déposée sur le substrat 74. Par exemple, la couche isolante 76 est réalisée en SiO2. Par exemple, cette couche fait 5 pm d'épaisseur. Ensuite, on procède à une étape 122 de lithographie lors de laquelle on dessine dans une couche de résine les pistes inférieures 22B de la bobine 22. Initially, during a step 120, the insulating layer 76 is deposited on the substrate 74. For example, the insulating layer 76 is made of SiO 2. For example, this layer is 5 μm thick. Then, a lithography step 122 is performed in which the lower tracks 22B of the coil 22 are drawn in a resin layer.

Plus précisément, lors de cette étape 122, une couche de résine est déposée sur la surface supérieure de la couche 76 puis les zones de cette résine correspondant à l'emplacement des pistes inférieures 22B sont irradiées, par exemple, à l'aide d'un faisceau lumineux. Cette irradiation dissout la résine uniquement aux endroits irradiés. More specifically, during this step 122, a resin layer is deposited on the upper surface of the layer 76 and the zones of this resin corresponding to the location of the lower tracks 22B are irradiated, for example, with the aid of a light beam. This irradiation dissolves the resin only in the irradiated places.

Ensuite, lors d'une étape 124, la surface 76 est gravée. Lors de cette étape, seules les parties non recouvertes de résine sont attaquées. On obtient alors la superposition de couches représentée dans la figure 12. Dans cette figure, la couche de résine irradiée porte la référence 125. Ensuite, lors d'une étape 126, la couche de résine 125 est retirée. Then, during a step 124, the surface 76 is etched. During this step, only the parts not covered with resin are attacked. The layer superposition shown in FIG. 12 is then obtained. In this figure, the irradiated resin layer has the reference 125. Then, during a step 126, the resin layer 125 is removed.

Puis, lors d'une étape 128, on dépose une sous-couche permettant de réaliser un dépôt de cuivre par électrolyse. Cette sous-couche est électriquement conductrice. Une fois cette sous-couche déposée, lors d'une étape 130, une couche de cuivre est déposée par électrolyse. Then, during a step 128, a sub-layer is deposited for producing a copper deposit by electrolysis. This underlayer is electrically conductive. Once this sub-layer has been deposited, during a step 130, a copper layer is deposited by electrolysis.

Ensuite, lors d'une étape 132, la surface de la couche isolante 76 est polie pour revenir à une surface plane telle que représentée dans la figure 13. Then, during a step 132, the surface of the insulating layer 76 is polished to return to a flat surface as shown in FIG. 13.

Lors d'une étape 134, on dépose une nouvelle couche de matériau isolant 135 sur la surface supérieure de la couche 76. Puis, lors d'une étape 136, on dépose une couche de matériau magnétique telle que par exemple du FeNi. During a step 134, a new layer of insulating material 135 is deposited on the upper surface of the layer 76. Then, during a step 136, a layer of magnetic material such as for example FeNi is deposited.

On procède alors à une nouvelle étape 138 de lithographie lors de laquelle on dessine dans une couche de résine le pourtour que doit avoir le noyau 20. Ensuite, lors d'une étape 140, on grave la couche de matériau magnétique aux endroits délimités par la résine de façon à obtenir le noyau 20 à partir de la couche en matériau magnétique. Après, lors d'une étape 142, la couche de résine restante est retirée. On obtient alors l'empilement de couches représenté sur la figure 14. Lors d'une étape 144, on dépose à nouveau une couche de matériau isolant 145 sur la surface supérieure de la couche 135. Cette couche 145 recouvre entièrement le noyau 20 (figure 15). Une fois cette couche 145 déposée, on procède à une nouvelle étape 146 de lithographie pour dessiner dans une couche de résine l'emplacement où doivent être creusées les traverses 22C. Ces traverses sont également appelées vias dans le domaine de la microélectronique. This is followed by a new lithography step 138 in which the periphery of the core 20 is drawn in a layer of resin. Next, during a step 140, the layer of magnetic material is etched at the locations delimited by resin to obtain the core 20 from the layer of magnetic material. After, in a step 142, the remaining resin layer is removed. The stack of layers shown in FIG. 14 is then obtained. During a step 144, a layer of insulating material 145 is deposited again on the upper surface of the layer 135. This layer 145 completely covers the core 20 (FIG. 15). Once this layer 145 has been deposited, a new lithography step 146 is carried out in order to draw in a layer of resin the location where the sleepers 22C are to be dug. These sleepers are also called vias in the field of microelectronics.

Ensuite, lors d'une étape 148 de gravure, on creuse des trous traversant entièrement les couches 145 et 135 jusqu'à atteindre les pistes inférieures 22A de la bobine 22. Une fois ces trous creusés, on retire, lors d'une étape 150, la résine restante. L'empilement de couches obtenu à l'issue de l'étape 150 est représenté sur la figure 16. Lors d'une étape 152, une sous-couche pour permettre un dépôt par électrolyse de cuivre est alors déposée sur l'ensemble de la surface supérieure de l'empilement représenté sur la figure 16. Ce dépôt se dépose également dans les trous creusés lors de l'étape 148. Then, during an etching step 148, holes are dug completely through the layers 145 and 135 until they reach the lower tracks 22A of the reel 22. Once these holes have been dug out, during a step 150 , the remaining resin. The stack of layers obtained at the end of step 150 is shown in FIG. 16. During a step 152, an underlayer to allow deposition by electrolysis of copper is then deposited on the whole of the upper surface of the stack shown in Figure 16. This deposit is also deposited in the holes dug during step 148.

Ensuite, lors d'une étape 154, on dessine sur cette sous-couche d'électrolyse à l'aide d'un procédé lithographique l'emplacement des pistes supérieures 22A de la bobine 22. Ainsi, à l'issue de cette étape 154, les parties de la sous-couche d'électrolyse sur lesquelles doit être déposé par électrolyse le cuivre sont accessibles à partir de l'extérieur alors que les autres parties sont recouvertes d'une couche de résine isolante. Ensuite, lors d'une étape 156, on procède au dépôt par électrolyse du matériau conducteur, c'est-à-dire ici du cuivre. Une fois l'étape 156 achevée, lors d'une étape 158, on retire la couche de résine résiduelle. Le retrait de la couche de résine expose de nouveau à l'extérieur la sous-couche d'électrolyse déposée lors de l'étape 152 et non utilisée pour le dépôt par électrolyse. On procède alors à une étape 160 de gravure pour éliminer cette sous-couche d'électrolyse qui se situe en dehors des emplacements où ont été réalisées les pistes supérieures 22A de la bobine 22. A l'issue de l'étape 160, on obtient l'empilement de couches représenté sur la figure 17. Lors d'une étape 162, on dépose la couche de protection 80 et l'on creuse dans celle-ci les trous 81 et 86 d'accès aux spires d'extrémité de la bobine 22. Then, during a step 154, the location of the upper tracks 22A of the coil 22 is drawn on this electrolysis sublayer by means of a lithographic process. Thus, at the end of this step 154 the parts of the electrolysis undercoat on which the copper electrolysis is to be deposited are accessible from the outside while the other parts are covered with a layer of insulating resin. Then, during a step 156, electrolytic deposition of the conductive material, that is to say here copper. Once step 156 has been completed, during a step 158, the residual resin layer is removed. The removal of the resin layer again exposes the electrolysis sub-layer deposited in step 152 and not used for electrolysis deposition. An etching step 160 is then carried out to eliminate this electrolysis sub-layer which lies outside the locations where the upper tracks 22A of the coil 22 have been made. At the end of step 160, we obtain the stack of layers shown in FIG. 17. During a step 162, the protective layer 80 is deposited and the holes 81 and 86 for accessing the end turns of the coil are hollowed out therein. 22.

On obtient ainsi l'empilement de couches représenté sur la figure 18. Enfin, lors d'une étape 164, on réalise des plots métalliques 166 et 168 permettant de connecter électriquement la bobine 22 à la source 24 de courant (Figure 19). La figure 20 représente un capteur de courant homopolaire 180. Le courant homopolaire est le résultat de la somme des courants monophasés de chaque phase d'un courant polyphasé. Ici, le capteur 180 est représenté dans le cas particulier d'un courant triphasé. Pour chaque phase, le capteur 180 comprend un capteur de courant monophasé similaire ou identique à celui décrit en regard de la figure 1. Ces capteurs portent les références 182 à 184. Par exemple, ces capteurs sont identiques à celui décrit en regard de la figure 1 et ne seront donc pas décrits plus en détail. Toutefois, de manière à mesurer le courant homopolaire, les bobines 26 et 28 de chaque capteur 182 à 184 sont non seulement raccordées en série entre elles mais également en série avec les autres bobines 26 et 28 des capteurs utilisés pour mesurer le courant monophasé dans les autres phases du courant triphasé. Ainsi, les bobines de détection sont raccordées en série entre des bornes 185A et 185B d'une unité de traitement 185. Par exemple, l'unité 185 comprend un capteur 186 de la tension entre les bornes 185A et 185B et une unité 192 de calcul apte à déduire l'intensité du courant homopolaire à partir de la tension mesurée par le capteur 186. Cette unité 192 est, de préférence, également apte à traiter la tension mesurée par chacun des capteurs 30 de chaque capteur 182 à 184 pour également déterminer l'intensité du courant dans chacune des phases. Ainsi, dans ce mode de réalisation, les unités de traitement 29 et 185 partagent la même unité de calcul 192. De plus, les noyaux magnétiques 20 de chacun de ces capteurs 182 à 184 sont magnétiquement raccordés les uns aux autres. De préférence, ces différents noyaux magnétiques ne forment qu'un seul noyau magnétique commun à l'ensemble des bobines de détection des capteurs 182 à 184. Ici, ce noyau magnétique commun est un noyau magnétique rectiligne s'étendant le long d'un axe 190 sensiblement perpendiculaire aux sections 6,8 de chaque conducteur 4 de chaque capteur 182 à 184. Plutôt que d'avoir un générateur du champ d'excitation par capteur 182 à 184, un seul générateur commun à l'ensemble des capteurs 182 à 184 est utilisé. Par exemple, ce générateur du champ magnétique d'excitation est réalisé à l'aide d'une bobine d'excitation 22 enroulée autour du noyau magnétique 20 et d'une source de tension non représentée raccordée à chacune des extrémités de cette bobine. Ce capteur 180 permet de mesurer précisément le courant homopolaire étant donné que toutes les bobines de détection sont raccordées en série et qu'un noyau magnétique commun à toutes ces bobines de détection est utilisé. La figure 21 illustre un capteur 200 de courant identique au capteur 2 à l'exception du fait que la section 8 du conducteur électrique 4 est omise. Bien que ce capteur 200 ne comporte qu'une seule section du conducteur électrique 4, les champs magnétiques perturbateurs sont rejetés comme dans le capteur 2. The stack of layers shown in FIG. 18 is thus obtained. Finally, during a step 164, metal pads 166 and 168 are made to electrically connect the coil 22 to the current source 24 (FIG. 19). Fig. 20 shows a homopolar current sensor 180. The zero sequence current is the result of the sum of the single-phase currents of each phase of a polyphase current. Here, the sensor 180 is represented in the particular case of a three-phase current. For each phase, the sensor 180 comprises a single-phase current sensor similar or identical to that described with reference to FIG. 1. These sensors bear the references 182 to 184. For example, these sensors are identical to that described with reference to FIG. 1 and will not be described in more detail. However, in order to measure the homopolar current, the coils 26 and 28 of each sensor 182 to 184 are not only connected in series with each other but also in series with the other coils 26 and 28 of the sensors used to measure the single-phase current in the coils. other phases of the three-phase current. Thus, the detection coils are connected in series between terminals 185A and 185B of a processing unit 185. For example, the unit 185 comprises a sensor 186 of the voltage between the terminals 185A and 185B and a calculation unit 192 capable of deducing the intensity of the homopolar current from the voltage measured by the sensor 186. This unit 192 is preferably also able to process the voltage measured by each of the sensors 30 of each sensor 182 to 184 to also determine the intensity of the current in each of the phases. Thus, in this embodiment, the processing units 29 and 185 share the same computing unit 192. In addition, the magnetic cores 20 of each of these sensors 182 to 184 are magnetically connected to each other. Preferably, these different magnetic cores form only one magnetic core common to the set of sensing coils 182 to 184. Here, this common magnetic core is a rectilinear magnetic core extending along an axis 190 substantially perpendicular to the sections 6,8 of each conductor 4 of each sensor 182 to 184. Rather than having a generator of the excitation field by sensor 182 to 184, a single generator common to all the sensors 182 to 184 is used. For example, this generator of the excitation magnetic field is made using an excitation coil 22 wound around the magnetic core 20 and a voltage source not shown connected to each end of this coil. This sensor 180 makes it possible to precisely measure the homopolar current since all the detection coils are connected in series and a magnetic core common to all these detection coils is used. Figure 21 illustrates a current sensor 200 identical to the sensor 2 except that the section 8 of the electrical conductor 4 is omitted. Although this sensor 200 has only one section of the electrical conductor 4, the disturbing magnetic fields are rejected as in the sensor 2.

Dans ce mode de réalisation, le champ magnétique Hic qui traverse la bobine 26 n'a pas la même amplitude que le champ Hic qui traverse la bobine 28 lorsque le courant le n'est pas nul. Ce déséquilibre entre les champs vu par chacune des bobines dépend uniquement de la position des bobines 26 et 28 par rapport au conducteur 4. Ici, il est corrigé par l'unité de calcul 32 lors du calcul de l'intensité du courant I,. Cette correction peut éventuellement nécessiter la mise en oeuvre d'une étape de calibration du capteur à l'aide d'un courant I, dont l'intensité est connue. De nombreux autres modes de réalisation sont possibles. Par exemple, pour linéariser encore plus le capteur, il est possible d'utiliser une bobine de contre-réaction elle-même enroulée autour du noyau 20. L'utilisation d'une telle bobine de contre-réaction est par exemple décrite dans la demande de brevet FR 2 891 917. Le noyau 20 peut avoir la forme d'une ellipse, ce qui permet d'obtenir une uniformité accrue du champ magnétique à l'intérieur de ce barreau. In this embodiment, the magnetic field Hic which passes through the coil 26 does not have the same amplitude as the Hic field which passes through the coil 28 when the current is not zero. This imbalance between the fields seen by each of the coils depends solely on the position of the coils 26 and 28 with respect to the conductor 4. Here, it is corrected by the calculation unit 32 when calculating the intensity of the current I 1. This correction may possibly require the implementation of a calibration step of the sensor using a current I whose intensity is known. Many other embodiments are possible. For example, to further linearize the sensor, it is possible to use a feedback coil itself wound around the core 20. The use of such a feedback coil is for example described in the application Patent FR 2 891 917. The core 20 may have the shape of an ellipse, which allows to obtain an increased uniformity of the magnetic field inside this bar.

Le conducteur 4 peut avoir d'autres formes que la forme en U . Par exemple, il peut présenter plus de deux sections. Un exemple d'un conducteur présentant quatre sections est décrit en regard de la figure 4 de la demande de brevet US 2003/0155905 pour que chaque bobine de détection soit sensible à un champ magnétique proportionnel à 2I,. The conductor 4 may have other shapes than the U-shape. For example, it may have more than two sections. An example of a conductor having four sections is described with reference to FIG. 4 of the patent application US 2003/0155905 so that each detection coil is sensitive to a magnetic field proportional to 2I.

II n'est pas non plus nécessaire que les première et seconde sections 6, 8 soient parallèles. Dans ce cas, le champ H,, vu par les bobines 26 et 28 n'a pas la même amplitude. Cette différence d'amplitudes peut facilement être corrigée comme décrit en regard de la figure 21. En variante, le noyau 20 n'est pas rectiligne. Par exemple, les axes des barreaux magnétiques autour desquels sont enroulées les bobines 26 et 28 sont parallèles mais non pas confondus, c'est-à-dire qu'ils sont décalés l'un par rapport à l'autre dans l'espace. Le noyau 20 peut également être remplacé par deux barreaux magnétiques, séparés par un entrefer, autour desquels sont enroulées, respectivement, les bobines 26 et 28. Cet entrefer est de préférence suffisamment petit pour que ces deux barreaux magnétiques soient suffisamment magnétiquement couplés pour présenter un fonctionnement quasiment identique à celui obtenu à l'aide d'un noyau magnétique commun ne formant qu'un seul bloc de matière. Le matériau conducteur utilisé pour réaliser les bobines peut être du cuivre ou tout autre matériau électriquement conducteur. Neither is it necessary for the first and second sections 6, 8 to be parallel. In this case, the field H ,, seen by the coils 26 and 28 does not have the same amplitude. This difference in amplitudes can easily be corrected as described with reference to FIG. 21. In a variant, the core 20 is not rectilinear. For example, the axes of the magnetic bars around which are wound the coils 26 and 28 are parallel but not coincidental, that is to say that they are offset relative to each other in space. The core 20 can also be replaced by two magnetic bars, separated by an air gap, around which are wound, respectively, the coils 26 and 28. This gap is preferably small enough that these two magnetic bars are sufficiently magnetically coupled to present a almost identical to that obtained using a common magnetic core forming a single block of material. The conductive material used to make the coils may be copper or any other electrically conductive material.

En variante, les bobines peuvent être enroulées dans le même sens autour du noyau magnétique commun et électriquement raccordées en opposition comme illustré sur la figure 5. Alternatively, the coils can be wound in the same direction around the common magnetic core and electrically connected in opposition as shown in FIG. 5.

Claims (11)

REVENDICATIONS1 Capteur de courant comportant : - un conducteur électrique (4) dans lequel circule le courant à mesurer lorsque ce conducteur est alimenté par ce courant, - un transducteur (20, 26, 28) apte à transformer le champ magnétique produit par le courant circulant dans le conducteur électrique en un signal électrique, et - une unité (29) de traitement de ce signal électrique pour en déduire l'intensité du courant, caractérisé en ce que le transducteur comprend : - un premier et un second barreaux magnétiques (20) placés à proximité du conducteur électrique (4), ces premier et second barreaux magnétiques s'étendant, respectivement, le long de premier et second axes parallèles (36) et non colinéaires au conducteur électrique, et - au moins une première et une seconde bobines (26, 28) de détection enroulées, respectivement, autour des premier et second barreaux magnétiques, ces première et seconde bobines étant électriquement raccordées en série entre des bornes (29A, 29B) de l'unité de traitement de manière à ce que, lorsque ces bobines sont placées dans le même champ magnétique, le signal électrique soit nul. CLAIMS1 current sensor comprising: - an electrical conductor (4) in which circulates the current to be measured when the conductor is fed by this current, - a transducer (20, 26, 28) capable of transforming the magnetic field produced by the current flowing in the electrical conductor into an electrical signal, and - a unit (29) for processing this electrical signal to derive the intensity of the current, characterized in that the transducer comprises: - a first and a second magnetic bar (20) placed near the electrical conductor (4), said first and second magnetic bars extending respectively along first and second parallel axes (36) and not collinear with the electrical conductor, and - at least first and second coils (26, 28) wound around the first and second magnetic bars, respectively, these first and second coils being electrically connected in series with each other. terminal (29A, 29B) of the processing unit so that when these coils are placed in the same magnetic field, the electrical signal is zero. 2. Capteur selon la revendication 1, dans lequel les premier et second barreaux magnétiques ne forment qu'un seul et même noyau magnétique (20) commun aux première et seconde bobines (26, 28) de détection. The sensor of claim 1, wherein the first and second magnetic bars form a single magnetic core (20) common to the first and second sensing coils (26, 28). 3. Capteur selon la revendication 2, dans lequel le noyau magnétique commun (20) est rectiligne de sorte que les premier et second axes (36) sont confondus. 3. Sensor according to claim 2, wherein the common magnetic core (20) is rectilinear so that the first and second axes (36) are merged. 4. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le capteur comprend un générateur (22, 24) de champ magnétique d'excitation apte à saturer périodiquement les premier et second barreaux magnétiques et l'unité (29) de traitement est apte à déduire l'intensité du courant à partir de l'amplitude d'une harmonique du signal électrique. 4. A sensor according to any one of the preceding claims, wherein the sensor comprises a generator (22, 24) of excitation magnetic field capable of periodically saturating the first and second magnetic bars and the processing unit (29) is able to deduce the intensity of the current from the amplitude of a harmonic of the electrical signal. 5. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le conducteur électrique (4) présente au moins une première et une seconde sections (6, 8) traversées par le même courant à mesurer, respectivement, dans un sens et dans le sens opposé et les premier et second barreaux magnétiques (20) sont placés à proximité, respectivement, des première etseconde sections (6, 8), les premier et second axes de ces barreaux magnétiques (20) étant non colinéaires aux première et seconde sections du conducteur électrique. A sensor according to any one of the preceding claims, wherein the electrical conductor (4) has at least first and second sections (6, 8) traversed by the same current to be measured, respectively, in one direction and in the opposite direction and the first and second magnetic bars (20) are placed in proximity to, respectively, the first and second sections (6, 8), the first and second axes of these magnetic bars (20) being non-collinear with the first and second sections of the electrical conductor. 6. Capteur selon la revendication 5, dans lequel les premier et second axes (36) des premier et second barreaux magnétiques sont perpendiculaires aux première et seconde sections (6, 8) du conducteur. The sensor of claim 5, wherein the first and second axes (36) of the first and second magnetic bars are perpendicular to the first and second sections (6, 8) of the conductor. 7. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel - les barreaux magnétiques sont formés d'une bande en matériau magnétique gravée ou déposée sur une couche intermédiaire (135) en matériau électriquement isolant, et - chaque bobine de détection comprend des pistes conductrices inférieures (26B, 28B) et supérieures (26A, 28A) gravées ou déposées, respectivement, sur des couches inférieure (76) et supérieure (145) en matériau électriquement isolant entre lesquelles est interposée la couche intermédiaire (135) sur laquelle est gravée ou déposée la bande en matériau magnétique. 7. A sensor according to any one of the preceding claims, in which - the magnetic bars are formed of a strip of magnetic material etched or deposited on an intermediate layer (135) of electrically insulating material, and - each detection coil comprises lower (26B, 28B) and upper (26A, 28A) conductive tracks etched or deposited, respectively, on lower (76) and upper (145) layers of electrically insulating material between which is interposed the intermediate layer (135) on which is engraved or deposited the strip of magnetic material. 8. Capteur selon la revendication 7, dans lequel le conducteur électriques est gravé ou déposé sur une couche (74) en matériau isolant solidaire des couches inférieure, supérieure et intermédiaire. 8. The sensor of claim 7, wherein the electrical conductor is etched or deposited on a layer (74) of insulating material integral with the lower, upper and intermediate layers. 9. Capteur d'un courant homopolaire résultant de la somme des courants monophasés de chacune des phases d'un courant polyphasé, ce capteur comprenant : - pour chaque phase, un conducteur électrique (4) dans lequel circule le courant monophasé à mesurer lorsque ce conducteur est alimenté par le courant monophasé de cette phase, - un transducteur (20, 26, 29) apte à transformer le champ magnétique produit par le courant homopolaire en un signal électrique, et - une unité (185) de traitement de ce signal électrique pour en déduire l'intensité du courant homopolaire, caractérisé en ce que ce transducteur comprend pour chaque phase : - un premier et un second barreaux magnétiques placés à proximité du conducteur électrique de cette phase, ces premier et second barreaux magnétiques s'étendant, respectivement, le long de premier et second axes parallèles et non colinéaires au conducteur électrique de cette phase, - au moins une première et une seconde bobines (26, 28) de détection enroulées, respectivement, autour des premier et second barreaux magnétiques, ces première et seconde bobines (26, 28) étant électriquement raccordées en série entre elles et avec les première et seconde bobines des autresphases entre des bornes (185A, 185B) de l'unité de traitement de manière à ce que, lorsque toutes ces bobines de détection sont placées dans le même champ magnétique, le signal électrique soit nul. 9. A homopolar current sensor resulting from the sum of the single-phase currents of each of the phases of a polyphase current, this sensor comprising: for each phase, an electrical conductor (4) in which the single-phase current to be measured circulates when this conductor is powered by the single-phase current of this phase, - a transducer (20, 26, 29) capable of transforming the magnetic field produced by the homopolar current into an electrical signal, and - a unit (185) for processing this electrical signal. to deduce therefrom the intensity of the homopolar current, characterized in that this transducer comprises for each phase: a first and a second magnetic bar placed close to the electrical conductor of this phase, these first and second magnetic bars extending, respectively along first and second axes parallel and non-collinear with the electrical conductor of this phase, - at least first and second coils (26, 28) respectively wound around the first and second magnetic bars, said first and second coils (26, 28) being electrically connected in series with each other and with the first and second coils of the other phases between terminals (185A, 185B). of the processing unit so that when all these detection coils are placed in the same magnetic field, the electrical signal is zero. 10. Procédé de fabrication d'un capteur de courant conforme à l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le procédé comprend : - le dépôt (130) ou la gravure d'une piste conductrice dans une couche inférieure pour former une partie inférieure d'une spire d'une bobine de détection ou d'excitation, - le dépôt ou la gravure (140) d'une bande en matériau magnétique dans une couche intermédiaire superposée sur et électriquement isolée de la piste conductrice de la couche inférieure, pour former le noyau magnétique, - le dépôt (156) ou la gravure d'une piste conductrice dans une couche supérieure pour former une partie supérieure de la spire de la bobine de détection ou d'excitation, la couche supérieure étant superposée sur le noyau magnétique et électriquement isolée de ce noyau magnétique, et - la réalisation (148, 156) de traverses conductrices traversant la couche intermédiaire pour connecter électriquement les parties inférieure et supérieure de manière à ce que la spire soit enroulée autour du noyau magnétique. 10. A method of manufacturing a current sensor according to any one of the preceding claims, characterized in that the method comprises: - depositing (130) or etching a conductive track in a lower layer to form a lower part of a coil of a detection or excitation coil, - the deposition or etching (140) of a strip of magnetic material in an intermediate layer superimposed on and electrically insulated from the conductive track of the lower layer for forming the magnetic core; depositing (156) or etching a conductive trace in an upper layer to form an upper portion of the turn of the sense or excitation coil, the upper layer being superimposed on the magnetic core and electrically isolated from this magnetic core, and - the embodiment (148, 156) of conductive sleepers passing through the intermediate layer to electrically connect the parts i upper and lower so that the coil is wrapped around the magnetic core. 11. Procédé selon la revendication 10, dans lequel le procédé comprend le dépôt ou la gravure d'une piste conductrice sur une couche fixée sans aucun degré de liberté aux couches inférieure, intermédiaire et supérieure pour former le conducteur électrique dans lequel circule le courant à mesurer. 11. The method of claim 10, wherein the method comprises depositing or etching a conductive track on a fixed layer without any degree of freedom to the lower, intermediate and upper layers to form the electrical conductor in which the current flows. measure.
FR0951371A 2009-03-04 2009-03-04 Current sensor i.e. single-phase current sensor, has coils electrically connected in series between terminals of electrical signal processing unit such that electrical signal is null when coils are placed in same magnetic field Pending FR2942880A1 (en)

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