FR2922317A1

FR2922317A1 - HYPERFREQUENCY MEASURING DEVICE FOR REMOTE TEST OF A HYPERFREQUENCY LINE

Info

Publication number: FR2922317A1
Application number: FR9615739A
Authority: FR
Inventors: Philippe Eudeline; Marc Metairy; Jean Michel Morin; Olivier Sockeel
Original assignee: Thomson CSF SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1996-12-20
Filing date: 1996-12-20
Publication date: 2009-04-17
Also published as: DE19753991A1; GB9727544D0; ITTO970893A1

Abstract

L'invention concerne un dispositif de mesure hyperfréquence pour test à distance d'une ligne hyperfréquence.Ce dispositif comprend au moins trois sondes (10, 11, 12) du type capteur à distance, disposées au-dessus de la ligne (1) à tester à des intervalles prédéterminés, des détecteurs (13, 14, 15) des courants hyperfréquences recueillis par couplage (C) et un calculateur (16) extrayant des signaux détectés les paramètres (rho, C, zO), caractéristiques du positionnement du dispositif par rapport à la ligne et du régime d'ondes stationnaires y régnant. Un montage en boîtier des sondes assure leur positionnement relatif précis.L'invention s'applique notamment au test in situ de modules hybrides hyperfréquence.The invention relates to a microwave measurement device for remote test of a microwave line.This device comprises at least three sensors (10, 11, 12) of the remote sensor type, arranged above the line (1) to testing, at predetermined intervals, detectors (13, 14, 15) of the microwave currents collected by coupling (C) and a computer (16) extracting from the detected signals the parameters (rho, C, zO) characteristic of the positioning of the device by ratio to the line and the standing wave regime prevailing there. A housing assembly of the probes ensures their precise relative positioning. The invention applies in particular to the in situ test of hybrid microwave modules.

Description

La présente invention se rapporte à un dispositif de mesure hyperfréquence pour test à distance d'une ligne hyperfréquence. La mise au point et la maintenance de modules ou fonctions complexes utilisant des circuits hybrides ou monolithiques nécessite des tests permettant de connaître les niveaux (amplitude et phase) présents sur les lignes reliant les différents étages ainsi que le taux d'ondes stationnaires. Ce besoin est particulièrement critique en hyperfréquence car les longueurs d'onde considérées entraînent une sensibilité accrue des circuits aux dimensions. Or l'adjonction de moyens de test intégré est de moins en moins compatible avec les contraintes de coût et d'intégration imposées par la réalisation de fonctions hybrides. II est bien connu de mesurer le coefficient réflexion ou le taux d'ondes stationnaires sur une ligne hyperfréquence entre deux étages en intégrant des fonctions spécifiques. Cela consiste généralement à utiliser un coupleur directif constitué d'une ligne microruban placée sur le même substrat et à proximité de la ligne de liaison entre deux étages. Le coupleur fournit des informations sur le niveau d'énergie des ondes incidente et réfléchie sur la ligne de liaison. Cependant une telle solution présente des inconvénients notables : - un besoin de place non compatible avec les contraintes de forte intégration des nouveaux modules hyperfréquences ; - une dégradation des performances du module en raison de l'augmentation des pertes dues à la présence du coupleur ; - un surcoût résultant de l'adjonction de cette fonction de test qui 25 n'est généralement plus utile après la phase de mise au point du module ; - une bande passante de test réduite qui ne permet pas de faire de relevés des niveaux des fréquences harmoniques. Pour remédier à certains de ces inconvénients, il a été proposé des systèmes de test in situ consistant à faire des mesures à distance et de 30 manière amovible à l'aide d'une sonde hyperfréquence constituée d'un support en matériau diélectrique et de moyens de couplage hyperfréquence portés par ledit support. On place la sonde à faible distance de la ligne à tester et, par couplage avec le champ électromagnétique autour de la ligne, on obtient un signal caractérisant le niveau du champ au point considéré. The present invention relates to a microwave measurement device for remote testing of a microwave line. The development and maintenance of complex modules or functions using hybrid or monolithic circuits requires tests to know the levels (amplitude and phase) present on the lines connecting the different stages as well as the standing wave ratio. This need is particularly critical in microwave because the wavelengths considered lead to an increased sensitivity of the circuits to dimensions. The addition of integrated test means is less and less compatible with the cost and integration constraints imposed by the realization of hybrid functions. It is well known to measure the reflection coefficient or the standing wave ratio on a microwave line between two stages by integrating specific functions. This generally involves using a directional coupler consisting of a microstrip line placed on the same substrate and near the connecting line between two stages. The coupler provides information on the energy level of the incident and reflected waves on the link line. However, such a solution has notable drawbacks: a need for space that is not compatible with the high integration constraints of the new microwave modules; a degradation of the performance of the module due to the increase in losses due to the presence of the coupler; an additional cost resulting from the addition of this test function, which is generally no longer useful after the module development phase; a reduced test bandwidth that does not make it possible to record the levels of the harmonic frequencies. To overcome some of these drawbacks, in situ test systems have been proposed to remotely and remotely measure measurements using a microwave probe consisting of a support of dielectric material and means. microwave coupling carried by said support. The probe is placed at a short distance from the line to be tested and, by coupling with the electromagnetic field around the line, a signal is obtained characterizing the level of the field at the point considered.

Mais ceci est insuffisant pour obtenir en temps réel les informations nécessaires pour déterminer le taux d'ondes stationnaires sur la ligne hyperfréquence. Un objet de l'invention est donc un dispositif de mesure hyperfréquence exempt de ces inconvénients et permettant d'obtenir en temps réel les paramètres caractéristiques du positionnement du dispositif par rapport à la ligne à tester et du régime d'ondes stationnaires présent sur la ligne. Selon l'invention, il est donc prévu un dispositif de mesure ~o hyperfréquence pour test à distance d'une ligne hyperfréquence comprenant au moins une sonde de test in situ constituée d'un support en matériau diélectrique et de moyens de couplage hyperfréquence portés par ledit support, caractérisé en ce que, pour la mesure à distance et en temps réel de taux d'ondes stationnaires sur ladite ligne hyperfréquence, ledit dispositif 15 comporte au moins trois sondes espacées de distances prédéterminées le long de l'axe longitudinal de ladite ligne hyperfréquence pour constituer au moins trois points de mesure le long dudit axe et des moyens de calcul pour extraire les paramètres caractéristiques du positionnement du dispositif par rapport à la ligne et du régime d'ondes stationnaires présent sur la ligne, à 20 partir des signaux fournis par lesdites sondes. Un tel dispositif de mesure ne nécessite qu'une place limitée au-dessus et autour de la ligne entre les étages sous test et aucune fonction intégrée supplémentaire. De plus, les performances de la fonction hyperfréquence ne sont 25 pas dégradées, car le système de test est placé à une distance suffisante pour n'engendrer aucune perturbation sur la ligne. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avantages apparaîtront à l'aide de la description ci-après et des dessins joints où : 30 - la figure 1 est un schéma de principe d'un capteur de test à distance ; - la figure 2 est un schéma du dispositif de mesure selon l'invention ; - la figure 3 est un schéma des sondes du dispositif selon 35 l'invention ; - la figure 4 représente un capteur à boucles de courant ; - la figure 5 montre la constitution des sondes du dispositif selon l'invention ; - la figure 6 représente les sondes disposées dans le boîtier de 5 montage ; et - la figure 7 est un schéma représentant la mise en place et le montage des sondes dans le boîtier. Sur la figure 1 est représentée une ligne hyperfréquence formée d'un élément microruban 1 d'axe longitudinal zz' sur un substrat diélectrique 2 dont la face inférieure est métallisée pour réaliser un plan de masse. Une telle ligne peut véhiculer une onde électromagnétique dont le champ magnétique B tourne autour de la ligne 1. Pour détecter et analyser l'onde présente sur la ligne, on peut prélever une image du champ magnétique, ce qui est réalisable en disposant à proximité de la ligne une boucle 15 conductrice à travers laquelle passe le champ, celui-ci induisant donc un courant, image du champ, dans la boucle. Pour accroître la sensibilité du capteur, on utilise une double boucle 3, 4 dont les courants sont cumulés. Les courants collectés sont acheminés vers un appareil de mesure grâce à une ligne coplanaire dont le conducteur central amène le courant qui se 20 divise en deux dans les deux boucles avant de repartir via les conducteurs de masse. Comme la sonde doit perturber le moins possible l'environnement électromagnétique de la ligne, il est nécessaire de transporter le courant prélevé perpendiculairement au plan de la ligne et du substrat. A partir d'une 25 telle sonde, l'invention propose de réaliser le dispositif de mesure de la figure 2. On a représenté sur cette figure la ligne microruban 1 de liaison entre deux étages E1 et E2 d'un module hyperfréquence. Le dispositif de mesure comprend au moins trois sondes disposées au-dessus de la ligne 1 et espacées de distances prédéterminées z1, z2 le long de l'axe longitudinal 30 de la ligne. Chaque sonde comprend comme élément de base un capteur 10, 11, 12 tel que décrit en référence à la figure 1. Chaque capteur est suivi d'un détecteur 13, 14, 15. Les signaux détectés par ces derniers sont envoyés à des moyens de calcul 16 qui délivrent les valeurs de paramètres caractéristiques du positionnement des sondes par rapport à la ligne et des 35 ondes stationnaires présentes sur la ligne 1. Grâce aux mesures ainsi effectuées en au moins trois points, on peut résoudre un système correspondant d'équations par le calculateur 16 qui permet ainsi d'obtenir le coefficient de couplage C, le coefficient de réflexion p de l'étage suivant E2 et la position zO sur l'axe zz' d'un maximum de tension. But this is insufficient to obtain in real time the information needed to determine the standing wave ratio on the microwave line. An object of the invention is therefore a microwave measurement device free from these drawbacks and making it possible to obtain, in real time, the parameters characteristic of the positioning of the device with respect to the line to be tested and the standing wave regime present on the line. . According to the invention, there is therefore provided a measurement device ~ o microwave for remote testing of a microwave line comprising at least one test probe in situ consisting of a support of dielectric material and microwave coupling means carried by said support, characterized in that, for the remote and real-time measurement of standing wave rates on said microwave line, said device comprises at least three probes spaced from predetermined distances along the longitudinal axis of said line microwave for constituting at least three measuring points along said axis and calculating means for extracting the characteristic parameters of the positioning of the device relative to the line and the standing wave regime present on the line, from the signals provided by said probes. Such a measuring device requires only a limited space above and around the line between the stages under test and no additional integrated function. In addition, the performance of the microwave function is not degraded because the test system is placed at a distance sufficient to cause no disturbance on the line. The invention will be better understood and other features and advantages will become apparent from the following description and accompanying drawings in which: FIG. 1 is a block diagram of a remote test sensor; FIG. 2 is a diagram of the measuring device according to the invention; FIG. 3 is a diagram of the probes of the device according to the invention; FIG. 4 represents a current loop sensor; FIG. 5 shows the constitution of the probes of the device according to the invention; Figure 6 shows the probes disposed in the mounting housing; and FIG. 7 is a diagram showing the placement and mounting of the probes in the housing. FIG. 1 shows a microwave line formed of a microstrip element 1 of longitudinal axis zz 'on a dielectric substrate 2, the lower face of which is metallized to produce a ground plane. Such a line can convey an electromagnetic wave whose magnetic field B rotates around the line 1. To detect and analyze the wave present on the line, it is possible to take an image of the magnetic field, which is achievable by arranging close to the line a conductive loop through which the field passes, the latter thus inducing a current, image of the field, in the loop. To increase the sensitivity of the sensor, a double loop 3, 4 is used whose currents are cumulative. The collected currents are routed to a measuring device by means of a coplanar line whose central conductor brings the current which divides in two in the two loops before starting again via the ground conductors. Since the probe must disturb the electromagnetic environment of the line as little as possible, it is necessary to transport the sampled current perpendicularly to the plane of the line and the substrate. From such a probe, the invention proposes to carry out the measuring device of FIG. 2. This figure shows the microstrip line 1 connecting two stages E1 and E2 of a microwave module. The measuring device comprises at least three probes disposed above line 1 and spaced at predetermined distances z1, z2 along the longitudinal axis 30 of the line. Each probe comprises, as basic element, a sensor 10, 11, 12 as described with reference to FIG. 1. Each sensor is followed by a detector 13, 14, 15. The signals detected by these sensors are sent to calculation 16 which deliver the values of parameters characteristic of the positioning of the probes with respect to the line and of the standing waves present on the line 1. Thanks to the measurements thus made in at least three points, it is possible to solve a corresponding system of equations by the computer 16 which thus makes it possible to obtain the coupling coefficient C, the reflection coefficient p of the next stage E2 and the position zO on the axis zz 'of a voltage maximum.

Les capteurs doivent être positionnés à la même distance de la ligne, ceci afin d'obtenir un coefficient de couplage C identique pour les trois sondes. La distance est choisie de manière à obtenir un courant suffisant dans les capteurs mais à ne pas perturber le circuit à tester. La différence de distance à la ligne pour les différents capteurs ne doit pas être supérieure à environ 50 pm. D'autre part, les intervalles z1, z2 séparant les capteurs le long de l'axe de la ligne doivent être choisis en fonction de la gamme de longueurs d'onde du signal à mesurer. Pour pouvoir calculer les paramètres de l'onde stationnaire avec la meilleure sensibilité, il faut, de préférence, choisir des intervalles z1, z2 sensiblement égaux au huitième de la longueur d'onde centrale, dans la ligne hyperfréquence, de la gamme de fréquences de fonctionnement. Enfin, pour éviter une variation relative trop importante des couplages entre les capteurs et la ligne, il est nécessaire de positionner ces capteurs avec précision au-dessus de l'axe longitudinal zz' de la ligne. L'écart maximal de position dans la direction transversale à l'axe zz' ne doit pas dépasser 100 pm. La figure 4 représente un mode de réalisation simple d'un capteur 10. Un substrat diélectrique 106 de forme parallélépipédique comporte sur une de ses petites faces une métallisation 101, 104, 105 en forme de E. La barre centrale 105 du E constitue le conducteur commun aux deux boucles dont les autres branches sont constituées par les deux barres extérieures 101, 104. Les courants cumulés dans les deux boucles sont acheminés par une ligne coplanaire 100 gravée dans la métallisation d'une grande face du substrat. Le conducteur central 102 de la ligne coplanaire est relié à l'extrémité de la barre centrale 105 tandis que les conducteurs parallèles 103 formant plan de masse sont reliés respectivement aux extrémités des autres branches 101, 104 du E. Comme on l'a vu, l'intervalle intercapteur est par exemple de 35 quelques millimètres en bande C. Un problème important est alors le raccordement des capteurs à des connecteurs qui habituellement ont des diamètres d'environ 5 mm. Ceci oblige donc à décaler les connecteurs les uns par rapport aux autres transversalement à l'axe de la ligne 1. The sensors must be positioned at the same distance from the line, in order to obtain an identical coupling coefficient C for the three probes. The distance is chosen so as to obtain a sufficient current in the sensors but not to disturb the circuit to be tested. The distance difference at the line for the different sensors should not be greater than about 50 μm. On the other hand, the intervals z1, z2 separating the sensors along the axis of the line must be chosen according to the range of wavelengths of the signal to be measured. In order to be able to calculate the parameters of the standing wave with the best sensitivity, it is preferable to choose intervals z1, z2 substantially equal to one-eighth of the central wavelength, in the microwave line, of the frequency range of operation. Finally, to avoid a too large relative variation of the couplings between the sensors and the line, it is necessary to position these sensors accurately above the longitudinal axis zz 'of the line. The maximum position deviation in the direction transverse to the zz 'axis shall not exceed 100 pm. FIG. 4 represents a simple embodiment of a sensor 10. A parallelepiped-shaped dielectric substrate 106 has on one of its small faces an E-shaped metallization 101, 104, 105. The central bar 105 of the E constitutes the conductor common to the two loops whose other branches are constituted by the two outer bars 101, 104. The cumulative currents in the two loops are conveyed by a coplanar line 100 etched in the metallization of a large face of the substrate. The central conductor 102 of the coplanar line is connected to the end of the central bar 105 while the ground plane parallel conductors 103 are respectively connected to the ends of the other branches 101, 104 of the E. As we have seen, the inter-sensor interval is for example a few millimeters in the C-band. An important problem is then the connection of the sensors to connectors which usually have diameters of about 5 mm. This therefore requires the connectors to shift relative to each other transversely to the axis of the line 1.

Pour cela, comme représenté sur la figure 3, on prévoit donc de réaliser des sondes comportant chacune un capteur 10, 11, 12 monté sur un support 30, 31, 32 assurant le maintien précis du capteur et sa connexion au connecteur correspondant 40, 41, 42 décalé. Ainsi, le support 30 décale le connecteur 40 vers la gauche de la figure et de l'axe de la ligne, le support 31 est direct et amène le connecteur 41 face au capteur 31 et le support 32 décale le connecteur 42 vers la droite de la figure et de l'axe de la ligne. La figure 5 représente un exemple de réalisation de trois sondes montrées séparées. Chaque sonde comprend un capteur 10, 11, 12 et un support, en alumine par exemple, 30, 31, 32. Le support 30 a un angle coupé 303. Il comporte une métallisation 302 dans laquelle on a réalisé par gravure une ligne coplanaire 300 permettant de décaler la sortie vers le connecteur par rapport au point de fixation du capteur 10 sur la tranche du support. Le conducteur central 301 de la ligne coplanaire sur le support est raccordé au conducteur central de la ligne coplanaire du capteur 10. For this, as shown in FIG. 3, provision is therefore made to produce probes each comprising a sensor 10, 11, 12 mounted on a support 30, 31, 32 ensuring the precise maintenance of the sensor and its connection to the corresponding connector 40, 41 , 42 shifted. Thus, the support 30 shifts the connector 40 to the left of the figure and the axis of the line, the support 31 is direct and brings the connector 41 to the sensor 31 and the support 32 shifts the connector 42 to the right of the the figure and the axis of the line. Figure 5 shows an embodiment of three probes shown separately. Each probe comprises a sensor 10, 11, 12 and a support, made of alumina, for example, 30, 31, 32. The support 30 has a cut-off angle 303. It comprises a metallization 302 in which a coplanar line 300 has been etched. to shift the output to the connector relative to the attachment point of the sensor 10 on the edge of the support. The central conductor 301 of the coplanar line on the support is connected to the central conductor of the coplanar line of the sensor 10.

Le support 31 est droit. Il comporte une métallisation 312 et une ligne coplanaire 310 rectiligne avec un conducteur central 311 qui relie au capteur 11 un connecteur situé en face. Enfin le support 32 comporte une métallisation 322 dans laquelle est réalisée une ligne coplanaire 320 avec son conducteur central 321 qui permet de décaler dans l'autre sens la sortie vers le connecteur correspondant par rapport au point de fixation du capteur 12 sur le support. Pour assurer un positionnement précis des sondes entre elles et de l'ensemble par rapport à la ligne à tester, il est nécessaire de prévoir des moyens de montage qui consistent essentiellement en un boîtier 5 représenté sur la figure 6. Ce boîtier comporte, sur un fond 51, des gradins 53, 55 dont l'épaisseur détermine l'intervalle entre sondes le long de l'axe longitudinal zz' qui est aussi l'axe d'alignement des capteurs. Sur la figure seul le capteur 10 a été représenté pour la clarté du dessin. La face interne du fond 51 et les faces correspondantes (vers le haut sur la figure) des gradins 53 et 55 servent de face d'appui pour les supports 30, 31, 32 respectivement. D'autre part, les rebords des gradins et les parois 50 et 52 permettent le calage des supports entre eux selon l'axe transversal à la ligne. Le gradin 53 comporte un pan oblique 54 sur lequel vient prendre appui l'angle coupé 303 du support 30. Ceci améliore la précision du calage du support 30 et permet d'autre part de prolonger le gradin 53 de manière à assurer un appui satisfaisant au support 31. La précision sur le positionnement en hauteur des capteurs, c'est-à-dire le positionnement en distance par rapport à la ligne à tester est obtenu lors de l'assemblage des sondes dans le boîtier, comme représenté sur la figure 7. On y voit qu'on peut utiliser une butée 60 de positionnement des capteurs qui permet de compenser les tolérances dLl sur les longueurs de substrat L1 et dL2 sur les longueurs de capteur L2, ainsi que le jeu E entre substrat et capteur, grâce au jeu s1 entre supports et boîtier. The support 31 is straight. It comprises a metallization 312 and a rectilinear coplanar line 310 with a central conductor 311 which connects to the sensor 11 a connector located opposite. Finally, the support 32 comprises a metallization 322 in which a coplanar line 320 is made with its central conductor 321 which makes it possible to shift in the other direction the output towards the corresponding connector with respect to the attachment point of the sensor 12 on the support. To ensure precise positioning of the probes between them and the assembly relative to the test line, it is necessary to provide mounting means which consist essentially of a housing 5 shown in Figure 6. This housing comprises, on a bottom 51, steps 53, 55 whose thickness determines the interval between probes along the longitudinal axis zz 'which is also the axis of alignment of the sensors. In the figure only the sensor 10 has been shown for clarity of the drawing. The inner face of the bottom 51 and the corresponding faces (upwards in the figure) of the steps 53 and 55 serve as bearing face for the supports 30, 31, 32 respectively. On the other hand, the edges of the steps and the walls 50 and 52 allow the spacing of the supports between them along the axis transverse to the line. The step 53 comprises an oblique spand 54 on which the cut angle 303 of the support 30 comes to bear. This improves the accuracy of the setting of the support 30 and, on the other hand, makes it possible to extend the step 53 so as to ensure a satisfactory support for the support. support 31. The accuracy on the height positioning of the sensors, that is to say the positioning distance from the line to be tested is obtained during the assembly of the probes in the housing, as shown in Figure 7 It can be seen that a sensor positioning stop 60 can be used which makes it possible to compensate for the tolerances dL1 on the substrate lengths L1 and dL2 on the sensor lengths L2, as well as the clearance E between the substrate and the sensor, thanks to the play s1 between supports and housing.

Grâce à ces caractéristiques, on obtient des erreurs de positionnement tout à fait compatibles avec les précisions recherchées et n'engendrant que de très faibles variations de couplage. Dans un exemple de réalisation, on a mesuré les erreurs suivantes : - distance au-dessus de la ligne : 5 pm entre les capteurs 10 et 11 pm entre les capteurs 11 et 12 - intervalle entre capteurs le long de l'axe de la ligne : 25 pm environ entre les trois capteurs. Ainsi, l'invention permet de réaliser un dispositif de mesure fiable 25 et précis, peu encombrant, ne nécessitant aucune adjonction d'éléments supplémentaires sur les modules à tester et ne provoquant aucune perturbation dans leur fonctionnement tout en permettant des mesures en temps réel. Bien entendu, l'exemple de réalisation décrit n'est nullement 30 limitatif de l'invention, notamment en ce qui concerne le nombre de sondes utilisées. Thanks to these characteristics, one obtains positioning errors entirely compatible with the sought accuracies and generating only very small coupling variations. In an exemplary embodiment, the following errors were measured: - distance above the line: 5 pm between the sensors 10 and 11 pm between the sensors 11 and 12 - interval between sensors along the axis of the line Approximately 25 pm between the three sensors. Thus, the invention makes it possible to produce a reliable and precise measuring device, compact, requiring no additional elements to be added to the modules to be tested and causing no disturbance in their operation while allowing measurements in real time. Of course, the described exemplary embodiment is in no way limiting of the invention, in particular as regards the number of probes used.

Claims

1. Microwave measurement device for remote testing of a microwave line comprising at least one in situ test probe- consisting of a support of dielectric material and microwave coupling means carried by said support, characterized in that, for the remote and real-time measurement of standing wave rates on said microwave line (1), said device comprises at least three probes (10, 11, 12, 30, 31, 32) spaced from predetermined distances (z1, z2 ) along the longitudinal axis (zz ') of said microwave line (1) to form at least three measuring points along said axis and calculating means (16) for extracting the parameters (C, z0, p) characteristics of the positioning of the device relative to the line (1) and the standing wave regime present on the line (1), from the signals supplied by said probes.

2. Measuring device according to claim 1, characterized in that said predetermined distances (z1, z2) are all of the order of one-eighth of the operating wavelength in the microwave line.

3. Measuring device according to one of claims 1 or 2, characterized in that said probes each comprise a sensor (10, 11, 12), formed of a double conductive loop (101, 104, 105) arranged on a a substrate in a plane parallel to the line (1) and a coplanar line (100; 102,103) for conveying the currents induced in the loops, said coplanar line being disposed on said substrate in a plane perpendicular to that of the loops, and a sensor support (30, 31, 32), and in that said device further comprises probe mounting means (5) to ensure accurate positioning thereof.

4. Measuring device according to claim 3, characterized in that each sensor comprises a dielectric substrate (106) of parallelepiped shape, one of the small faces carries an E-shaped conductor whose central bar (105) is a common conductor to two loops while the other branches of the loops are constituted by the two outer bars (101, 104), the coplanar line (100) being formed of parallel metallizations (102, 103) on a large surface of the substrate as the central metallization ( 102) is connected to the end of the central branch of the E (105) while the outer mass metallizations (103) are connected respectively to the ends of the other branches (101, 104).

5. Measuring device according to claim 4, characterized in that said sensors (10, 11, 12) are mounted on supports (30, 31, 32) ensuring a precise hold of the sensors and an offset, relative to the alignment axis of the sensors, outputs by connector (40, 41, 42) to the calculation means.

6. Measuring device according to claim 5, characterized in that each support is constituted by a dielectric plate, one side carries a metallization (302, 312, 322) in which is etched a coplanar line (300, 310, 320) connected to the coplanar line of the corresponding sensor fixed on the edge of the support. 15

7. Measuring device according to one of claims 5 or 6, characterized in that said mounting means are constituted by a housing (5) whose bottom (51) comprises steps (53, 55) of predetermined thickness having a free face which serves as a bearing surface for each of the supports (30, 31, 32), the thickness of the steps being such that the sensors 20 fixed to the supports are maintained at said predetermined distances (z1, z2), and in that said housing (5) has walls (50, 52) serving as abutments for the supports (30, 31, 32) so as to position them precisely in directions transverse to the alignment axis of the sensors. 25

8. Measuring device according to claim 7, characterized in that at least one step (53) of said housing (5) comprises an oblique pan (54) relative to the walls (50, 52) of the housing, at least one of carriers (30) having a correspondingly shaped cutout.

9. Measuring device according to any one of claims 1 to 8, characterized in that said calculating means (16) are provided for calculating the amplitude and phase value of the standing wave ratio present on said microwave line ( 1), the position (zO) of the maximum power along the line and the value of the coupling (C) between the probes and the microwave line.