FR2919392A1

FR2919392A1 - ACCELEROMETER OF INERTIAL MEASURING UNIT AT REDUCED COST AND IMPROVED SAFETY.

Info

Publication number: FR2919392A1
Application number: FR0705525A
Authority: FR
Inventors: Jacques Leclerc
Original assignee: Thales SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 2007-07-27
Filing date: 2007-07-27
Publication date: 2009-01-30
Also published as: WO2009016114A1

Abstract

La présente invention a pour objet un accéléromètre d'unité de mesure inertielle permettant de réduire le coût et/ou d'améliorer la sécurité de cette unité de mesure inertielle.L'accéléromètre conforme à l'invention est un accéléromètre d'unité de mesure inertielle du type à résonateur dont la fréquence de résonance est modifiée par un dispositif à au moins une masse mobile en fonction des accélérations subies par cette masse mobile, et il est caractérisé en ce qu'il est bi-axial et comprend au moins deux masses mobiles sensibles aux accélérations se produisant selon un axe quelconque dans un plan et associées chacune à un dispositif de conversion de la force appliquée à la masse sensible aux accélérations en signaux électriques, les axes sensibles de ces masses étant mutuellement disposés de façon à permettre la détermination de leurs composantes dans ledit plan.The subject of the present invention is an accelerometer for an inertial measurement unit making it possible to reduce the cost and / or to improve the safety of this inertial measurement unit. The accelerometer according to the invention is a unit of measurement accelerometer. resonator-type inertial device whose resonant frequency is modified by a device with at least one mobile mass as a function of the accelerations undergone by this mobile mass, and is characterized in that it is biaxial and comprises at least two masses responsive to accelerations occurring on any axis in a plane and each associated with a device for converting the force applied to the mass sensitive to acceleration into electrical signals, the sensitive axes of these masses being mutually arranged so as to enable the determination of of their components in said plan.

Description

ACCELEROMETRE D'UNITE DE MESURE INERTIELLE A COUT REDUIT ET SECURITEACCELEROMETER OF INERTIAL MEASURING UNIT AT REDUCED COST AND SAFETY

AMELIOREE La présente invention se rapporte à un accéléromètre d'unité de mesure inertielle ainsi qu'à une unité de mesure inertielle basée sur un tel accéléromètre. On connaît d'après le brevet français 2 848 298 du Demandeur un accéléromètre uni-axial micro-usiné dans une plaque de silicium par exemple, qui est composé d'une ou de deux masses sismiques suspendues dans un plan et guidées selon un axe préférentiel commun de déplacement. Un système d'amplification de force associé à chaque masse sismique permet d'amplifier la force qu'elle produit, lorsqu'elle est soumise à une accélération, et de l'appliquer au résonateur correspondant, entretenu en vibration par un circuit électronique dédié. La puce de détection comportant les éléments précités constitue une cavité sous vide permettant d'obtenir un grand facteur de qualité pour les résonateurs. Un tel accéléromètre a été schématisé en figure 1 par exemple en configuration bi- masses. L'accéléromètre uni-axial de la figure 1 comporte essentiellement deux masses sismiques planes 1, 2 mobiles en translation sous l'action d'une accélération y appliquée selon l'axe sensible de l'accéléromètre (axe parallèle aux flèches 3, 4 représentant les forces d'accélération My appliquées aux centres de gravité respectifs de ces masses M), ces masses étant suspendues dans un même plan par des bras B à un cadre rigide 5 faisant partie du substrat sur lequel est formé l'accéléromètre. Chacune de ces deux masses 1, 2 est reliée par un cric 6, 7 en forme de pantographe à un résonateur 8, 9 respectivement. Ces crics sont reliés par un de leurs sommets à la masse correspondante et par leur sommet opposé à une partie fixe 10, 11 du substrat, située entre les deux masses. Les résonateurs 8, 9 sont fixés entre les deux autres sommets des pantographes. Ainsi, lorsqu'une accélération y (ou une composante d'accélération) est appliquée (horizontalement et vers la droite sur le dessin), la masse 1 comprime le pantographe 6 et étire donc le résonateur 8, tandis que la masse 2 étire le pantographe 7 en comprimant le résonateur 9, ce qui modifie leurs fréquences de résonance respectives. Un tel accéléromètre se présente sous forme d'une puce (élément monolithique MEMS , pour Micro ElectroMechanical System ) qui est montée The present invention relates to an accelerometer of an inertial measurement unit as well as to an inertial measurement unit based on such an accelerometer. French Patent 2,848,298 of the Applicant discloses a micro-machined uni-axial accelerometer in a silicon plate for example, which is composed of one or two seismic masses suspended in a plane and guided along a preferential axis. common displacement. A force amplification system associated with each seismic mass makes it possible to amplify the force it produces, when it is subjected to acceleration, and to apply it to the corresponding resonator, maintained in vibration by a dedicated electronic circuit. The detection chip comprising the aforementioned elements is a vacuum cavity to obtain a large quality factor for the resonators. Such an accelerometer has been shown diagrammatically in FIG. 1, for example, in a dual-mass configuration. The uni-axial accelerometer of FIG. 1 essentially comprises two plane seismic masses 1, 2 movable in translation under the action of an acceleration applied thereto along the sensitive axis of the accelerometer (axis parallel to the arrows 3, 4 representing the acceleration forces My applied to the respective centers of gravity of these masses M), these masses being suspended in the same plane by arms B to a rigid frame 5 forming part of the substrate on which the accelerometer is formed. Each of these two masses 1, 2 is connected by a jack 6, 7 in the form of a pantograph to a resonator 8, 9 respectively. These jacks are connected by one of their vertices to the corresponding ground and their opposite peak to a fixed portion 10, 11 of the substrate, located between the two masses. The resonators 8, 9 are fixed between the two other tops of the pantographs. Thus, when an acceleration y (or an acceleration component) is applied (horizontally and to the right in the drawing), the mass 1 compresses the pantograph 6 and therefore stretches the resonator 8, while the mass 2 stretches the pantograph 7 by compressing the resonator 9, which changes their respective resonant frequencies. Such an accelerometer is in the form of a chip (MEMS monolithic element, for Micro ElectroMechanical System) which is mounted

dans un boîtier-cellule permettant son positionnement mécanique, et les connexions électriques aux résonateurs. Il est par ailleurs possible de créer le vide dans la cellule lorsqu'il n'a pas été possible de le réaliser dans la puce, la puce étant dotée d'évents de mise au vide. in a cell-housing allowing its mechanical positioning, and the electrical connections to the resonators. It is also possible to create the vacuum in the cell when it was not possible to make it in the chip, the chip being provided with evacuation vents.

Cet accéléromètre connu est doté d'un système de mesure de température pour effectuer les compensations appropriées et de circuits électroniques de proximité à deux voies permettant d'entretenir les deux résonateurs en vibration à la résonance. Les signaux des deux voies de mesure de fréquence sont convertis et adressés à des circuits électroniques numériques réalisant les asservissements, la restitution de l'accélération par différence des deux fréquences ou par des traitements plus sophistiqués, les compensations et la mise au format de sortie numérique. Une unité de mesure inertielle (UMI ) de l'art antérieur est constituée, en particulier, de trois accéléromètres uni-axiaux disposés dans des plans orthogonaux deux à deux, soit trois cellules contenant chacune une puce, trois circuits de mesure de température, six voies de mesure de fréquence et un circuit de traitement numérique. La présente invention a pour objet un accéléromètre d'unité de mesure inertielle permettant de réduire le coût et/ou d'améliorer la sécurité de cette unité de mesure inertielle. This known accelerometer is equipped with a temperature measurement system for making the appropriate compensations and two-way proximity electronic circuits for maintaining the two resonators in vibration at resonance. The signals of the two frequency measuring channels are converted and addressed to digital electronic circuits providing the servocontrols, the restoration of the acceleration by difference of the two frequencies or by more sophisticated processing, compensation and digital output format. . An inertial measurement unit (IMU) of the prior art consists, in particular, of three uni-axial accelerometers arranged in orthogonal planes two by two, ie three cells each containing a chip, three temperature measuring circuits, six frequency measuring channels and a digital processing circuit. The present invention relates to an accelerometer unit of inertial measurement to reduce the cost and / or improve the safety of this unit of inertial measurement.

L'accéléromètre conforme à l'invention est un accéléromètre d'unité de mesure inertielle du type à résonateur dont la fréquence de résonance est modifiée par un dispositif à au moins une masse mobile en fonction des accélérations subies par cette masse mobile, et il est caractérisé en ce qu'il est bi-axial et comprend au moins deux masses mobiles sensibles aux accélérations se produisant selon un axe quelconque dans un plan et associées chacune à un dispositif de conversion de la force appliquée à la masse sensible aux accélérations en signaux électriques, les axes sensibles de ces masses étant mutuellement disposés de façon à permettre la détermination de leurs composantes dans ledit plan. Dans le cas où l'accéléromètre comporte deux masses mobiles associées chacune à un dispositif de conversion de force, les axes sensibles de leurs dispositifs de conversion de force sont orientés l'un par rapport à l'autre selon un angle différent The accelerometer according to the invention is a resonator-type inertial measurement unit accelerometer whose resonance frequency is modified by a device with at least one mobile mass as a function of the accelerations undergone by this mobile mass, and it is characterized in that it is biaxial and comprises at least two mobile masses responsive to accelerations occurring along any axis in a plane and each associated with a device for converting the force applied to the mass sensitive to acceleration in electrical signals , the sensitive axes of these masses being mutually arranged so as to allow the determination of their components in said plane. In the case where the accelerometer comprises two moving masses each associated with a force conversion device, the sensitive axes of their force conversion devices are oriented relative to each other at a different angle.

de 0 ou 90 . Bien entendu, un tel mode de réalisation est plus économique que ceux comportant plus de deux masses mobiles, mais est moins sécurisé que ces derniers. Dans le cas où l'accéléromètre comporte N masses mobiles (N>_3), leurs axes sensibles sont sensiblement concourants en un point et forment, de proche en proche, un angle d'environ 2n/N. Dans toute la présente description, accéléromètre bi-axial signifie que cet accéléromètre est capable de mesurer une accélération de direction quelconque dans un plan. Selon un premier mode de réalisation de l'invention, le dispositif sensible aux accélérations comprend au moins trois masses sismiques dont les axes sensibles sont non parallèles et par exemple répartis à 120 les uns des autres, et qui sont associées chacune à un dispositif de conversion de la force appliquée à la masse en signaux électriques. Selon une autre caractéristique de l'invention, on constitue une unité de 15 mesure inertielle à l'aide de deux tels accéléromètres. from 0 or 90. Of course, such an embodiment is more economical than those comprising more than two moving masses, but is less secure than the latter. In the case where the accelerometer comprises N moving masses (N> _3), their sensitive axes are substantially concurrent at a point and form, step by step, an angle of about 2n / N. Throughout the present description, bi-axial accelerometer means that this accelerometer is capable of measuring any acceleration of direction in a plane. According to a first embodiment of the invention, the device responsive to accelerations comprises at least three seismic masses whose sensitive axes are non-parallel and for example distributed at 120 from each other, and which are each associated with a conversion device the force applied to the mass in electrical signals. According to another characteristic of the invention, an inertial measurement unit is constituted using two such accelerometers.

La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description détaillée d'un mode de réalisation, pris à titre d'exemple non limitatif et illustré par le dessin annexé, sur lequel : 20 - la figure 1, déjà décrite ci-dessus est un schéma simplifié d'une cellule de l'art antérieur captant des accélérations selon un seul axe, - la figure 2 est un schéma simplifié d'une cellule conforme à la présente invention destinée à capter des accélérations selon une direction quelconque dans un plan, et 25 - la figure 3 est une vue en plan d'un exemple de réalisation d'une puce d'accéléromètre conforme à l'invention. The present invention will be better understood on reading the detailed description of an embodiment, taken by way of nonlimiting example and illustrated by the appended drawing, in which: FIG. 1, already described above, is a simplified diagram of a cell of the prior art sensing accelerations along a single axis, - Figure 2 is a simplified diagram of a cell according to the present invention for capturing accelerations in any direction in a plane, and FIG. 3 is a plan view of an exemplary embodiment of an accelerometer chip according to the invention.

L'accéléromètre de l'invention comporte au moins deux masses mobiles également dénommées masses sismiques. On a représenté sur la figure 2 le cas où il 30 comporte trois masses sismiques. L'accéléromètre de la figure 2 comporte trois capteurs 12, 13, 14 comprenant The accelerometer of the invention comprises at least two mobile masses also called seismic masses. FIG. 2 shows the case where it comprises three seismic masses. The accelerometer of FIG. 2 comprises three sensors 12, 13, 14 comprising

chacun une masse sismique 15, 16 et 17 respectivement. Ces masses sismiques sont coplanaires et associées chacune à un dispositif de conversion de force comprenant essentiellement un résonateur 18, 19 et 20 respectivement, solidaire d'un pantographe 21, 22 et 23 respectivement, chaque résonateur étant relié à un circuit d'excitation, de conversion de fréquence et de traitement du signal (non représentés). Les pantographes sont ancrés à des zones fixes, respectivement 24 à 26, du substrat sur lequel sont formées les masses sismiques. Ces capteurs sont réalisés par exemple selon le procédé décrit dans le brevet français précité, mais adapté à l'invention de façon évidente pour l'homme de l'art. each a seismic mass 15, 16 and 17 respectively. These seismic masses are coplanar and each associated with a force conversion device comprising essentially a resonator 18, 19 and 20 respectively, integral with a pantograph 21, 22 and 23 respectively, each resonator being connected to an excitation circuit, to frequency conversion and signal processing (not shown). The pantographs are anchored to fixed zones, respectively 24 to 26, of the substrate on which the seismic masses are formed. These sensors are made for example according to the method described in the aforementioned French patent, but adapted to the invention obviously for those skilled in the art.

Chacune des masses 15 à 17 est maintenue dans le plan commun à ces trois masses par des bras de suspension (non représentés). Dans cette configuration, les trois masses sont disposées de façon que leurs centres de gravité respectifs forment les sommets d'un triangle, par exemple équilatéral, et leurs dispositifs de suspension sont tels qu'ils les guident selon trois axes sensibles disposés à 120 environ les uns des autres. Comme représenté en figure 2, les trois masses 15 à 17 sont suffisamment écartées les unes des autres pour laisser entre elles un espace tel qu'il permet d'y loger leurs dispositifs de conversion de force et résonateurs respectifs (comportant en particulier les éléments 18 à 26). Dans le cas, représenté en figure 2, où une accélération y est appliquée à l'accéléromètre selon un axe sensiblement parallèle à l'axe sensible de la masse 17, une composante de cette accélération (dirigée selon l'axe sensible de la masse 15) est appliquée à la masse 15, ce qui a pour effet de comprimer le pantographe 21 et d'étirer le résonateur 18. D'autre part, une composante de cette accélération y (composante dirigée selon l'axe sensible de la masse 16), est appliquée à la masse 16, ce qui a pour effet d'étirer le pantographe 22 et de comprimer le résonateur 19. Enfin, une autre composante de cette accélération y (composante dirigée selon l'axe sensible de la masse 17) est appliquée à la masse 17, ce qui a pour effet d'étirer le pantographe 23 et de comprimer le résonateur 20. Les modifications de fréquence de résonance des trois résonateurs 18 à 20 sont alors mesurées et converties en valeurs d'accélérations, de façon connue en soi Par un calcul simple de composition vectorielle, en combinant de façon connue en soi les trois composantes Each of the masses 15 to 17 is maintained in the plane common to these three masses by suspension arms (not shown). In this configuration, the three masses are arranged so that their respective centers of gravity form the vertices of a triangle, for example equilateral, and their suspension devices are such that they guide them along three sensitive axes arranged at 120 approximately the each other. As represented in FIG. 2, the three masses 15 to 17 are sufficiently spaced apart from each other to leave between them a space such that it makes it possible to house their respective force conversion devices and resonators (in particular with the elements 18 at 26). In the case, represented in FIG. 2, where an acceleration is applied to the accelerometer along an axis substantially parallel to the sensitive axis of the mass 17, a component of this acceleration (directed along the sensitive axis of the mass 15 ) is applied to the mass 15, which has the effect of compressing the pantograph 21 and stretching the resonator 18. On the other hand, a component of this acceleration y (component directed along the sensitive axis of the mass 16) , is applied to the mass 16, which has the effect of stretching the pantograph 22 and compressing the resonator 19. Finally, another component of this acceleration y (component directed along the sensitive axis of the mass 17) is applied to the mass 17, which has the effect of stretching the pantograph 23 and compressing the resonator 20. The resonant frequency changes of the three resonators 18 to 20 are then measured and converted into accelerations values, in a manner known in the art. By a simple calculation of vector composition, by combining, in a manner known per se, the three components

d'accélération ainsi mesurées (par projection selon les cosinus directeurs des axes sensibles des résonateurs), on arrive à déterminer la direction et l'intensité de l'accélération y. La puce bi-axiale renfermant l'accéléromètre tel que celui de la figure 2 est sensiblement plus grande que dans le cas d'un accéléromètre uni-axial (surface multipliée par 1,5 à 2), et elle nécessite 1,5 fois plus de connexions électriques que cette dernière ( voire un peu moins si des points communs sont possibles). Elle est reportée dans un boîtier-cellule. Un seul système de compensation thermique est nécessaire pour l'accéléromètre bi-axial et les voies de traitement de fréquence des résonateurs sont identiques au cas uni-axial. On a représenté en figure 3 un exemple de réalisation d'une puce biaxiale conforme à l'invention. Dans ce mode de réalisation, le centre de la puce accélérométrique est occupé par une petite pièce mobile C en forme de triangle équilatéral. Cette pièce C sert de moyen de couplage entre les trois masses mobiles 27 à 29, qui sont identiques et entourent cette pièce centrale. Chacune des masses 27 à 29 a une forme générale de trapèze s'élargissant du centre vers la périphérie, sa petite base étant parallèle à un côté du triangle C. Les trois masses s'inscrivent dans un polygone qui est sensiblement un triangle équilatéral dont les côtés sont respectivement parallèles aux côtés du triangle C auquel elles sont reliées par des bras, par exemple des bras repliés (non représentés). Des électrodes planes d'amortissement 30 à 32, par exemple en forme de losanges, sont disposées aux trois sommets du triangle circonscrit aux masses, parallèlement au plan des masses mobiles, sous ce plan. Les masses mobiles 27 à 29 sont associées chacune à un ensemble cric + résonateur référencé dans son ensemble 33 à 35, respectivement, chacun de ces ensembles étant disposé sensiblement au centre de la masse mobile correspondante, dans un évidemment pratiqué dans cette masse. Chacune de ces masses est guidée selon un axe sensible parallèle à l'axe sensible par des bras de guidage B. Des électrodes d'excitation E, disposées sous les masses, à proximité des résonateurs correspondants, les excitent à la résonance. Des électrodes de détection D, sont également disposées sous les masses, à proximité des résonateurs of acceleration thus measured (by projection according to the guiding cosines of the sensitive axes of the resonators), it is possible to determine the direction and intensity of the acceleration y. The biaxial chip containing the accelerometer such as that of FIG. 2 is substantially larger than in the case of a uni-axial accelerometer (surface multiplied by 1.5 to 2), and it requires 1.5 times more electrical connections than the latter (or a little less if common points are possible). It is carried in a cell-box. A single thermal compensation system is required for the bi-axial accelerometer and the frequency processing paths of the resonators are identical to the uni-axial case. FIG. 3 shows an exemplary embodiment of a biaxial chip according to the invention. In this embodiment, the center of the accelerometer chip is occupied by a small mobile part C in the shape of an equilateral triangle. This piece C serves as a coupling means between the three movable masses 27 to 29, which are identical and surround this central piece. Each of the masses 27 to 29 has a general trapezoidal shape widening from the center to the periphery, its small base being parallel to one side of the triangle C. The three masses are part of a polygon which is substantially an equilateral triangle whose sides are respectively parallel to the sides of the triangle C to which they are connected by arms, for example folded arms (not shown). Flat damping electrodes 30 to 32, for example in the form of diamonds, are arranged at the three vertices of the triangle circumscribed to the masses, parallel to the plane of the moving masses, in this plane. The moving masses 27 to 29 are each associated with a set jack + resonator referenced as a whole 33 to 35, respectively, each of these sets being disposed substantially in the center of the corresponding moving mass, in a recess practiced in this mass. Each of these masses is guided along a sensitive axis parallel to the sensitive axis by guide arms B. Excitation electrodes E, arranged under the masses, near the corresponding resonators, excite them to resonance. Sensing electrodes D, are also arranged under the masses, near the resonators

correspondants, et recueillent les variations de fréquence de résonance des résonateurs correspondants, ces variations apparaissant lorsque les masses sont soumises à des accélérations et étirent ou compriment ces résonateurs. Une UMI conforme à l'invention est dès lors constituée de deux accéléromètres bi-axiaux dont les plans sont mutuellement orthogonaux. L'ensemble comporte donc deux cellules contenant chacune une puce, deux dispositifs de mesure de température, six voies de traitement des variations des fréquences des résonateurs et un dispositif de traitement numérique. Ainsi, cette architecture a un fonctionnement plus sûr, car elle dispose d'un axe de mesure redondant, ce qui lui confère quatre axes sensibles, lui permettant ainsi de résister à une panne d'une voie de traitement de fréquence. Selon une variante de l'invention, l'UMI est sans redondance et est constituée d'un accéléromètre bi-axial XY et d'un accéléromètre uni-axial Z. Bien entendu, cette variante est plus économique que le mode de réalisation à deux accéléromètres bi-axiaux, mais est moins sécurisée que ce dernier. On a résumé dans le tableau ci-dessous les avantages et inconvénients des différentes possibilités de réalisation d'une UMI, à savoir la solution de l'art antérieur à trois accéléromètres (ou capteurs) uni-axiaux et les solutions de l'invention à deux accéléromètres bi-axiaux et à un accéléromètre uni-axial et un accéléromètre bi-axial. Solution 3 eepteus uni- Solution 2 Capteurs bi-Solution en capteir Bi et un axai x axiaux uni-axial Suface silicium 3s 3s à 4s 2,5s à 3s Cannexian électrique puce 3c 3c 3c More de Boîtiers-cellules 3 2 2 voie terrpératu-e 3 2 2 voies fréquences 6 6 5 Nombre de modelas 3 2 2 Traitement rxrr>érique Ln peu plus complexe un peu plus complexe Coût intégaticn moins oarplexe moins complexe Redondance auane 1 voie accéléra auane Coût réaient moins cher moins cher Vdurre UM plus faible plus faible corresponding, and collect the resonance frequency variations of the corresponding resonators, these variations occurring when the masses are subjected to accelerations and stretch or compress these resonators. An UMI according to the invention is therefore composed of two bi-axial accelerometers whose planes are mutually orthogonal. The assembly thus comprises two cells each containing a chip, two temperature measuring devices, six frequency variation processing channels of the resonators and a digital processing device. Thus, this architecture has a safer operation because it has a redundant measurement axis, which gives it four sensitive axes, thus enabling it to resist a failure of a frequency processing channel. According to a variant of the invention, the UMI is without redundancy and consists of a bi-axial accelerometer XY and a uni-axial accelerometer Z. Of course, this variant is more economical than the embodiment with two bi-axial accelerometers, but is less secure than the latter. The advantages and disadvantages of the different possibilities for producing an IMU, namely the solution of the prior art to three accelerometers (or sensors) uni-axial and the solutions of the invention to the invention, have been summarized in the table below. two bi-axial accelerometers and a uni-axial accelerometer and a bi-axial accelerometer. Solution 3 eepteus uni- Solution 2 Bi-Solution sensors in Bi and axai x axial uni-axial sensor Suface silicon 3s 3s to 4s 2.5s to 3s Cannexian electrical chip 3c 3c 3c More Cell-Enclosures 3 2 2 way terrpératu- e 3 2 2 frequency channels 6 6 5 Number of modelas 3 2 2 Random processing Ln slightly more complex a little more complex Integration cost less less complex Complex redundancy Auane 1 accelerated way auane Cost less expensive less expensive Vdurre MU lower more low

Claims

1. accelerator of resonator-type inertial measurement unit whose resonance frequency is modified by a device with at least one moving mass according to the accelerations undergone by this mobile mass, characterized in that it is biaxial and comprises at least two mobile masses responsive to accelerations occurring along any axis in a plane and each associated with a device for converting the force applied to the mass sensitive to acceleration into electrical signals, the sensitive axes of these masses being mutually disposed of to allow the determination of their components in said plane.

2. Accelerometer according to claim 1, characterized in that it comprises two movable masses and that the sensitive axes of their force conversion devices are oriented relative to each other at an angle other than 0 or 90.

3. Accelerometer according to claim 1, characterized in that the accelerator-sensitive device comprises N moving masses (N> _3) whose sensitive axes are substantially concurrent at one point and form, step by step, an angle of approximately 2 nm. /NOT.

4. Inertial measurement unit, characterized in that it comprises two bi-axial accelerometers according to one of claims 1 to 3.

5. Unit of inertial measurement, characterized in that it comprises a bi-axial accelerometer according to one of claims 1 to 3 and a uni-axial accelerometer.