FR2908894A1 - OPTICAL PHOTONIC CRYSTAL OPTICAL FILTER - Google Patents

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Abstract

The invention relates to an optical filter (1) for reception of an incident laser beam (2), comprisign a non-linear material and able to switch from a transparent to an opaque state depending on the incident beam. The optical filter comprises a 3D photonic crystal (4) in which micro-structures (3) of the non-linear material are arranged, separated by layers of crystal.

Description

1 FILTRE OPTIQUE COMMUTABLE A CRISTAUX PHOTONIQUES Le domaine de1 PHOTONIC CRYSTAL SWITCHABLE OPTICAL FILTER The field of

l'invention est celui de la contre-contre mesure optique ou CCMO face au brouillage voire à la destruction provoqués par des équipements optroniques de contre-mesure ; il concerne la protection des équipements optroniques face à la menace des lasers notamment des lasers agiles en fréquence à très courtes impulsions installés dans ces dispositifs de contre-mesure. On rappelle qu'un laser agile en fréquence est un laser apte à changer rapidement ses fréquences d'émission (typiquement en un laps de temps s'échelonnant de la microseconde à la milliseconde), tout en conservant une fréquence stable pendant l'émission ; il s'agit généralement d'un laser impulsionnel. Les bandes optiques explorées sont typiquement celles des domaines visible (0,4 - 0,8 pm), proche infrarouge (0,8 û 2 pm) et infrarouge bande Il (bande 3 -5 pm) et bande III (bande 8 -12 pm).  the invention is that of the counter-counter optical measurement or CCMO against jamming or destruction caused by optronic countermeasure equipment; it concerns the protection of optronic equipment in the face of the threat of lasers, particularly agile lasers with very short pulse frequencies installed in these countermeasure devices. It is recalled that a frequency-agile laser is a laser able to rapidly change its emission frequencies (typically in a time ranging from microseconds to milliseconds), while maintaining a stable frequency during transmission; it is usually a pulsed laser. The optical bands scanned are typically those of the visible (0.4-0.8 μm), near infrared (0.8-2 μm), and infrared (II-band) (band 3 -5 μm) and band III (band 8-12 pm).

Les technologies actuelles de protection peuvent être classées en 4 grands groupes. - Volets mécaniques : c'est le système le plus simple qui peut être positionné en interne ou en externe, mais qui n'est pas efficace contre les lasers impulsionnels. La commande mécanique ne permet pas de positionner suffisamment rapidement la pièce mécanique, la densité optique ou le filtre absorbant lors de l'agression : en effet, la durée de positionnement est supérieure à la milliseconde. - Filtres fixes : ils utilisent les propriétés de réflexion ou d'absorption des matériaux utilisés et sont centrés autour d'une longueur d'onde. Ils sont utilisables contre les lasers impulsionnels ou continus. Les filtres interférentiels qui forment le concept le plus utilisé pour rejeter les longueurs d'onde indésirables, sont constitués communément de multicouches de matériels diélectriques déposés sur un substrat. Une faible tolérance à l'angle d'incidence de la menace et l'impact de ces filtres sur les performances optiques du système optronique présentent des limitations techniques importantes. De plus, ces filtres ne peuvent répondre au besoin de protection vis à vis des lasers agiles en fréquence. 2908894 2 û Filtres commutables qui utilisent les propriétés de réflexion ou d'absorption de matériaux actifs présentant une bande passante optique contrôlable en fonction du temps. Ils sont utilisables contre les lasers continus ou à impulsions longues. Les matériaux peuvent être électro-actifs.  Current protection technologies can be classified into 4 major groups. - Mechanical shutters: this is the simplest system that can be positioned internally or externally, but is not effective against pulsed lasers. The mechanical control does not allow the mechanical part, the optical density or the absorbent filter to be positioned sufficiently quickly during the aggression: indeed, the positioning time is greater than one millisecond. - Fixed filters: they use the reflection or absorption properties of the materials used and are centered around a wavelength. They are usable against pulsed or continuous lasers. The interference filters that form the most used concept for rejecting unwanted wavelengths are commonly constituted by multilayers of dielectric materials deposited on a substrate. A low tolerance to the angle of incidence of the threat and the impact of these filters on the optical performance of the optronic system present significant technical limitations. In addition, these filters can not meet the need for protection against frequency-agile lasers. 2 Switchable filters that use the reflection or absorption properties of active materials with controllable optical bandwidth over time. They are usable against continuous or long pulsed lasers. The materials can be electro-active.

5 Le temps d'activation est de l'ordre de la micro à la milli-seconde ce qui ne permet pas de répondre correctement au besoin de protection vis-à-vis des lasers agiles en fréquence. - Limiteurs optiques actifs ou passifs. Les limiteurs actifs sont déclenchés par une source d'énergie 10 extérieure, une tension électrique par exemple. On peut ainsi construire des valves optiques avec un mélange de composites polymère û cristaux liquides (PDLC ou Polymer Dispersed Liquid Crystal). Le mélange PDLC est homogène et transparent lorsque la tension de commande est appliquée : en effet cette tension de commande permet l'alignement des billes de cristaux 15 liquides. Quand on annule la tension, les billes s'arrangent aléatoirement dans la structure et le matériau devient diffusant. Le système passe ainsi d'un état passant optique à un état bloquant optique. Le temps de réponse est limité par la viscosité du cristal liquide, ce qui correspond aux rotations des molécules.The activation time is of the order of the micro-milli-second, which does not make it possible to respond correctly to the need for protection against frequency-agile lasers. - Active or passive optical limiters. Active limiters are triggered by an external power source, such as an electrical voltage. It is thus possible to construct optical valves with a mixture of liquid crystal polymer composites (PDLC or Polymer Dispersed Liquid Crystal). The PDLC mixture is homogeneous and transparent when the control voltage is applied: indeed this control voltage allows the alignment of the liquid crystal beads. When the tension is canceled, the balls randomly arrange themselves in the structure and the material becomes diffusive. The system thus passes from an optical on state to an optical blocking state. The response time is limited by the viscosity of the liquid crystal, which corresponds to the rotations of the molecules.

20 Les limiteurs dits passifs sont déclenchés par l'impulsion laser, le déclenchement dépendant alors de la puissance laser ; d'autres concepts de limiteurs sont liés aux changements de l'indice de réfraction du matériau dus à l'élévation de température interne. Les effets non linéaires peuvent se produire dans les liquides, les 25 solides et les gaz. L'exploitation de ces effets permet de concevoir les différents limiteurs. On rappelle que les différents effets non linéaires sont décrits par un développement en série de Taylor de la polarisabilité optique P en fonction du champ électrique E. Les termes de la série représentent les 30 tenseurs de susceptibilité. Le tenseur de susceptibilité du prernier ordre est lié au domaine optique linéaire du matériau, à l'indice linéaire de réfraction, à l'absorption linéaire. Le second ordre du tenseur de susceptibilité inclut les effets photo réfractifs, électro-optiques. Le troisième ordre décrit l'absorption à deux photons, l'absorption saturable. L'absorption à deux photons (ADP) est un effet du troisième ordre au cours duquel il y a passage de l'état 2908894 3 fondamental vers l'état excité par absorption simultanée de deux photons de fréquence co. L'absorption a peut s'écrire dans ce cas a = a o+,3o 1 où /3o est le coefficient d'ADP, a o est le coefficient d'absorption linéaire du matériau considéré et I est l'éclairement énergétique ( en W.m-2) associé au champ 5 électromagnétique. En outre, des travaux récents ont mis en évidence que le phénomène d'absorption non-linéaire peut être exalté par des processus d'absorption à l'état excité induits par ADP ; ces effets sont observés à haut flux, et il a pu être établi que le terme de réabsorption à l'état excité est un phénomène prépondérant dans l'absorption non-linéaire.The so-called passive limiters are triggered by the laser pulse, the trigger then depending on the laser power; other limiting concepts are related to changes in the refractive index of the material due to the rise in internal temperature. Nonlinear effects can occur in liquids, solids and gases. The exploitation of these effects makes it possible to design the different limiters. It will be recalled that the various nonlinear effects are described by a Taylor series development of the optical polarizability P as a function of the electric field E. The terms of the series represent the susceptibility tensors. The first order susceptibility tensor is related to the linear optical domain of the material, to the linear index of refraction, to the linear absorption. The second order of the susceptibility tensor includes refractive, electro-optical photo effects. The third order describes two-photon absorption, saturable absorption. Two-photon absorption (ADP) is a third-order effect in which there is a transition from the basic state to the excited state by simultaneous absorption of two photons of frequency co. Absorption a can be written in this case a = a o +, 3o 1 where / 3o is the ADP coefficient, ao is the linear absorption coefficient of the considered material and I is the irradiance (in Wm- 2) associated with the electromagnetic field. In addition, recent work has shown that the non-linear absorption phenomenon can be exalted by ADP-induced excited state absorption processes; these effects are observed at high flux, and it has been established that the term of reabsorption in the excited state is a preponderant phenomenon in the non-linear absorption.

10 L'efficacité de ces limiteurs est naturellement liée au seuil de déclenchement du matériau non linéaire. Pour atteindre ces seuils de déclenchement, il est souvent nécessaire de positionner ces limiteurs dans les plans focaux intermédiaires afin d'augmenter artificiellement la focalisation du faisceau laser donc d'augmenter les densités d'énergie par 15 unité de surface. Des matériaux non linéaires en couches homogènes ou en suspension dans des solutions ont déjà été étudiés. En bande Visible / PIR, les matériaux suivants en suspension : CBS (Carbon Black Suspension) 20 Porphyrine PDLC Les suspensions de noir de carbone (CBS) présentent une stabilité limitée qui est liée à sa transmission linéaire. La dilution nécessaire pour obtenir une solution transparente implique une dilution forte, et ceci 25 réduit la stabilité de la solution. En bande IR II, les matériaux suivants en couches : InAs, VO2, HgCdTe. En bande IR III, les matériaux suivants en couches : InSb, VO2. Les limiteurs actuels basés sur ces matériaux nécessitent en plus 30 de positionner les limiteurs dans un plan focal intermédiaire, de très fortes intensités pour basculer de l'état passant à l'état bloqué, ce qui implique l'ajout d'optiques coûteuses et encombrantes dans les dispositifs à protéger. Les protections sont rarement large bande, sont sensibles à l'angle d'incidence de la menace (d'où la nécessité de placer le limiteur dans un 35 plan focal intermédiaire) et présentent un contraste insuffisant entre l'état 2908894 4 passant (transparent) et l'état bloquant (opaque) : le contraste du coefficient de transmission est par exemple égal à 60/0,05 ; ce contraste est donné en pourcentage de transmission. Le but de l'invention est de proposer un filtre optique ne 5 présentant pas les inconvénients précités. Afin d'améliorer ces limiteurs ou filtres non-linéaires, on utilise des cristaux photoniques : ces cristaux artificiels permettent de modifier artificiellement les propriétés optiques des matériaux non linéaires qui 10 constituent ces limiteurs. Plus précisément l'invention a pour objet un filtre optique destiné à recevoir un faisceau laser incident, comportant un matériau non linéaire et apte à commuter d'un état transparent à un état opaque en fonction du faisceau incident. Il est principalement caractérisé en ce qu'il comprend un 15 cristal photonique 3D dans lequel sont disposées des micro-structures du matériau non linéaire, séparées par des couches de cristal. De préférence, le cristal présentant une face avant destinée à recevoir le faisceau incident et une face arrière, la taille des micro-structures est croissante par exemple linéairement et la distance les séparant 20 décroissante lorsque l'on va de la face avant vers la face arrière. La distance entre les centres des micro-structures est par exemple invariante. Avantageusement, les micro-structures sont disposées dans le cristal selon un réseau qui peut être un réseau de mailles cubiques ou 25 hexagonales. Selon un mode d'exploitation de l'invention, le matériau non linéaire est du VO2 et le cristal est du Saphir. Typiquement, les microstructures sont disposées selon 5 à 100 couches, la taille des micro-structures est comprise entre 40 nm et 300 nm et 30 le réseau a un pas compris entre 100 nm et 2 pm. Selon une caractéristique de l'invention, le filtre présente une largeur de bande comprise entre 3 et 12 pm et plus précisément entre 3 et 5 pm. L'invention a aussi pour objet un système optronique comportant 35 un tel filtre avantageusement situé dans le plan focal.The effectiveness of these limiters is naturally related to the trigger point of the nonlinear material. To reach these trigger thresholds, it is often necessary to position these limiters in the intermediate focal planes in order to artificially increase the focus of the laser beam and thus to increase the energy densities per unit area. Nonlinear materials in homogeneous layers or in suspension in solutions have already been studied. In the Visible / PIR band, the following suspended materials: CBS (Carbon Black Suspension) Porphyrin PDLC Carbon black suspensions (CBS) have a limited stability which is related to its linear transmission. The dilution necessary to obtain a clear solution involves a high dilution, and this reduces the stability of the solution. In IR band II, the following layered materials: InAs, VO2, HgCdTe. In IR III band, the following layered materials: InSb, VO2. The current limiters based on these materials also require the limiters to be positioned in an intermediate focal plane, with very high intensities to switch from the on state to the off state, which implies the addition of expensive and bulky optics. in the devices to be protected. The protections are rarely broadband, are sensitive to the angle of incidence of the threat (hence the need to place the limiter in an intermediate focal plane) and have insufficient contrast between the passing state (transparent). ) and the blocking state (opaque): the contrast of the transmission coefficient is for example equal to 60 / 0.05; this contrast is given as a percentage of transmission. The object of the invention is to provide an optical filter not having the aforementioned drawbacks. In order to improve these limiters or nonlinear filters, photonic crystals are used: these artificial crystals make it possible to artificially modify the optical properties of the nonlinear materials which constitute these limiters. More specifically, the invention relates to an optical filter for receiving an incident laser beam, comprising a non-linear material and able to switch from a transparent state to an opaque state depending on the incident beam. It is mainly characterized in that it comprises a 3D photonic crystal in which micro-structures of the nonlinear material are arranged, separated by crystal layers. Preferably, the crystal having a front face intended to receive the incident beam and a rear face, the size of the micro-structures is increasing for example linearly and the distance separating them decreasing when going from the front face to the face back. The distance between the centers of the micro-structures is for example invariant. Advantageously, the micro-structures are arranged in the crystal in a network which may be a network of cubic or hexagonal meshes. According to one embodiment of the invention, the nonlinear material is VO2 and the crystal is Sapphire. Typically, the microstructures are arranged in 5 to 100 layers, the size of the microstructures is between 40 nm and 300 nm and the grating has a pitch of between 100 nm and 2 μm. According to one characteristic of the invention, the filter has a bandwidth of between 3 and 12 μm and more precisely between 3 and 5 μm. The invention also relates to an optronic system comprising such a filter advantageously located in the focal plane.

2908894 5 Ce système peut être un capteur optronique tel qu'une caméra thermique. L'invention concerne également un procédé de filtrage optique d'un faisceau laser agile en fréquence au moyen d'un tel filtre.This system may be an optronic sensor such as a thermal camera. The invention also relates to a method of optical filtering a frequency-agile laser beam by means of such a filter.

5 Selon une caractéristique de l'invention, le filtre est apte à commuter en moins de 10 ns. Selon une autre caractéristique de l'invention, le laser est un laser impulsionnel. Le laser a typiquement une longueur d'onde comprise entre 3 et 10 12 pm. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit, faite à titre d'exemple non limitatif et en référence aux dessins annexés dans lesquels : 15 la figure 1 représente schématiquement un exemple de filtre selon l'invention, les figures 2a et 2b représentent schématiquement des formes de mailles du cristal photonique utilisé dans l'invention, la figure 3 représente schématiquement un exemple de capteur 20 optronique comportant un filtre selon l'invention. On rappelle que le VO2 est un oxyde de Vanadium qui possède deux états cristallins distincts. En dessous de 67 C la maille cristalline est monoclinique et correspond à un état semi-conducteur. Au-dessus de 67 C 25 la maille cristalline devient tétragonale et correspond à un état métallique. Les propriétés optiques des deux états sont très différentes. On passe d'un état à faible absorption (indice de réfraction de 3, coefficient d'absorption k de 0,1) à un état très absorbant (indice de 3, absorption k de 6) par un changement de phase très rapide (inférieur à 120 femtosecondes) 30 commandé par la température. Il ne s'agit ni d'une absorption à deux photons ni d'une non-linéarité de troisième ordre classique mais bien d'un effet thermique ultra-rapide : un effet non-linéaire thermique.According to one characteristic of the invention, the filter is able to switch in less than 10 ns. According to another characteristic of the invention, the laser is a pulsed laser. The laser typically has a wavelength of between 3 and 12 μm. Other characteristics and advantages of the invention will appear on reading the detailed description which follows, given by way of nonlimiting example and with reference to the appended drawings, in which: FIG. 1 schematically represents an example of a filter according to FIG. FIGS. 2a and 2b schematically represent meshes of the photonic crystal used in the invention, FIG. 3 diagrammatically represents an example of an optronic sensor 20 comprising a filter according to the invention. It is recalled that VO2 is a vanadium oxide which has two distinct crystalline states. Below 67 C the crystalline cell is monoclinic and corresponds to a semiconductor state. Above 67 C the crystalline mesh becomes tetragonal and corresponds to a metallic state. The optical properties of the two states are very different. We go from a low absorption state (refractive index of 3, absorption coefficient k of 0.1) to a very absorbing state (index of 3, absorption k of 6) by a very fast phase change (lower at 120 femtoseconds) controlled by temperature. It is neither a two-photon absorption nor a classic third-order non-linearity but a super-fast thermal effect: a non-linear thermal effect.

2908894 6 II est utilisé pour des usages de limitations optiques en bande II et III, l'impact laser échauffant le matériau et le faisant passer de l'état transparent à l'état opaque. Ce type de matériau souffre cependant de deux défauts majeurs.It is used for optical limitations uses in band II and III, the laser impact heating the material and moving it from the transparent state to the opaque state. This type of material, however, suffers from two major defects.

5 Premièrement, pour obtenir une atténuation suffisante à l'état opaque, il faut mettre une épaisseur de matériau telle que la transmission à l'état transparent est fortement dégradée : moins de 60% de transmission dans l'état transparent pour garantir d'être en dessous de 5% à l'état opaque. Deuxièmement, la transition de phase du VO2 ne se fait de façon 10 rapide (c'est-à-dire en moins de 10ns) que sur les couches superficielles du VO2. En effet, le VO2 massif illuminé par un flash laser ne commute de l'état semi-conducteur à l'état métallique que sur une couche superficielle de 200 nm. Tout le VO2 situé à plus de 200 nm de profondeur n'apporte rien à la transition de phase. L'étude de la carte de champ à l'intérieur de la structure 15 montre que les couches de VO2 commutent suivant un ordre lié à l'intensité du champ. Le patch de VO2 situé sur la zone la plus éclairée de la carte de champ bascule le premier et empêche les couches enterrées plus profondément de basculer à leur tour. La valeur pratique d'atténuation du limiteur est ainsi limitée à celle 20 produite par cette couche mince trop faible pour être utile dans un cas pratique (commutation de la transparence de 80% vers 20%). Selon l'invention, le cristal photonique permet de modifier les propriétés du matériau non-linéaire tel que le VO2 et sa réponse à une illumination laser.Firstly, to obtain sufficient attenuation in the opaque state, it is necessary to put a thickness of material such that the transmission in the transparent state is strongly degraded: less than 60% of transmission in the transparent state to guarantee to be transparent. below 5% in the opaque state. Secondly, the phase transition of VO2 is not rapid (i.e., less than 10ns) than on the surface layers of VO2. Indeed, the massive VO2 illuminated by a laser flash only switches from the semiconductor state to the metallic state on a surface layer of 200 nm. All the VO2 located at more than 200 nm deep does not contribute anything to the phase transition. The study of the field map inside the structure 15 shows that the VO2 layers switch in an order related to the intensity of the field. The VO2 patch on the brightest area of the field map rocks first and prevents deeper layers from tipping over in turn. The practical attenuation value of the limiter is thus limited to that produced by this thin layer which is too weak to be useful in a practical case (switching of the transparency from 80% to 20%). According to the invention, the photonic crystal makes it possible to modify the properties of the non-linear material such as VO2 and its response to laser illumination.

25 L'invention est basée sur l'utilisation de la structure des cristaux photoniques afin d'organiser des micro-structures de VO2, appelés patchs, pour donner à l'ensemble des qualités optiques non linéaires que n'ont pas le VO2 massif ni le VO2 déposé en couches minces comme rappelé ci-dessus. Plus précisément, le filtre optique commutable 1 selon l'invention 30 représenté figure 1, comprend un cristal 4 photonique 3D dans lequel sont disposées des micro-structures 3 du matériau non linéaire, séparées par des couches de cristal. Selon un premier mode d'exploitation correspondant à celui de la figure 1, les microstructures de VO2 sont disposées en trois dimensions (3D), 35 en mailles cubiques, séparées par des couches transparentes de cristal 2908894 7 photonique en bande II ou en bande III. La distance 32 entre les centres des micro-structures est invariante. Pour la bande II, le cristal photonique est par exemple du saphir. Ces microstructures doivent être petites devant les longueurs 5 d'onde envisagées et le taux de remplissage (la quantité de VO2 contenue par unité de volume) très faible, de l'ordre de quelques %. Ce point permet d'obtenir une forte opacité à l'état bloqué sans sacrifier la transparence à l'état passant. La taille des microstructures de VO2 ainsi que leur espacement 10 doit varier lentement d'une couche à l'autre et en respectant un profil précis : les patchs 3 de VO2 ont une taille croissante au fur et à mesure que l'on s'enfonce dans la structure, à partir de la face du cristal destinée à recevoir le faisceau incident 2, et l'écart 31 entre les couches de patchs de VO2 se réduit au fur et à mesure que l'on s'enfonce dans la structure du filtre.The invention is based on the use of the structure of photonic crystals to organize micro-structures of VO2, called patches, to give the set of nonlinear optical qualities that do not have massive VO2 nor the VO2 deposited in thin layers as recalled above. More specifically, the switchable optical filter 1 according to the invention shown in FIG. 1 comprises a 3D photonic crystal 4 in which microstructures 3 of the nonlinear material are disposed, separated by crystal layers. According to a first mode of operation corresponding to that of FIG. 1, the microstructures of VO2 are arranged in three dimensions (3D), in cubic mesh, separated by transparent layers of photonic crystal in band II or in band III . The distance 32 between the centers of micro-structures is invariant. For the band II, the photonic crystal is for example sapphire. These microstructures must be small in front of the wavelengths envisaged and the fill rate (the amount of VO 2 contained per unit volume) very low, of the order of a few%. This point makes it possible to obtain high opacity in the off state without sacrificing the transparency in the on state. The size of the VO2 microstructures as well as their spacing must vary slowly from one layer to another and in keeping with a precise profile: the VO2 patches 3 have an increasing size as one goes deeper and deeper. in the structure, from the face of the crystal intended to receive the incident beam 2, and the gap 31 between the layers of VO2 patches is reduced as one sinks into the filter structure .

15 Le respect de ces conditions permet d'obtenir les propriétés suivantes : - la courbe de transmission du filtre est sensiblement uniforme dans la bande spectrale considérée, - la figure d'interférence créée par le filtre est d'intensité croissante 20 dans les patchs de VO2 au fur à mesure que l'on progresse vers les couches enterrées. La structure du filtre selon l'invention produit une carte de champ où l'intensité lumineuse maximale se trouve sur la couche la plus profonde, l'intensité immédiatement inférieure se trouve sur l'avant-dernière couche, et ainsi de suite. De cette façon, les couches profondes de VO2 basculent de 25 l'état semi-conducteur à l'état métallique avant les couches superficielles. On a un effet de cascade où la couche la plus enterrée change d'état juste avant celle qui la précède immédiatement puis, par effet de domino toutes les couches basculent dans l'état métallique depuis le fond jusqu'à la surface de la structure. Le phénomène est en outre très rapide : la totalité de la structure 30 bascule en moins de 10ns. La structure du filtre possède une caractéristique propre à tous les cristaux photoniques : son comportement spectral est proportionnel à sa taille. Cela revient à dire que si l'on multiplie toutes les dimensions par deux, la réponse spectrale est identique mais pour des longueurs d'onde 35 multipliées par deux.Compliance with these conditions makes it possible to obtain the following properties: the transmission curve of the filter is substantially uniform in the spectral band under consideration, the interference pattern created by the filter is of increasing intensity in the patches of FIG. VO2 as you progress to the buried layers. The structure of the filter according to the invention produces a field map where the maximum light intensity is on the deepest layer, the immediately lower intensity is on the penultimate layer, and so on. In this way, the deep layers of VO2 switch from the semiconductor state to the metallic state before the surface layers. We have a cascading effect where the most buried layer changes state just before the one immediately preceding it, then, by domino effect, all the layers switch in the metallic state from the bottom to the surface of the structure. The phenomenon is also very fast: the entire structure 30 switches in less than 10ns. The filter structure has a characteristic peculiar to all photonic crystals: its spectral behavior is proportional to its size. This amounts to saying that if one multiplies all the dimensions by two, the spectral response is identical but for wavelengths multiplied by two.

2908894 8 Dans le cas de la bande 3-5pm, on a par exemple des tailles de patchs variant entre 40 et 300 nm, un pas 32 de maille du réseau variant entre 100 nm et 2 pm, un nombre de couches variant de 5 à 100. Un filtre dont l'évolution de la taille des microstructures est linéaire 5 et dont le rapport de taille des microstructures entre la première et la dernière couche de VO2 est de 0,4 donne de bons résultats. Un tel filtre comporte entre cinq et dix couches. Dans un autre exemple, le cristal photonique à maille carrée, de pas 32 de 300nm, comprend 30 couches séparées par un diélectrique tel 10 que du saphir dont la distance 31 entre patchs de V02 est nominalement de 200 nm mais varie lentement d'une couche à l'autre car la taille des patchs diminue. Grâce à cette diminution de la taille, les courbes de transmissions ne contiennent pas d'oscillations ou ripples . L'organisation de ces microstructures décrite précédemment permet d'obtenir des transparences 15 en phase passante supérieures à celles du VO2 massif ou à couches minces sans diminuer l'opacité en phase bloquante. La dynamique du limiteur optique est améliorée : pour l'exemple cité, nous obtenons des coefficients de transmission >90/ <10"6 au lieu de 60/0,05.In the case of the 3-5pm band, there are for example patch sizes varying between 40 and 300 nm, a mesh pitch 32 of the array varying between 100 nm and 2 μm, a number of layers ranging from 5 to 100. A filter whose evolution of microstructure size is linear and whose microstructure size ratio between the first and the last layer of VO 2 is 0.4 gives good results. Such a filter comprises between five and ten layers. In another example, the square-meshed photonic crystal, of pitch 32 of 300 nm, comprises 30 layers separated by a dielectric such as sapphire whose distance between patches of VO 2 is nominally 200 nm but varies slowly in a layer. to the other because the size of the patches decreases. Thanks to this reduction in size, the transmission curves do not contain oscillations or ripples. The organization of these microstructures previously described makes it possible to obtain pass-phase transparencies greater than those of bulk or thin-film VO 2 without reducing the opacity in the blocking phase. The dynamics of the optical limiter is improved: for the example cited, we obtain transmission coefficients> 90 / <10 "6 instead of 60 / 0.05.

20 D'autres techniques d'arrangement du réseau 3D correspondant à d'autres modes d'exploitation peuvent être utilisées. On peut avoir : une maille de réseau cubique centrée telle que celle décrite figure 2a, une maille non cubique comme par exemple une maille 25 hexagonale telle que celle décrite figure 2b, voire d'autres formes de mailles, ou encore, un profil de variation des tailles de patch qui ne soit plus linéaire. Sur ces figures 2a et 2b, sont représentés les centres des 30 microstructures 3 de VO2 séparées par du cristal (ou matériau diélectrique) 4, et les arêtes (ou pas de maille) 32 reliant 2 centres de microstructures. Leur taille croissante n'est pas représentée. Les exemples de maille de ces figures comportent 3 couches de VO2 situées dans les plans suivants : 2908894 9 - deux faces carrées opposées et une face parallèle à mi-distance des précédentes pour la maille cubique centrée de la figure 2a, deux faces hexagonales opposées et une face parallèle à mi- 5 distance des précédentes pour la maille hexagonale de la figure 2b. Ce type d'organisation en cristal photonique permet l'utilisation de la totalité de l'épaisseur du matériau et non seulement la couche superficielle 10 lors de l'impact d'une impulsion laser. Ceci permet à la structure de conserver un grand contraste passant/bloquant même face à une impulsion et donc de s'en protéger, ce que l'utilisation du V02 massif ne peut pas assurer car son épaisseur utile reste limitée à 200nm. Les constantes de temps sont faibles et il en résulte une grande 15 rapidité de commutation. La structure bascule de l'état passant à l'état bloquant en moins de 10ns (5ns la plupart du temps pour une illumination de 600J/m2) lors d'un impact laser. Ceci permet de se protéger contre des impulsions laser de cet ordre de grandeur. Les autres structures de VO2, massives ou non, ne le permettent pas.Other 3D network arrangement techniques corresponding to other modes of operation may be used. It is possible to have: a lattice of centered cubic lattice such as that described in FIG. 2a, a non cubic mesh such as, for example, a hexagonal mesh such as that described in FIG. 2b, or even other mesh shapes, or else a profile of variation patch sizes that are no longer linear. In these figures 2a and 2b, are represented the centers of the 3 microstructures of VO2 separated by crystal (or dielectric material) 4, and the edges (or no mesh) 32 connecting two centers of microstructures. Their growing size is not represented. The examples of mesh of these figures comprise 3 layers of VO2 located in the following planes: two opposed square faces and a parallel face midway away from the preceding ones for the centered cubic mesh of FIG. 2a, two opposed hexagonal faces and a face parallel to the half of the preceding for the hexagonal mesh of Figure 2b. This type of photonic crystal organization allows the use of the entire thickness of the material and not only the surface layer 10 during the impact of a laser pulse. This allows the structure to retain a high contrast passing / blocking even in front of a pulse and thus to protect itself, which the use of massive V02 can not ensure because its useful thickness remains limited to 200nm. The time constants are small and result in high switching speed. The structure switches from the state to the blocking state in less than 10ns (5ns most of the time for an illumination of 600J / m2) during a laser impact. This makes it possible to protect against laser pulses of this order of magnitude. Other structures of VO2, massive or not, do not allow it.

20 Par analogie avec le comportement de tous les autres cristaux photoniques, la structure a une certaine indépendance vis-à-vis de l'angle d'incidence contrairement à une structure à couche mince. La bande spectrale utilisable est large et permet de répondre à une menace d'un laser agile en fréquence. La structure utilisée avec du V02 25 permet de couvrir la bande Il et la bande III. La structure reste valable pour toute longueur d'onde par simple changement d'échelle, seul le choix du matériau optique incluant les patchs peut s'opposer à une utilisation depuis le visible jusqu'à l'infrarouge lointain. Le filtre obtenu peut être placé dans le plan focal, le plan focal 30 intermédiaire devenant inutile. On a pris l'exemple du VO2 utilisable dans les bandes II et III. Cette invention s'applique à d'autres types de matériaux ayant des propriétés équivalentes dans des bandes optiques différentes, tels que les 2908894 10 nanoagrégats de matériaux à transition de phase isolant métal, les matériaux à structure pérovskite tels que les nickelates de terre rare. Le filtre selon l'invention peut être installé dans un système optronique susceptible d'être soumis à des agressions lasers issues par 5 exemple de dispositifs de leurre ou de contre mesure optronique. Ce système est typiquement un capteur optronique notamment une caméra thermique, mesurant directement ou indirectement la chaleur produite par le rayonnement incident à détecter. Le domaine spectral de sensibilité d'une telle caméra thermique est situé dans l'infrarouge.By analogy with the behavior of all other photonic crystals, the structure has some independence from the angle of incidence in contrast to a thin-film structure. The usable spectral band is wide and makes it possible to respond to a threat of a frequency agile laser. The structure used with V02 25 makes it possible to cover the band II and the band III. The structure remains valid for any wavelength by simple scale change, only the choice of the optical material including the patches can oppose a use from the visible to the far infrared. The obtained filter can be placed in the focal plane, the intermediate focal plane becoming useless. An example is VO2 for use in bands II and III. This invention is applicable to other types of materials having equivalent properties in different optical bands, such as nanoaggregates of metal insulating phase transition materials, perovskite structure materials such as rare earth nickelates. The filter according to the invention may be installed in an optronic system that may be subjected to laser attack from, for example, decoy devices or optronic countermeasures. This system is typically an optronic sensor including a thermal camera, directly or indirectly measuring the heat produced by the incident radiation to be detected. The spectral range of sensitivity of such a thermal camera is located in the infrared.

10 On a représenté figure 3 un exemple de capteur optronique comportant une lentille 200 et un filtre 1 selon l'invention situé à la distance focale F de la lentille et destiné à recevoir un faisceau incident 2. Le filtre est disposé sur le détecteur 100 qui comprend un plan focal 101, un circuit de lecture 102 et une puce de détection 103.FIG. 3 shows an example of an optronic sensor comprising a lens 200 and a filter 1 according to the invention located at the focal length F of the lens and intended to receive an incident beam 2. The filter is disposed on the detector 100 which comprises a focal plane 101, a read circuit 102 and a detection chip 103.

15 Le filtre selon l'invention comporte un ensemble de couches comprenant des réseaux périodiques de micro-structures du matériau non-linéaire considéré (VO2 par exemple) et des matériaux diélectriques transparents (saphir par exemple). Ce type de filtre peut être placé près du plan focal de détection comme dans l'exemple de la figure 3.The filter according to the invention comprises a set of layers comprising periodic networks of micro-structures of the non-linear material in question (VO2 for example) and transparent dielectric materials (sapphire for example). This type of filter can be placed near the focal plane of detection as in the example of FIG.

20 Une technologie potentielle de fabrication de ce cristal photonique consiste à fabriquer chaque plan du cristal indépendamment et ensuite d'assembler le cristal photonique. Chaque plan du cristal est constitué d'une couche de matériau diélectrique (saphir par exemple) sur laquelle on fabrique directement les microstructures de matériau non linéaire. Quatre 25 étapes majeures s'imposent dans ce procédé de fabrication. La première étape est le dépôt d'une résine sur le substrat le saphir par exemple), la seconde étape est la lithographie qui consiste à transférer le motif de microstructures sur la résine, une technique de lithographie directe étant par exemple l'écriture par faisceau d'électrons.One potential technology for manufacturing this photonic crystal is to fabricate each crystal plane independently and then assemble the photonic crystal. Each plane of the crystal consists of a layer of dielectric material (sapphire for example) on which the microstructures of non-linear material are directly manufactured. Four major steps are required in this manufacturing process. The first step is the deposition of a resin on the sapphire substrate, for example), the second step is lithography, which consists of transferring the microstructure pattern onto the resin, a direct lithography technique being for example beam writing. electron.

30 Cette technique est la plus utilisée pour des motifs de petites dimensions (typiquement de quelques dizaines de nanomètres). Une fois la partie de la résine attaquée par la lithographie, il est alors nécessaire de graver les microstructures dans le substrat en suivant le motif inscrit dans la résine, ce qui constitue la troisième étape du procédé. Le type de procédé le plus 35 adapté à la gravure de motifs submicroniques est la gravure sèche de type 2908894 11 Gravure par plasma (Plasma Etching), ou la gravure de type RIE (Reactive Ion Etching). La dernière étape comprend le dépôt du matériau non-linéaire et l'enlèvement de la résine. Le matériau remplit les microstructures gravées et recouvre la résine non attaquée ; il ne reste plus qu'à enlever la résine non 5 attaquée, ce qui est obtenu en pratique en plongeant par exemple le substrat dans de l'acétone. Le procédé est répliqué pour chaque plan du cristal photonique ; il suffit ensuite d'assembler les différentes couches obtenues pour obtenir le cristal photonique.This technique is the most used for reasons of small dimensions (typically of a few tens of nanometers). Once the part of the resin attacked by the lithography, it is then necessary to etch the microstructures in the substrate following the pattern inscribed in the resin, which is the third step of the process. The most suitable type of process for submicron pattern etching is plasma etching (Plasma Etching), or RIE (Reactive Ion Etching) type etching. The last step involves depositing the non-linear material and removing the resin. The material fills the etched microstructures and covers the untouched resin; it remains only to remove the untouched resin, which is achieved in practice by for example dipping the substrate in acetone. The process is replicated for each plane of the photonic crystal; it is then sufficient to assemble the different layers obtained to obtain the photonic crystal.

Claims (18)

REVENDICATIONS 1. Filtre optique (1) destiné à recevoir un faisceau laser incident (2), comportant un matériau non linéaire et apte à commuter d'un état transparent à un état opaque en fonction du faisceau incident, caractérisé en ce qu'il comprend un cristal photonique (4) 3D dans lequel sont disposées des micro-structures (3) du matériau non linéaire, séparées par des couches de cristal.  An optical filter (1) for receiving an incident laser beam (2), comprising a non-linear material and able to switch from a transparent state to an opaque state as a function of the incident beam, characterized in that it comprises a photonic crystal (4) 3D in which micro-structures (3) of the non-linear material are arranged, separated by crystal layers. 2. Filtre optique selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le cristal présentant une face (41) avant destinée à recevoir le faisceau incident et une face arrière (42), la taille des micro- structures est croissante et la distance (31) les séparant décroissante lorsque l'on va de la face avant vers la face arrière.  2. Optical filter according to the preceding claim, characterized in that the crystal having a front face (41) intended to receive the incident beam and a rear face (42), the size of the microstructures is increasing and the distance (31) separating them decreasing when we go from the front to the back side. 3. Filtre optique selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la distance (32) entre les centres des micro-structures est invariante.  3. Optical filter according to the preceding claim, characterized in that the distance (32) between the centers of micro-structures is invariant. 4. Filtre optique selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que la taille des micro-structures croît linéairement.  4. Optical filter according to one of claims 2 or 3, characterized in that the size of micro-structures increases linearly. 5. Filtre optique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les micro-structures sont disposées dans le cristal selon un réseau.  5. Optical filter according to one of the preceding claims, characterized in that the micro-structures are arranged in the crystal in a network. 6. Filtre optique selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le réseau est un réseau de mailles cubiques ou hexagonales.  6. Optical filter according to the preceding claim, characterized in that the network is a network of cubic or hexagonal meshes. 7. Filtre optique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau non linéaire est du VO2 et le cristal est du Saphir.  7. Optical filter according to one of the preceding claims, characterized in that the nonlinear material is VO2 and the crystal is Sapphire. 8. Filtre optique selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que les microstructures sont disposées selon 5 à 100 couches, la taille 2908894 13 des micro-structures est comprise entre 40 nm et 300 nm et le réseau a un pas compris entre 100 nm et 2 pm.  8. Optical filter according to one of claims 5 to 7, characterized in that the microstructures are arranged in 5 to 100 layers, the size of microstructures is between 40 nm and 300 nm and the network has a step between 100 nm and 2 pm. 9. Filtre optique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé 5 en ce que le filtre présente une largeur de bande comprise entre 3 et 12 pm.  9. Optical filter according to one of the preceding claims, characterized in that the filter has a bandwidth of between 3 and 12 μm. 10. Filtre optique selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il présente une largeur de bande située dans la bande 3-5 pm.  10. Optical filter according to the preceding claim, characterized in that it has a bandwidth in the band 3-5 pm. 11. Système optronique comportant un filtre (1) selon l'une des revendications précédentes.  11. Optronic system comprising a filter (1) according to one of the preceding claims. 12. Système selon la revendication précédente comportant un plan focal 15 (101), caractérisé en ce que le filtre (1) est situé sur le plan focal.  12. System according to the preceding claim comprising a focal plane (101), characterized in that the filter (1) is located on the focal plane. 13. Système selon l'une des revendications 11 et 12, caractérisé en ce que le système est un capteur optronique. 20  13. System according to one of claims 11 and 12, characterized in that the system is an optronic sensor. 20 14. Système selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le capteur optronique est une caméra thermique.  14. System according to the preceding claim, characterized in that the optronic sensor is a thermal camera. 15. Procédé de filtrage optique d'un faisceau laser agile en fréquence au moyen d'un filtre (1) selon l'une des revendications 1 à 10.  15. A method of optical filtering a frequency-agile laser beam by means of a filter (1) according to one of claims 1 to 10. 16. Procédé de filtrage optique selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le filtre est apte à commuter en moins de 10 ns.  16. Optical filtering method according to the preceding claim, characterized in that the filter is able to switch in less than 10 ns. 17. Procédé de filtrage optique selon l'une des revendications 15 ou 16, 30 caractérisé en ce que le laser (2) est un laser impulsionnel.  17. Optical filtering method according to one of claims 15 or 16, characterized in that the laser (2) is a pulsed laser. 18. Procédé de filtrage optique selon l'une des revendications 15 à 17, caractérisé en ce que le laser (2) a une longueur d'onde comprise entre 3 et 12 pm. 10 25  18. An optical filtering method according to one of claims 15 to 17, characterized in that the laser (2) has a wavelength of between 3 and 12 pm. 10 25
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