FR2906421A1

FR2906421A1 - Surface acoustic wave device for e.g. electronic remote inquiry assembly, has transducer surrounded by edges or grooves cut directly in substrate and parallel to fingers of transducer, and additional transducers are arranged on substrate

Info

Publication number: FR2906421A1
Application number: FR0608392A
Authority: FR
Inventors: Omar Elmazria; Pascal Nicolay; Jacques Beltz
Original assignee: DOERLER MESURES; Centre National de la Recherche Scientifique CNRS; Universite Henri Poincare Nancy I
Current assignee: DOERLER MESURES; Centre National de la Recherche Scientifique CNRS; Universite Henri Poincare Nancy I
Priority date: 2006-09-25
Filing date: 2006-09-25
Publication date: 2008-03-28

Abstract

The device has a surface acoustic wave (SAW) transducer (11) centered or off-centered on a piezoelectric substrate (32). The transducer is connected to an aerial (2), and surrounded by two edges or grooves cut directly in the substrate, where the edges or grooves are parallel to fingers of the transducer. Additional transducers are arranged on the substrate along directions respectively making an angle of 45 and 90 degrees with respect to direction of the SAW transducer. Independent claims are also included for the following: (1) a method for etching grooves (2) a method for treating edge surface of a surface acoustic wave device.

Description

1 Le domaine de l'invention est celui des dispositifs à ondes acoustiquesThe field of the invention is that of acoustic wave devices

de surface et systèmes associés. Elle concerne plus particulièrement l'utilisation des bords des substrats piézo-électriques ou de sillons creusés dans les substrats piézoélectriques pour améliorer la réflexion des ondes acoustiques de surface et permettre ainsi l'utilisation pour des applications sans fil en conditions extrêmes de matériaux résistants à ces conditions mais présentant un faible rendement électromécanique. Les dispositifs à ondes acoustiques de surface exploitent les propriétés électro-acoustiques des substrats piézoélectriques tels que le quartz, le niobate de lithium, l'oxyde de zinc, pour générer des ondes de surface. Les vibrations mécaniques sont créées par application d'un signal électrique et se propagent à des fréquences dépendant de la direction cristallographique, des dimensions de la lame cristalline et du facteur de conversion électromécanique du matériau. surface and associated systems. It relates more particularly to the use of the edges of piezoelectric substrates or furrows dug in the piezoelectric substrates to improve the reflection of surface acoustic waves and thus allow the use for wireless applications in extreme conditions of materials resistant to these phenomena. conditions but having a low electromechanical efficiency. Surface acoustic wave devices exploit the electro-acoustic properties of piezoelectric substrates such as quartz, lithium niobate, zinc oxide, to generate surface waves. The mechanical vibrations are created by application of an electrical signal and propagate at frequencies dependent on the crystallographic direction, the dimensions of the crystal blade and the electromechanical conversion factor of the material.

Comme indiqué sur la figure 1, la génération de l'onde de surface se fait classiquement à l'aide de deux électrodes déposées à la surface du matériau piézoélectrique et portées à des tensions opposées alternatives. Les électrodes 11 sont analogues à deux peignes entrecroisés et l'ensemble est appelé transducteur(s) interdigité(s) . Lorsqu'une tension alternative est appliquée au transducteur, il s'en suit une alternance de compressions et d'expansions horizontales et verticales du matériau piézoélectrique sous-jacent 1 qui peut, si l'écartement entre les doigts des peignes a été judicieusement choisi, générer une onde progressive de surface 21. La fréquence centrale des ondes émises par un transducteur interdigité est donnée par la formule (1): F=V/?, (1) où V est la vitesse de l'onde et est l'écartement entre deux doigts successifs d'un peigne. As indicated in FIG. 1, the generation of the surface wave is conventionally done using two electrodes deposited on the surface of the piezoelectric material and brought to alternative opposite voltages. The electrodes 11 are similar to two intertwined combs and the assembly is called interdigital transducer (s). When an alternating voltage is applied to the transducer, it follows an alternation of compressions and horizontal and vertical expansions of the underlying piezoelectric material 1 which can, if the spacing between the fingers of the combs has been judiciously chosen, generating a surface progressive wave 21. The central frequency of the waves emitted by an interdigital transducer is given by the formula (1): F = V / ?, (1) where V is the speed of the wave and is the spacing between two successive fingers of a comb.

Les ondes acoustiques de surface étant très sensibles aux perturbations extérieures, les dispositifs à ondes acoustiques de surface peuvent avantageusement être utilisés comme capteurs de ces perturbations. Des capteurs de température et de déformation mécanique 2906421 -2 peuvent notamment être réalisés. Moyennant l'adjonction d'une couche dite sensible , des capteurs de gaz peuvent également être réalisés. Les dispositifs à ondes acoustiques de surface présentent également l'avantage de 5 pouvoir être interrogés à distance, comme indiqué sur la figure 2. Une fois connectées à une antenne 2, les deux électrodes d'un même transducteur interdigité peuvent être excitées par une onde hertzienne radiofréquence 20 émise par un ensemble électronique d'interrogation à distance 3. Il est alors possible de convertir un signal hertzien en ondes acoustiques de surface 21. Surface acoustic waves being very sensitive to external disturbances, surface acoustic wave devices can advantageously be used as sensors for these disturbances. Temperature and mechanical deformation sensors 2906421 -2 may in particular be made. With the addition of a so-called sensitive layer, gas sensors can also be made. Surface acoustic wave devices also have the advantage that they can be interrogated remotely, as shown in FIG. 2. Once connected to an antenna 2, the two electrodes of the same interdigital transducer can be excited by a wave. radio frequency radio relay 20 transmitted by an electronic remote interrogation unit 3. It is then possible to convert a radio signal into surface acoustic waves 21.

10 Afin de réaliser complètement un capteur sans fil à ondes acoustiques de surface, il est nécessaire de récupérer la réponse du dispositif après excitation sous forme d'une nouvelle onde hertzienne. Pour ce faire, trois méthodes sont principalement utilisées à l'heure actuelle. La première consiste à disposer deux transducteurs interdigités en série 15 sur la surface du matériau piézoélectrique. L'onde générée se déplace du transducteur d'entrée jusqu'au transducteur de sortie où elle est à nouveau convertie en signal électrique par effet piézo-électrique inverse. Si le transducteur de sortie est également connecté à une antenne émettrice, il devient possible de réémettre la réponse du dispositif par voie hertzienne. Cette méthode est dite en transmission . Une deuxième méthode, comme 20 indiqué sur la figure 2, consiste à déposer des doigts métalliques réflecteurs 12 sur le parcours de l'onde, afin de renvoyer cette dernière vers le transducteur d'entrée. L'onde réfléchie 23 atteint le transducteur d'entrée avec un retard directement proportionnel à l'espacement entre ce transducteur et les doigts réflecteurs. Elle est alors réémise sous forme d'onde hertzienne par ce même transducteur d'entrée. Cette méthode est dite en 25 réflexion ou ligne à retard . Une troisième méthode consiste, comme illustré sur la figure 3, à disposer le transducteur au centre d'un réseau réflecteur 13. Ce dernier se comporte comme un miroir de Bragg et transforme l'ensemble composé du transducteur et du réseau en cavité résonante 4. Il devient alors possible d'exciter cette cavité résonante à l'aide d'un signal hertzien de fréquence donnée et de charger ainsi le dispositif en énergie 30 acoustique. Lorsque le signal exciteur cesse, le dispositif réémet l'énergie acoustique emmagasinée via l'antenne connectée au transducteur. Cette méthode est dite en résonateur .In order to completely realize a wireless acoustic surface wave sensor, it is necessary to recover the response of the device after excitation in the form of a new radio wave. To do this, three methods are mainly used at present. The first is to have two interdigitated transducers in series on the surface of the piezoelectric material. The generated wave moves from the input transducer to the output transducer where it is again converted to an electrical signal by an inverse piezoelectric effect. If the output transducer is also connected to a transmitting antenna, it becomes possible to re-transmit the response of the device over the air. This method is called in transmission. A second method, as indicated in FIG. 2, consists in depositing reflective metal fingers 12 on the path of the wave, in order to return the latter to the input transducer. The reflected wave 23 reaches the input transducer with a delay directly proportional to the spacing between this transducer and the reflector fingers. It is then re-emitted in the form of a radio wave by this same input transducer. This method is called in reflection or delay line. A third method consists, as illustrated in FIG. 3, in arranging the transducer in the center of a reflector array 13. The latter behaves like a Bragg mirror and transforms the assembly composed of the transducer and the network into a resonant cavity 4. It then becomes possible to excite this resonant cavity with the aid of a radio signal of given frequency and thus to charge the device with acoustic energy. When the exciter signal ceases, the device retransmits the acoustic energy stored via the antenna connected to the transducer. This method is called resonator.

2906421 3 Les méthodes 2 et 3 sont exploitées par des systèmes d'ores et déjà commercialisés. La méthode 2 est notamment utilisée dans la technologie RFID, acronyme anglais signifiant Radio Frequency Identification . La méthode 3 est notamment utilisée pour la mesure de pression dans les pneus de voiture ainsi que pour la mesure de couple 5 mécanique. Les trois méthodes nécessitent : o de déposer des éléments métalliques supplémentaires sur le parcours de l'onde acoustique de surface, ce qui augmente la probabilité d'occurrence de défauts o de soigneusement définir les paramètres des éléments métalliques supplémentaires pour en optimiser le rendement en transmission ou en réflexion (nombre de doigts, espacement, dimensions, apodization, épaisseur, nature), ce qui nécessite un important effort lors de la conception des dispositifs o de s'affranchir des échos parasites sur les parois à l'aide de dépôts absorbants, ce qui alourdit le processus de fabrication, augmente la probabilité d'occurrence de défauts et augmente le coût de revient des dispositifs 20 De surcroît, compte tenu du faible coefficient de couplage électromécanique observé dans les matériaux piézoélectriques généralement utilisés et du fait que les ondes acoustiques de surface ne sont jamais cantonnées dans le plan de surface d'épaisseur nulle mais possèdent une extension dans le volume du matériau (l'onde dite de Rayleigh génère 25 ainsi un mouvement sur une épaisseur correspondant approximativement à une longueur d'one), les éléments métalliques déposés sur la surface des matériaux interagissent peu avec les ondes acoustiques de surface et ont intrinsèquement une faible efficacité. L'invention permet de résoudre ces différents inconvénients, en utilisant les bords 30 31 ou des sillons creusés dans le substrat 32 pour réfléchir l'onde, en lieu et place des réflecteurs métalliques, comme indiqué sur la figure 4. Plus précisément, le dispositif est composé d'un transducteur interdigité disposé sur un substrat de forme rectangulaire ou plus généralement parallélépipédique. Le 10 15 2906421 4 transducteur peut être disposé au centre du substrat ou être excentré. La réflexion des ondes de surface émises par le transducteur lorsque celui-ci est alimenté par un signal radiofréquence d'origine filaire ou hertzienne est assurée par les bords du substrat ou par des sillons parallèles aux doigts du transducteur et creusés sur une profondeur h 5 correspondant idéalement à l'extension en profondeur de l'onde à réfléchir. Les bords et les parois des sillons sont idéalement perpendiculaires à la surface. Dans la configuration où le transducteur est équidistant de deux parois ou de deux sillons parallèles aux doigts comme indiqué sur la figure 5, le dispositif peut 10 avantageusement fonctionner en mode résonateur. La cavité résonante 5 est alors constituée par le substrat lui-même et les fréquences de résonance sont fixées par ses dimensions. Dans la configuration où le transducteur est excentré par rapport aux parois ou aux 15 sillons comme indiqué sur la figure 6, le dispositif peut avantageusement fonctionner en réflexion ou ligne à retard . Les ondes acoustiques de surface sont cette fois réfléchies par les bords du substrat ou par deux sillons parallèles aux doigts. Dans cette dernière configuration, le dispositif à ondes acoustiques de surface peut 20 avantageusement être interrogé par voie hertzienne dans le domaine radiofréquence, à l'aide d'un ensemble électronique spécifique pouvant générer une courte impulsion excitatrice, puis capter et traiter la réponse du dispositif. L'impulsion 24 est une excitation composée d'une enveloppe de courte durée 241 et d'un signal harmonique de fréquence définie 242 comprise dans cette enveloppe. Cette fréquence correspond idéalement à la 25 fréquence centrale du transducteur. La durée de l'excitation est typiquement de l'ordre d'une microseconde. L'impulsion donne naissance à deux trains d'ondes en phase qui se propagent en sens opposé. Une fois réfléchis par les parois, les deux trains d'ondes retournent vers le transducteur et y génèrent une réponse hertzienne. Chaque train d'onde est déphasé d'une quantité proportionnelle à la distance parcourue. Si la différence entre 30 les temps de parcours des deux échos est plus faible que la durée de l'impulsion initiale, les deux échos se superposent en partie au niveau du transducteur et y interfèrent. Ce mode de fonctionnement est dit en ligne à retard à double écho . 2906421 - 5 Avantageusement, le dispositif fonctionne dans le domaine radiofréquence ISM à 868 MHz ou 2,45 GHz, ISM étant l'acronyme anglais pour Industrial, Scientific, Medical .Methods 2 and 3 are exploited by systems that are already on the market. Method 2 is notably used in RFID technology, the acronym for Radio Frequency Identification. Method 3 is used in particular for the measurement of pressure in car tires as well as for the measurement of mechanical torque. The three methods require: o to deposit additional metallic elements on the path of the surface acoustic wave, which increases the probability of occurrence of defects o to carefully define the parameters of the additional metallic elements in order to optimize the transmission efficiency or in reflection (number of fingers, spacing, dimensions, apodization, thickness, nature), which requires a great effort during the design of the devices o to get rid of parasite echoes on the walls using absorbent deposits, this increases the manufacturing process, increases the probability of occurrence of defects and increases the cost of the devices 20 Moreover, given the low coefficient of electromechanical coupling observed in the piezoelectric materials generally used and the fact that the acoustic waves surface are never confined to the surface plane of thick Zero void but have an extension in the volume of the material (the so-called Rayleigh wave thus generates a movement on a thickness corresponding to approximately one length of one), the metallic elements deposited on the surface of the materials interact little with the waves surface acoustic and inherently have low efficiency. The invention makes it possible to solve these various drawbacks, by using the edges 31 or furrows cut in the substrate 32 to reflect the wave, in place of the metal reflectors, as indicated in FIG. 4. More precisely, the device is composed of an interdigital transducer disposed on a substrate of rectangular shape or more generally parallelepipedic. The transducer may be disposed at the center of the substrate or be eccentric. The reflection of the surface waves emitted by the transducer when it is fed by a radiofrequency signal of wired or wireless origin is provided by the edges of the substrate or by grooves parallel to the fingers of the transducer and dug to a corresponding depth h 5 ideally to extend the depth of the wave to reflect. The edges and the walls of the grooves are ideally perpendicular to the surface. In the configuration where the transducer is equidistant from two walls or two grooves parallel to the fingers as shown in FIG. 5, the device may advantageously operate in resonator mode. The resonant cavity 5 is then constituted by the substrate itself and the resonance frequencies are fixed by its dimensions. In the configuration where the transducer is eccentric with respect to the walls or furrows as shown in FIG. 6, the device may advantageously operate in reflection or delay line. The acoustic surface waves are this time reflected by the edges of the substrate or by two grooves parallel to the fingers. In this latter configuration, the surface acoustic wave device may advantageously be radio-interrogated in the radiofrequency domain, using a specific electronic assembly capable of generating a short exciting pulse, and then sensing and processing the response of the device. . Pulse 24 is an excitation composed of a short-duration envelope 241 and a harmonic signal of defined frequency 242 included in this envelope. This frequency ideally corresponds to the center frequency of the transducer. The duration of the excitation is typically of the order of one microsecond. The pulse gives rise to two in-phase wave trains propagating in opposite directions. Once reflected by the walls, the two wave trains return to the transducer and generate a wireless response. Each wave train is out of phase with an amount proportional to the distance traveled. If the difference between the travel times of the two echoes is smaller than the duration of the initial pulse, the two echoes overlap in part at the level of the transducer and interfere with it. This mode of operation is called double-delay delay line. Advantageously, the device operates in the 868 MHz or 2.45 GHz ISM radiofrequency domain, ISM being the acronym for Industrial, Scientific, Medical.

5 Avantageusement, l'ensemble électronique traite la réponse du dispositif et en extrait les grandeurs pertinentes suivantes : o la différence de phase entre les deux trains d'ondes o l'amplitude relative de la vibration résultant de la recombinaison des deux trains d'ondes s'il y a lieu 10 o les temps de parcours des deux trains d'ondes En raison de l'émission simultanée des deux trains d'ondes par le transducteur, ces trois grandeurs sont indépendantes des perturbations subies par l'impulsion excitatrice tout au long de son trajet. Les variations de la fréquence d'émission des impulsions sont 15 notamment compensées. Avantageusement, l'ensemble électronique permet de mesurer la variation d'une ou plusieurs de ces grandeurs. Chacune de ces grandeurs étant modifiée lorsque le dispositif à ondes acoustiques de surface est soumis à des perturbations extérieures, la mesure de leur 20 variation par l'ensemble électronique permet d'utiliser le dispositif comme capteur de ces mêmes perturbations extérieures. Avantageusement, l'ensemble électronique (6) permet de générer des impulsions enveloppant des fréquences variables balayant un spectre correspondant typiquement à la 25 bande passante du transducteur, et permet de détecter la fréquence qui donne la réponse d'amplitude maximale. Cette dernière fréquence étant différente de la fréquence centrale donnée par la formule (1) lorsque le dispositif à ondes acoustiques de surface est perturbé, l'ensemble électronique permet d'utiliser le dispositif comme capteur de cette perturbation.Advantageously, the electronic assembly processes the response of the device and extracts the following relevant quantities: the phase difference between the two wave trains; the relative amplitude of the vibration resulting from the recombination of the two wave trains; if necessary, o the travel times of the two wave trains Because of the simultaneous emission of the two wave trains by the transducer, these three quantities are independent of the disturbances experienced by the exciting pulse while at the same time. along his journey. The variations of the frequency of emission of the pulses are in particular compensated. Advantageously, the electronic assembly makes it possible to measure the variation of one or more of these quantities. Each of these quantities being modified when the surface acoustic wave device is subjected to external disturbances, the measurement of their variation by the electronic assembly makes it possible to use the device as a sensor of these same external disturbances. Advantageously, the electronic assembly (6) makes it possible to generate pulses enveloping variable frequencies scanning a spectrum typically corresponding to the passband of the transducer, and makes it possible to detect the frequency which gives the response of maximum amplitude. This latter frequency being different from the central frequency given by the formula (1) when the surface acoustic wave device is disturbed, the electronic assembly makes it possible to use the device as a sensor of this disturbance.

30 Avantageusement, deux transducteurs supplémentaires orientés selon trois directions faisant respectivement un angle de 45 (14) et de 90 (15) avec la direction du premier transducteur (11) sont disposés sur le substrat, comme indiqué sur la figure 7. Le substrat est idéalement découpé en forme d'octogone (7) ou des sillons sont gravés en forme d'octogone autour des transducteurs pour permettre d'encadrer chaque transducteur 2906421 -6 avec deux bords ou deux sillons parallèles à ses doigts. Cette disposition est dite en rosette . Une fois collé sur un élément déformable soumis à des contraintes mécaniques, ce dispositif permet de mesurer simultanément les déformations dans les trois directions précédemment définies, ce qui est suffisant pour connaître complètement les 5 caractéristiques de la déformation au point d'intersection des trois directions. Compte tenu des propriétés d'anisotropie des substrats piézoélectriques employés, la nature et la vitesse de propagation des ondes acoustiques de surface est fonction de la coupe cristallographique et de la direction de propagation à la surface du substrat. Compte 10 tenu de la formule (1), les trois transducteurs présentés sur la figure 7, bien qu'identiques en tout point, fonctionnent donc à des fréquences différentes. Avantageusement, cette propriété est utilisée pour discriminer les réponses fréquentielles des trois transducteurs.Advantageously, two additional transducers oriented in three directions respectively making an angle of 45 (14) and 90 (15) with the direction of the first transducer (11) are arranged on the substrate, as shown in Figure 7. The substrate is ideally cut in the shape of octagon (7) or grooves are engraved octagon around the transducers to allow to frame each transducer 2906421 -6 with two edges or two grooves parallel to his fingers. This arrangement is called rosette. Once bonded to a deformable element subjected to mechanical stresses, this device makes it possible to simultaneously measure the deformations in the three previously defined directions, which is sufficient to completely know the characteristics of the deformation at the point of intersection of the three directions. Given the anisotropic properties of the piezoelectric substrates employed, the nature and speed of propagation of the surface acoustic waves is a function of the crystallographic section and the direction of propagation on the surface of the substrate. Given the formula (1), the three transducers shown in FIG. 7, although identical at every point, therefore operate at different frequencies. Advantageously, this property is used to discriminate the frequency responses of the three transducers.

15 Plus précisément, les sillons sont creusés de telle sorte que leurs parois soient le plus perpendiculaires à la surface et le plus lisse possible. Pour atteindre le plus haut degré de perpendicularité et la rugosité de surface la plus fine, une technique de gravure ionique est préférée à une attaque chimique ou à une opération de découpe à l'aide d'un fil ou 20 d'une scie diamant. La gravure ionique est effectuée selon le procédé RIE, acronyme anglais signifiant Reactive Ion Etching ou par abrasion à l'aide d'un canon ionique. Plus précisément, les bords sont soit conservés en leur état d'origine après achat soit polis afin d'en améliorer la perpendicularité et la régularité de surface. Une polisseuse- 25 rodeuse est utilisée pour effectuer ces deux opérations. Comme on l'a vu, les dispositifs à ondes acoustiques de surface peuvent être utilisés comme des capteurs très sensibles aux perturbations extérieures. Le domaine d'application de l'invention est donc celui des capteurs à ondes acoustiques de surface en 30 général, avec ou sans fil(s). Par exemple, la mesure de température, de contraintes mécaniques (déformations, pression), de masse, de gaz et de radiations. Plus précisément, le domaine d'application du dispositif dit en rosette est la mesure de déformations mécaniques.More specifically, the grooves are hollowed so that their walls are the most perpendicular to the surface and as smooth as possible. To achieve the highest degree of perpendicularity and the finest surface roughness, an ion etching technique is preferred over etching or cutting with a diamond wire or saw. The ion etching is carried out according to the RIE method, which means Reactive Ion Etching or by abrasion using an ion gun. More precisely, the edges are either kept in their original state after purchase or polished in order to improve their perpendicularity and surface regularity. A polisher-polisher is used to perform both of these operations. As we have seen, surface acoustic wave devices can be used as sensors that are very sensitive to external disturbances. The field of application of the invention is therefore that of surface acoustic wave sensors in general, with or without wire (s). For example, the measurement of temperature, mechanical stress (deformation, pressure), mass, gas and radiation. More specifically, the field of application of the so-called rosette device is the measurement of mechanical deformations.

Claims

Surface acoustic wave device comprising at least one piezoelectric substrate of given section and an interdigitating transducer exciter of surface waves, characterized in that the transducer is framed by two edges (31) or by two grooves hollowed directly into the substrate (32), the edges or grooves being parallel to the fingers of the transducer.

2. Device according to claim 1, characterized in that the walls of the edges or grooves are perpendicular to the surface of the substrate and as smooth as possible.

3. Device according to claim 2, characterized in that the grooves are hollowed in the substrate to a depth (h) at least equal to the spatial extension at depth of the surface wave.

4. Device according to claim 3, characterized in that the transducer is disposed at the center of the substrate or eccentric, respectively allowing operation in resonance or double-echo delay line. 20

An electronic remote interrogation assembly (6) comprising at least a first radio frequency signal generation subassembly, a second radiofrequency signal receiving and processing subassembly and at least one surface acoustic wave device, characterized in that said device is according to one of the preceding claims. 25

Electronic remote interrogation unit according to claim 5, characterized in that the first subassembly comprises means for generating a short pulse (24) composed of an envelope (241) and a harmonic signal. fixed or variable frequency (242) included in this envelope.

7. Electronic remote interrogation unit according to claim 6, characterized in that the second subset comprises means for comparing the phases of the two echoes received by the transducer, means for comparing their respective travel time. and means for measuring the amplitude of the signal resulting from the eventual recombination of the two echoes.

8. Device according to claim 4, characterized in that two additional transducers 5 are arranged in directions respectively making an angle of 45 (14) and 90 (15) relative to the direction of the first transducer.

9. Device according to claim 8, characterized in that the substrate is cut in the shape of octagon (7), or that the grooves are engraved octagon-shaped, the faces of these two octagons being parallel two by two to fingers of the three transducers.

10. A method of engraving grooves, characterized in that it comprises the use of a RIE (Reactive Ion Etching) or an ion gun.

11. A method of treating the surface of the edges of the device, characterized in that it comprises the use of a polisher and a grinder.

12. Electronic remote interrogation unit according to one of claims 5 to 7, characterized in that it transmits and receives radio frequency signals in the 868 MHz ISM band.

13. A constraint measuring device characterized in that it comprises at least one device according to one of claims 8 to 9. 15