FR2838559A1 - Ionizing chamber, with two high voltage electrodes forming an ionizing zone, has electrical insulation for the gas feeds on entry into the chamber to protect the operatives - Google Patents
Ionizing chamber, with two high voltage electrodes forming an ionizing zone, has electrical insulation for the gas feeds on entry into the chamber to protect the operatives Download PDFInfo
- Publication number
- FR2838559A1 FR2838559A1 FR0204551A FR0204551A FR2838559A1 FR 2838559 A1 FR2838559 A1 FR 2838559A1 FR 0204551 A FR0204551 A FR 0204551A FR 0204551 A FR0204551 A FR 0204551A FR 2838559 A1 FR2838559 A1 FR 2838559A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- enclosure
- gas
- ionization
- high voltage
- pipes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/10—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by electric discharge treatment
- B29C59/12—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by electric discharge treatment in an environment other than air
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
- H01T19/00—Devices providing for corona discharge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C2791/00—Shaping characteristics in general
- B29C2791/004—Shaping under special conditions
- B29C2791/005—Using a particular environment, e.g. sterile fluids other than air
Abstract
Description
mande (3) d'au moins un organe de commande (1).command (3) of at least one control member (1).
La présente invention concerne un dispositif d'ionisation par décharge électrique à barrière diélectrique comportant un circuit de transport de gaz à The present invention relates to a dielectric barrier electric discharge ionization device comprising a gas transport circuit to
proximité de la zone d'ionisation.near the ionization zone.
De tels dispositifs, communément appelés "< dispositifs de traitement corona >>, sont utilisés par exemple pour le traitement de surface de substrats en Such devices, commonly called "<corona treatment devices", are used for example for the surface treatment of substrates in
défilement, tels que des films plastiques ou des feuilles métalliques. scrolling, such as plastic films or metal sheets.
Dans le cadre de ces applications, ils permettent de modifier les ca- In the context of these applications, they make it possible to modify the
ractéristiques d'énergie de surface et d'adhérence des substrats traités lors de surface energy and adhesion characteristics of the substrates treated during
leur passage dans une zone d'ionisation. their passage through an ionization zone.
De manière générale, ces dispositifs comportent une enceinte de trai tement dans laquelle sont situées deux électrodes disposées parallèlement et In general, these devices include a treatment enclosure in which are located two electrodes arranged in parallel and
espacées d'un intervalle compris, par exemple, entre 0,5 et 5 mm. spaced an interval of, for example, between 0.5 and 5 mm.
L'une des électrodes, désignée électrode de référence, est reliée à un potentiel de référence tel que la terre, et l'autre, désignée électrode haute ten One of the electrodes, designated as the reference electrode, is connected to a reference potential such as earth, and the other, designated as the high ten electrode.
sion, est reliée à un générateur de haute tension alternative. sion, is connected to an alternating high voltage generator.
Au moins l'une quelconque des deux électrodes est couverte d'un At least any one of the two electrodes is covered with a
matériau diélectrique.dielectric material.
En fonctionnement, des tensions de l'ordre de 10 à 20 kV sont appli In operation, voltages of the order of 10 to 20 kV are applied
quées par le générateur à l'électrode haute tension. from the generator to the high voltage electrode.
11 appara^'t donc entre les électrodes, un champ électrique de forte in tensité qui permet d'ioniser l'atmosphère de l'intervalle séparant les deux électro des. Afin d'améliorer le fonctionnement de ces installations, il est prévu de man ière classiq ue, des moyens de co mmande de l' atmosphè re de la zone d'ionisation. Ces moyens sont constitués d'éléments extérieurs à l'enceinte de traitement et d'éléments intérieurs à l'enceinte, connectables entre eux et débou It therefore appears between the electrodes, an electric field of high intensity which makes it possible to ionize the atmosphere of the interval separating the two electro des. In order to improve the functioning of these installations, provision is made in a conventional manner for means of controlling the atmosphere of the ionization zone. These means consist of elements external to the treatment enclosure and elements internal to the enclosure, connectable to each other and outlet
chant dans ou à proximité de la zone d'ionisation. singing in or near the ionization zone.
L'ensemble des éléments utilisés est classiquement con,cu à partir de matériaux conducteurs et la distance séparant ces éléments et les électrodes peut être très faible, de sorte que l'ensemble des moyens de commande de The set of elements used is conventionally con, cu from conductive materials and the distance separating these elements and the electrodes can be very small, so that all of the control means
l'atmosphère peut étre amené à un potentiel élevé flottant ou non. the atmosphere can be brought to a high floating or not potential.
La manipulation de ces moyens, et notamment des éléments exté rieurs à l'enceinte de traitement, présente de ce fait un risque important pour le The manipulation of these means, and in particular of elements external to the treatment enclosure, therefore presents a significant risk for the
personnel utilisant un tel dispositif. personnel using such a device.
Le but de la présente invention est de supprimer ce risque. The object of the present invention is to eliminate this risk.
L'invention a donc pour objet un dispositif d'ionisation par décharge électrique à barrière diélectrique d'une zone d'ionisation, le dispositif comprenant une enceinte de traitement qui comporte au moins deux électrodes définissant entre elles la zone d'ionisation, à savoir une électrode de référence connectable électriquement à un potentiel de référence, et une électrode haute tension connectable électriquement à un générateur électrique haute tension, I'une au moins électrodes étant couverte d'un matériau diélectrique, le dispositif compre nant en outre des moyens d'amenée de gaz d ans la zone d' ion isation q u i com portent des can alisations et des b uses d' i njection débou chant à p roxi m ité de cette zone, les moyens d'amenée de gaz étant connectables à un dispositif d'alimentation et de réqulation en gaz extérieur à l'enceinte, caractérisé en ce que les moyens d'amenée de gaz comportent, à l'intérieur de l'enceinte eVou à la traversée de la paroi de celle-ci, des moyens de transport de gaz, électriquement isolants afin de permettre, pour le transport de gaz, un raccordement isolé élec triquement entre le dispositif d'alimentation et de régulation en gaz extérieur à The subject of the invention is therefore an ionization device by electrical discharge with a dielectric barrier of an ionization zone, the device comprising a treatment enclosure which comprises at least two electrodes defining between them the ionization zone, namely a reference electrode electrically connectable to a reference potential, and a high voltage electrode electrically connectable to a high voltage electric generator, at least one of the electrodes being covered with a dielectric material, the device further comprising means for gas supply to the ionization zone which includes pipes and injection nozzles leading to the vicinity of this zone, the gas supply means being connectable to a gas supply and equation outside the enclosure, characterized in that the gas supply means comprise, inside the enclosure eVou at the crossing from the wall thereof, gas transport means, electrically insulating in order to allow, for the transport of gas, an electrically insulated connection between the gas supply and regulating device external to
I'enceinte et la zone d'ionisation.The enclosure and the ionization zone.
Suivant d'autres caractéristiques: - lesdits moyens de transport isolants comportent des raccords élec triquement isolants, disposés sur lesdites canalisations; - les moyens de transport isolants comportent une enceinte de stoc kage intermédiaire de gaz, électriquement isolante, adaptée pour être raccordée aux canalisations et aux buses d'injection; - lesdits moyens de transport comprennent des conduites électrique ment isolantes; les buses d' i njection sont term i nées par des manchons constitués de matériaux électriquement isolants et notamment résistant aux hautes températu res; - lesdits moyens de transport de gaz électriquement isolants, sont constitués d'un matériau à base de PTFE; - ladite électrode haute tension est constituée d'une enceinte de diffu sion de gaz comportant une fente débouchant sur la zone d'ionisation; - il comporte une enceinte intermédiaire de stockage de gaz, connec tée en amont aux canalisations et en aval à l'enceinte de diffusion de gaz par I'intermédiaire de conduites; et - lesdits moyens de transport de gaz sont imperméables aux gaz utili sés. L'invention porte également sur une installation pour le traitement d'un substrat comportant un dispositif d'ionisation par décharge électrique à barrière diélectrique, relié à un générateur haute tension et à un dispositif d'alimentation et de réqulation en gaz, et comportant en outre des moyens d'entranement en défileme nt du substrat au travers de ladite encei nte, caracté risé en ce q ue led it According to other characteristics: - said insulating means of transport comprise electrically insulating connections, arranged on said pipes; - the insulating means of transport comprise an electrically insulating, intermediate gas storage enclosure, adapted to be connected to the pipes and to the injection nozzles; - said means of transport comprise electrically insulating conduits; the injection nozzles are terminated by sleeves made of electrically insulating materials and in particular resistant to high temperatures; - Said electrically insulating gas transport means, are made of a PTFE-based material; - Said high voltage electrode consists of a gas diffusion enclosure comprising a slot opening onto the ionization zone; - It includes an intermediate gas storage enclosure, connected upstream to the pipes and downstream to the gas diffusion enclosure by means of pipes; and - said gas transport means are impermeable to the gases used. The invention also relates to an installation for the treatment of a substrate comprising an ionization device by electric discharge with a dielectric barrier, connected to a high-voltage generator and to a gas supply and equation device, and comprising in in addition to means for driving the substrate through the said enclosure, character ized in that it led it
dispositif d'ionisation, est un dispositif tel que défini précédemment. ionization device, is a device as defined above.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va The invention will be better understood on reading the description which will
suivre, donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins annexés, sur lesquels: - la Fig.1 est un schéma représentant une installation équipée selon l'invention et destinée au traitement d'un substrat; - la Fig.2 représente un mode de réalisation de l'invention; et follow, given only by way of example and made with reference to the accompanying drawings, in which: - Fig.1 is a diagram representing an installation equipped according to the invention and intended for the treatment of a substrate; - Fig.2 shows an embodiment of the invention; and
- la Fig.3 représente un autre mode de réalisation de l'invention. - Fig.3 shows another embodiment of the invention.
Sur la figure 1, on a représenté une installation destinée au traitement In Figure 1, there is shown an installation for treatment
d'un substrat continu et équipée d'un dispositif selon l'invention. of a continuous substrate and equipped with a device according to the invention.
Ce dispositif est décrit relié aux autres éléments de l'installation. Ce pendant, toutes les connexions sont adaptées pour être amovibles et le dispositif This device is described connected to the other elements of the installation. However, all the connections are adapted to be removable and the device
peut être considéré comme un élément autonome. can be considered as a stand-alone element.
Il comporte une enceinte de traitement 2 reliée à un générateur élec It includes a treatment enclosure 2 connected to an electrical generator
trique 4 adapté pour la génération de signaux de haute tension alternatifs. plate 4 suitable for generating alternating high voltage signals.
L'installation comporte également un dispositif 6 d'alimentation et de The installation also includes a device 6 for supplying and
régulation en gaz relié à l'enceinte de traitement 2, pour le transport de gaz. gas regulation connected to the treatment chamber 2, for the transport of gas.
Avantageusement, I'installation comporte également des moyens 7 de réqulation reliés à l'enceinte 2 et composés, par exemple, de systèmes de venti lateurs et d'aspirateurs, permettant d'améliorer la commande de l'atmosphère Advantageously, the installation also includes means 7 for connection connected to the enclosure 2 and composed, for example, of fan and vacuum systems, making it possible to improve the control of the atmosphere.
dans l'enceinte 2.in enclosure 2.
L'installation comporte en outre des rouleaux 8 de guidage d'un subs trat continu 10, adaptés pour permettre le défilement du substrat 10, constitué par exemple par un film continu polymère synthétique ou naturel, au travers de The installation further comprises rollers 8 for guiding a continuous substrate 10, adapted to allow the substrate 10 to travel, constituted for example by a continuous synthetic or natural polymer film, through
l'enceinte de traitement 2.the treatment chamber 2.
L'enceinte de traitement 2 comporte une électrode de référence 21 de forme cylindrique, rotative autour de son axe longitudinal, recouverte d'un maté riau diélectrique 22 et reliée électriquement à un potentiel de référence tel que la terre, et une électrode haute tension 23 en forme de lame s'étendant parallèle The treatment enclosure 2 comprises a reference electrode 21 of cylindrical shape, rotatable about its longitudinal axis, covered with a dielectric material 22 and electrically connected to a reference potential such as earth, and a high voltage electrode 23 blade-like extending parallel
ment à l'axe de l'électrode 21 et reliée électriquement au générateur 4. ment to the axis of the electrode 21 and electrically connected to the generator 4.
Les électrodes 21 et 23 définissent entre elles une zone d'ionisation 24. Typiquement, la zone d'ionisation 24 est haute de 0,5 à 5 mm afin de The electrodes 21 and 23 define between them an ionization zone 24. Typically, the ionization zone 24 is 0.5 to 5 mm high in order to
permettre le passage du substrat 10 entre les électrodes 21 et 23. allow the passage of the substrate 10 between the electrodes 21 and 23.
De par sa forme, I'électrode 21 participe à l'entranement en défile ment du substrat 10 obtenu grâce et à des dispositifs d'entranement non repré sentés. Ainsi, après avoir été dévié par un premier rouleau 8, le substrat 10 pénètre dans l'enceinte 2 par une ouverture 25 de celle-ci. Le substrat 10 s'enroule ensuite autour de la partie supérieure de l'électrode 21 en traversant la zone d'ionisation 24 et ressort de l'enceinte 2 par l'ouverture 25 avant d'être à By virtue of its shape, the electrode 21 participates in the running movement of the substrate 10 obtained by means of drive devices not shown. Thus, after having been deflected by a first roller 8, the substrate 10 enters the enclosure 2 through an opening 25 in the latter. The substrate 10 is then wound around the upper part of the electrode 21 by crossing the ionization zone 24 and leaves the enclosure 2 through the opening 25 before being at
nouveau dévié par un second rouleau 8. again deflected by a second roller 8.
Le dispositif est par ailleurs relié à un dispositif 6 d'alimentation en gaz The device is also connected to a gas supply device 6
et de régulation.and regulation.
A cet effet, l'enceinte 2 comporte également des moyens 26 d'amenée de gaz connectés au dispositif 6 d'alimentation en gaz et de réqulation et débou For this purpose, the enclosure 2 also comprises means 26 for supplying gas connected to the device 6 for gas supply and for equation and outlet
chant au contact ou à proximité de l'électrode haute tension 23. edge in contact with or near the high voltage electrode 23.
Les moyens 26 d'amenée de gaz sont composés de canalisations 27 débouchant sur des buses d'injection 28 ou injecteurs, localisés au contact ou à The gas supply means 26 are composed of pipes 27 leading to injection nozzles 28 or injectors, located in contact or at
proximité de l'électrode haute tension 23. proximity to the high voltage electrode 23.
En fonctionnement, le dispositif 6 d'alimentation et de régulation en gaz permet, grâce aux moyens d'amenée 26, de commander les paramètres de In operation, the gas supply and regulation device 6 makes it possible, thanks to the supply means 26, to control the parameters of
l'atmosphère de la zone d'ionisation 24. the atmosphere of the ionization zone 24.
Notamment, ces moyens 6 et 26 permettent de commander par exem ple, la nature, le débit, la température etiou la pression des gaz amenés dans la In particular, these means 6 and 26 make it possible, for example, to control the nature, the flow rate, the temperature and the pressure of the gases brought into the
zone d'ionisation 24.ionization zone 24.
Selon le mode de réalisation de l'invention représenté sur la figure 1, les moyens 26 d'amenée de gaz comportent, à la traversée de la paroi de l'enceinte 2, des raccords 30 isolants électriquement, imperméables aux gaz utili sés et reliant les canalisations 27 et le dispositif 6 d'alimentation et de régulation According to the embodiment of the invention shown in FIG. 1, the gas supply means 26 comprise, at the crossing of the wall of the enclosure 2, electrically insulating connections 30, impermeable to the gases used and connecting pipes 27 and device 6 for supply and regulation
en gaz.in gas.
Par exemple, ces raccords 30 sont constitués d'un matériau plastique For example, these fittings 30 are made of a plastic material
haute densité, tels qu'un matériau à base de PTFE (polytétrafluoroethylène). high density, such as a PTFE (polytetrafluoroethylene) material.
Ainsi, en fonctionnement, I'électrode haute tension 23 est chargée à un potentiel élevé et, du fait de leur proximité et de leur conductivité, les buses Thus, in operation, the high voltage electrode 23 is charged at a high potential and, due to their proximity and their conductivity, the nozzles
d'injection 28 et les canalisations 27 sont également à un potentiel élevé. injection 28 and pipes 27 are also at high potential.
Cependant, les raccords 30 permettent d'isoler électriquement les moyens d'amenée 26 intérieurs à l'enceinte 2 du dispositif 6 d'alimentation et de réqulation en gaz extérieur à cette enceinte 2, tout en préservant l'étanchéité du However, the connections 30 make it possible to electrically isolate the supply means 26 inside the enclosure 2 of the device 6 for supplying and equating gas outside this enclosure 2, while preserving the tightness of the
circuit d'alimentation en gaz.gas supply circuit.
Ainsi, le dispositif 6 d'alimentation et de réqulation en gaz ne présente Thus, the device 6 for supplying and equating gas does not have
aucun risque pour un utilisateur extérieur à l'enceinte 2. no risk for a user outside enclosure 2.
Sur la figure 2, on a représenté un second mode de réalisation de l'invention. Sur cette figure, les canalisations 27 sont directement raccordées au In Figure 2, there is shown a second embodiment of the invention. In this figure, the pipes 27 are directly connected to the
dispositif 6 d'alimentation et de réqulation en gaz. gas supply and equation device 6.
A leur extrémité aval, les canalisations 27 sont raccordées à une en At their downstream end, the pipes 27 are connected to one in
ceinte 31 intermédiaire de stockage de gaz. girdle 31 intermediate gas storage.
Selon l'invention, cette enceinte 31 est composée d'un matériau im According to the invention, this enclosure 31 is composed of a material im
perméable aux gaz utilisés et électriquement isolant. permeable to the gases used and electrically insulating.
Les buses d'injection 28 sont directement raccordées à cette enceinte The injection nozzles 28 are directly connected to this enclosure
de stockage 31.storage 31.
Le dispositif comporte une pluralité de buses d'injection 28 réparties le long de l'électrode haute tension 23, de manière à assurer une diffusion homo The device comprises a plurality of injection nozzles 28 distributed along the high voltage electrode 23, so as to ensure homo diffusion
gène du gaz dans la zone d' ion isation 24. gas gene in the ionization zone 24.
En fonctionnement, l'électrode haute tension 23 est chargée à un haut potentiel, de sorte que les buses d'injection 28 se trouvent également chargées à In operation, the high voltage electrode 23 is charged at a high potential, so that the injection nozzles 28 are also charged at
un potentiel élevé.high potential.
Cependant, grâce à la présence de l'enceinte de stockage 31 consti tuée d'un matériau électriquement isolant, les canalisations 27 sont à un potentiel neutre et ne transmettent aucune tension au dispositif 6 d'alimentation en gaz et However, thanks to the presence of the storage enclosure 31 made of an electrically insulating material, the pipes 27 are at neutral potential and do not transmit any voltage to the device 6 for supplying gas and
de régulation extérieur à l'enceinte 2. outside the enclosure 2.
Sur la figure 3, on a représenté un troisième mode de réalisation de l'invention. De même que dans le mode de réalisation décrit précédemment, les canalisations 27 sont directement raccordées en amont au dispositif 6 d'alimentation et de régulation en gaz et, en aval, à une enceinte 32 intermédiaire In Figure 3, there is shown a third embodiment of the invention. As in the embodiment described above, the pipes 27 are directly connected upstream to the gas supply and regulation device 6 and, downstream, to an intermediate enclosure 32
de stockage de gaz.gas storage.
Dans ce mode de réalisation, l'électrode haute tension 23 est consti tuée d'une enceinte 33 de diffusion de gaz comportant sur sa face inférieure, une fente 34 parallèle à son axe longitudinal et à l'axe de l'électrode 21, cette fente In this embodiment, the high voltage electrode 23 is constituted by a gas diffusion enclosure 33 comprising on its underside, a slot 34 parallel to its longitudinal axis and to the axis of the electrode 21, this slot
débouchant sur la zone d'ionisation 24. leading to the ionization zone 24.
Typiquement, cette fente est d'une largeur de l'ordre de 1 mm. Typically, this slot is of a width of the order of 1 mm.
L'enceinte 33 de l'électrode 23 est reliée à l'enceinte 32 de stockage de gaz par une pluralité de conduites 35 réparties le long des enceintes 32 et 33, The enclosure 33 of the electrode 23 is connected to the gas storage enclosure 32 by a plurality of conduits 35 distributed along the enclosures 32 and 33,
de manière à assurer une diffusion homogène du gaz dans l'enceinte 33. so as to ensure a homogeneous diffusion of the gas in the enclosure 33.
Dans ce mode de réalisation, l'enceinte 33 est réalisée dans un maté riau conducteur, tandis que les conduites 35 sont réalisées dans un matériau im In this embodiment, the enclosure 33 is made of a conductive material, while the conduits 35 are made of a material im
perméable aux gaz utilisés et électriquement isolant. permeable to the gases used and electrically insulating.
Ainsi, l'enceinte 33 est chargée à un potentiel élevé et remplit la fonc tion d'électrode haute tension tout en permettant la diffusion du gaz au travers de Thus, the enclosure 33 is charged at a high potential and fulfills the function of high voltage electrode while allowing the diffusion of the gas through
la fente 34.slot 34.
Cependant, du fait de la présence des conduites 35 électriquement isolantes, quel que soit le matériau utilisé pour la réalisation de l'enceinte inter médiaire de stockage 32 et des canalisations 27, cellesci sont à un potentiel neutre et ne transmettent au cu ne tension au d ispositif 6 d' ali mentation en gaz et However, due to the presence of electrically insulating conduits 35, whatever the material used for the production of the intermediate storage enclosure 32 and the conduits 27, these are at neutral potential and do not transmit to the voltage at of gas supply device 6 and
de régulation extérieur à l'enceinte 2. outside the enclosure 2.
Dans un autre mode de réalisation (non représenté), les buses d'injection sont terminées par des manchons en un matériau imperméable aux gaz utilisés et électriquement isolant et restent à un potentiel neutre. Les buses ne transmettent alors aucune tension aux autres éléments constituant les In another embodiment (not shown), the injection nozzles are terminated by sleeves made of a material impermeable to the gases used and electrically insulating and remain at neutral potential. The nozzles then do not transmit any voltage to the other elements constituting the
moyens d'alimentation en gaz.gas supply means.
Avantageusement, ces manchons 34 sont en outre constitués d'un matériau adapté pour résister à de fortes températures, du fait d'une possible élévation de la température dans la zone d'ionisation pendant le fonctionnement Advantageously, these sleeves 34 are also made of a material suitable for withstanding high temperatures, due to a possible rise in temperature in the ionization zone during operation.
du dispositif.of the device.
Dans d'autres modes de réalisation, les électrodes et les moyens In other embodiments, the electrodes and the means
d'entranement en défilement sont agencés différemment. scrolling drive are arranged differently.
De même, le substrat traité peut être un substrat plein ou poreux, continu ou discontinu, et peut être transporté par un convoyeur au travers de la Likewise, the treated substrate can be a solid or porous substrate, continuous or discontinuous, and can be transported by a conveyor through the
zone d'ionisation.ionization zone.
Par ailleurs, les moyens de transport de gaz électriquement isolants peuvent être perméables aux gaz utilisés afin de participer au contrôle de Furthermore, the means of transporting electrically insulating gases may be permeable to the gases used in order to participate in the control of
I'atmosphère dans l'enceinte 2.The atmosphere in enclosure 2.
Enfin, le matériau diélectrique peut être placé indifféremment sur l'une Finally, the dielectric material can be placed indifferently on one
ou l'autre des électrodes.either of the electrodes.
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0204551A FR2838559A1 (en) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | Ionizing chamber, with two high voltage electrodes forming an ionizing zone, has electrical insulation for the gas feeds on entry into the chamber to protect the operatives |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0204551A FR2838559A1 (en) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | Ionizing chamber, with two high voltage electrodes forming an ionizing zone, has electrical insulation for the gas feeds on entry into the chamber to protect the operatives |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2838559A1 true FR2838559A1 (en) | 2003-10-17 |
Family
ID=28459761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR0204551A Pending FR2838559A1 (en) | 2002-04-11 | 2002-04-11 | Ionizing chamber, with two high voltage electrodes forming an ionizing zone, has electrical insulation for the gas feeds on entry into the chamber to protect the operatives |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
FR (1) | FR2838559A1 (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1365106A (en) * | 1962-08-04 | 1964-06-26 | Kalle Ag | Method and apparatus for treating the surfaces of plastic sheets |
US4275301A (en) * | 1980-03-10 | 1981-06-23 | Armstrong Cork Company | Corona discharge device |
US4946568A (en) * | 1986-07-05 | 1990-08-07 | Klaus Kalwar | Method of an arrangement for corona treatment |
US5026463A (en) * | 1988-08-16 | 1991-06-25 | Hoechst Atkiengesellschaft | Process and apparatus for preparing the surface of a plastic molding by means of an electrical corona discharge |
US5194291A (en) * | 1991-04-22 | 1993-03-16 | General Atomics | Corona discharge treatment |
-
2002
- 2002-04-11 FR FR0204551A patent/FR2838559A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1365106A (en) * | 1962-08-04 | 1964-06-26 | Kalle Ag | Method and apparatus for treating the surfaces of plastic sheets |
US4275301A (en) * | 1980-03-10 | 1981-06-23 | Armstrong Cork Company | Corona discharge device |
US4946568A (en) * | 1986-07-05 | 1990-08-07 | Klaus Kalwar | Method of an arrangement for corona treatment |
US5026463A (en) * | 1988-08-16 | 1991-06-25 | Hoechst Atkiengesellschaft | Process and apparatus for preparing the surface of a plastic molding by means of an electrical corona discharge |
US5194291A (en) * | 1991-04-22 | 1993-03-16 | General Atomics | Corona discharge treatment |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20140170575A1 (en) | Ionizer for a combustion system, including foam electrode structure | |
Yokoyama et al. | The improvement of the atmospheric-pressure glow plasma method and the deposition of organic films | |
KR101353865B1 (en) | Plasma cvd device | |
FR2613535A1 (en) | REACTOR FOR LAYING A LAYER ON A MOBILE SUBSTRATE FOR THE MANUFACTURE OF A SEMICONDUCTOR DEVICE | |
EP1507281B1 (en) | Arrangement, method and electrode for generating a plasma | |
KR970703446A (en) | Method and apparatus for low temperature deposition of CVD and PECVD films | |
US20080100148A1 (en) | Electret device and electrostatic operating apparatus | |
WO2001010173A1 (en) | Electroluminescent device and method for the production thereof | |
CH648700A5 (en) | DEVICE FOR IONIZING A FLUID. | |
FR2727759A1 (en) | CAPACITIVE MEASURING DEVICE | |
FR2838559A1 (en) | Ionizing chamber, with two high voltage electrodes forming an ionizing zone, has electrical insulation for the gas feeds on entry into the chamber to protect the operatives | |
CH622383A5 (en) | ||
JP5056114B2 (en) | Sheet thin film forming apparatus and method for manufacturing sheet with thin film | |
EP0914241A1 (en) | Method for treating a surface by dry process and device for implementing same | |
TW201333259A (en) | Substrate processing apparatus and method to discharge a flexible substrate within a vacuum chamber by using the same | |
US6726812B1 (en) | Ion beam sputtering apparatus, method for forming a transparent and electrically conductive film, and process for the production of a semiconductor device | |
WO2003100932A1 (en) | Method and installation for ionization by electric discharge with dielectric barrier and production of surface-treated substrates | |
CA1289512C (en) | Depositing an electrical insulator with unidirectional gas flow in series of chambers | |
FR2816726A1 (en) | Surface treatment installation has regulator to adjust flow rate of gas drawn out of chamber, so as to maintain zero pressure difference between interior and exterior of chamber | |
EP0908535B1 (en) | Process for cleaning a substrate and apparatus for carrying out the process | |
WO2020070396A1 (en) | Fuel optimisation device | |
EP0241362A1 (en) | Device, particularly a duoplasmatron, for ionizing a gas, and method of using this device | |
FR2513027A1 (en) | DEVICE FOR PRODUCING A LASER ACTIVITY STATE IN A SUBSONIC FAST FLOW | |
CH669277A5 (en) | High tension electric cable with extruded insulating layers - consists of synthetic materials of different dielectric properties sandwiched between 2 semiconducting layers | |
KR880001037A (en) | Multi-chamber precipitation system |