FR2807514A1 - Pressure sensor, has Hall sensor with two point calibration avoids adjustment is simple and cheap - Google Patents

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Abstract

The pressure sensor has a magnet (22) on the diaphragm (13) in contact with the liquid and acting on a Hall sensor (23) on a circuit board (24) with electrical connections which is calibrated at two points on the linear response.

Description

<U>DESCRIPTION</U> "Capteur de mesure d'une grandeur physique" La présente invention concerne un capteur de mesure d'une grandeur physique. DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a sensor for measuring a physical quantity.

On connaît d'après le FR-A-2 772 913 un capteur de mesure comprenant un organe d'influence monté pour se déplacer sous l'effet des variations de la grandeur physique à mesurer, par exemple une pression. Un composant sensible aux déplacements de l'organe d'influence est monté sur une plaquette, par exemple une plaquette de circuit imprimé, qui est supportée dans le corps d'une manière qui est réglable à des fins de calibrage. FR-A-2 772 913 discloses a measuring sensor comprising an influencing member mounted to move under the effect of variations of the physical quantity to be measured, for example a pressure. A component responsive to the movements of the influencing member is mounted on a wafer, for example a printed circuit board, which is supported in the body in a manner that is adjustable for calibration purposes.

Pour le calibrage, on soumet le capteur à un niveau prédéterminé de la grandeur physique à mesurer et on positionne la plaquette de façon que le composant fournisse le signal de sortie voulu pour ce niveau de la grandeur physique. For calibration, the sensor is subjected to a predetermined level of the physical quantity to be measured and the wafer is positioned so that the component provides the desired output signal for that level of the physical quantity.

Ce capteur de mesure présente l'avantage d'avoir une structure très simple et particulièrement peu coûteuse. Il nécessite par contre, pour son calibrage, de régler avec précision la position de la plaquette portant le composant. En outre, le calibrage n'est réalisé que pour un seul point. This measurement sensor has the advantage of having a very simple structure and particularly inexpensive. It requires on the other hand, for its calibration, to adjust precisely the position of the plate carrying the component. In addition, calibration is performed for only one point.

Le but de l'invention est de réaliser un capteur du genre indiqué au début dont le calibrage soit plus facile à réaliser industriellement et dont le signal de sortie soit plus précis. The object of the invention is to provide a sensor of the kind indicated at the beginning whose calibration is easier to produce industrially and whose output signal is more accurate.

Suivant l'invention, le capteur de mesure d'une grandeur physique, comprenant un corps, un organe d'influence monté pour se déplacer dans le corps sous l'effet des variations de la grandeur à mesurer, et un composant subissant une influence variable en fonction des déplacements de l'organe d'influence, le composant étant monté sur une plaquette fixée dans le corps et supportant des raccordements du composant, est caractérisé en ce que le composant est d'un type susceptible d'un calibrage préalable de la courbe de réponse définissant le signal de sortie du capteur en fonction de la grandeur physique à mesurer. According to the invention, the sensor for measuring a physical quantity, comprising a body, an influencing member mounted to move in the body under the effect of the variations of the quantity to be measured, and a component undergoing a variable influence. according to the movements of the influencing member, the component being mounted on a wafer fixed in the body and supporting connections of the component, is characterized in that the component is of a type susceptible to a prior calibration of the response curve defining the output signal of the sensor as a function of the physical quantity to be measured.

Ainsi, on peut conserver la structure très simple connue du FR-A-2 772 913 antérieur, dont le montage peut également être très simple, mais on n'a plus l'obligation de réaliser des manipulations d'ordre mécanique pour régler la position de la plaquette en vue d'un calibrage. Le calibrage s'effectue en modifiant la courbe de réponse du composant. En utilisant certains composants disponibles dans le commerce, le calibrage peut concerner par exemple deux points différents de la courbe de réponse et ainsi définir par exemple une courbe linéaire parfaitement déterminée. Thus, it is possible to retain the very simple structure known from FR-A-2 772 913, the assembly of which can also be very simple, but there is no longer the obligation to perform mechanical manipulations to adjust the position. of the wafer for calibration. Calibration is done by modifying the response curve of the component. By using certain commercially available components, the calibration may concern for example two different points of the response curve and thus define for example a perfectly determined linear curve.

L'invention a l'avantage de proposer un calibrage qui prend en compte à la fois les tolérances sur la partie mécanique du capteur qui convertit la grandeur physique à mesurer en un déplacement de l'organe d'influence, les tolérances sur le positionnement du composant sensible par rapport à l'organe d'influence, et même les tolérances sur la courbe de réponse du composant puisque cette courbe de réponse est fixée à volonté par la personne ou l'automate opérant le calibrage. The invention has the advantage of proposing a calibration which takes into account both the tolerances on the mechanical part of the sensor which converts the physical quantity to be measured into a displacement of the influencing member, the tolerances on the positioning of the component sensitive to the influence member, and even the tolerances on the response curve of the component since this response curve is fixed at will by the person or the automaton operating the calibration.

D'une manière générale, l'invention procure ainsi un capteur ayant, grâce à sa capacité d'étalonnage, une excellente précision, et qui est très bon marché à la fabrication grâce à sa structure simple et à son mode d'étalonnage s'intégrant aisément dans un processus industriel. Par sa précision et son coût, un tel capteur est particulièrement approprié pour des applications "grand public", par exemple comme organe de sécurité ou de régulation dans un circuit de chauffage central ou de production d'eau chaude domestique. In general, the invention thus provides a sensor which, thanks to its calibration capacity, has excellent precision, and which is very cheap to manufacture thanks to its simple structure and its calibration method. integrating easily into an industrial process. Because of its accuracy and cost, such a sensor is particularly suitable for "general public" applications, for example as a safety or control element in a central heating or domestic hot water production circuit.

D'autres particularités et avantages de l'invention ressortiront encore de la description ci- après, relative à des exemples non-limitatifs. Other features and advantages of the invention will emerge from the description below, relating to non-limiting examples.

Aux dessins annexés - la figure 1 est une vue en coupe axiale d'un capteur de pression selon l'invention; - les figures 2 et 3 sont des vues en coupe suivant II-II et respectivement III-III de la figure 1; - la figure 4 est une vue en coupe axiale d'un capteur de débit selon l'invention, au repos, selon IV- IV de la figure 5; - la figure 5 est une vue de dessus du capteur de la figure 4; - la figure 6 est une vue analogue à la figure 4 mais montrant le capteur activé par un débit de fluide; et - la figure 7 est une vue en coupe axiale d'un troisième mode de réalisation du capteur. In the accompanying drawings - Figure 1 is an axial sectional view of a pressure sensor according to the invention; - Figures 2 and 3 are sectional views along II-II and III-III respectively of Figure 1; FIG. 4 is a view in axial section of a flow sensor according to the invention, at rest, along IV-IV of FIG. 5; FIG. 5 is a view from above of the sensor of FIG. 4; - Figure 6 is a view similar to Figure 4 but showing the sensor activated by a fluid flow; and - Figure 7 is an axial sectional view of a third embodiment of the sensor.

Dans l'exemple représenté aux figures 1 à 3, le capteur comprend un corps 1 de forme générale cylindrique comprenant une embase 2 et un corps principal 3. L'embase 2 a une configuration tubulaire se terminant, du côté opposé au corps principal 3, par un embout fileté extérieurement 4, vissable de manière étanche dans un raccord 6 d'une enceinte 7 qui n'est représentée qu'en trait mixte. Dans le présent exemple relatif à un capteur de pression, l'enceinte 7 contient le fluide dont la pression est à mesurer. L'enceinte 7 peut par exemple être constituée par une tuyauterie d'un circuit d'eau chaude dans une installation de chauffage central. In the example shown in FIGS. 1 to 3, the sensor comprises a generally cylindrical body 1 comprising a base 2 and a main body 3. The base 2 has a tubular configuration terminating, on the opposite side to the main body 3, by an externally threaded end-piece 4, screwed in a leaktight manner into a connection 6 of an enclosure 7 which is shown only in broken lines. In the present example relating to a pressure sensor, the chamber 7 contains the fluid whose pressure is to be measured. The enclosure 7 may for example be constituted by a piping of a hot water circuit in a central heating installation.

A son extrémité adjacente au corps principal 3, l'embase 2 est terminée par une lèvre de sertissage 8 ayant une extrémité 9 rabattue contre une face arrière 11 d'une collerette de sertissage 12 du corps principal 3. Une membrane d'étanchéité 13 est pincée de manière étanche, sur tout son pourtour, entre la face avant 14 de la collerette 12 et un épaulement intérieur 16 de l'embase 2. At its end adjacent to the main body 3, the base 2 is terminated by a crimping lip 8 having an end 9 folded against a rear face 11 of a crimping flange 12 of the main body 3. A sealing membrane 13 is pinch sealingly, all around its periphery, between the front face 14 of the flange 12 and an inner shoulder 16 of the base 2.

La lèvre de sertissage 8 est raccordée au bord radialement extérieur de l'épaulement 16. Le liquide présent dans l'enceinte 7 peut ainsi pénétrer dans l'embase 2 sans dépasser la limite formée par la membrane d'étanchéité 13. The crimping lip 8 is connected to the radially outer edge of the shoulder 16. The liquid present in the chamber 7 can thus penetrate the base 2 without exceeding the limit formed by the sealing membrane 13.

Le corps principal 3 présente une cavité axiale de forme générale cylindrique 17. Du côté de l'embase 2, la cavité axiale 17 est fermée par la membrane 13. Un organe mobile 18, analogue à un piston, est monté mobile dans la cavité 17. L'organe mobile 18 est fixé d'une manière non-représentée, par exemple par collage, à la face de la membrane 13 tournée vers le corps principal 3 et donc opposée à la face en contact avec le fluide. Un ressort de compression 19 est inséré axialement entre l'organe mobile 18 et un fond 21 de la cavité 17, opposé à la membrane 13. The main body 3 has an axial cavity of generally cylindrical shape 17. On the side of the base 2, the axial cavity 17 is closed by the membrane 13. A movable member 18, similar to a piston, is movably mounted in the cavity 17 The movable member 18 is fixed in a manner not shown, for example by gluing, to the face of the membrane 13 facing the main body 3 and therefore opposite to the face in contact with the fluid. A compression spring 19 is inserted axially between the movable member 18 and a bottom 21 of the cavity 17, opposite the membrane 13.

Ainsi, la pression exercée par le fluide sur la membrane 13 tend à déplacer l'organe mobile 18 vers le fond 21 de la cavité 17 à l'encontre de l'action de rappel du ressort de compression 19. Thus, the pressure exerted by the fluid on the membrane 13 tends to move the movable member 18 towards the bottom 21 of the cavity 17 against the return action of the compression spring 19.

Sur sa face tournée vers le fond 21 de la cavité 17, l'organe mobile 18 porte rigidement un organe d'influence 22 constitué par un aimant permanent. On its side facing the bottom 21 of the cavity 17, the movable member 18 rigidly carries an influencing member 22 constituted by a permanent magnet.

Par ailleurs, le capteur comprend un composant 23 qui est monté dans la cavité 17 face à l'aimant permanent 22. L'aimant 22 se trouve en position centrale sur la face de l'organe mobile 18 tournée vers le fond 21 de la cavité. Dans l'exemple décrit où l'organe d'influence 22 est un aimant permanent, le composant 23 est typiquement un détecteur à effet Hall. Furthermore, the sensor comprises a component 23 which is mounted in the cavity 17 facing the permanent magnet 22. The magnet 22 is in a central position on the face of the movable member 18 turned towards the bottom 21 of the cavity . In the example described where the influence member 22 is a permanent magnet, the component 23 is typically a Hall effect detector.

Le composant 23 est monté sur une plaquette 24 fixée dans le corps principal 3. S'agissant d'un composant électrique 23 dans l'exemple décrit, la plaquette est une plaquette de circuit imprimé. The component 23 is mounted on a wafer 24 fixed in the main body 3. As an electrical component 23 in the example described, the wafer is a printed circuit board.

La plaquette de circuit imprimé 24 est montée selon un plan sensiblement parallèle à l'axe 26 de la cavité 17, lequel correspond à la direction de déplacement de l'équipage mobile comprenant l'organe d'influence 22, l'organe mobile 18 et la partie de la membrane 13 à laquelle l'organe mobile 18 est fixé. The printed circuit board 24 is mounted in a plane substantially parallel to the axis 26 of the cavity 17, which corresponds to the direction of movement of the moving element comprising the influencing member 22, the movable member 18 and the portion of the membrane 13 to which the movable member 18 is fixed.

La plaquette de circuit imprimé 24 possède une forme allongée parallèlement à l'axe 26 et présente une extrémité 27 dirigée vers l'organe mobile 18 et plus particulièrement vers l'organe d'influence 22. Le composant 23 est fixé sur la plaquette de circuit imprimé 24 au voisinage de l'extrémité 27 et sur la face 28 de la plaquette qui est tournée vers l'axe 26. Ainsi, l'axe 26 traverse le composant 23, comme le montre plus particulièrement la figure 2. The printed circuit board 24 has an elongate shape parallel to the axis 26 and has an end 27 directed towards the movable member 18 and more particularly towards the influence member 22. The component 23 is fixed on the circuit board printed in the vicinity of the end 27 and on the face 28 of the wafer which is turned towards the axis 26. Thus, the axis 26 passes through the component 23, as shown more particularly in Figure 2.

Pour son montage dans le corps 1, la plaquette de circuit imprimé 24 est engagée dans une fente 29 (voir aussi figure 3) ayant une forme générale rectangulaire aplatie correspondant au profil de la plaquette 24. La fente 29 est formée dans une paroi de fermeture 31 du corps principal 3. La paroi 31 ferme la cavité 17 du côté opposé à l'organe mobile 18 et porte en particulier la face de fond 21 mentionnée précédemment. La plaquette 24 comprend ainsi une région 241 engagée dans la fente 29, une région 242 faisant saillie dans la cavité 17 et portant le composant 23, et une région 243 dépassant de la paroi 31 du côté opposé à la cavité 17 dans un évidement 32 ménagé dans l'extrémité du corps principal 3 du côté opposé à l'embase 2. Le corps principal 3 comporte en outre dans la paroi 31 un alésage taraudé 33 qui s'étend perpendiculairement au plan de la plaquette 24 depuis l'extérieur du corps principal 3 jusqu'à travers une face de la fente 29. Une vis de serrage 34 vissée dans l'alésage 33 possède une tête 36 accessible de l'extérieur du corps principal 3, et une extrémité de serrage 37 qui vient s'appuyer contre la face 28 de la plaquette 24. La vis 34 immobilise ainsi la plaquette 24 dans la fente 29 dans une position choisie à volonté le long d'une direction de coulissement parallèle à l'axe 26 et à la direction de déplacement de l'organe mobile 18 et de l'organe d'influence 22. For its mounting in the body 1, the printed circuit board 24 is engaged in a slot 29 (see also Figure 3) having a generally flattened rectangular shape corresponding to the profile of the wafer 24. The slot 29 is formed in a closure wall 31 of the main body 3. The wall 31 closes the cavity 17 on the opposite side to the movable member 18 and in particular carries the bottom face 21 mentioned above. The wafer 24 thus comprises a region 241 engaged in the slot 29, a region 242 projecting into the cavity 17 and carrying the component 23, and a region 243 protruding from the wall 31 on the side opposite the cavity 17 in a recess 32 formed in the end of the main body 3 on the opposite side to the base 2. The main body 3 further comprises in the wall 31 a threaded bore 33 which extends perpendicularly to the plane of the plate 24 from outside the main body 3 to a face of the slot 29. A clamping screw 34 screwed into the bore 33 has a head 36 accessible from the outside of the main body 3, and a clamping end 37 which bears against the face 28 of the wafer 24. The screw 34 thus immobilizes the wafer 24 in the slot 29 in a freely chosen position along a direction of sliding parallel to the axis 26 and to the direction of movement of the movable member the 18 and the organ of influence 22.

Le composant comprend, en association avec un organe sensible au champ magnétique, un circuit électronique permettant de programmer la courbe de réponse déterminant le signal de sortie électrique du composant en fonction de l'influence qu'il subit de la part de l'organe d'influence. Le composant 23 est par exemple un circuit intégré HAL 800 UT disponible auprès de MICRONAS INTERMETALL et qui offre une courbe de réponse linéaire. Le calibrage consiste à réaliser deux situations différentes d'influence sur le composant 23 et à enregistrer dans une mémoire du circuit électronique du composant les deux tensions respectives que l'on souhaite obtenir pour ces deux situations. Dans l'application à l'exemple des figures 1 à 3 de mise en #uvre de la présente invention, le calibrage consiste à établir successivement deux pressions différentes contre la membrane 13, et à programmer la tension respectivement désirée en sortie pour chacune de ces deux pressions. Le calibrage ainsi réalisé compense à lui seul les tolérances sur la surface utile de la membrane 13, le poids apparent de l'organe 18 car le calibrage peut être réalisé avec le capteur placé dans l'orientation de service, la raideur du ressort 19, l'aimantation de l'aimant 22, le positionnement de la plaquette 24, et la sensibilité du composant 23. The component comprises, in association with a magnetic field sensitive member, an electronic circuit for programming the response curve determining the electrical output signal of the component as a function of the influence that it undergoes on the part of the device. 'influence. The component 23 is for example a HAL 800 UT integrated circuit available from MICRONAS INTERMETALL and which offers a linear response curve. Calibration consists of carrying out two different situations of influence on the component 23 and recording in a memory of the electronic circuit of the component the two respective voltages that one wishes to obtain for these two situations. In the application to the example of FIGS. 1 to 3 of implementation of the present invention, the calibration consists in establishing successively two different pressures against the membrane 13, and in programming the respectively desired voltage output for each of these two pressures. The calibration thus made alone compensates for the tolerances on the useful surface of the membrane 13, the apparent weight of the member 18 because the calibration can be performed with the sensor placed in the service orientation, the stiffness of the spring 19, the magnetization of the magnet 22, the positioning of the wafer 24, and the sensitivity of the component 23.

Le composant 23 comporte des broches 38 qui traversent des trous correspondants formés dans la plaquette 24. Les broches 38 sont raccordées par des soudures 39 à des plages conductrices 41 formées sur la face 42 de la plaquette 24 opposée à la face 28 portant le composant 23. Dans l'exemple représenté où le composant 23 est un détecteur à effet Hall, celui-ci comporte par exemple trois broches 38, à savoir deux pour son alimentation et une pour le signal fourni. I1 y a ainsi trois plages 41 (figure 3) qui consistent en trois lignes conductrices isolées l'une de l'autre et s'étendant chacune de la broche correspondante située dans la zone 242 de la plaquette 24 à la zone 243 située dans l'évidement 32 en parcourant toute 1a longueur de la zone 241 située dans la fente 29. L'une des broches 38 peut également servir à introduire les signaux de programmation des deux niveaux de tension précités lors du calibrage. L'évidement 32 est destiné à recevoir un connecteur électrique (non-représenté) comportant trois contacts individuels raccordés chacun à l'une des plages 41. Par conséquent, dans l'exemple préféré qui est représenté, la plaquette de circuit imprimé 24 ne sert qu'à supporter le composant 23 dans le corps 1 et à raccorder électriquement le composant 23 avec l'extérieur. The component 23 has pins 38 which pass through corresponding holes formed in the wafer 24. The pins 38 are connected by welds 39 to conductive pads 41 formed on the face 42 of the wafer 24 opposite the face 28 carrying the component 23 In the example shown where the component 23 is a Hall effect detector, it comprises for example three pins 38, namely two for its power supply and one for the signal supplied. There are thus three ranges 41 (Figure 3) which consist of three conductive lines insulated from each other and each extending from the corresponding pin located in the area 242 of the wafer 24 to the zone 243 located in the area. recess 32 by traversing the entire length of the zone 241 located in the slot 29. One of the pins 38 can also be used to introduce the programming signals of the two aforementioned voltage levels during calibration. The recess 32 is intended to receive an electrical connector (not shown) having three individual contacts each connected to one of the pads 41. Therefore, in the preferred example shown, the printed circuit board 24 is not used. to support the component 23 in the body 1 and electrically connect the component 23 with the outside.

Le fond 21 de la cavité 17 porte une jupe axiale 44 qui entoure la région 242 de la plaquette 24. L'extrémité libre 27 de 1a plaquette 24 est axialement en retrait par rapport à l'extrémité libre 46 de la jupe 44. L'extrémité libre 46 forme butée pour une région annulaire 47 de l'organe mobile 18 qui entoure l'aimant 22. Lorsque la pression régnant dans le fluide atteint ou dépasse le maximum pour lequel le capteur est opérationnel, la région annulaire 47 de l'organe mobile 18 vient s'appuyer contre l'extrémité libre 46 de la jupe 44. Ceci empêche l'organe mobile 18 ou tout élément qu'il porte, tel que l'organe d'influence 22, de venir même indirectement en contact avec la plaquette de circuit imprimé 24 ou tout élément qu'elle porte et en particulier avec le composant 23. The bottom 21 of the cavity 17 carries an axial skirt 44 which surrounds the region 242 of the wafer 24. The free end 27 of the wafer 24 is axially recessed with respect to the free end 46 of the skirt 44. free end 46 abutment form for an annular region 47 of the movable member 18 which surrounds the magnet 22. When the pressure in the fluid reaches or exceeds the maximum for which the sensor is operational, the annular region 47 of the organ mobile 18 comes to bear against the free end 46 of the skirt 44. This prevents the movable member 18 or any element that it carries, such as the influence member 22, to come even indirectly in contact with the printed circuit board 24 or any element that it carries and in particular with the component 23.

En outre, la jupe 44 est entourée par une partie du ressort hélicoïdal 19 et contribue au centrage du ressort 19. La jupe 44 empêche toute interférence mécanique entre les spires du ressort 19 et la région 242 de la plaquette de circuit imprimé 24 ainsi qu'avec le composant 23. In addition, the skirt 44 is surrounded by a portion of the coil spring 19 and contributes to the centering of the spring 19. The skirt 44 prevents any mechanical interference between the turns of the spring 19 and the region 242 of the printed circuit board 24 and with component 23.

La région annulaire 47 de l'organe mobile 18 constitue le sommet d'un bossage 48 servant au centrage de l'extrémité adjacente du ressort 19. The annular region 47 of the movable member 18 constitutes the top of a boss 48 for centering the adjacent end of the spring 19.

De préférence, le corps principal 3 est réalisé en matière isolante telle qu'une matière plastique dure pour éviter tout risque que les plages 41 de la plaquette 24 soient mises en court-circuit par la face adjacente de la fente 29. Comme représenté à la figure 3, cette face peut cependant présenter des rainures 49 recevant chacune l'une respective des plages 41. Les rainures 49 protègent les plages 41 de la pression mécanique exercée indirectement par la vis d'immobilisation 34, et de la friction pendant les opérations de montage. Preferably, the main body 3 is made of insulating material such as a hard plastic to avoid any risk that the pads 41 of the wafer 24 are short-circuited by the adjacent face of the slot 29. As shown in FIG. 3, this face may, however, have grooves 49 each receiving a respective one of the lands 41. The grooves 49 protect the beaches 41 from the mechanical pressure exerted indirectly by the immobilizing screw 34, and friction during the operations of mounting.

L'embase 2 peut être réalisée en métal propice à la déformation de la lèvre 8 pour le sertissage sur la collerette 12 du corps principal 3. Il est préférable que l'embase 2, le corps principal 3 et l'organe mobile 18 soient réalisés en matériaux amagnétiques pour éviter toute interaction indésirable avec l'aimant 22. The base 2 can be made of metal suitable for the deformation of the lip 8 for crimping on the flange 12 of the main body 3. It is preferable that the base 2, the main body 3 and the movable member 18 are made in non-magnetic materials to avoid unwanted interaction with the magnet 22.

En fonctionnement, l'organe mobile 18 prend le long de l'axe 26 une position qui est fonction de la pression régnant dans le fluide occupant l'enceinte 7. La membrane d'étanchéité 13 se déforme de manière correspondante. Le détecteur à effet Hall 23 fournit, sur l'une des plages 41, un signal qui dépend de la distance entre l'organe d'influence 22 et le détecteur 23. Grâce au calibrage, ce signal est dans une relation de proportionnalité connue avec la pression régnant dans le fluide. In operation, the movable member 18 takes along the axis 26 a position which is a function of the pressure in the fluid occupying the chamber 7. The sealing membrane 13 is deformed correspondingly. The Hall effect detector 23 provides, on one of the tracks 41, a signal which depends on the distance between the influencing member 22 and the detector 23. Thanks to the calibration, this signal is in a relationship of known proportionality with the pressure prevailing in the fluid.

L'exemple représenté aux figures 4 à 6 ne sera décrit que pour ses différences par rapport au précédent. Le capteur 51 est un capteur de débit monté dans un corps tubulaire 53 destiné à être traversé par le fluide dont le débit est à mesurer. Le corps 53 est destiné à être inséré suivant un axe vertical dans un trajet du fluide de manière que l'écoulement soit ascendant à travers le corps 53, comme illustré par une flèche 52 à la figure 6. A chacune de ses extrémités, le corps 53 est muni de moyens de raccordement étanche, non davantage représentés, avec l'extrémité correspondante du reste du trajet du fluide (non représenté). Un insert fixé dans le conduit 55 défini par le corps 53 comprend un guide tubulaire axial 56 s'étendant entre deux douilles 57, 60 serties dans 1e conduit 55 et solidaires du guide 56. La douille supérieure 60 présente un alésage tronconique 62 évasé ver le haut. L'organe mobile 58 comprend une tige 54 guidée en coulissement axial dans le guide 56 , et un épanouissement 63 engagé dans l'alésage tronconique. L'écoulement passe à l'intérieur de la douille 57, autour du tube 56 puis dans la fente annulaire entre l'épanouissement 63 et l'alésage 62. L'organe mobile 58 est rappelé vers le bas par son propre poids et par un ressort de compression 59 inséré entre la base du tube 56 et une rondelle d'arrêt 61 portée par la tige 54 au voisinage de son extrémité inférieure. The example shown in Figures 4 to 6 will be described only for its differences from the previous. The sensor 51 is a flow sensor mounted in a tubular body 53 intended to be traversed by the fluid whose flow rate is to be measured. The body 53 is intended to be inserted along a vertical axis in a path of the fluid so that the flow ascends through the body 53, as illustrated by an arrow 52 in FIG. 6. At each of its ends, the body 53 is provided with sealing connection means, not further shown, with the corresponding end of the remainder of the fluid path (not shown). An insert fixed in the duct 55 defined by the body 53 comprises an axial tubular guide 56 extending between two bushes 57, 60 crimped into the duct 55 and integral with the guide 56. The upper bushing 60 has a frustoconical bore 62 flared to the above. The movable member 58 comprises a rod 54 guided in axial sliding in the guide 56, and a shoe 63 engaged in the frustoconical bore. The flow passes inside the sleeve 57, around the tube 56 and then in the annular gap between the expansion 63 and the bore 62. The movable member 58 is biased downwards by its own weight and by a compression spring 59 inserted between the base of the tube 56 and a lock washer 61 carried by the rod 54 in the vicinity of its lower end.

Suivant un principe classique pour la mesure d'un débit, plus le débit à mesurer est grand et plus l'organe mobile 58 est déplacé axialement vers le haut, c'est à dire<I>vers</I> la région la plus large de l'alésage 62, correspondant à une plus grande section de passage pour le fluide autour de l'épanouissement 63, sous l'action des forces hydrodynamiques créées par l'écoulement, et à l'encontre du rappel exercé vers le bas par le poids de l'équipage mobile et par la force du ressort de rappel 59. According to a conventional principle for the measurement of a flow rate, the greater the flow rate to be measured and the greater the moving member 58 is displaced axially upwards, that is to say <I> to </ I> the most wide of the bore 62, corresponding to a larger passage section for the fluid around the expansion 63, under the action of the hydrodynamic forces created by the flow, and against the downward urging by the weight of the moving equipment and the force of the return spring 59.

La face supérieure de l'épanouissement 63 porte un organe d'influence 72 constitué par un aimant permanent, axialement en regard du composant sensible 23 monté sur la plaquette 24 à l'intérieur d'un doigt 73 qui protège le composant 23 et la plaquette 24 de tout contact avec le fluide. Le doigt 73 est monté à travers un raccord latéral 74 du corps tubulaire 53. Un joint torique 76 inséré entre le doigt 73 et le pourtour intérieur du raccord 74 assure l'étanchéité de ce montage en empêchant le fluide traversant le corps 53 de fuir vers l'extérieur du corps 53 à travers le raccord 74. Le doigt 73 est entièrement fermé au-delà du joint 76 du côté de l'intérieur du corps tubulaire 53. Le doigt 73 est réalisé en matériau amagnétique, par exemple en matière plastique, pour ne pas empêcher l'aimant permanent 72 d'influencer le composant 23. Le doigt 73 pointe radialement dans le trajet de l'écoulement en étant adjacent à l'extrémité supérieure de la douille 60 définissant l'alésage 62. L'aimant 72 est recouvert d'un capuchon 77 en matériau amagnétique qui bute contre le doigt 73 (situation représentée à la figure 6) lorsque l'organe mobile 58 est en position de déplacement maximum, correspondant au moins au débit maximum pour lequel le capteur est opérationnel. The upper face of the shoe 63 carries an influence member 72 constituted by a permanent magnet, axially facing the sensitive component 23 mounted on the wafer 24 inside a finger 73 which protects the component 23 and the wafer 24 any contact with the fluid. The finger 73 is mounted through a lateral connection 74 of the tubular body 53. An O-ring 76 inserted between the finger 73 and the inner periphery of the connector 74 seals this assembly by preventing the fluid passing through the body 53 from fleeing towards outside the body 53 through the connector 74. The finger 73 is fully closed beyond the seal 76 on the inside of the tubular body 53. The finger 73 is made of non-magnetic material, for example plastic, in order not to prevent the permanent magnet 72 from influencing the component 23. The finger 73 points radially in the path of flow adjacent to the upper end of the sleeve 60 defining the bore 62. The magnet 72 is covered with a cap 77 of non-magnetic material which abuts against the finger 73 (situation shown in FIG. 6) when the movable member 58 is in the maximum displacement position, corresponding at least to the flow rate ma maximum for which the sensor is operational.

Dans la position de repos ou de débit minimal représentée à la figure 4, la base de l'épanouissement 63 repose contre une surface de butée 78 formée à la jonction entre la douille 60 et un bras 79 de liaison avec le tube 56. In the rest or minimum flow position shown in FIG. 4, the base of the expansion 63 rests against an abutment surface 78 formed at the junction between the bushing 60 and an arm 79 connected to the tube 56.

Le composant 23 et la plaquette 24 peuvent être semblables à ceux décrits en référence aux figures 1 à 3. Toutefois, le composant 23 a été tourné de 90 par rapport à la plaquette 23 pour prendre sur celle-ci une configuration couchée, de manière que sa face sensible soit là encore en regard de l'organe d'influence 72. Le calibrage s'effectue en réalisant deux débits différents prédéterminés à travers le corps tubulaire 53 et en programmant les tensions de sortie respectivement voulues pour ces deux débits. The component 23 and the wafer 24 may be similar to those described with reference to FIGS. 1 to 3. However, the component 23 has been rotated 90 relative to the wafer 23 to take on it a recumbent configuration, so that its sensitive face is again facing the influence member 72. The calibration is performed by performing two different predetermined rates through the tubular body 53 and programming the output voltages respectively desired for these two rates.

L'exemple de la figure 7 ne sera décrit que pour ses différences par rapport à celui des figures 1 à 3. Le capteur est destiné à mesurer une pression différentielle. La membrane 13 sépare deux chambres 87 et 97 formées dans un boîtier 81 muni d'un raccord tubulaire 82, 83 pour chacune des chambres, respectivement. La chambre supérieure 97 baigne le ressort de rappel 19 ainsi que la jupe 44, le composant 23 et la région 242 de la plaquette 24. L'organe mobile 88, portant l'organe d'influence 22, n'est plus un piston mais une coupelle dont le fond plat est rendu solidaire de la membrane 13 du côté supérieur de celle- ci. Le corps 93 du capteur, au lieu de définir un alésage de coulissement 17, s'épanouit pour former la partie supérieure 81 du boîtier. La fente 28 recevant la plaquette 24 est équipée d'une garniture d'étanchéité 94 entourant la plaquette 24. The example of Figure 7 will be described only for its differences from that of Figures 1 to 3. The sensor is intended to measure a differential pressure. The membrane 13 separates two chambers 87 and 97 formed in a housing 81 provided with a tubular connection 82, 83 for each of the chambers, respectively. The upper chamber 97 bathes the return spring 19 and the skirt 44, the component 23 and the region 242 of the wafer 24. The movable member 88, carrying the influencing member 22, is no longer a piston but a cup whose flat bottom is secured to the membrane 13 of the upper side thereof. The body 93 of the sensor, instead of defining a sliding bore 17, blooms to form the upper portion 81 of the housing. The slot 28 receiving the plate 24 is equipped with a seal 94 surrounding the plate 24.

Un tel capteur peut fonctionner en capteur de différence de pression, pour mesurer la différence de pression entre deux espaces reliés respectivement aux raccords 82 et 83 du capteur, en capteur de débit en reliant les raccords 82 et 83 respectivement à l'entrée et au col d'un venturi, ou encore en pressostat. Such a sensor can operate as a pressure difference sensor, for measuring the pressure difference between two spaces respectively connected to the connectors 82 and 83 of the sensor, as a flow sensor by connecting the fittings 82 and 83 respectively to the inlet and the neck. a venturi, or in a pressure switch.

Le calibrage du capteur s'effectue d'une manière analogue à celle décrite précédemment, en réalisant deux niveaux prédéterminés de la grandeur à mesurer et en programmant le niveau de tension attendu en sortie pour chacune d'elles. The calibration of the sensor is performed in a manner similar to that described above, by performing two predetermined levels of the quantity to be measured and programming the expected level of voltage output for each of them.

Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés. Of course, the invention is not limited to the examples described and shown.

La plaquette pourrait porter des raccordements autres qu'électriques, par exemple optiques. Le composant pourrait être d'une type différent pourvu qu'il comporte ou soit associé à une fonction de calibrage telle que logicielle ou électronique. The wafer could carry connections other than electrical, for example optical. The component could be of a different type provided that it comprises or is associated with a calibration function such as software or electronics.

L'invention est applicable à de nombreux appareils comportant une fonction de conversion d'une grandeur physique en un déplacement et de ce déplacement en un signal statique. The invention is applicable to many devices comprising a function of converting a physical quantity into a displacement and of this displacement into a static signal.

L'invention n'exclut pas une fonction ou une opération de réglage de la position de la plaquette dans le corps, par exemple pour un pré-calibrage grossier.The invention does not exclude a function or an operation of adjusting the position of the wafer in the body, for example for rough pre-calibration.

Claims (1)

<U>REVENDICATIONS</U> 1- Capteur de mesure d'une grandeur physique, comprenant un corps (1, 51, 81), un organe d'influence (22, 72) monté pour se déplacer dans le corps sous l'effet des variations de la grandeur à mesurer, et un composant (23) subissant une influence variable en fonction des déplacements de l'organe d'influence (22, 72), 1e composant (23) étant monté sur une plaquette (24) fixée dans le corps et supportant des raccordements du composant, caractérisé en ce que le composant (23) est d'un type susceptible d'un calibrage préalable de sa courbe de réponse définissant son signal de sortie en fonction de la grandeur physique à mesurer. 2- Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le composant (23) est d'un type à courbe de réponse linéaire, définissable par calibrage pour deux valeurs de la grandeur physique. 3- Capteur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le composant (23) est monté au voisinage d'une extrémité (27) de la plaquette (24) dirigée vers l'organe d'influence (22, 72). 4- Capteur selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la plaquette (24) est immobilisée par freinage dans une fente (29) du corps (1). 5- Capteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'une (28) des faces (28, 42) de la plaquette (24) reçoit l'appui d'une extrémité (37) d'une vis d'immobilisation (34) à travers l'une des faces de la fente (29). 6- Capteur selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la plaquette (24) est montée selon un plan sensiblement parallèle à la direction (26) de déplacement de l'organe d'influence (22). 7- Capteur selon la revendication 6, caractérisé en ce que le corps comporte une jupe (44) dirigée vers l'organe d'influence (22) et dont l'extrémité (39) forme de préférence butée limitant la course de l'organe d'influence (22), la jupe (44) séparant la plaquette (24) et le composant (23), situés radialement à l'intérieur, et un ressort de rappel (19) de l'organe d'influence, le ressort étant radialement à l'extérieur de la jupe (44). 8- Capteur selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'organe d'influence (22) est fixé au moins indirectement à une membrane séparant deux chambres pour se déplacer en fonction de la différence de pression entre les deux chambres (87, 97). 9- Capteur selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la plaquette est montée selon un plan sensiblement perpendiculaire à la direction de déplacement de l'organe d'influence (72). 10- Capteur selon l'une des revendications 1 à 5 ou 9, caractérisé en ce que la plaquette est montée à l'abri du contact avec le fluide dans un doigt (73) saillant radialement vers l'axe (26) de déplacement de l'organe d'influence (72). 11- Capteur selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que la plaquette (24) est une plaquette de circuit imprimé. 12- Capteur selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que l'organe d'influence (22, 72) est magnétique et le composant (23) est un détecteur à effet Hall. 13- Capteur selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que l'organe d'influence (22, 72) fait partie d'un équipage mobile (18, 58) chargé par un ressort de rappel (19-, 59), lequel sollicite l'équipage mobile (18, 58) en direction opposée au composant (23). 14- Capteur selon l'une des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que l'organe d'influence (22) se déplace sous l'action d'une pression d'un fluide. 15- Capteur selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que le capteur est un capteur de débit. 16- Capteur selon 'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que le capteur est un capteur pressostatique. 17- Capteur selon' l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que 1e capteur est un capteur de pression.<U> CLAIMS </ U> 1- Sensor for measuring a physical quantity, comprising a body (1, 51, 81), an influencing member (22, 72) mounted to move in the body under the effect of the variations of the magnitude to be measured, and a component (23) under varying influence as a function of the displacements of the influencing member (22, 72), the component (23) being mounted on a fixed plate (24) in the body and supporting connections of the component, characterized in that the component (23) is of a type capable of a prior calibration of its response curve defining its output signal as a function of the physical quantity to be measured. 2- sensor according to claim 1, characterized in that the component (23) is of a linear response curve type, definable by calibration for two values of the physical quantity. 3- sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the component (23) is mounted adjacent an end (27) of the wafer (24) directed towards the influencing member (22, 72). 4- sensor according to one of claims 1 to 3, characterized in that the plate (24) is immobilized by braking in a slot (29) of the body (1). 5- sensor according to claim 4, characterized in that one (28) of the faces (28, 42) of the wafer (24) receives the support of an end (37) of an immobilizing screw ( 34) through one of the faces of the slot (29). 6. Sensor according to one of claims 1 to 5, characterized in that the plate (24) is mounted in a plane substantially parallel to the direction (26) of movement of the influencing member (22). 7- Sensor according to claim 6, characterized in that the body comprises a skirt (44) directed towards the influencing member (22) and whose end (39) preferably forms a stop limiting the stroke of the organ of influence (22), the skirt (44) separating the plate (24) and the component (23), located radially inward, and a return spring (19) of the influencing member, the spring being radially outside the skirt (44). 8- Sensor according to one of claims 1 to 7, characterized in that the influencing member (22) is attached at least indirectly to a membrane separating two chambers to move according to the pressure difference between the two rooms (87, 97). 9- sensor according to one of claims 1 to 5, characterized in that the wafer is mounted in a plane substantially perpendicular to the direction of movement of the influencing member (72). 10- Sensor according to one of claims 1 to 5 or 9, characterized in that the wafer is mounted away from contact with the fluid in a finger (73) projecting radially towards the axis (26) of movement of the influencing organ (72). 11- Sensor according to one of claims 1 to 10, characterized in that the wafer (24) is a printed circuit board. 12- sensor according to one of claims 1 to 11, characterized in that the influencing member (22, 72) is magnetic and the component (23) is a Hall effect detector. 13- Sensor according to one of claims 1 to 12, characterized in that the influencing member (22, 72) is part of a mobile assembly (18, 58) loaded by a return spring (19-, 59), which urges the moving element (18, 58) in a direction opposite to the component (23). 14- Sensor according to one of claims 1 to 13, characterized in that the influencing member (22) moves under the action of a pressure of a fluid. 15- sensor according to one of claims 1 to 14, characterized in that the sensor is a flow sensor. 16- Sensor according to one of claims 1 to 14, characterized in that the sensor is a pressure sensor. 17- Sensor according to one of claims 1 to 14, characterized in that the sensor is a pressure sensor.
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