FR2795230A1

FR2795230A1 - Flat display screen mfr. technique includes formation of edge seal in two stages at different temperatures

Info

Publication number: FR2795230A1
Application number: FR9907858A
Authority: FR
Inventors: Frederic Poignant
Original assignee: Pixtech SA
Current assignee: Pixtech SA
Priority date: 1999-06-15
Filing date: 1999-06-15
Publication date: 2000-12-22
Anticipated expiration: 2019-06-15
Also published as: FR2795230B1

Abstract

The system uses two different sealing materials, cured at different temperatures. The procedure includes assembly of two parallel flat plates in an oven under vacuum or in a neutral atmosphere. In a first stage the plates have a peripheral seal provided by a first joint, whilst a small orifice remains. The small orifice is closed by a second joint in a second stage of assembly. The first stage takes place at a first temperature, since the first joint is cured at a temperature less than or equal to this first temperature. The second stage takes places at a second, higher temperature, as the second joint is made of a material which forms a seal at a temperature between the first and second temperatures.

Description

PROCC@É D'ASSEMBLAGE D'ÉCRANS PLATS <B>DE</B> VISUALISATION La présente invention concerne les écrans plats de visualisation. Elle s'applique plus particulièrement à l'assem blage de deux plaques, constituant le fond et la surface de l'écran et entre lesquelles est formé un espace interne isolé de l'extérieur. The present invention relates to flat display screens. It applies more particularly to the assembly of two plates constituting the bottom and the surface of the screen and between which is formed an internal space isolated from the outside.

L'invention s'applique plus généralement à l'assem blage, dans un four sous vide ou sous atmosphère neutre, de deux plaques parallèles avec ménagement d'un espace interne et à la fermeture de cet espace interne par l'obturation d'un orifice de faibles dimensions par rapport aux dimensions des plaques. The invention more generally applies to the assembly, in a furnace under vacuum or in a neutral atmosphere, of two parallel plates with care of an internal space and the closing of this internal space by the closing of a orifice of small dimensions compared to the dimensions of the plates.

Un exemple de procédé d'assemblage classique de ce type est décrit dans la demande de brevet européen numéro 0 895 268 de la demanderesse. An example of a conventional assembly method of this type is described in the European patent application number 0 895 268 of the applicant.

Les figures 1 et 2 illustrent un tel procédé d'assem blage. La figure 1 représente, de façon très schématique et en coupe, un exemple de structure classique d'un écran à micro- pointes après une première étape d'assemblage des deux plaques par la mise en oeuvre de ce procédé connu. La figure 2 repré sente, toujours de façon très schématique et en coupe, un écran plat en fin de procédé classique, plus précisément, après une deuxième étape de fermeture de l'écran. Un écran à micropointes est essentiellement constitué sur un premier substrat 1, par exemple en verre, d'une cathode à micropointes et d'une grille désignées par la référence commune 2. La cathode/grille 2 est placée en regard d'une anode cathodo- luminescente 3 réalisée sur un second substrat 4, par exemple, également en verre. Celui des deux substrats (par exemple, le substrat 4) qui est destiné à constituer la surface de l'écran est en un matériau transparent. Figures 1 and 2 illustrate such a joining process. FIG. 1 very schematically shows, in section, an example of a conventional structure of a microtip screen after a first step of assembling the two plates by the implementation of this known method. FIG. 2 shows, again very schematically and in section, a flat screen at the end of the conventional process, more specifically, after a second screen closing step. A microtip screen essentially consists of a first substrate 1, for example glass, a microtip cathode and a grid designated by the common reference 2. The cathode / gate 2 is placed opposite a cathode anode - Luminescent 3 made on a second substrate 4, for example, also glass. That of the two substrates (for example, the substrate 4) which is intended to constitute the surface of the screen is made of a transparent material.

La cathode/grille 2 et l'anode 3 sont réalisées séparé ment sur les deux substrats ou plaques 1 et 4 puis assemblées au moyen d'un joint périphérique de scellement 5. Un espace vide 6 est formé entre les deux plaques 1 et 4 pour permettre la circu lation des électrons émis par la cathode jusqu'à l'anode. Des espaceurs 7 sont régulièrement répartis entre la cathode/grille 2 et l'anode 3 pour définir et fixer l'épaisseur de l'espace vide 6. Ces espaceurs 7 peuvent être constitués de moyens ponctuels comme l'illustre la figure 1 ou par des moyens équivalents (par exemple, un réseau de murs ou de fils d'espacement). On notera que l'épaisseur de l'espace 6 est généralement faible par rapport à la taille de l'écran (la surface des plaques 1 et 4). The cathode / gate 2 and the anode 3 are made separately on the two substrates or plates 1 and 4 and then assembled by means of a peripheral seal 5. A void space 6 is formed between the two plates 1 and 4 for allow the circu lation of electrons emitted by the cathode to the anode. Spacers 7 are regularly distributed between the cathode / gate 2 and the anode 3 to define and fix the thickness of the empty space 6. These spacers 7 may consist of point means as illustrated in FIG. equivalent means (for example, a network of walls or spacing wires). Note that the thickness of the space 6 is generally small compared to the size of the screen (the surface of the plates 1 and 4).

Lors de la première étape du procédé d'assemblage clas sique, le joint de verre 5 est choisi pour être fusible à une première température et est intercalé entre les périphéries des plaques 1 et 4. L'ensemble est placé dans un four sous vide (non représenté) et porté progressivement (par exemple, en 1 heure) à la température de scellement du verre constitutif du joint 5. Cette température de scellement dont il sera fait mention par la suite correspond à la température à laquelle la viscosité du verre (ou du matériau de scellement) est suffisamment basse pour permettre le scellement des deux parties à assembler. Pendant cette étape, les plaques sont pressées l'une contre l'autre au moyen d'un outillage adapté, par exemple, des pinces dont les mâchoires sont mises en pression, par exemple, par des moyens à ressort. Si le four est sous vide, les gaz émis par le cordon 5 en direction de l'espace interne 6 sont pompés en permanence depuis un orifice 13 formé, par exemple, dans la plaque 1. Dans le cas d'un scellement sous atmosphère neutre (dans un gaz rare), l'évacuation des gaz est obtenue en contrôlant la qualité de l'atmosphère du four, en particulier, en organisant une circula tion du ou des gaz rares constituant l'atmosphère neutre. In the first step of the conventional assembly process, the glass joint 5 is chosen to be fusible at a first temperature and is interposed between the peripheries of the plates 1 and 4. The assembly is placed in a vacuum oven ( not shown) and carried gradually (for example, in 1 hour) to the sealing temperature of the constituent glass of the seal 5. This sealing temperature which will be mentioned later corresponds to the temperature at which the viscosity of the glass (or sealing material) is sufficiently low to allow sealing of the two parts to be joined. During this step, the plates are pressed against each other by means of suitable tools, for example, clamps whose jaws are pressurized, for example, by spring means. If the oven is under vacuum, the gases emitted by the bead 5 towards the internal space 6 are pumped continuously from an orifice 13 formed, for example, in the plate 1. In the case of sealing under a neutral atmosphere (In a rare gas), the evacuation of gases is obtained by controlling the quality of the furnace atmosphere, in particular, by organizing a circulation of the rare gas or gases constituting the neutral atmosphere.

Une fois le scellement périphérique effectué, on obtient un assemblage tel qu'illustré par la figure 1 et le four est redescendu en température. Once the peripheral seal has been made, an assembly as shown in FIG. 1 is obtained and the oven is cooled down to temperature.

Au cours de la deuxième étape de fermeture (figure 2), on place un élément 14 de fermeture sur l'orifice 13 avec inter position d'un deuxième joint 15 ou cordon de verre, ayant une température de scellement inférieure à la température de scelle ment du joint périphérique 5. L'élément 14 est maintenu par pres sion mécanique et on porte le four à une température suffisante pour provoquer le scellement du joint 15 tout en restant à une température inférieure à la température de scellement du joint périphérique et, par conséquent, la fermeture de l'écran. L'élé ment de fermeture peut constituer, comme l'illustre la figure 2, un caisson de réception d'un élément 9 de piégeage d'impuretés, ou getter, introduit lors de la mise en place de l'élément 14. During the second closing step (FIG. 2), a closing element 14 is placed on the orifice 13 with the interposition of a second seal 15 or glass bead having a sealing temperature below the sealing temperature. The element 14 is held by mechanical pressure and the furnace is heated to a temperature sufficient to seal the seal 15 while remaining at a temperature below the sealing temperature of the peripheral seal and therefore, closing the screen. The closure element may constitute, as illustrated in FIG. 2, a receiving box for an impurity trapping element 9, or getter, introduced during the introduction of the element 14.

Si un tel procédé constitue déjà une amélioration im portante par rapport au procédé d'assemblage encore antérieur qui nécessite le recours à un tube de pompage ou queusot en verre, le fait que la température de fermeture de l'écran soit inférieure à la température de scellement périphérique ne constitue pas une solution optimale. If such a process already constitutes a significant improvement over the still previous assembly method which requires the use of a pumping tube or glass tube, the fact that the closing temperature of the screen is lower than the temperature of Peripheral sealing is not an optimal solution.

I1 n'est cependant pas souhaitable de porter l'écran à une température supérieure lors de la fermeture de l'orifice, car cela conduirait inévitablement à placer le cordon périphérique de nouveau dans un état de viscosité trop basse. Outre le fait que cela annulerait les effets de la première étape de scellement périphérique, le cordon périphérique se mettrait de nouveau à dégazer sans que les gaz puissent être évacués de l'espace interne. However, it is undesirable to bring the screen to a higher temperature when the orifice is closed, as this would inevitably lead to the peripheral cord being again in a state of too low viscosity. Apart from the fact that this would cancel the effects of the first peripheral sealing step, the peripheral bead would start degassing again without the gases being discharged from the internal space.

Ce choix particulier de température dans un procédé classique met en avant un autre problème lié à l'utilisation des cordons de verre fusible. En effet, lors d'un traitement sous vide dans la gamme de températures où ces cordons de verre se déforment (généralement de 380 C à 500 C), les cordons se met tent à "buller", c'est-à-dire à présenter des bulles et/ou des pores qui se traduisent, sur le joint terminé par un état de sur face irrégulier entre la plaque et le joint et, par conséquent, un risque de défaut d'étanchéité. This particular choice of temperature in a conventional method puts forward another problem related to the use of fusible glass beads. Indeed, during a vacuum treatment in the temperature range where these glass beads are deformed (generally 380 C to 500 C), the cords begin to "bubble", that is to say to present bubbles and / or pores which result, on the seal terminated by a state of uneven face between the plate and the seal and, therefore, a risk of leakage.

Ce problème conduit généralement à ce que l'on main tient, dans le four, une pression d'un gaz inerte proche de la pression atmosphérique plutôt qu'un vide afin d'obtenir une meil leure herméticité et des propriétés mécaniques acceptables pour le joint. This problem generally leads to a pressure of an inert gas near the atmospheric pressure being maintained in the oven rather than a vacuum in order to obtain a better airtightness and acceptable mechanical properties for the gasket. .

Ainsi, dans le procédé classique, pour limiter les effets de ces problèmes tout en gardant la possibilité de fermer l'écran sous vide, on effectue nécessairement un double recuit. Lors de la première étape, la température de scellement du joint périphérique est atteinte sous atmosphère inerte et, en appli quant une pression suffisante sur les périphéries respectives des plaques, il est alors possible de former un joint étanche. Après retour à température ambiante, on vient positionner le capuchon 14. Puis, lors de la deuxième étape, on porte l'ensemble à la deuxième température en étant partiellement sous vide de façon à dégazer la structure et à en assurer la fermeture. Bien entendu, la température maximale de dégazage de l'écran ne pouvant être supérieure à la température de scellement du joint de fermeture 15. Lors de la deuxième étape, on voit également qu'il est néces saire de fermer rapidement l'écran pour que le joint fusible 15 de l'élément de fermeture 14 ne se mette pas lui-même à "buller". Thus, in the conventional method, to limit the effects of these problems while keeping the possibility of closing the screen under vacuum, a double annealing is necessarily performed. In the first step, the sealing temperature of the peripheral seal is reached under an inert atmosphere and, by applying a sufficient pressure on the respective peripheries of the plates, it is then possible to form a seal. After returning to ambient temperature, the cap 14 is then positioned. Then, during the second stage, the assembly is brought to the second temperature while being partially under vacuum so as to degas the structure and to ensure its closure. Of course, the maximum degassing temperature of the screen can not be greater than the sealing temperature of the closure seal 15. In the second step, it is also seen that it is necessary to quickly close the screen so that the fuse seal 15 of the closure element 14 does not itself start to "bubble".

Un inconvénient qui subsiste néanmoins dans ce procédé classique est que les getters qui sont généralement utilisés lors de la fermeture de l'écran sont souvent des getters activables thermiquement. De tels getters s'activent sous vide et à des températures généralement supérieures à 450 . Or, dans un procédé classique, la température d'activation du getter est limitée à une température inférieure à la température (relativement basse) de scellement du joint 15. Par conséquent, l'activation du getter n'est généralement pas complète ce qui conduit, pour une effica cité donnée, à devoir prévoir un volume de getter plus important. A disadvantage that nevertheless remains in this conventional method is that the getters that are generally used when closing the screen are often thermally activatable getters. Such getters are activated under vacuum and at temperatures generally above 450. However, in a conventional method, the activation temperature of the getter is limited to a temperature lower than the (relatively low) sealing temperature of the seal 15. Consequently, the activation of the getter is generally not complete which leads to , for a given efficiency, to have to provide a larger volume of getter.

La présente invention vise à proposer un nouveau pro cédé d'assemblage sous vide ou sous atmosphère neutre d'un écran plat de visualisation qui pallie les inconvénients des procédés classiques. The object of the present invention is to propose a new process for assembling a flat display screen under vacuum or in a neutral atmosphere, which overcomes the disadvantages of conventional methods.

L'invention vise, en particulier, à proposer un procédé qui permette de réduire la durée nécessaire à l'assemblage et à la fermeture des écrans. The invention aims, in particular, to provide a method that reduces the time required for the assembly and closure of the screens.

L'invention vise également à ce que le procédé soit particulièrement adapté à un traitement par lots d'écrans à assembler. The invention also aims at making the method particularly suitable for batch processing of screens to be assembled.

L'invention vise également à proposer un procédé qui soit compatible avec les structures classiques des écrans assem blés sous vide par les procédés connus et, notamment, qui permette l'utilisation d'un capuchon d'obturation d'un orifice plutôt que le recours à un tube de pompage. L'invention vise en outre à éviter une remise à l'air entre les scellements péri phérique et du capuchon. The invention also aims at providing a method that is compatible with the conventional structures of vacuum-assembled screens by known methods and, in particular, that allows the use of a closure cap of an orifice rather than the recourse to a pumping tube. The invention also aims to avoid a return to air between the peripheral seals and the cap.

Plus généralement, la présente invention vise à propo ser un nouveau procédé d'assemblage sous vide ou sous atmosphère neutre de deux plaques avec ménagement d'un espace interne isolé de l'extérieur. More generally, the present invention aims to propose a new method of assembling under vacuum or in a neutral atmosphere of two plates with care for an internal space isolated from the outside.

Pour atteindre ces objets, la présente invention pré voit un procédé d'assemblage, dans un four sous vide ou sous atmosphère neutre, de deux plaques parallèles avec ménagement d'un espace interne propre à être clos au moyen d'un élément de fermeture d'un orifice de taille réduite par rapport aux plaques. Ce procédé consiste, dans une première étape, à effectuer un scellement périphérique au moyen d'un premier joint, et, dans une deuxième étape, à fermer l'orifice au moyen de l'élément de fer meture avec interposition d'un deuxième joint. La première étape s'effectue à une première température, le premier joint étant en un matériau dévitrifiable thermiquement à une température infé rieure ou égale à la première température ; la deuxième étape s'effectue à une deuxième température supérieure à la première, le deuxième joint étant en un matériau dont la température de scellement est supérieure à la première température et inférieure ou égale à la deuxième température. To achieve these objects, the present invention provides a method of assembling, in a vacuum oven or in a neutral atmosphere, two parallel plates with care for an internal space to be closed by means of a closure element. an orifice of reduced size relative to the plates. This method consists, in a first step, to perform a peripheral seal by means of a first seal, and, in a second step, to close the orifice by means of the iron element meture with interposition of a second seal . The first step is carried out at a first temperature, the first seal being made of a thermally devitrifiable material at a temperature lower than or equal to the first temperature; the second step is performed at a second temperature greater than the first, the second seal being a material whose sealing temperature is greater than the first temperature and less than or equal to the second temperature.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, le deuxième joint est en un matériau non dévitrifiable. According to an embodiment of the present invention, the second seal is made of a non-devitrifiable material.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, le deuxième joint est en un matériau dévitrifiable dont la tempé rature de dévitrification est supérieure à celle du premier joint. According to an embodiment of the present invention, the second seal is made of a devitrifiable material whose devitrification temperature is greater than that of the first seal.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, ce procédé consiste à effectuer une étape intermédiaire de dégazage entre les première et deuxième étapes, cette étape de dégazage s'effectuant à une troisième température, comprise entre les première et deuxième températures et inférieure à la tempéra ture de scellement du deuxième joint. According to one embodiment of the present invention, this method consists in performing an intermediate degassing step between the first and second stages, this degassing step being carried out at a third temperature, between the first and second temperatures and below the first temperature. sealing temperature of the second seal.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'étape intermédiaire de dégazage s'effectue sous vide. According to one embodiment of the present invention, the intermediate degassing step is carried out under vacuum.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'orifice est dimensionné de sorte que le deuxième joint soit d'une taille nettement inférieure à celle du premier joint. According to one embodiment of the present invention, the orifice is dimensioned so that the second seal is of a size substantially smaller than that of the first seal.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, le matériau dévitrifiable présente des coefficients de dilatation thermique qui sont voisins de celui des plaques que ce soit dans un état vitreux ou dans un état dévitrifié. According to one embodiment of the present invention, the devitrifiable material has thermal expansion coefficients which are close to that of the plates whether in a vitreous state or in a devitrified state.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, au cours de la première étape, la structure est maintenue à la première température pendant une durée adaptée à la dévitrifica- tion du matériau du premier joint, l'ensemble étant à pression atmosphérique sous atmosphère neutre. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la deuxième étape de fermeture s'effectue sous vide. According to one embodiment of the present invention, during the first step, the structure is maintained at the first temperature for a period of time adapted to the devitrification of the material of the first seal, the assembly being at atmospheric pressure under a neutral atmosphere. . According to one embodiment of the present invention, the second closing step is carried out under vacuum.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, ce procédé consiste, préalablement à la première étape de scelle ment, à rapporter le premier joint de scellement sur une surface d'une première plaque ; à porter l'ensemble à une température permettant la densification du cordon de verre dévitrifiable ; à placer une surface de la deuxième plaque en regard du premier joint ; rapporter, autour de l'orifice de fermeture, le deuxième joint en regard de l'élément de fermeture ; et à placer l'ensemble ainsi constitué dans le four. According to an embodiment of the present invention, this method consists, prior to the first sealing step, of bringing back the first seal on a surface of a first plate; to bring the assembly to a temperature allowing densification of the devitrifiable glass bead; placing a surface of the second plate opposite the first seal; bringing about, around the closing orifice, the second seal facing the closure element; and placing the assembly thus formed in the oven.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, ce procédé consiste a/ dans la première étape de scellement, à faire le vide dans le four alors que la température croît tout en restant à une température inférieure à la température de dévitrifica- tion ; à introduire une atmosphère neutre à pression atmosphéri que dans le four ; et à porter l'ensemble à une température supérieure à la température de dévitrification du premier joint ; b/ dans l'étape intermédiaire de dégazage, à porter la température à une température supérieure à la première pendant une durée adaptée au dégazage de l'espace interne de l'écran ; et c/ dans la troisième étape de fermeture, à porter l'en semble à la deuxième température, jusqu'à atteindre une tempéra ture dépassant la température de scellement du deuxième joint. According to one embodiment of the present invention, this method consists of: in the first sealing step, evacuating the furnace while the temperature increases while remaining at a temperature below the devitrification temperature; introducing a neutral atmosphere at atmospheric pressure in the furnace; and to bring the assembly to a temperature greater than the devitrification temperature of the first seal; b / in the intermediate step of degassing, to bring the temperature to a temperature above the first for a period suitable for degassing the internal space of the screen; and c / in the third closing step, to bring it all to the second temperature, until reaching a temperature exceeding the sealing temperature of the second seal.

Selon un mode de réalisation de la présente invention, une pression mécanique est appliquée sur les plaques l'une vers l'autre pendant la première étape et/ou sur l'élément de ferme ture en direction de l'orifice pendant la troisième étape. According to one embodiment of the present invention, mechanical pressure is applied to the plates towards each other during the first step and / or on the closure member in the direction of the orifice during the third step.

Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles les figures 1 et 2 qui ont été décrites précédemment sont destinées à exposer l'état de la technique et le problème posé ; la figure 3 illustre schématiquement la caractéristique viscosité-ten-pérature d'un verre de scellement dévitrifiable ; la figure 4 illustre un mode de mise en oeuvre du pro cédé de l'invention par une caractéristique température- temps ; et les figures 5 et 6 représentent, partiellement et de façon très schématique, différents modes de réalisation d'un écran plat de visualisation adapté à la mise en oeuvre du procédé selon la présente invention. These and other objects, features, and advantages of the present invention will be set forth in detail in the following description of particular embodiments, which is non-limiting in connection with the accompanying drawings, of which FIGS. previously described are intended to expose the state of the art and the problem posed; FIG. 3 schematically illustrates the viscosity-temperature characteristic of a devitrifiable sealing glass; FIG. 4 illustrates one embodiment of the process of the invention by a temperature-time characteristic; and FIGS. 5 and 6 show, partially and very schematically, different embodiments of a flat display screen adapted to the implementation of the method according to the present invention.

Les mêmes éléments ont été désignés par les mêmes réfé rences aux différentes figures. Pour des raisons de clarté, les représentations des figures ne sont pas à l'échelle et seuls les éléments nécessaires à la compréhension de l'invention ont été représentés aux figures et seront décrits par la suite. The same elements have been designated by the same references in the different figures. For the sake of clarity, the representations of the figures are not to scale and only the elements necessary for understanding the invention have been shown in the figures and will be described later.

Une caractéristique de la présente invention est de prévoir, pour le scellement périphérique des plaques entre elles, l'emploi d'un cordon de verre fusible qui soit en un matériau dévitrifiable avec la température. A feature of the present invention is to provide, for the peripheral sealing of the plates together, the use of a fusible glass bead which is a material devitrifiable with temperature.

Une autre caractéristique de l'invention est de pré voir, dans un procédé de scellement comprenant une première étape d'assemblage des plaques entre elles et une deuxième étape d'obturation d'un orifice d'une des plaques pour isoler de façon étanche l'espace interne de l'écran de l'extérieur, une fermeture de l'écran par ramollissement d'un joint (par exemple, un cordon de verre) scellable à une température supérieure à la température utilisée lors de l'assemblage périphérique des plaques entre elles. Ainsi, selon l'invention, le cordon de scellement d'un élément de fermeture de l'orifice d'une des plaques est en un matériau dont la température de scellement est supérieure à la température de dévitrification du matériau utilisé pour le scel lement périphérique des plaques. La figure 3 illustre la caractéristique de la viscosité d'un verre dévitrifiable en fonction de la température. En figure 3, la viscosité a été indiquée en échelle logarithmique. Another feature of the invention is to provide, in a sealing method comprising a first step of assembling the plates together and a second step of closing an orifice of one of the plates to seal the liner. internal space of the screen from the outside, a closure of the screen by softening a seal (for example, a glass bead) sealable at a temperature higher than the temperature used during the peripheral assembly of the plates between them. Thus, according to the invention, the sealing bead of a closing element of the orifice of one of the plates is made of a material whose sealing temperature is greater than the devitrification temperature of the material used for the peripheral seal. plates. Figure 3 illustrates the characteristic of the viscosity of a devitrifiable glass as a function of temperature. In FIG. 3, the viscosity has been indicated in logarithmic scale.

Une caractéristique d'un verre dévitrifiable est que, jusqu'à une température Td donnée, le verre se comporte comme un matériau vitreux. Sa viscosité diminue (généralement rapidement) avec l'augmentation de la température. Dès que cette viscosité atteint une valeur basse ld (température Td) caractéristique du matériau, on assiste à la croissance d'une structure cristalline au sein de la matière vitreuse avec l'augmentation de la tempéra ture. Le verre se transforme alors de façon irréversible. Sa texture devient celle d'une céramique polycristalline dont les cristaux sont plus ou moins baignés par une phase vitreuse. La viscosité augmente alors fortement avec la température. Cette augmentation de viscosité irréversible conduit à ce qu'il n'est alors plus possible de déformer le joint. Par conséquent, on peut désormais envisager un traitement thermique ultérieur dont la température va au-delà de la température de scellement sans ris quer de provoquer un nouveau ramollissement du joint périphé rique. A characteristic of a devitrifiable glass is that, up to a given temperature Td, the glass behaves like a vitreous material. Its viscosity decreases (usually rapidly) with increasing temperature. As soon as this viscosity reaches a low value ld (temperature Td) characteristic of the material, the growth of a crystalline structure within the vitreous material increases with increasing temperature. The glass is then irreversibly transformed. Its texture becomes that of a polycrystalline ceramic whose crystals are more or less bathed by a vitreous phase. Viscosity increases strongly with temperature. This increase in irreversible viscosity leads to the fact that it is no longer possible to deform the seal. Consequently, it is now possible to envisage a subsequent heat treatment whose temperature goes beyond the sealing temperature without risking a further softening of the peripheral seal.

L'invention tire avantageusement profit d'un joint périphérique de verre dévitrifiable pour le rendre insensible aux traitements thermiques ultérieurs et, notamment, insensible à l'élévation en température ayant pour but de sceller l'élément de fermeture sur l'orifice de communication qui reste ouvert pendant la première étape de scellement périphérique. The invention advantageously takes advantage of a devitrifiable glass peripheral seal to make it insensitive to subsequent heat treatments and, in particular, insensitive to the temperature rise intended to seal the closure element on the communication orifice which remains open during the first peripheral sealing step.

La figure 4 illustre, par une caractéristique schéma- tique température-temps, un mode de mise en oeuvre préféré d'un procédé d'assemblage d'un écran plat de visualisation selon la présente invention. FIG. 4 illustrates, by a schematic temperature-time characteristic, a preferred embodiment of a method of assembling a flat display panel according to the present invention.

L'écran à assembler est placé dans un outillage adapté, par exemple, un outillage classique de façon à ce que les plaques (1, 4, figures 1 et 2) d'anode et de cathode/grille à assembler soient maintenues en pression l'une contre l'autre avec inter position périphérique d'un premier matériau de scellement dévi- trifiable. L'élément de fermeture, constituant le cas échéant un logement de réception d'un getter, est égaiement placé avec interposition d'un cordon de verre fusible (par exemple, non dévitrifiable) dont la température de scellement est choisie pour être nettement supérieure à la température de dévitrification du matériau du premier scellement périphérique. L'ensemble est mis en place dans un four classique dans lequel le vide est effectué pendant une première phase d'élévation de la température. Une fois qu'un vide correct est obtenu (instant t'0), le four est mis sous atmosphère neutre (par exemple d'argon ou d'azote) avant que la température ait atteint la température de dévitrification du premier matériau de scellement. Le cas échéant, le four est laissé sous vide. A l'instant t1 où la température atteinte est supérieure (ou égale) à la température de dévitrification du pre mier matériau de scellement, on effectue un palier stable en température d'une durée suffisante pour obtenir une dévitrifica- tion correcte du scellement (instants t1 à t2). The screen to be assembled is placed in a suitable tool, for example a conventional tool so that the plates (1, 4, 1 and 2) of the anode and the cathode / grid to be assembled are held in pressure. against each other with the peripheral position of a first releasable sealing material. The closure element, constituting if necessary a receiving housing of a getter, is also placed with the interposition of a fusible glass bead (for example, non-devitrifiable) whose sealing temperature is chosen to be significantly greater than the devitrification temperature of the material of the first peripheral seal. The assembly is set up in a conventional oven in which the vacuum is performed during a first phase of raising the temperature. Once a proper vacuum is obtained (time t'0), the oven is placed in a neutral atmosphere (for example argon or nitrogen) before the temperature has reached the devitrification temperature of the first sealing material. If necessary, the oven is left under vacuum. At time t1, when the temperature reached is greater (or equal) to the devitrification temperature of the first sealing material, a temperature stable step of sufficient duration is carried out to obtain a correct devitrification of the seal (times t1 to t2).

Le fait d'effectuer la dévitrification sous atmosphère neutre limite les risques de voir "buller" le joint périphérique de scellement, dans la mesure où on peut alors maintenir, dans l'enceinte du four, une pression de gaz proche de la pression atmosphérique sans toutefois que celle ci engendre des impuretés préjudiciables au fonctionnement ultérieur de l'écran. The fact of performing the devitrification in a neutral atmosphere limits the risks of "bubbling" the peripheral sealing gasket, insofar as it is then possible to maintain, within the enclosure of the furnace, a gas pressure close to atmospheric pressure without however, this creates impurities which are detrimental to the subsequent operation of the screen.

On augmente ensuite la température jusqu'à un deuxième palier (instants t3 à t4) pendant lequel on laisse l'écran (en particulier, la cathode et l'anode) dégazer. Pendant ce palier de dégazage, le four est remis sous vide de façon à favoriser ce dégazage par le pompage permanent. The temperature is then increased to a second stage (times t3 to t4) during which the screen (in particular the cathode and the anode) is allowed to degass. During this degassing stage, the furnace is re-evacuated so as to favor degassing by permanent pumping.

Un avantage de la présente invention est que l'écran peut être soumis à un dégazage sous une température nettement plus élevée que dans le procédé classique. En effet, comme la température peut être augmentée par rapport à la température de dévitrification du verre de scellement périphérique, la tempéra ture de la première étape ne constitue pas une barrière pour la température de dégazage. Or, la cathode et l'anode d'un écran à micropointes dégazent de façon exponentielle avec l'augmentation de la température. Par conséquent, en autorisant une température de dégazage plus élevée, on améliore la durée de vie de l'écran. An advantage of the present invention is that the screen can be degassed at a significantly higher temperature than in the conventional process. Indeed, since the temperature can be increased with respect to the devitrification temperature of the peripheral sealing glass, the temperature of the first step does not constitute a barrier for the degassing temperature. However, the cathode and anode of a microtip screen degassed exponentially with increasing temperature. Therefore, by allowing a higher degassing temperature, the life of the screen is improved.

Une fois le dégazage sous vide effectué, on augmente encore la température (instants t4 à t5) jusqu'à atteindre une température supérieure (ou égale) à la température de scellement du joint de scellement de l'élément de fermeture. Cette tempéra ture est maintenue pendant une durée (instants t5 à t6) suffi sante pour obtenir un scellement satisfaisant en fonction des caractéristiques du verre constitutif du joint de scellement. Once the vacuum degassing has been carried out, the temperature is further increased (times t4 to t5) until a temperature (greater than or equal to) the sealing temperature of the seal of the closure element is reached. This temperature is maintained for a time (times t5 to t6) sufficient to obtain a satisfactory seal according to the characteristics of the constituent glass of the seal.

Un autre avantage est qu'en prévoyant, pour le joint de l'élément de fermeture, un verre (par exemple, fusible) dont la température de scellement est supérieure à la température de dévitrification du joint périphérique, pour fermer définitivement l'écran par l'orifice de petites dimensions, on améliore considé rablement la durée du procédé d'assemblage, notamment, en évitant une ouverture du four pendant l'assemblage. En effet, la présente invention permet que tous les éléments à sceller entre eux (pla ques 1 et 4 et élément de fermeture autour de l'orifice 13) puis sent être positionnés lors de l'introduction de l'écran à assem bler dans le four. Comme le joint de scellement de l'élément de fermeture a une température de scellement nettement supérieure à la température de dévitrification et de dégazage, celui-ci peut être en place dès le début du procédé d'assemblage. Another advantage is that by providing, for the seal of the closure element, a glass (for example, a fuse) whose sealing temperature is greater than the devitrification temperature of the peripheral seal, to definitively close the screen by the orifice of small dimensions considerably improves the duration of the assembly process, in particular by avoiding an opening of the oven during assembly. Indeed, the present invention allows all the elements to be sealed together (plates 1 and 4 and closing element around the orifice 13) and then feel positioned when the screen to be assembled into the oven. Since the sealing ring of the closure element has a sealing temperature well above the devitrification and degassing temperature, it can be in place from the beginning of the assembly process.

De préférence, la descente en température qui suit la fermeture de l'écran ne s'effectue pas sous vide mais à nouveau sous atmosphère inerte. Ainsi, on limite les risques de voir "buller" le joint de scellement de l'élément de fermeture dans la mesure où l'écran peut alors se retrouver à pression atmosphéri que. A cet égard, on notera que la faible dimension de l'orifice donc du joint de fermeture par rapport au joint de scellement périphérique des plaques entre elles minimise déjà en soi les risques de défaut et de pollution apportés par un matériau vitreux. Comme il ressort de ce qui précède, le cycle de tempé ratures de l'assemblage d'un écran en mettant en oeuvre le pro cédé de l'invention réduit considérablement la durée du processus de fermeture ne serait-ce qu'en évitant les montées et descentes successives en température dans le cycle. Preferably, the temperature drop that follows the closing of the screen is not carried out under vacuum but again under an inert atmosphere. Thus, it limits the risk of "bubbling" the sealing ring of the closure element to the extent that the screen can then end up at atmospheric pressure. In this regard, it should be noted that the small size of the orifice of the closure joint with respect to the peripheral sealing joint of the plates between them already minimizes in itself the risk of defects and pollution brought by a vitreous material. As can be seen from the foregoing, the temperature cycle of the screen assembly by implementing the method of the invention considerably reduces the duration of the closing process even if only by avoiding the climbs. and successive descents in temperature in the cycle.

Selon un mode de mise en oeuvre préféré, lorsqu'un élé ment de piégeage d'impuretés (getter) doit être introduit dans l'espace sous vide de l'écran, ce getter est choisi pour être activable thermiquement à une température comprise entre la tem pérature du palier de dégazage et la température de fermeture de l'écran. Ainsi, le getter se trouve activé lors de la dernière étape de fermeture de l'écran qui est l'étape à la température la plus élevée. Par conséquent, par rapport au procédé classique où la température de fermeture de l'écran est inférieure à la tem pérature de scellement périphérique et où on ne peut alors pas dépasser cette température lors de l'activation du getter, la présente invention améliore l'activation des getters thermiques en autorisant des températures nettement supérieures. According to a preferred embodiment, when an impurity trapping element (getter) must be introduced into the vacuum space of the screen, this getter is chosen to be thermally activatable at a temperature between temperature of the degassing stage and the closing temperature of the screen. Thus, the getter is activated during the last step of closing the screen which is the step at the highest temperature. Therefore, compared to the conventional method where the screen closing temperature is lower than the peripheral seal temperature and where it can not then be exceeded when the getter is activated, the present invention improves the temperature of the screen. activation of thermal getters by allowing much higher temperatures.

Les caractéristiques que doit respecter le matériau dévitrifiable choisi pour le scellement périphérique sont les suivantes. The characteristics to be respected by the devitrifiable material chosen for the peripheral sealing are the following.

Ce matériau ne doit pas conserver l'état vitreux après refroidissement à température ambiante et doit adhérer suffisam ment aux deux plaques 1 et 4, c'est-à-dire ne doit pas se délami- ner des substrats. Un verre de scellement dévitrifiable se présente généralement sous la forme d'une poudre à mélanger à un véhiculant organique permettant l'obtention d'une pâte propre à être dispensée sur l'une des deux parties à assembler. This material should not retain the vitreous state after cooling to room temperature and should adhere sufficiently to both plates 1 and 4, i.e., should not delaminate substrates. A devitrifiable sealing glass is generally in the form of a powder to be mixed with an organic carrier to obtain a clean paste to be dispensed on one of the two parts to be assembled.

Lors du choix du matériau dévitrifiable, on veillera à tenir compte des coefficients de dilatation thermique du verre de scellement périphérique et des plaques de l'écran. En effet, plus l'écart entre les différents coefficients sera réduit plus les contraintes au refroidissement dans le joint et les verres d'anode et de cathode seront faibles. Pour le verre dévitrifia- ble, on devra tenir compte du coefficient de dilatation du maté- riau non seulement dans son état vitreux pour sa tenue mécanique après densification sur la plaque (par exemple, d'anode) sur laquelle il est déposé, mais également dans son état dévitrifié. En pratique, le coefficient (Lv) de dilatation thermique du joint périphérique dans son état vitreux est supérieur au coefficient (Ls) de dilatation thermique du verre constitutif des plaques de cathode et d'anode, lui-même supérieur au coefficient (Ld) de dilatation thermique du joint périphérique dans son état dévitri- fié (Lv > Ls > Ld). When choosing the devitrifiable material, care should be taken to account for the thermal expansion coefficients of the peripheral sealing glass and the screen plates. Indeed, the more the difference between the different coefficients will be reduced the more the cooling constraints in the joint and the anode and cathode glasses will be weak. For the devitrifiable glass, the coefficient of expansion of the material should be taken into account not only in its vitreous state for its mechanical strength after densification on the plate (for example, anode) on which it is deposited, but also in its devitrified state. In practice, the coefficient (Lv) of thermal expansion of the peripheral seal in its vitreous state is greater than the coefficient (Ls) of thermal expansion of the constituent glass of the cathode and anode plates, itself greater than the coefficient (Ld) of thermal expansion of the peripheral seal in its devitrified state (Lv> Ls> Ld).

Un telle relation permet d'optimiser le procédé et, en particulier, facilite la mise en place du cordon périphérique de verre dévitrifié. En effet, comme le matériau dévitrifiable se présente sous la forme d'une poudre, il peut être difficile de la mettre en place dans cet état entre les deux plaques à assembler. Par conséquent, un pré-traitement thermique est nécessaire pour densifier le cordon périphérique de matériau dévitrifiable et éliminer les polluants liés à son véhiculant organique, de préfé rence, sous balayage d'air. Ainsi, avant de placer les plaques en regard l'une de l'autre pour assemblage, une des plaques est sou mise à un traitement préalable permettant la mise en place du cordon de scellement périphérique. Such a relationship makes it possible to optimize the process and, in particular, facilitates the introduction of the devitrified glass peripheral bead. Indeed, since the devitrifiable material is in the form of a powder, it can be difficult to set up in this state between the two plates to be assembled. Therefore, thermal pretreatment is required to densify the peripheral bead of devitrifiable material and remove pollutants bound to its organic carrier, preferably, under air sweep. Thus, before placing the plates next to each other for assembly, one of the plates is subjected to prior treatment allowing the establishment of the peripheral sealing bead.

Avec des coefficients de dilatation thermique tels que ci-dessus, le cordon de verre de scellement est fortement en ten sion à l'issu du cycle thermique de dégazage de son véhiculant organique, et est fortement en compression une fois l'écran scellé. On notera que cela n'est pas gênant pour la durée de vie de l'écran dans la mesure où le matériau le plus fragile, entre la plaque et le verre de scellement, est le verre de scellement qui se trouve en compression entre les deux plaques, de sorte que la propagation d'éventuelles fissures est empêchée par la com pression. With thermal expansion coefficients as above, the sealing glass bead is strongly in tension at the end of the thermal cycle of degassing of its organic carrier, and is strongly in compression once the screen is sealed. Note that this is not a problem for the life of the screen insofar as the most fragile material, between the plate and the sealing glass, is the sealing glass which is in compression between the two. plates, so that the propagation of any cracks is prevented by compression.

on a pu déterminer expérimentalement qu'il était préfé rable d'avoir des écarts de coefficients de dilatation, respecti vement, entre le verre de scellement dans son état vitreux et les plaques, et entre les plaques et le verre de scellement dans son état dévitrifié, les plus faible possibles, de préférence infé rieurs à environ 20.10-7 C-1. It has been found experimentally that it is preferable to have differences in coefficients of expansion, respectively, between the sealing glass in its vitreous state and the plates, and between the plates and the sealing glass in its devitrified state. as low as possible, preferably less than about 20 × 10 -7 C-1.

On pourra utiliser, avec un substrat en verre Sodalime (de chez Nippon Soda Co, par exemple) de coefficient de dilata tion thermique voisin de 85.10-7 C-1, un joint de scellement périphérique dévitrifiable à 410-430 C de même coefficient de dilatation thermique (référence LS-7201 de Nippon Electric Glass, par exemple) pour le premier scellement, et un deuxième joint de scellement non dévitrifiable de température de scellement supé rieure pour le deuxième scellement (par exemple la référence 1417 de chez Corning Ferro, de température de scellement de 470 C et de coefficient de dilatation thermique voisin de 89.10-7 C-1). Using a Sodalime glass substrate (from Nippon Soda Co., for example) with a coefficient of thermal expansion in the region of 85 × 10 -7 C-1, it is possible to use a circumferential sealing seal which can be devitrified at 410 ° -430 ° C. with the same coefficient of thermal expansion (Nippon Electric Glass reference LS-7201, for example) for the first seal, and a second non-devitrifiable upper sealant sealing seal for the second seal (eg Corning Ferro reference 1417); sealing temperature of 470 C and thermal expansion coefficient close to 89.10-7 C-1).

On notera que la présente invention est particulière ment adaptée à un traitement par lot de plusieurs écrans dans un seul four, dans la mesure où tous les éléments peuvent être posi tionnés avant montée en température du four et qu'il n'est plus nécessaire d'ouvrir le four avant la fin de l'assemblage. It should be noted that the present invention is particularly suitable for batch processing of several screens in a single oven, since all the elements can be positioned before furnace temperature rise and it is no longer necessary to open the oven before the end of the assembly.

On notera également que l'invention peut être mise en oeuvre dans différentes structures d'écran et notamment, diffé rentes structures d'espace de réception d'éléments de piégeage d'impuretés. It will also be noted that the invention may be implemented in different screen structures and in particular different reception space structures of impurity trapping elements.

On notera également que la durée de l'étape de ferme ture peut être nettement inférieure à la durée du dégazage sui vant la dévitrification du verre du premier scellement. En effet, dans l'étape de fermeture, la faible quantité de verre fusible utilisée par rapport au verre dévitrifiable de l'étape de scelle ment périphérique évite une durée trop longue. De plus, le déga zage qui précède sert également au dégazage aux autres consti tuants de l'écran (anode, cathode/grille). It will also be noted that the duration of the closing step may be substantially less than the duration of degassing following the devitrification of the glass of the first seal. Indeed, in the closing step, the small amount of fusible glass used with respect to the devitrifiable glass of the peripheral sealing step avoids a too long duration. In addition, the dega zage above is also used for degassing other components of the screen (anode, cathode / grid).

On notera également que plusieurs orifices (13, figures 1 et 2) pourront être réalisés afin d'améliorer, en particulier pour des écrans de grandes tailles, le dégazage effectué lors de la première étape en répartissant les points de communication avec l'espace interne 6. Toutefois on veillera à ne pas engendrer par cette multiplication des orifices 13, un dégazage trop impor- tant lors de l'étape de fermeture. It will also be noted that several orifices (13, FIGS. 1 and 2) may be made in order to improve, especially for screens of large sizes, the degassing carried out during the first step by distributing the communication points with the internal space 6. However, care should be taken not to generate by this multiplication of the orifices 13, excessive degassing during the closing step.

La figure 5 est une vue partielle en coupe d'un écran assemblé selon la présente invention illustrant un deuxième mode de réalisation d'un élément de fermeture. Ce mode de réalisation est plus particulièrement destiné à un écran dans lequel le getter ne nécessite pas un volume de réception mais est réalisé sous la forme de couches minces à l'intérieur de l'espace vide 6. Selon ce mode de réalisation, une pastille 16, par exemple circu laire, est rapportée directement sur l'orifice 13 également cir culaire d'une des plaques. Figure 5 is a partial sectional view of an assembled screen according to the present invention illustrating a second embodiment of a closure member. This embodiment is more particularly intended for a screen in which the getter does not require a reception volume but is made in the form of thin layers inside the empty space 6. According to this embodiment, a tablet 16, for example circu lar, is reported directly on the orifice 13 also cir cular of one of the plates.

La figure 6 représente un troisième mode de réalisation d'un écran plat assemblé par la mise en oeuvre du procédé selon l'invention. Selon ce mode de réalisation, le getter 9 est logé dans un caisson s'étendant tout le long d'un côté de l'écran. Dans ce cas, une des plaques, par exemple la plaque 1 de cathode/grille 2, ne s'étend pas jusqu'au bord de l'autre plaque 4 et un caisson 17 de forme générale allongée repose, par l'ex trémité libre d'une première paroi longitudinale, sur la face interne de la plaque 4 (l'anode) et, par l'extrémité libre d'une deuxième paroi longitudinale, sur la face externe de la plaque 1. Le caisson 17 est assemblé en même temps que les plaques 1 et 4 sont scellées à leur périphérie lors de la première étape du procédé selon l'invention. Le caisson 17 présente un orifice de petite taille 13' destiné à être obturé lors de l'étape de fer meture du procédé selon l'invention au moyen d'une pastille 16 avec interposition d'un joint de verre fusible 15. FIG. 6 represents a third embodiment of a flat screen assembled by the implementation of the method according to the invention. According to this embodiment, the getter 9 is housed in a box extending all along one side of the screen. In this case, one of the plates, for example the cathode / grid plate 1, does not extend to the edge of the other plate 4 and a well 17 of generally elongated shape rests, by the free end a first longitudinal wall, on the inner face of the plate 4 (the anode) and, by the free end of a second longitudinal wall, on the outer face of the plate 1. The box 17 is assembled at the same time. time that the plates 1 and 4 are sealed at their periphery during the first step of the method according to the invention. The casing 17 has a small orifice 13 'intended to be closed during the iron step of the process according to the invention by means of a pellet 16 with the interposition of a fusible glass seal 15.

Un tel mode de réalisation offre un plus grand volume pour le getter 9. De plus, il présente l'avantage de ne pas nécessiter de perçage d'une des plaques 1 ou 4 et évite que des copeaux viennent endommager la cathode/grille 2 ou l'anode 3 lors de ce perçage. Such an embodiment offers a greater volume for the getter 9. In addition, it has the advantage of not requiring drilling of one of the plates 1 or 4 and prevents chips from damaging the cathode / gate 2 or the anode 3 during this drilling.

On notera que la fermeture d'un caisson au moyen d'une pastille peut également s'appliquer à un caisson tel que décrit en relation avec la figure 2. Dans ce cas (non représenté), le caisson est scellé à une plaque au cours de la première étape et une pastille de fermeture est rapportée au cours de la deuxième étape, sur un orifice supplémentaire formé dans le caisson. Note that the closure of a box by means of a pellet can also be applied to a box as described in connection with Figure 2. In this case (not shown), the box is sealed to a plate during of the first step and a closure pad is reported during the second step, on an additional hole formed in the box.

Bien entendu, la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, bien que la description qui précède ait été faite en relation avec un écran à micropointes, l'invention s'applique quel que soit le type d'écran plat à assembler au moyen d'un joint périphérique de scellement. Par ailleurs, le joint de scellement de l'élément de fermeture peut également être en un matériau dévitrifiable, pourvu que sa température de dévi- trification soit supérieure à celle du joint de scellement péri phérique des plaques. De plus, d'autres formes d'éléments de fer meture ou de caisson de logement d'un getter pourront être utili sés, pourvu que la quantité de matériau fusible ou dévitrifiable nécessaire à la fermeture de l'écran soit nettement inférieure à la quantité de matériau dévitrifiable de scellement des plaques entre elles, associées le cas échéant à un caisson allongé, et que la fermeture puisse s'effectuer à une température supérieure à la température de la première étape de scellement périphérique. En outre, le choix des matériaux à utiliser est à la portée de l'homme du métier à partir des indications données ci-dessus. De même, les températures de scellement et de dévitrification don nées ci-dessus ne constituent que des exemples particuliers de mise en oeuvre.Of course, the present invention is susceptible of various variations and modifications which will be apparent to those skilled in the art. In particular, although the above description has been made in connection with a microtip screen, the invention applies regardless of the type of flat screen to be assembled by means of a peripheral seal. Furthermore, the seal of the closure element may also be of a devitrifiable material, provided that its devi fi cation temperature is greater than that of the peripheral seal of the plates. In addition, other forms of iron elements or housing housing a getter can be used, provided that the amount of fuse or devitrifiable material required for closing the screen is significantly less than the amount of devitrifiable material for sealing plates together, associated where appropriate with an elongate box, and that the closure can be performed at a temperature above the temperature of the first peripheral sealing step. In addition, the choice of materials to be used is within the reach of those skilled in the art from the indications given above. Likewise, the sealing and devitrification temperatures given above are only particular examples of use.

Claims

1. A method of assembling two parallel plates (1, 4) in a furnace under vacuum or in a neutral atmosphere, with the provision of an internal space (6) which can be closed by means of a closure element ( 14, 16) of an orifice (13, 13 ') of reduced size relative to the plates, consisting in a first step, to perform a peripheral seal by means of a first seal (5), and in a second step, closing the orifice by means of the closure element with the interposition of a second seal (15), characterized in that the first step is carried out at a first temperature, the first seal being made of a thermally devitrifiable material at a first temperature; temperature lower than or equal to the first temperature, the second step being performed at a second temperature higher than the first temperature, the second seal being made of a material whose sealing temperature is higher than the first temperature and less than greater than or equal to the second temperature.

2. Method according to claim 1, characterized in that the second seal (15) is a non-devitrifiable material.

3. Method according to claim 1, characterized in that the second seal (15) is a devitrifiable material whose devitrification temperature is greater than that of the first seal (5).

4. Method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it consists in performing an intermediate step of degassing between the first and second stages, this degassing step being carried out at a third temperature, between first and second temperatures and below the sealing temperature of the second seal (15).

5. Method according to claim 4, characterized in that the intermediate step of degassing is carried out under vacuum.

6. Method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that said orifice (13, 13 ') is dimensioned so that the second seal (15) is of a size clearly less than that of the first seal (5).

7. Method according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the devitrifiable material has thermal expansion coefficients which are close to that of the plates (1, 4) whether in a glassy state or in a state devitrified.

8. Method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that, during the first step, the structure is maintained at the first temperature for a time suitable for the devitrification of the material of the first seal, the assembly being at atmospheric pressure under a neutral atmosphere.

9. Method according to any one of claims 1 to 8, characterized in that the second closing step is carried out under vacuum.

10. Method according to any one of claims 1 to 9, characterized in that it consists, prior to the first step of sealing - to bring the first seal (5) on a surface of a first plate ( 4); - to bring the assembly to a temperature allowing the densification of the devitrifiable glass bead; - placing a surface of the second plate (1) facing the first seal; - to bring about, around the closing orifice (13, 13 '), the second seal (15) facing the closure element (14, 16); and - to place the assembly thus formed in the oven.

11. Assembly method according to claim 10, characterized in that it consists of a / in the first step of sealing - to evacuate in the oven while the temperature increases while remaining at a temperature below the temperature devitrification; introducing a neutral atmosphere at atmospheric pressure into the oven; and - to bring the assembly to a temperature greater than the devitrification temperature of the first seal; b / in the intermediate step of degassing, to bring the temperature to a temperature above the first for a period suitable for degassing the internal space (6) of the screen; and c / in the third closing step, to bring it all to the second temperature, until reaching a temperature exceeding the sealing temperature of the second seal (15).

Method according to claim 11, characterized in that a mechanical pressure is applied on the plates (1, 4) towards each other during the first step and / or on the closure element (13, 13 ') towards the orifice during the third step.