FR2784753A1 - Capteur d'acceleration et dispositif de detection d'acceleration - Google Patents
Capteur d'acceleration et dispositif de detection d'acceleration Download PDFInfo
- Publication number
- FR2784753A1 FR2784753A1 FR9913007A FR9913007A FR2784753A1 FR 2784753 A1 FR2784753 A1 FR 2784753A1 FR 9913007 A FR9913007 A FR 9913007A FR 9913007 A FR9913007 A FR 9913007A FR 2784753 A1 FR2784753 A1 FR 2784753A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- acceleration
- signal output
- acceleration sensor
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 157
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 37
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 12
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
- G01P15/0922—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the bending or flexing mode type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Un capteur d'accélération (1) comporte un élément piézo-électrique (2) du type bande, des première et deuxième électrodes de sortie de signal (3, 4) respectivement formées sur deux surfaces principales en regard l'une de l'autre de l'élément piézo-électrique (2), et une électrode intermédiaire (5) formée à la position intermédiaire suivant la direction de liaison des deux surfaces principales de façon à faire face aux première et deuxième électrodes de sortie de signal (3, 4). L'élément piézo-électrique est soutenu, à ses deux extrémités, par des premier et deuxième éléments de support (8, 9). Une zone centrale de l'élément piézo-électrique est polarisée suivant la direction de l'épaisseur. Les première et deuxième électrodes de sortie de signal (3, 4) vont jusqu'à une première partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique, tandis que l'électrode intermédiaire (5) va jusqu'à la deuxième partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique.
Description
La présente invention concerne un capteur d'accélération ainsi qu'un
dispositif de détection d'accélération. Plus particulièrement, l'invention concerne un capteur d'accélération du type bimorphe piézo- électrique et un dispositif de
détection d'accélération utilisant ce capteur d'accélération.
Divers capteurs d'accélération utilisant un élément piézo-électrique du type bimorphe sont déjà connus. Par exemple, dans le brevet japonais publié sans examen n 6-324073, un capteur d'accélération 51, comme représenté sur la
figure 5, est décrit.
Dans le capteur d'accélération 51, des plaques piézo-électriques 52 et 53 sont utilisées. Les plaque piézo-électriques 52 et 53 sont de forme rectangulaire, et les parties centrales 52a et 53a vues suivant la direction longitudinale sont polarisées dans des directions opposées l'une à l'autre suivant la
direction de l'épaisseur, comme indiqué par les flèches.
De plus, des zones externes 52b et 52c, indiquées par des lignes en trait interrompu, sont polarisées, comme représenté par les flèches, suivant la
direction de l'épaisseur dans un sens opposé à celui de la zone centrale 52a.
De même, dans la plaque piézo-électrique 53, des zones externes 53b et 53c, disposées de part et d'autre de la zone centrale 53a et indiquées par des lignes en trait interrompu, sont polarisées, comme représenté par les flèches, dans la
direction de l'épaisseur en sens opposé à celui de la zone centrale 53a.
Par conséquent, la zone externe 52b et la zone externe 53b, ainsi que la zone externe 52c et la zone externe 53c, qui sont en regard l'une de l'autre respectivement, sont respectivement polarisées suivant la direction de l'épaisseur
dans des sens mutuellement opposés.
Sur chacune des faces principales externes des plaques piézo-électriques 52 et 53, sont respectivement formées des électrodes 54 et 55 de sortie de signal. De plus, au niveau de la partie o la plaque piézo-électrique 52 et la plaque piézo-électrique 53 en regard l'une de l'autre se réunissent et sont connectées, est formée une électrode intermédiaire 56. D'autre part, l'électrode 54 de sortie de signal va jusqu'à une extrémité de la plaque piézo-électrique 52, tandis que l'électrode de sortie de signal 55 va jusqu'à la partie d'extrémité située du côté
opposé à celle jusqu'o va l'électrode de sortie de signal 54.
Des éléments de support 57 et 58 sont respectivement réunis et
connectés aux côtés extérieurs des plaques piézo-électriques 52 et 53.
Les éléments de support 57 et 58 soutiennent les plaques piézoélectriques 52 et 53 au voisinage des deux extrémités des plaques. De plus, sur une surface d'extrémité des plaques piézo-électriques 52 et 53 et des éléments de support 57 et 58, est formée une électrode externe 59, qui est électriquement connectée à l'électrode de sortie de signal 55. De la même manière, sur la surface d'extrémité opposée au côté associé à l'électrode externe 59, une électrode externe (non représentée) est aussi formée, et cette électrode externe est électriquement
connectée à l'électrode de sortie de signal 54.
Dans le capteur d'accélération 51, lorsqu'une accélération s'exerce dans la direction de la flèche A, les plaques piézo-électriques 52, 53 s'incurvent et la charge électrique produite par cette flexion est délivrée par l'intermédiaire des électrodes 54 et 55, de sorte qu'on est en mesure de détecter l'accélération. Comme le capteur d'accélération 51 est constitué de telle manière que les plaques piézo- électriques 52 et 53 sont soutenues au voisinage des deux extrémités, la quantité de charge électrique devant être produite au moment o l'accélération s'exerce augmente et, de ce fait, même si le capteur d'accélération 51 a été réalisé sous une petite taille, il s'ensuit que la sensibilité de détection n'est pas susceptible
d'être abaissée.
Alors qu'il est possible de fabriquer le capteur d'accélération 51 sous une petite taille et d'améliorer la sensibilité de détection, la capacité existant entre les électrodes est faible et, par conséquent, il existe un problème en ce que l'accélération s'exerçant à des fréquences faibles est difficile à mesurer. On va
expliquer ceci de manière détaillée ci-après.
Lorsque l'accélération s'exerce dans le sens de la flèche A, les tensions produites et les capacités existant respectivement entre l'électrode de sortie de signal 54 et l'électrode intermédiaire 56, entre l'électrode intermédiaire 56 et l'électrode de sortie de signal 55 et entre la paire d'électrodes externes sont respectivement représentées par VI, V2, Vp, Ci, C2 et Cp, comme on peut voir sur
le tableau 1.
Tableau I
Entre les électrodes Tension produite Capacité Electrode de sortie de signal 54 VI Ci et électrode intermédiaire 56 Electrode intermédiaire 56 V2 C2 et électrode de sortie de signal 55 Paire d'électrodes externes Vp Cp Ici, si l'on suppose que l'épaisseur, la longueur et la largeur des plaques piézo-électriques 52 et 53 sont identiques, on obtient les relations VI = V2 et CI = C2. Par conséquent, lorsque VI et V2 sont respectivement représentés par V0, et que CI et C2 sont respectivement représentés par Co, puisque les plaques piézo-électriques 52 et 53 sont connectées en série, la tension Vp produite au moment o l'accélération s'exerce suivant la direction de la flèche A dans le capteur d'accélération 51 devient Vp = 2 V0, tandis que la capacité Cp devient
Cp = C0/2.
Lorsqu'on détecte une accélération en utilisant le capteur d'accélération 51 ci-dessus, puisque le capteur d'accélération 51 possède une impédance relativement élevée, l'usage courant est de faire appel à un amplificateur de tension ou un amplificateur de charge. La figure 6 est un schéma de circuit montrant un circuit de détection d'accélération dans lequel un semblable
amplificateur de tension est connecté.
Sur la figure 6, une résistance de fuite R est connectée en parallèle avec le capteur d'accélération 51. De plus, le côté de sortie du capteur d'accélération 51 est connecté à une borne d'entrée d'un dispositif suiveur de tension 60. De plus, la borne de sortie et l'autre borne de sortie du dispositif
suiveur de tension 60 sont connectées.
Dans le dispositif de détection d'accélération ci-dessus décrit, la relation suivante est établie: tension de sortie VOUT = tension d'entrée Vi appliquée à l'amplificateur = tension
produite Vp dans le capteur d'accélération.
La sortie du dispositif suiveur de tension 60 convertit la sortie à une
impédance suffisamment faible.
Toutefois, dans l'amplificateur opérationnel et le transistor à effet de champ constituant le dispositif suiveur de tension 60 ci-dessus décrit, par exemple, puisqu'il existe un courant de polarisation IB sortant de la borne d'entrée, la résistance de fuite R ci-dessus mentionnée est nécessaire. Ainsi, en l'absence de la résistance de fuite R, la capacité du capteur d'accélération 51 continue de se charger et la tension devient saturée. Par conséquent, la résistance de fuite R est nécessaire. Toutefois, la résistance de fuite R provoque une fuite de la charge électrique produite au niveau des plaques piézo-électriques 52 et 53. Ainsi, lorsque l'accélération varie lentement, ou bien lorsque l'accélération ne varie pas, la charge électrique fuit dans sa totalité avant qu'aucune tension Vp ne soit produite. Par conséquent, on ne peut obtenir aucune tension de détection prédéterminée. Ceci s'exprime au moyen d'une caractéristique de fréquence telle
que représentée sur la figure 7.
La figure 7 montre la relation entre la fréquence de l'accélération s'exerçant, au moment o on utilise le circuit de détection d'accélération ci-dessus mentionné, et la tension Vi devant être appliquée en entrée au dispositif suiveur de
tension 60.
Sur la figure 7, fc représente une fréquence de coupure. Ici, la fréquence de coupure est donnée par: fc = 1/(2nRCp) Ainsi, pour mesurer l'accélération aux fréquences inférieures à la fréquence de coupeur fc ci-dessus indiquée, il est nécessaire d'augmenter la résistance R et, ou bien, la capacité Cp. Toutefois, si on augmente la résistance R, la tension de décalage du dispositif suiveur de tension 60 augmente et, pour réduire la tension de décalage, il faut utiliser un amplificateur opérationnel ayant un plus petit courant de polarisation comme dispositif suiveur de tension, ce qui
entraîne une augmentation du coût.
De plus, même si l'on dispose d'un amplificateur opérationnel à tension de polarisation faible, lorsque, par exemple, on connecte une résistance de fuite R élevée, dépassant 10 MfI, des mesures sophistiquées relatives à la résistance à l'humidité sont nécessaires, concernant la carte de circuit imprimé à laquelle la résistance de fuite R est connectée. De ce fait, il apparaît diverses
limitations même si la valeur de la résistance de fuite R devait être augmentée.
D'autre part, la capacité Cp est déterminée par la configuration des plaques piézo-électriques 52 et 53 et par la constante diélectrique ú de la matière constituant les plaques piézo-électriques 52 et 53. Ainsi, la capacité Cp est donnée par: Cp = úW. L/T o W, L et T représentent respectivement la largeur, la longueur et l'épaisseur des
plaques piézo-électriques 52 et 53.
Toutefois, lorsqu'on réduit l'épaisseur T, la résistance mécanique diminue et, par conséquent, il existe une limite à l'amincissement possible de l'épaisseur T. Ainsi, jusqu'à aujourd'hui, pour augmenter la capacité Cp, il était nécessaire d'augmenter la largeur W et, ou bien, la longueur L. Toutefois, ce procédé conduit à des capteurs d'accélération 51 de dimensions externes plus
grandes et de coût supérieur.
En outre, lorsqu'on utilise un amplificateur de charge, comme représenté sur la figure 8, il est nécessaire de connecter en parallèle avec l'amplificateur opérationnel 61 une résistance de fuite R et une capacité C. Et, lorsqu'on mesurait l'accélération à des fréquences basses, il était nécessaire d'augmenter la résistance de fuite R et la capacité C ci-dessus mentionnées. Toutefois, puisque la tension de sortie Vour de l'amplificateur est donnée par VOUT = Qp/C, il n'était pas possible d'augmenter la capacité C au-delà d'un certain niveau pour obtenir une tension de sortie plus grande. Ici, Qp représente la charge électrique. Un autre capteur d'accélération connu est un capteur d'accélération, représenté sur la figure 9 sous le numéro de référence 71, qui comporte deux éléments piézo-électriques connectés en parallèle. Plus spécialement, dans le capteur d'accélération 71, deux plaques piézo-électriques 72 et 73, qui ont été
polarisées sur la direction de l'épaisseur, sont réunies au moyen d'un adhésif.
Sur la surface supérieure de la plaque piézo-électrique 72, est formée une
électrode 74 de sortie de signal, et, sur la surface inférieure de la plaque piézo-
électrique 73, est formée une électrode de sortie de signal 75. Sur la surface de réunion des plaques piézo-électriques 72 et 73, est formée une électrode
intermédiaire 76.
Ici, des motifs conducteurs 78 et 79 sont formés sur le substrat 77 sur lequel le capteur d'accélération 71 doit être monté. L'électrode de sortie de signal est connectée au motif conducteur 78. De la même manière, l'électrode de
sortie de signal 74 est connectée au motif conducteur 78 via un fil conducteur 80.
L'électrode intermédiaire 76 se prolonge d'entre les plaques piézoélectriques 72 et
73 et est connectée au motif conducteur 79 via un fil conducteur 81.
L'électrode de sortie de signal 75 est réunie et connectée au motif conducteur 78 au voisinage d'une extrémité du substrat. De cette manière,
le capteur d'accélération 71 est monté en porte-à-faux.
Dans le capteur d'accélération 71 ci-dessus mentionné, comme les éléments piézo-électriques utilisant les plaques piézo-électriques 72 et 73 sont connectés en parallèle, il est possible d'augmenter la capacité. Toutefois, puisque le capteur d'accélération 71 est monté en porte-àfaux, il existe un problème, comme exposé ci-dessus, en ce que la connexion électrique nécessaire pour obtenir un signal de la part des électrodes de sortie de signal 74 et 75 et de
l'électrode intermédiaire 76 devient très complexe et coûteuse.
De plus, dans le capteur d'accélération 71 ci-dessus décrit, en ajoutant davantage de condensateurs, on est en mesure d'augmenter la capacité. Un tel
circuit est représenté sur la figure 10.
Comme on peut le voir sur la figure 10, un condensateur Ca est connecté en parallèle avec le capteur d'accélération 71. Au niveau du dernier étage formé par le capteur d'accélération 71 et le condensateur Ca, une résistance de fuite R et un dispositif suiveur de tension 60 sont connectés de la même manière que sur la figure 6. Ici, lorsqu'on fixe la capacité du condensateur Ca. à une valeur trois fois supérieure à celle de la capacité Cp du capteur d'accélération 71, la fréquence de coupure devient fc = 1/(2n- R À 4Cp), ce qui réduit la fréquence de coupure fc d'un facteur 4. Toutefois, dans ce cas, la tension produite Vi devient la suivante:
Vj = Qp/(4Cp) = V0 Cp/(4 À Cp) = Vo/4.
Ainsi, la tension produite Vi est réduite d'un facteur 4.
Comme décrit ci-dessus, le capteur d'accélération classique 51 du type
connecté en série est constitué des plaques piézo-électriques 52 et 53 réunies.
Alors qu'on est en mesure de réaliser des capteurs d'accélération ayant une
sensibilité améliorée et une petite taille du fait que les plaques piézo-
électriques 52 et 53 sont montées au voisinage des deux extrémités des plaques, il existe un problème en ce que les capteurs d'accélération rencontrent des difficultés pour détecter une accélération aux basses fréquences et, lorsqu'on tente de détecter une accélération aux basses fréquences, on ne peut pas réaliser
économiquement des capteurs d'accélération d'une petite taille.
En outre, dans le capteur d'accélération classique 71 du type connecté en parallèle, comme le capteur est monté en porte-à-faux, il existe des problèmes, qui sont une médiocre résistance aux chocs mécaniques, une connexion électrique complexe pour l'obtention de signaux, et un coût élevé. En outre, lorsqu'on tente d'augmenter la capacité en connectant un condensateur externe Ca et de détecter une accélération aux basses fréquences, apparaît le problème selon lequel la
tension produite Vi est diminuée.
C'est un but de l'invention de produire un capteur d'accélération et un dispositif de détection d'accélération qui résolvent les problèmes cidessus mentionnés de la technique antérieure et permettent de réaliser le capteur d'accélération et le dispositif de détection d'accélération sous une petite taille, d'obtenir une capacité accrue, de pouvoir détecter l'accélération aux basses fréquences avec une précision élevée, et de disposer d'une sensibilité élevée
vis-à-vis de la charge.
Selon un premier aspect de l'invention, un capteur d'accélération comprend un élément piézo-électrique du type bande possédant des première et deuxième parties d'extrémités, des première et deuxième électrodes de sortie de signal formées sur une paire de surfaces principales tournées l'une vers l'autre de l'élément piézo-électrique, une électrode intermédiaire formée de manière à être en regard des première et deuxième électrodes de sortie de signal au niveau de la position intermédiaire se trouvant entre les deux surfaces principales de l'élément piézo-électrique, et des premier et deuxième éléments de support respectivement fixés aux première et deuxième surfaces principales de l'élément piézo-électrique de manière à prendre en sandwich et à soutenir l'élément piézo-électrique au niveau des deux extrémités, o l'élément piézo-électrique est polarisé, dans la zone centrale, suivant la direction de son épaisseur, et les première et deuxième électrodes de sortie de signal vont jusqu'à la première partie d'extrémité, tandis
que l'électrode intermédiaire va jusqu'à la deuxième partie d'extrémité.
Selon un deuxième aspect de l'invention, la polarisation est fournie, suivant la direction de l'épaisseur, à la zone centrale de l'élément piézo-électrique, et les deux zones externes entre lesquelles la zone centrale est placée suivant la direction de la longueur de l'élément piézo-électrique électrique sont polarisées, suivant la direction de l'épaisseur, dans un sens opposé au sens de polarisation de
la zone centrale.
Selon un troisième aspect de l'invention, l'élément piézo-électrique est constitué suivant une forme de bande et comporte une paire de plaques céramiques piézo-électriques. Une électrode de sortie de signal et une électrode intermédiaire sont formées respectivement sur les surfaces principales de chacune des plaques, et les électrodes formées sur les plaques sont réunies et connectées de
façon à être tournées l'une vers l'autre et à former l'électrode intermédiaire.
Selon un quatrième aspect de l'invention, l'élément piézo-électrique et les premier et deuxième éléments de support sont réunis et connectés afin de former un corps principal du capteur d'accélération, tandis que des première et deuxième électrodes externes sont formées sur les première et deuxième surfaces d'extrémités, sur les côtés des première et deuxième parties d'extrémités de
l'élément piézo-électrique du corps principal du capteur.
Selon un cinquième aspect de l'invention, un dispositif de détection d'accélération comprend le capteur d'accélération décrit ci-dessus, une résistance de fuite connectée électriquement en parallèle avec le capteur d'accélération, et un amplificateur servant à amplifier la tension existant aux bornes de la résistance de fuite. Selon un sixième aspect de l'invention, un dispositif de détection d'accélération comprend le capteur d'accélération décrit ci-dessus et un
amplificateur de charge connecté à la sortie du capteur d'accélération.
La description suivante, conçue à titre d'illustration de l'invention, vise
à donner une meilleure caractéristique de ses caractéristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels: la figure 1 est une vue en perspective d'un capteur d'accélération selon un mode de réalisation préféré de l'invention; la figure 2 représente une configuration de circuit d'un dispositif de détection d'accélération utilisant le capteur d'accélération du mode de réalisation préféré représenté sur la figure 1; la figure 3 est un schéma de circuit servant à expliquer le fonctionnement d'un dispositif de détection d'accélération qui comporte un amplificateur de charge connecté à l'étage de sortie du capteur d'accélération de la figure 1; la figure 4 est une vue en perspective montrant une variante du capteur d'accélération de la figure 1; la figure 5 est une vue en perspective montrant un exemple d'un capteur d'accélération classique; la figure 6 est un schéma de circuit d'un dispositif de détection d'accélération classique comprenant un capteur d'accélération classique auquel un amplificateur est connecté; la figure 7 est un schéma servant à expliquer la relation qui existe entre les fréquences de l'accélération agissante et la tension d'entrée appliquée à l'amplificateur dans un dispositif de détection d'accélération classique; la figure 8 est un schéma de circuit d'un dispositif de détection d'accélération comprenant un capteur d'accélération classique auquel un amplificateur de charge est connecté; la figure 9 est une vue en coupe servant à expliquer un capteur d'accélération classique du type à connexion en parallèle; et la figure 10 est un schéma de circuit d'un dispositif de détection d'accélération comprenant un capteur d'accélération classique auquel une résistance est connectée en parallèle afin de mesurer l'accélération aux basses fréquences. Sur la figure 1, est présentée une vue en perspective permettant d'expliquer un capteur d'accélération selon un mode de réalisation préféré de l'invention. Le capteur d'accélération I est constitué d'un élément piézo-électrique 2 du type bande. L'élément piézo-électrique 2 est constitué en céramique piézo-électrique, conmme par exemple en céramiques du système
zirconate/titanate de plomb.
Sur une surface principale de l'élément piézo-électrique 2, une première électrode de sortie de signal 3 est formée. Sur la surface principale opposée et faisant face à la surface principale sur laquelle est formée la première électrode 3 de sortie de signal, une deuxième électrode de sortie de signal 4 est formée. De plus, dans la position intermédiaire suivant la direction de l'épaisseur de l'élément piézo-électrique 2 (la direction de l'épaisseur est la direction s'étendant entre les surfaces principales), une électrode intermédiaire 5 est formée de façon à être en regard des première et deuxième électrodes de sortie de signal 3 et 4. La première électrode de sortie de signal 3 et l'électrode intermédiaire 5 sont en regard l'une de l'autre suivant la direction de l'épaisseur via un élément piézo-électrique 6, tandis que l'électrode intermédiaire 5 et la deuxième électrode de sortie de signal 4 sont en regard l'une de l'autre suivant la
direction de l'épaisseur via un élément piézo-électrique 7.
Les éléments piézo-électriques 6 et 7 sont constitués de plaques en céramique piézo-électrique cuite, qui sont réunies par collage via l'électrode intermédiaire 5, c'est-à-dire qu'elles sont réunies de façon à être en regard l'une de l'autre. Les plaques en céramique piézoélectrique, se trouvant sur des surfaces en regard l'une de l'autre, peuvent respectivement porter des électrodes qui sont
ensuite réunies pour former l'électrode intermédiaire 5.
Dans l'élément piézo-électrique 6, la zone centrale 6a est polarisée suivant la direction de l'épaisseur, comme indiqué par la flèche. D'autre part, les zones externes 6b et 6c se trouvant de part et d'autre de la zone centrale 6a de l'élément piézo-électrique 6 sont polarisées dans un sens opposé à celui de la zone
centrale 6a suivant la direction de l'épaisseur, comme indiqué par les flèches.
Dans l'élément piézo-électrique 7, comme indiqué par les flèches, la zone centrale 7a est polarisée dans le même sens que la zone centrale 6a de l'élément piézo-électrique 6, tandis que les zones externes 7b et 7c sont polarisées
dans le même sens que les zones 6b et 6c d'élément piézo-électrique.
De plus, les frontières entre les zones centrales 6a, 7a et les zones externes 6b, 6c, 7b, 7c sont indiquées par des lignes en trait interrompu sur la figure 1. Dans le présent mode de réalisation, les électrodes de sortie de signal 3 et 4 s'étendent jusqu'à une première partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique 2, et l'électrode intermédiaire 5 s'étend jusqu'à une deuxième partie d'extrémité qui est la partie d'extrémité placée à l'opposé de la première partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique 2. Ainsi, un module élémentaire piézo-électrique comprend l'élément piézo-électrique 6, l'électrode de sortie de signal 3 et l'électrode intermédiaire 5, et un autre module élémentaire piézo-électrique comprend l'élément piézo- électrique 7, l'électrode intermédiaire 5 et l'électrode de sortie de signal 4. Les modules élémentaires piézo-électriques
ainsi constitués sont connectés en parallèle.
De plus, pour soutenir l'élément piézo-électrique 2 au voisinage des deux extrémités, un premier élément de support 8 est fixé à la surface principale du côté o l'électrode de sortie de signal 3 de l'élément piézo-électrique 2 est formée. De la même manière, un deuxième élément de support 9 est fixé à la
surface principale du côté o l'électrode de sortie 4 de signal de l'élément piézo-
électrique 2 est formée.
Les éléments de support 8 et 9 sont fixés aux surfaces principales de l'élément piézo-électrique 2 au voisinage des deux extrémités de l'élément piézo-électrique 2. Les éléments de support 8 et 9 possèdent respectivement des parties 8a et 9a concaves, ou creuses. Les parties concaves 8a et 9a sont prévues pour permettre que les parties de l'élément piézo-électrique 2 placées entre les deux extrémités qui sont soutenues par les éléments de support se déplacent lorsqu'une accélération s'exerce dans la direction d'une flèche B. La matière constituant les éléments de support 8 et 9 ci-dessus mentionnés ne fait pas l'objet de limitations particulières, et les éléments peuvent être constitués par exemple en une matière appropriée telle qu'une céramique isolante, une résine synthétique, etc. De plus le corps principal de capteur 10 est constitué par fixation des éléments de support 8 et 9 à l'élément piézo-électrique 2. Sur une première surface d'extrémité de ce corps principal de capteur 10, une première électrode externe 1 1 est formée, et, sur une deuxième surface d'extrémité située en regard de la il
première surface d'extrémité, une deuxième électrode externe 12 est formée.
Ainsi, du côté de la première partie d'extrémité de l'élément piézoélectrique 2, est disposée la première surface d'extrémité et, par conséquent, les électrodes de
sortie de signal 3 et 4 sont électriquement connectées à l'électrode externe 11.
De même, la deuxième surface d'extrémité du corps principal de capteur 10 est disposée du côté de la deuxième partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique 2
et l'électrode externe 12 est électriquement connectée à l'électrode intermédiaire 5.
Dans le capteur d'accélération 1, lorsque l'accélération s'exerce dans le sens de la flèche B, c'est-à-dire suivant la direction de l'épaisseur de l'élément piézo-électrique 2, les parties de l'élément piézo- électrique 2 qui sont situées entre ses deux extrémités soutenues par les éléments de support 8 et 9 sont en mesure de se déplacer, et la charge électrique provoquée par le déplacement est extraite entre les électrodes de sortie de signal 3 et 4 et l'électrode intermédiaire 5. Dans ce cas, puisque le traitement de polarisation a été appliqué aux zones centrales 6a et 7a et aux zones externes 6b, 6c, 7b, 7c dans des sens mutuellement opposés, alors, du fait de la charge électrique provoquée par le déplacement de flexion de
l'élément piézo-électrique 2, une plus grande tension est produite.
Toutefois, comme on peut le voir sur la vue en perspective de la figure 4 montrant un exemple modifié, il n'est pas nécessaire de fournir aux éléments piézo-électriques 6 et 7 une polarisation telle que décrite cidessus, et la polarisation peut être fournie à toutes les zones des éléments piézo-électriques 6 et 7 dans le même sens, suivant la direction de l'épaisseur. Il est toutefois souhaitable de fournir une polarisation telle que représentée dans le mode de réalisation de la
figure 1, car la sensibilité de détection est alors accrue, comme décrit ci-dessus. Le capteur d'accélération 1 du présent mode de réalisation est en mesure
de détecter efficacement l'accélération aux basses fréquences, par comparaison avec le capteur d'accélération classique 5 1. Lorsque l'accélération s'exerce dans le sens de la flèche B, les tensions produites et les capacités existant respectivement entre l'électrode de sortie de signal 3 et l'électrode intermédiaire 5, entre l'électrode intermédiaire 5 et l'électrode de sortie de signal 4, et entre les première et deuxième électrodes externes 11 et 12 du capteur d'accélération 1 sont
respectivement représentées par VI, V2, Vp, CI, C2 et Cp.
Tableau 2
Entre les électrodes Tension produite Capacité Electrode de sortie de signal 3 VI CI et électrode intermédiaire 5 Electrode intermédiaire 5 V2 C2 et électrode de sortie de signal 4 Paire d'électrodes externes 11 et 12 Vp Cp On suppose ici que les éléments piézo-électriques 6 et 7 ont les mêmes dimensions, si bien que les relations suivantes sont établies: VI = V2, et C1 = C2 Ainsi, VI et V2 peuvent être remplacés par V0, tandis que Ci et C2 peuvent être remplacés par Co. Par conséquent, puisque les éléments piézo-électriques du capteur d'accélération sont connectés en parallèle, la tension produite Vp dans le capteur d'accélération 1 est: Vp = Vo et la capacité Cp est: Cp= 2C0 Ainsi, par comparaison avec le capteur d'accélération classique 51, représenté sur la figure 5, la tension produite est diminuée de moitié, mais la capacité est augmentée d'un facteur 4. De plus, la charge électrique produite Qp devient Qp= 2 V0 C0
Celle-ci est deux fois plus grande que dans le capteur d'accélération classique 51.
Ainsi, la sensibilité vis-à-vis de la charge électrique a été augmentée d'un facteur 2. Par conséquent, en utilisant le capteur d'accélération I selon l'invention, on peut avoir une capacité accrue et une sensibilité améliorée vis-à-vis de la charge électrique sans que les dimensions externes soient augmentées par rapport au capteur d'accélération classique 51. Plus spécialement, puisque la capacité est rendue quatre fois plus grande que celle du capteur d'accélération classique 51, on est en mesure de réduire la fréquence de coupure au quart de ce qu'elle était, et il est possible de détecter efficacement l'accélération aux basses fréquences. En outre, dans le capteur d'accélération 1, comme décrit ci-dessus, les éléments de support 8 et 9 du corps principal de capteur 10 sont fixés au voisinage des deux extrémités de l'élément piézo-électrique 2, et les électrodes externes 11 et 12 sont formées respectivement sur les première et deuxième surfaces d'extrémités situées en regard du corps principal de capteur 10. Ainsi, il s'est révélé possible de simplifier la configuration des électrodes conduisant à l'extérieur à partir des électrodes de sortie de signal 3 et 4 et de l'électrode
intermédiaire 5.
Dans le capteur d'accélération 1, alors que la tension produite Vp est réduite à la moitié de la valeur obtenue avec le capteur d'accélération classique 51, comme décrit ci-dessus, elle est toutefois doublée par comparaison avec l'exemple classique dans lequel on a augmenté la capacité en ajoutant un condensateur Ca, comme représenté sur la figure 10. Ainsi, il faut comprendre que la tension produite Vp est doublée par comparaison avec l'exemple classique auquel a été
ajouté un condensateur Ca pour mesurer l'accélération aux basses fréquences.
Ainsi, en réalisant des capteurs d'accélération d'une même taille, il est possible de détecter efficacement l'accélération aux basses fréquences par comparaison avec l'exemple classique, et il est évident qu'on pourra mesurer l'accélération aux basses fréquences, comme décrit ci-dessus, sans faire usage d'un
condensateur externe supplémentaire.
La figure 2 représente un schéma de circuit montrant un exemple d'un
dispositif de détection d'accélération qui utilise le capteur d'accélération 1.
Dans le dispositif de détection d'accélération du présent mode de réalisation, une résistance de fuite R est connectée en parallèle avec le capteur d'accélération 1. Ainsi, une électrode externe du capteur d'accélération 1 est connectée au potentiel de la masse électrique, et une extrémité de la résistance de fuite R est également connectée au potentiel de la masse électrique. L'autre extrémité de la résistance R est connectée à l'autre électrode externe du capteur
d'accélération 1, c'est-à-dire à l'électrode se trouvant du côté de sortie.
Les côtés de sortie du capteur d'accélération 1 et de la résistance R sont connectés en commun, comme décrit ci-dessus, et sont connectés à une borne d'entrée d'un amplificateur opérationnel 21. Une résistance RI est connectée entre l'autre borne d'entrée de l'amplificateur opérationnel 21 et le potentiel de la masse électrique. Un point de connexion 22 se trouve entre la résistance RI et l'autre borne d'entrée de l'amplificateur opérationnel 21. Une résistance R2 est connectée
entre le point de connexion 22 et la sortie de l'amplificateur opérationnel 21.
De cette manière, est obtenu un amplificateur à réaction positive.
Dans le dispositif de détection d'accélération du présent mode de réalisation, l'accélération aux basses fréquences est susceptible d'être détectée efficacement, comme décrit ci-dessus. Dans la configuration du circuit ci-dessus mentionné, si l'on suppose que: (Rl + R2)/R! = K la tension de sortie VOUTr du dispositif de détection d'accélération devient: VoUT = Vp K = Vo K De plus, la fréquence de coupure fó devient: fc = 1/(2tCp À R) = 1/{2(2nCo À R)} = 1/(4tC0o R)
En outre, on peut ici utiliser un dispositif suiveur de tension pour lequel K = 1.
De plus, la tension de décalage Voff apparaissant sur la borne de sortie de l'amplificateur opérationnel 21 du fait d'un courant de polarisation iB devient: Voff = R À iB À K Ainsi, le facteur K de l'amplificateur et la valeur de la résistance de fuite R affectent l'un et l'autre la tension de sortie VOUT, la fréquence de coupure fc et la tension de décalage Voff. Par exemple, lorsqu'on augmente la valeur de la résistance de fuite R pour augmenter le facteur K de l'amplificateur ou diminuer la fréquence de coupure fc, la tension de décalage Voff augmente. Par conséquent les constantes du circuit sont de façon générale fixées de manière à donner de l'importance aux caractéristiques les plus essentielles et à réaliser une cohérence totale. On va maintenant comparer le dispositif de détection d'accélération ci-dessus décrit avec le dispositif de détection d'accélération classique de la figure 10. Ici, on a fixé le facteur K et la valeur de la résistance R de façon que la tension de sortie et la fréquence de coupure soient les mêmes que celles du mode de réalisation ci-dessus décrit, puis on a déterminé la tension de décalage Voff pour
l'exemple classique.
Dans l'exemple classique, K peut être réduit de moitié, du fait que VoUT = Vp - K = 2V0 À K. De plus, puisque la fréquence de coupure est telle que fc = 1/(2n À Cp R) = 1/{2' (Cdo/2) À R} = 1/(x À Co À R), pour obtenir la même fréquence de coupure fc = 1/(4n * Co - R), il faut que la valeur de la résistance soit
quatre fois plus grande.
Ainsi, la tension de décalage devient: Voff = (4R iB À K/2) = 2(R ' iB À K) Par conséquent, lorsqu'on compare avec le mode de réalisation cidessus, on voit que la tension de décalage de l'exemple classique, soit Voff, est deux fois plus grande. De plus, dans la comparaison effectuée ci-dessus, alors que l'on a considéré la tension de décalage Voff, ceci ne constitue qu'un exemple. Même si on commence par fixer préférentiellement les deux autres constantes dans l'exemple
classique, alors la constante restante se dégradera.
De plus, comme représenté sur la figure 2, on réalise le dispositif de détection d'accélération en utilisant un amplificateur pour amplifier la tension aux bornes de la résistance de fuite R, mais, comme représenté sur la figure 3, il est possible de réaliser le dispositif de détection d'accélération en utilisant un amplificateur de charge électrique. Ici, la sortie du capteur d'accélération I est connectée à une borne de l'amplificateur opérationnel 31 faisant fonction d'amplificateur de charge électrique. L'autre borne d'entrée de l'amplificateur opérationnel 31 est connectée au potentiel de la masse électrique. De plus, une résistance R et un condensateur C sont connectés en parallèle entre une borne d'entrée de l'amplificateur opérationnel 31, à savoir la borne d'entrée se trouvant du côté connecté au capteur d'accélération 1, et la borne de sortie de
l'amplificateur opérationnel 31.
Dans le dispositif de détection d'accélération représenté sur la figure 3, puisque la charge électrique produite par le capteur d'accélération I est deux fois plus grande que celle de l'exemple classique, la tension de sortie de l'amplificateur
électrique est doublée.
Selon l'invention, sur une paire de surfaces principales en regard l'une de l'autre, est formé un élément piézo-électrique du type bande comprenant des première et deuxième électrodes de sortie de signal; à la position intermédiaire, suivant la direction de liaison des deux surfaces principales de l'élément piézo-électrique, une électrode intermédiaire est formée de façon à être en regard avec les première et deuxième électrodes de sortie de signal; l'élément piézo-électrique est soutenu au niveau de ses deux extrémités par des premier et deuxième éléments de support; les première et deuxième électrodes de sortie de signal s'étendent jusqu'à une première partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique; et l'électrode intermédiaire s'étend jusqu'à la deuxième partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique. Ainsi, lorsqu'une accélération s'exerce sur l'élément piézo-électrique, la tension provoquée par la charge électrique créée est extraite entre les première et deuxième électrodes de sortie et l'électrode intermédiaire. Puisque les éléments piézo-électriques disposés des deux côtés de l'électrode intermédiaire sont connectés en parallèle, la capacité du capteur d'accélération augmente. De ce fait, on est en mesure de mesurer avec précision l'accélération aux basses fréquences sans que ceci empêche que le capteur d'accélération soit fabriqué sous une petite taille, et, dans le même temps,
la sensibilité vis-à-vis de la charge n'est pas sensiblement abaissée.
En outre, puisque les première et deuxième électrodes de sortie de signal s'étendent jusqu'à la première partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique et que l'électrode intermédiaire s'étend jusqu'à la deuxième partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique, la connexion électrique avec le circuit
externe est aisée.
Selon l'invention, puisque la polarisation est fournie à la zone centrale d'un élément piézo-électrique suivant la direction de l'épaisseur et que les deux zones externes entre lesquelles se trouve la zone centrale suivant la direction de la longueur de l'élément piézo- électrique sont polarisées dans le sens opposé à celui de la zone centrale, on peut extraire efficacement la tension due à la charge électrique produite par l'action de l'accélération pour mesurer l'accélération aux
basses fréquences avec une précision élevée.
Selon l'invention, un élément piézo-électrique est fait suivant une forme du type bande et comprend une paire de plaques céramiques piézoélectriques. Une électrode de sortie de signal et une électrode supplémentaire sont formées respectivement sur les surfaces principales de chacune des plaques et les électrodes supplémentaires sont elles- mêmes réunies et connectées de façon à être mutuellement en regard et à former l'électrode intermédiaire. Les plaques céramiques piézo- électriques cuites sont collées au moyen d'un adhésif conducteur ou d'un adhésif isolant mince afin de permettre la conduction de l'électricité. Par conséquent, l'élément piézo-électrique ci-dessus
mentionné selon l'invention peut être réalisé facilement.
Selon l'invention, le corps principal d'un capteur d'accélération comprend un élément piézo-électrique et des premier et deuxième éléments de support respectivement réunis et connectés à celui-ci. Puisque des première et deuxième électrodes externes sont formées sur les première et deuxième surfaces d'extrémités, sur les côtés des première et deuxième parties d'extrémités de l'élément piézo-électrique du corps principal du capteur, on peut facilement prélever sur les première et deuxième électrodes externes la tension de sortie au moment o l'accélération s'exerce, et, de plus, on réalise aisément la connexion
électrique avec le circuit externe.
Dans un dispositif de détection d'accélération selon l'invention, puisqu'il est prévu une résistance de fuite électriquement connectée en parallèle avec le capteur d'accélération et un amplificateur servant à amplifier la tension existant aux bornes de la résistance de fuite, on peut mesurer l'accélération aux basses fréquences avec une précision élevée. En ajustant la valeur de la résistance de fuite et le facteur d'amplification de l'amplificateur, on peut ajuster sur une
valeur voulue la fréquence de coupure.
De plus, selon l'invention, on peut connecter un amplificateur de charge à l'étage de sortie d'un capteur d'accélération afin d'obtenir une tension de
sortie plus élevée.
Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer, à partir des
dispositifs dont la description vient d'être donnée à titre simplement illustratif et
nullement limitatif, diverses variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention.
Claims (12)
1. Capteur d'accélération (1), caractérisé en ce qu'il comprend: un élément piézo-électrique (2) du type bande, possédant des première et deuxième parties d'extrémités; des première et deuxième électrodes de sortie de signal (3, 4) formées respectivement sur une paire de surfaces principales, en regard l'une de l'autre, de l'élément piézo-électrique; une électrode intermédiaire (5) formée à la partie intermédiaire située entre les deux surfaces principales de l'élément piézo-électrique (2) de manière à se trouver en regard avec les première et deuxième électrode de sortie de signal (3, 4); et des premier et deuxième éléments de support (8, 9) fixés aux première et deuxième surfaces principales de l'élément piézo-électrique (2) de manière à prendre en sandwich et à soutenir l'élément piézo-électrique au niveau de ses deux extrémités; et o l'élément piézo-électrique (2) est polarisé, suivant la direction de l'épaisseur, au niveau de sa zone centrale (6a, 7a); les première et deuxième électrodes de sortie de signal (3, 4) s'étendent jusqu'à la première partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique (2); et l'électrode intermédiaire (5) s'étend jusqu'à la deuxième partie
d'extrémité de l'élément piézo-électrique (2).
2. Capteur d'accélération selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément piézo-électrique (2) comporte des zones externes (6b, 6c, 7b, 7c) entre lesquelles une zone centrale (6a, 7a) est placée suivant la direction de la longueur de l'élément piézo-électrique et en ce que les zones externes (6b, 6c, 7b, 7c) et les zones centrales (6a, 7a) sont polarisées suivant la direction de l'épaisseur de l'élément piézoélectrique, les zones externes étant polarisées
dans le sens opposé au sens de polarisation de la zone centrale.
3. Capteur d'accélération selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'élément piézo-électrique (2) possède une forme du type bande et comprend une paire de plaques céramiques piézo-électriques (6, 7), les électrodes de sortie de signal (3, 4) et des électrodes supplémentaires étant formées sur les faces principales de chacune des plaques, respectivement, les électrodes supplémentaires de chaque plaque étant réunies et connectées de façon à se
trouver en regard l'une de l'autre et à former l'électrode intermédiaire (5).
4. Capteur d'accélération selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que l'élément piézo-électrique (2) et les premier et deuxième éléments de support (8, 9) forment un corps principal (10), et des première et deuxième électrodes externes (11, 12) sont respectivement formées sur des première et deuxième surfaces d'extrémités, se trouvant sur les première et deuxième parties
d'extrémités de l'élément piézo-électrique du corps principal (10).
5. Capteur d'accélération selon la revendication 4, caractérisé en ce que les premier et deuxième éléments de support (8, 9) possèdent des parties creuses respectivement adjacentes aux première et deuxième surfaces principales
de l'élément piézo-électrique.
6. Dispositif de détection d'accélération, caractérisé en ce qu'il comprend: un élément piézo-électrique (2) du type bande, possédant des première et deuxième parties d'extrémités; des première et deuxième électrodes de sortie de signal (3, 4) formées sur une paire de surfaces principales, en regard l'une de l'autre, de l'élément piézo- électrique (2); une électrode intermédiaire (5) formée à la position intermédiaire se trouvant entre les deux surfaces principales de l'élément piézo-électrique, et de façon à être en regard des première et deuxième électrodes de sortie de signal
(3, 4);
des premier et deuxième éléments de support (8, 9) respectivement fixés aux première et deuxième surfaces principales de l'élément piézo-électrique (2) de façon à prendre en sandwich et à soutenir l'élément piézo-électrique au niveau de ses deux extrémités; une résistance de fuite (R) électriquement connectée en parallèle avec le capteur d'accélération (1), lequel est constitué par l'élément piézoélectrique (2), les électrodes de sortie de signal (3, 4), l'électrode intermédiaire (5) et les éléments de support (8, 9); et un amplificateur (21) servant à amplifier la tension existant aux bornes de la résistance de fuite (R); o l'élément piézo-électrique (2) est polarisé suivant la direction de l'épaisseur dans la zone centrale (6a, 7a) de l'élément piézo-électrique; les première et deuxième électrodes de sortie de signal (3, 4) s'étendent jusqu'à la première partie d'extrémité de l'élément piézo-électrique; l'électrode intermédiaire (5) s'étend jusqu'à la deuxième partie
d'extrémité de l'élément piézo-électrique.
7. Dispositif de détection d'accélération selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend: un amplificateur de charge (31) connecté à la sortie du capteur
d'accélération (1).
8. Dispositif de détection d'accélération selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'élément piézo-électrique (2) possède des zones externes (6b, 6c, 7b, 7c) entre lesquelles se trouve une zone centrale (6a, 7a) suivant la direction de la longueur de l'élément piézoélectrique (2), et o les zones externes et les zones centrales sont polarisées suivant la direction de l'épaisseur de l'élément piézoélectrique, les zones externes étant polarisées dans un sens opposé
au sens de polarisation de la zone centrale.
9. Dispositif de détection d'accélération selon l'une quelconque des
revendications 6 à 8, o l'élément piézo-électrique (2) possède une forme du type
bande et comprend une paire de plaques céramiques piézo-électriques (6, 7), les électrodes de sortie de signal (3, 4) et des électrodes supplémentaires étant formées respectivement sur les surfaces principales de chacune des plaques, les électrodes supplémentaires de chaque plaque étant réunies et connectées de
façon à être en regard l'une de l'autre et à former l'électrode intermédiaire (5).
10. Dispositif de détection d'accélération selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'élément piézo-électrique (2) et les premier et deuxième éléments de support (8, 9) forment un corps principal (10), et des première et deuxième électrode externes (11, 12) sont formées respectivement sur des première et deuxième surfaces d'extrémités, se trouvant sur les première et
deuxième parties d'extrémités de l'élément piézo-électrique (2) du corps prin-
cipal (10).
I l. Dispositif de détection d'accélération selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'une des deux plaques céramiques piézo- électriques (6, 7)
est connectée en parallèle avec l'autre.
12. Dispositif de détection d'accélération selon la revendication 10, caractérisé en ce que le sens de polarisation de la zone centrale (6a) d'une plaque céramique piézo-électrique (6) est identique à celui de la zone centrale (7a) de l'autre plaque (7), tandis que le sens de polarisation des deux zones externes (6b, 6c) d'une plaque (6) est le même que celui des deux zones externes (7b, 7c)
de l'autre plaque (7).
13. Dispositif de détection d'accélération selon la revendication 12, caractérisé en ce que les premier et deuxième éléments de support (8, 9) possèdent des parties creuses respectives qui sont respectivement adjacentes aux première et
deuxième surfaces principales de l'élément piézo-électrique (2).
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29714698A JP3339425B2 (ja) | 1998-10-19 | 1998-10-19 | 加速度センサ及び加速度検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2784753A1 true FR2784753A1 (fr) | 2000-04-21 |
| FR2784753B1 FR2784753B1 (fr) | 2005-04-01 |
Family
ID=17842805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR9913007A Expired - Lifetime FR2784753B1 (fr) | 1998-10-19 | 1999-10-19 | Capteur d'acceleration et dispositif de detection d'acceleration |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6360603B1 (fr) |
| JP (1) | JP3339425B2 (fr) |
| DE (1) | DE19950355C2 (fr) |
| FR (1) | FR2784753B1 (fr) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2836552A1 (fr) * | 2002-02-28 | 2003-08-29 | Murata Manufacturing Co | Capteur d'acceleration |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3574898B2 (ja) | 2001-01-12 | 2004-10-06 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサおよびその製造方法 |
| JP3642026B2 (ja) | 2001-01-12 | 2005-04-27 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサおよびその製造方法 |
| US7275412B2 (en) | 2001-08-09 | 2007-10-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Drop shock measurement system and acceleration sensor element used in the same |
| TW546477B (en) | 2001-08-09 | 2003-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Drop impact determination system and acceleration sensing element used in the drop impact determination system |
| JP3966025B2 (ja) | 2002-03-05 | 2007-08-29 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
| JP4190208B2 (ja) * | 2002-05-21 | 2008-12-03 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
| CN102576036A (zh) * | 2009-10-07 | 2012-07-11 | Nec东金株式会社 | 压电式加速度传感器 |
| CN106575698B (zh) | 2014-08-18 | 2020-05-01 | 株式会社村田制作所 | 压电传感器以及弯曲检测传感器 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59101997A (ja) * | 1982-12-02 | 1984-06-12 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 圧電形加速度ピツクアツプ出力信号の増幅回路 |
| JPH0727784A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
| US5523642A (en) * | 1992-09-28 | 1996-06-04 | Sanyo Electric Co., Ltd. | External force measuring system and component mounting apparatus equipped with same |
| DE19735155A1 (de) * | 1996-08-13 | 1998-02-26 | Murata Manufacturing Co | Beschleunigungssensor |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0616222B1 (fr) * | 1993-03-19 | 1997-05-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Capteur d'accélération |
| JP3114480B2 (ja) * | 1993-03-19 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
| US5447051A (en) * | 1993-08-05 | 1995-09-05 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for testing a piezoelectric force sensor |
| JP3373032B2 (ja) * | 1994-03-15 | 2003-02-04 | 富士通株式会社 | 加速度センサ |
| EP0768532B1 (fr) * | 1995-10-09 | 2003-04-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Accéléromètre et méthode pour sa fabrication; détecteur de choc l'utilisant |
| US5677487A (en) * | 1995-10-13 | 1997-10-14 | A/S Bruel & Kjaer | Method and apparatus for measuring acceleration or mechanical forces |
| KR0165517B1 (ko) * | 1996-03-07 | 1999-05-01 | 김광호 | 진동 검출 센서 |
| US6050144A (en) * | 1997-06-04 | 2000-04-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor |
-
1998
- 1998-10-19 JP JP29714698A patent/JP3339425B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-10-04 US US09/411,022 patent/US6360603B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-10-19 FR FR9913007A patent/FR2784753B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1999-10-19 DE DE19950355A patent/DE19950355C2/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59101997A (ja) * | 1982-12-02 | 1984-06-12 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 圧電形加速度ピツクアツプ出力信号の増幅回路 |
| US5523642A (en) * | 1992-09-28 | 1996-06-04 | Sanyo Electric Co., Ltd. | External force measuring system and component mounting apparatus equipped with same |
| JPH0727784A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
| DE19735155A1 (de) * | 1996-08-13 | 1998-02-26 | Murata Manufacturing Co | Beschleunigungssensor |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 008, no. 217 (E - 270) 4 October 1984 (1984-10-04) * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1995, no. 04 31 May 1995 (1995-05-31) * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2836552A1 (fr) * | 2002-02-28 | 2003-08-29 | Murata Manufacturing Co | Capteur d'acceleration |
| US6810740B2 (en) | 2002-02-28 | 2004-11-02 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Acceleration sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19950355A1 (de) | 2000-05-04 |
| DE19950355C2 (de) | 2003-02-20 |
| FR2784753B1 (fr) | 2005-04-01 |
| JP2000121661A (ja) | 2000-04-28 |
| US6360603B1 (en) | 2002-03-26 |
| JP3339425B2 (ja) | 2002-10-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1012609B1 (fr) | Dispositif de mesure, a large bande passante, de l'intensite du courant electrique dans un conducteur | |
| FR2509048A1 (fr) | Dispositif transducteur de pression capacitif a caracteristique lineaire | |
| FR2979991A1 (fr) | Capteur de pression piezoelectrique | |
| EP2800957B1 (fr) | Capteur de temperature capacitif comprenant deux condensateurs en pont diviseur de tension | |
| CH644204A5 (fr) | Dispositif de mesure de microdeplacement, du type sans contact. | |
| FR2940457A1 (fr) | Dispositif diviseur capacitif, capteur de tension, module de declencheur et appareil de protection electrique pourvus d'un tel dispositif | |
| FR2784753A1 (fr) | Capteur d'acceleration et dispositif de detection d'acceleration | |
| FR2532047A1 (fr) | Capteur de mesure muni d'un resonateur piezo-electrique compense en temperature | |
| EP1726021A1 (fr) | Composants supraconducteurs en couches minces a inductance accordable procede de realisation et dispositifs incluant de tels composants | |
| FR2547126A1 (fr) | Circuit convertiseur de tension en courant | |
| EP0510061A1 (fr) | Dispositif de mesure des variations de la capacite d'un condensateur formant, notamment, un capteur. | |
| EP2202838B1 (fr) | Condensateur commuté compact mems | |
| EP2156201A2 (fr) | Système d'émission d'impulsion électrique et dispositif de découplage capacitif pour un tel système | |
| FR2877513A1 (fr) | Commutateur analogique a circulation externe tres limitee de courant de fuite et filtre a capacites commutees comportant le commutateur analogique | |
| FR2852166A1 (fr) | Filtre passe-bas a condensateurs commutes et dispositif de capteur de pression a semiconducteurs incorporant ce filtre | |
| WO2004075247A2 (fr) | Composants electroniques comportant des condensateurs micro electromecaniques a capacite ajustable. | |
| EP2131494A1 (fr) | Circuit à capacités commutées à consommation réduite | |
| FR2473811A1 (fr) | Dispositif a onde acoustique de surface | |
| FR2646525A1 (fr) | Appareil de commutation a commande photonique | |
| CH630178A5 (fr) | Circuit de mesure de difference de capacite. | |
| EP0910002A1 (fr) | Moyens pour fournir un courant de grande précision | |
| FR2836552A1 (fr) | Capteur d'acceleration | |
| FR2478906A1 (fr) | Gyrateur a un seul amplificateur | |
| EP1691203A1 (fr) | Circuit électronique comportant un capteur capacitif à faible niveau de bruit et accéléromètre équipé de ce circuit | |
| FR2800936A1 (fr) | Circuit generateur de tension de reference |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 17 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 18 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 19 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 20 |