FR2742743A1

FR2742743A1 - Manufacturing optical fibre preform

Info

Publication number: FR2742743A1
Application number: FR9515170A
Authority: FR
Inventors: Michel Faure; Jean Michel Audoux
Original assignee: Alcatel Fibres Optiques SA
Current assignee: Nexans France SAS
Priority date: 1995-12-20
Filing date: 1995-12-20
Publication date: 1997-06-27

Abstract

Manufacturing a preform for optical fibres comprising a core surrounded by an optical sleeve destined respectively to make up a core serving as a light waves guide and its optical sleeve, once drawn, comprises: (a) placing a tube (1) of vitreous material is inside a heating furnace (2); (b) depositing a number of coating layers (61, 62) of vitreous material by vapour phase oxidation of a reactive gases mixture onto the inner surface of the tube (1); (c) contracting the tube (1) with its coating layers (61, 62) by heating to form a bar having a coating transverse section of at least 200 mm<2>.

Description

PROCEDE DE FABRICATION D'UNE PREFORME DE FIBRE OPTIQUE
La présente invention conceme un procédé de fabrication d'une préforme de fibre optique.METHOD OF MANUFACTURING AN OPTICAL FIBER PREFORM
The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber preform.

On rappelle qu'une fibre optique, qui comprend un coeur disposé le long de son axe et destiné à guider la majorité des ondes lumineuses, entouré d'une gaine optique destinée à ramener vers le coeur par réflexion les ondes lumineuses s'échappant de ce dernier, est obtenue de manière générale par étirage d'une préforme qui lui est homothétique et comporte également un coeur entouré d'une gaine optique. Ainsi, le rapport entre le diamètre extérieur de la gaine optique de la préforme et celui du coeur de cette dernière est égal au rapport correspondant pour la fibre optique obtenue par étirage de cette préforme. It is recalled that an optical fiber, which comprises a core arranged along its axis and intended to guide the majority of the light waves, surrounded by an optical cladding intended to bring back towards the heart by reflection the light waves escaping from this last, is generally obtained by drawing a preform which is homothetic to it and also comprises a core surrounded by an optical cladding. Thus, the ratio between the outer diameter of the optical cladding of the preform and that of the core of the latter is equal to the corresponding ratio for the optical fiber obtained by drawing this preform.

Dans toute la suite, on parlera indifféremment des propriétés optiques ou mécaniques du coeur et de la gaine optique de la préforme, ou de celles du coeur et de la gaine optique de la fibre, ces dernières étant la plupart du temps identiques, sauf en cas de mention spécifique du contraire. In what follows, we will speak without distinction of the optical or mechanical properties of the core and of the optical cladding of the preform, or of those of the core and of the optical cladding of the fiber, the latter being mostly identical, except in the case of specific mention to the contrary.

Plusieurs procédés sont connus actuellement pour fabriquer une préforme pour fibres optiques. Several methods are currently known for manufacturing a preform for optical fibers.

Selon l'un de ces procédés connus, dit procédé MCVD (pour Modified Chemical
Vapor Deposition en anglais), on part d'un tube en un matériau vitreux, dit tube de dépôt, assez mince, c'est-à-dire ayant par exemple une épaisseur de l'ordre de 2 à 3 mm. Ce tube est chauffé extérieurement par la flamme d'un chalumeau, et simultanément, un mélange gazeux approprié, par exemple constitué d'oxygène et d'un précurseur de la silice (par exemple le tétrachlorure de silicium SiC14), est introduit à l'intérieur du tube de dépôt.La chaleur apportée par le chalumeau entraîne une réaction d'oxydation en phase vapeur du précurseur de la silice utilisé, qui conduit au dépôt sur la surface interne du tube de dépôt d'un revêtement vitreux de silice pure, ou éventuellement dopée lorsque le mélange gazeux réactif comporte également un précurseur du dopant souhaité (ce dopant est par exemple le fluor lorsque l'on souhaite diminuer l'indice de réfraction de la silice déposée par rapport à celui de la silice pure, ou l'oxyde de germanium lorsque l'on souhaite augmenter l'indice de réfraction de la silice déposée par rapport à celui de la silice pure). Ce dépôt est dit dépôt CVD.According to one of these known processes, called MCVD process (for Modified Chemical
Vapor Deposition), we start with a tube made of a vitreous material, called the deposition tube, quite thin, that is to say having for example a thickness of the order of 2 to 3 mm. This tube is heated externally by the flame of a torch, and simultaneously, a suitable gas mixture, for example consisting of oxygen and a precursor of silica (for example silicon tetrachloride SiC14), is introduced to the inside the deposition tube The heat supplied by the torch causes a vapor phase oxidation reaction of the silica precursor used, which results in the deposition on the internal surface of the deposition tube of a vitreous coating of pure silica, or possibly doped when the reactive gas mixture also comprises a precursor of the desired dopant (this dopant is for example fluorine when it is desired to reduce the refractive index of the deposited silica relative to that of pure silica, or the oxide germanium when it is desired to increase the refractive index of the deposited silica relative to that of pure silica). This deposit is called a CVD deposit.

Le revêtement vitreux comporte ainsi un ensemble de couches de silice pure et/ou dopée, selon la nature du tube de dépôt initial qui peut également être constitué de silice pure ou de silice dopée. Ce revêtement forme le coeur de la préforme, et éventuellement une partie de sa gaine optique, pour des raisons qui seront expliquées en détail plus loin. The vitreous coating thus comprises a set of layers of pure and / or doped silica, depending on the nature of the initial deposition tube, which can also consist of pure silica or of doped silica. This coating forms the core of the preform, and possibly part of its optical cladding, for reasons which will be explained in detail below.

Le tube avec son revêtement vitreux ainsi déposé est ensuite rétreint, c'est-à-dire qu'on le chauffe pour l'amener à se refermer et à former ainsi un barreau plein. The tube with its vitreous coating thus deposited is then shrunk, that is to say it is heated to cause it to close again and thus to form a solid bar.

Lorsque cela est nécessaire, on effectue par ailleurs une étape supplémentaire dite de recharge (par manchonnage ou recharge plasma notamment) pour accroître le diamètre extérieur de la préforme de manière que la fibre optique obtenue par étirage de cette préforme ait à la fois le diamètre de coeur requis et un diamètre extérieur standard de 125 pm. La recharge plasma consiste par exemple à effectuer sur le barreau obtenu après le rétreint, un dépôt de silice par fusion directe de grains de silice dans la flamme d'une torche à plasma, et le manchonnage consiste à enfiler un tube de silice, dit manchon, sur le barreau, puis à rétreindre ce manchon sur le barreau. When necessary, an additional so-called recharging step is also carried out (by sleeving or plasma recharging in particular) to increase the outside diameter of the preform so that the optical fiber obtained by drawing this preform has both the diameter of core required and a standard outside diameter of 125 µm. Plasma recharging consists, for example, in carrying out on the bar obtained after shrinking, a deposit of silica by direct melting of silica grains in the flame of a plasma torch, and the sleeving consists of threading a silica tube, called a sleeve. , on the bar, then to shrink this sleeve on the bar.

Pour que le guidage des ondes lumineuses dans une fibre optique conduise à des pertes par absorption aussi réduites que possible, il faut que le matériau constituant la gaine optique soit très pur, et notamment le plus possible exempt d'impuretés telles que les ions OH- (le matériau constituant le coeur étant toujours très pur, c'est-à-dire de très grande qualité). Ainsi, la majorité des ondes lumineuses transmises par la fibre traverse une zone n'entraînant pratiquement pas de pertes par absorption. In order for the guiding of light waves in an optical fiber to lead to absorption losses that are as small as possible, the material constituting the optical cladding must be very pure, and in particular as much as possible free of impurities such as OH- ions. (the material constituting the core is always very pure, that is to say of very high quality). Thus, the majority of the light waves transmitted by the fiber pass through an area which practically does not cause losses by absorption.

Or le tube de dépôt utilisé dans la méthode MCVD est constitué d'une silice de qualité médiocre qui comporte des ions OH- en quantité non négligeable. Pour remédier à ce problème, on réalise une partie de la gaine optique par dépôt CVD de plusieurs couches de gaine optique sur la surface inteme du tube de dépôt, préalablement au dépôt CVD des couches de coeur, puisque la silice utilisée pour le dépôt CVD est de qualité nettement supérieure à celle du tube de dépôt, et en particulier pratiquement exempte d'ions OH- Ceci permet d'éloigner le tube de dépôt du coeur de la préforme, de sorte que la majorité des ondes lumineuses traverse une partie de la fibre ayant de faibles pertes d'absorption.Pour cela, il faut que le rapport entre le diamètre extérieur de la partie de la gaine optique obtenue par dépôt CVD, appelée dans la suite "gaine optique déposée" et celui du coeur soit élevé. Ce rapport est dénommé b/a, b étant le diamètre extérieur de la gaine optique déposée, et a le diamètre du coeur. Notamment, pour les fibres monomodes, le rapport b/a est au moins égal à 2,5, alors qu'un rapport de 1 serait suffisant si le tube de dépôt avait une qualité optique meilleure. Now, the deposition tube used in the MCVD method consists of a silica of mediocre quality which contains OH- ions in non-negligible quantities. To remedy this problem, part of the optical cladding is produced by CVD deposition of several layers of optical cladding on the internal surface of the deposition tube, prior to the CVD deposition of the core layers, since the silica used for the CVD deposition is of significantly higher quality than the deposition tube, and in particular practically free of OH- ions This allows the deposition tube to move away from the core of the preform, so that the majority of light waves pass through part of the fiber having low absorption losses. For this, it is necessary that the ratio between the external diameter of the part of the optical cladding obtained by CVD deposition, hereinafter called "deposited optical cladding" and that of the core is high. This ratio is called b / a, b being the outside diameter of the deposited optical cladding, and a the diameter of the core. In particular, for single-mode fibers, the b / a ratio is at least equal to 2.5, whereas a ratio of 1 would be sufficient if the deposition tube had better optical quality.

Dans la préforme obtenue, le coeur est donc constitué d'une partie du revêtement déposé, et la gaine optique comprend, disposées coaxialement de l'extérieur vers l'intérieur: - une partie périphérique, optionnelle, constituée de la matière apportée par recharge plasma ou du manchon, - une partie externe constituée du tube de dépôt, - une partie interne constituée de la partie du revêtement obtenu par dépôt CVD ne constituant pas le coeur, c'est-à-dire de la "gaine optique déposée"
La partie de la gaine optique constituée du tube de dépôt et éventuellement de la matière apportée par recharge ou du manchon a plutôt un rôle de protection mécanique qu'un rôle dans le guidage optique à proprement parler. Elle peut avoir un indice quelconque.In the preform obtained, the core therefore consists of a part of the deposited coating, and the optical cladding comprises, arranged coaxially from the outside to the inside: - an optional peripheral part, consisting of the material supplied by plasma recharge or of the sleeve, - an external part made up of the deposition tube, - an internal part made up of the part of the coating obtained by CVD deposition not constituting the core, that is to say of the "deposited optical cladding"
The part of the optical cladding consisting of the deposition tube and possibly of the material supplied by refill or of the sleeve has more a role of mechanical protection than a role in the optical guidance proper. She may have any clue.

Pour obtenir une grande capacité de préforme (par capacité d'une préforme, on entend le nombre de kilomètres de fibre optique que l'on peut obtenir par étirage d'un mètre de préforme), pour un tube de dépôt et un rapport b/a donnés, il faut que la surface de la section transversale de la gaine optique déposée et donc du dépôt CVD effectué sur la surface interne du tube de dépôt dans son ensemble soit la plus grande grande possible. Or plus cette section transversale augmente, plus la puissance à fournir par le chalumeau utilisé pour atteindre la température suffisante à la réaction d'oxydation en phase vapeur à l'intérieur du tube de dépôt est élevée, ce qui risque de conduire à un rétreint prématuré du tube de dépôt, ainsi qu'à une évaporation incontrôlée et indésirable de la silice extérieure du tube de dépôt au contact de la flamme du chalumeau. To obtain a large preform capacity (by capacity of a preform, we mean the number of kilometers of optical fiber that can be obtained by drawing one meter of preform), for a deposition tube and a ratio b / given, it is necessary that the surface of the cross section of the deposited optical cladding and therefore of the CVD deposition carried out on the internal surface of the deposition tube as a whole is as large as possible. However, the more this cross section increases, the greater the power to be supplied by the torch used to reach the temperature sufficient for the vapor phase oxidation reaction inside the deposition tube, which risks leading to premature shrinkage. deposit tube, as well as uncontrolled and unwanted evaporation of outer silica from the deposit tube on contact with the torch flame.

Ainsi, avec le procédé MCVD, pour obtenir le rapport b/a souhaité et la plus grande capacité de préforme possible tout en évitant d'avoir à déposer un revêtement de section transversale de surface importante, il faut déposer moins de silice pour réaliser le coeur de la préforme, ce qui conduit simultanément à réduire la section transversale nécessaire de gaine optique déposée. C'est ce qui est mis en oeuvre actuellement, la surface maximale totale (coeur + gaine optique déposée) de la section transversale pouvant être déposée à l'intérieur d'un tube de dépôt étant de 180 mm2 avec le procédé MCVD. Thus, with the MCVD process, to obtain the desired b / a ratio and the greatest possible preform capacity while avoiding having to deposit a coating of cross-section of large surface area, less silica must be deposited to produce the core. of the preform, which simultaneously leads to reducing the necessary cross section of the deposited optical cladding. This is what is currently being implemented, the total maximum surface area (core + deposited optical cladding) of the cross section that can be deposited inside a deposition tube being 180 mm 2 with the MCVD process.

Cependant, dans ce cas, on obtient des préformes de petit diamètre et donc de faible capacité, de sorte que le rendement de fabrication est très médiocre. La capacité des préformes obtenues actuellement par le procédé MCVD est ainsi de l'ordre de 100 à 300 km/m. However, in this case, preforms of small diameter and therefore of low capacity are obtained, so that the manufacturing efficiency is very poor. The capacity of the preforms currently obtained by the MCVD process is thus of the order of 100 to 300 km / m.

Un autre procédé connu pour fabriquer une préforme de fibre optique, appelé procédé FCVD (pour Furnace Chemical Vapor Deposition en anglais), est décrit dans
I'article intitulé "Recent progress in fibre preform manufacturing using very large and precisely bored silica ingots", compte-rendu de la conférence EFOC & N '93, La Haye, 30 juin-2 juillet 1993, pages 229 à 232. Ce procédé repose sur un principe assez différent de celui du procédé MCVD.Another known process for manufacturing an optical fiber preform, called FCVD process (for Furnace Chemical Vapor Deposition), is described in
The article entitled "Recent progress in fiber preform manufacturing using very large and precisely bored silica ingots", proceedings of the EFOC & N '93 conference, The Hague, June 30-July 2, 1993, pages 229 to 232. This process is based on a principle quite different from that of the MCVD process.

II consiste en effet à partir d'un tube de dépôt constitué d'une silice de grande pureté (en général synthétique), de forte épaisseur (de l'ordre de 12 à 15 mm) et à effectuer le dépôt CVD sur la surface interne de ce tube d'un revêtement destiné à constituer une très faible partie de la gaine optique ainsi que le coeur de la préforme, en utilisant comme moyen de chauffage un four, par exemple à induction, qui permet d'obtenir à l'intérieur du tube de très forte épaisseur une température très stable, homogène et suffisante pour la réaction d'oxydation en phase vapeur tout en préservant le tube de dépôt lui-même des inconvénients liés au procédé MCVD et mentionnés ci-dessus. It consists in fact from a deposition tube made of a silica of high purity (generally synthetic), of great thickness (of the order of 12 to 15 mm) and to perform the CVD deposition on the internal surface. of this tube with a coating intended to constitute a very small part of the optical cladding as well as the core of the preform, using as heating means an oven, for example induction, which makes it possible to obtain inside the very thick tube a very stable, homogeneous and sufficient temperature for the vapor phase oxidation reaction while preserving the deposition tube itself from the drawbacks associated with the MCVD process and mentioned above.

Dans le procédé FCVD, étant donné que le tube de dépôt est constitué d'un matériau très pur, il n'entraîne pratiquement pas de pertes supplémentaires par absorption, de sorte qu'il n'est pas nécessaire de l'éloigner autant du coeur de la préforme que le tube de dépôt utilisé dans le procédé MCVD. Ceci permet de réduire la section transversale du dépôt CVD à celle du coeur et de quelques couches de gaine seulement. Selon ce procédé, on évite en outre les opérations de manchonnage ou de recharge, étant donné que le tube de dépôt a une forte épaisseur qui peut être choisie dès le départ pour que le diamètre extérieur de la préforme corresponde à un diamètre final de fibre optique de 125 pm. In the FCVD process, since the deposition tube is made of a very pure material, there is hardly any additional absorption loss, so it does not have to be moved so far away from the core. of the preform as the deposition tube used in the MCVD process. This makes it possible to reduce the cross section of the CVD deposit to that of the core and only a few layers of cladding. According to this method, sleeving or recharging operations are also avoided, given that the deposition tube has a high thickness which can be chosen from the start so that the outside diameter of the preform corresponds to a final diameter of optical fiber. of 125 pm.

Avec le procédé FCVD, la capacité des préformes obtenues est de l'ordre de 100 à 150 km/m selon l'article précédent. With the FCVD process, the capacity of the preforms obtained is of the order of 100 to 150 km / m according to the preceding article.

Le procédé FCVD pose un certain nombre de problèmes. The FCVD process poses a number of problems.

En premier lieu, la surface de la section transversale du revêtement déposé est très faible, en pratique inférieure à 100 mm2. Or, pour un rapport b/a donné, la capacité de la préforme ne dépend pratiquement que de cette surface. Ainsi, la capacité des préformes obtenues est limitée à environ 150 km/m. Firstly, the cross-sectional area of the deposited coating is very small, in practice less than 100 mm 2. However, for a given ratio b / a, the capacity of the preform depends practically only on this surface. Thus, the capacity of the preforms obtained is limited to approximately 150 km / m.

Par ailleurs, comme on l'a vu plus haut, la qualité du tube de dépôt initial doit être très bonne. De ce fait, le tube de dépôt, de forte épaisseur, est très onéreux à fabriquer, alors qu'il suffirait que seule une partie de ce tube soit en un matériau de grande qualité. Moreover, as seen above, the quality of the initial deposition tube must be very good. As a result, the deposit tube, of great thickness, is very expensive to manufacture, while it would suffice for only part of this tube to be made of a high quality material.

Le but de la présente invention est donc de mettre au point un procédé de fabrication d'une préforme pour fibres optiques permettant d'obtenir des préformes de capacité supérieure à 300 km/m sans accroître de manière prohibitive le coût de fabrication. The aim of the present invention is therefore to develop a method of manufacturing a preform for optical fibers making it possible to obtain preforms with a capacity greater than 300 km / m without prohibitively increasing the cost of manufacture.

La présente invention propose à cet effet un procédé de fabrication d'une préforme de fibre optique, ladite préforme comprenant un coeur entouré d'une gaine optique destinés respectivement à constituer le coeur servant à guider la majorité des ondes lumineuses et la gaine optique d'une fibre optique obtenue par étirage de ladite préforme, ledit procédé comportant les opérations suivantes: - on place un tube dit de dépôt en un matériau vitreux à l'intérieur d'un four de chauffage, - on dépose par oxydation en phase vapeur d'un mélange de réactifs gazeux une pluralité de couches d'un revêtement en un matériau vitreux sur la surface interne dudit tube de dépôt, - on rétreint le tube de dépôt muni dudit revêtement pour obtenir un barreau, caractérisé en ce que la surface de la section transversale dudit revêtement est au moins égale à 200 mm2. The present invention provides for this purpose a method of manufacturing an optical fiber preform, said preform comprising a core surrounded by an optical cladding intended respectively to constitute the core serving to guide the majority of light waves and the optical cladding of. an optical fiber obtained by drawing said preform, said method comprising the following operations: - placing a so-called deposit tube made of a vitreous material inside a heating furnace, - depositing by vapor phase oxidation of a mixture of gaseous reagents a plurality of layers of a coating of a vitreous material on the internal surface of said deposition tube, - the deposition tube provided with said coating is constricted to obtain a bar, characterized in that the surface of the section transverse of said coating is at least equal to 200 mm2.

Quel que soit le procédé utilisé, la capacité de la préforme est fonction de la surface de la section transversale du revêtement déposé, pour un rapport b/a donné. Whatever process is used, the capacity of the preform is a function of the cross-sectional area of the coating deposited, for a given ratio b / a.

Avec les procédés de l'art antérieur, on a vu que cette surface, et donc la capacité de la préforme, est limitée.With the methods of the prior art, it has been seen that this surface area, and therefore the capacity of the preform, is limited.

Au contraire, avec le procédé selon l'invention, la surface de la section transversale du revêtement déposé, c'est-à-dire la capacité de la préforme, n'est limitée en pratique que par la technologie du four de chauffage utilisé. En effet, I'épaisseur totale du tube de dépôt et du revêtement déposé doit permettre au four d'apporter la puissance nécessaire à la réaction d'oxydation en phase vapeur à l'intérieur du tube. On the contrary, with the method according to the invention, the cross-sectional area of the deposited coating, that is to say the capacity of the preform, is in practice only limited by the technology of the heating furnace used. Indeed, the total thickness of the deposition tube and of the deposited coating must allow the furnace to provide the power necessary for the vapor phase oxidation reaction inside the tube.

Ainsi, en partant d'un tube de dépôt d'épaisseur donnée, la surface de la section transversale du revêtement déposé est limitée par la limite de l'épaisseur totale. Cette limite de l'épaisseur totale est assez élevée actuellement, de l'ordre de 20 mm. On constate ainsi qu'en partant d'un tube de dépôt de 10 mm d'épaisseur et de 48 mm de diamètre intérieur, il est possible selon l'invention de déposer un revêtement dont la section transversale a une surface de 500 mm2 (pour un rapport b/a de 3), valeur nettement supérieure à celles de l'art antérieur, et conduisant à une capacité de préforme de l'ordre de 900 km/m.On peut donc déposer à l'intérieur du tube de dépôt un revêtement de section transversale très importante, et ce grâce au four qui permet, sans détériorer le tube de dépôt, d'obtenir à l'intérieur de ce demier la température suffisante pour que se produise la réaction d'oxydation des réactifs conduisant au dépôt du revêtement souhaité. Les capacités des préformes que permet d'obtenir le procédé de l'invention sont largement supérieures à celles qui pouvaient être obtenues avec les procédés CVD connus de l'art antérieur.Thus, starting from a deposition tube of given thickness, the cross-sectional area of the deposited coating is limited by the limit of the total thickness. This limit of the total thickness is currently quite high, of the order of 20 mm. It can thus be seen that, starting from a deposit tube 10 mm thick and 48 mm in internal diameter, it is possible according to the invention to deposit a coating whose cross section has an area of 500 mm2 (for a ratio b / a of 3), a value significantly higher than those of the prior art, and leading to a preform capacity of the order of 900 km / m. It is therefore possible to deposit inside the deposition tube a coating of very large cross section, and this thanks to the oven which allows, without damaging the deposition tube, to obtain inside the latter the temperature sufficient for the reaction of oxidation of the reagents to occur leading to the deposition of the desired coating. The capacities of the preforms which the process of the invention makes it possible to obtain are considerably greater than those which could be obtained with the CVD processes known from the prior art.

Lorsque l'on atteint l'épaisseur totale limite imposée par la technologie du four utilisé, il suffit, pour augmenter la capacité de la préforme, soit de diminuer l'épaisseur initiale du tube de dépôt à diamètre extérieur du tube de dépôt constant et de remplacer cette épaisseur par une épaisseur déposée, en effectuant une opération additionnelle permettant d'accroître, compte tenu du rapport b/a requis, le diamètre extérieur de la préforme pour obtenir un diamètre extérieur de fibre de 125 pm, soit d'accroître le diamètre intérieur du tube de dépôt à épaisseur constante. When the total thickness limit imposed by the technology of the furnace used is reached, it suffices, in order to increase the capacity of the preform, to either reduce the initial thickness of the deposition tube with the outside diameter of the constant deposition tube and to replace this thickness with a deposited thickness, by performing an additional operation making it possible to increase, taking into account the required b / a ratio, the outside diameter of the preform to obtain an outside fiber diameter of 125 μm, or to increase the diameter inside the deposit tube at constant thickness.

Par ailleurs, I'invention n'oblige pas à partir d'un tube de dépôt de très grande pureté, puisque la qualité médiocre du tube de dépôt peut être largement compensée par une forte section transversale de gaine déposée. Ceci est très avantageux par rapport au procédé FCVD de l'art antérieur. Furthermore, the invention does not require starting from a very high purity deposition tube, since the poor quality of the deposition tube can be largely compensated for by a large cross section of deposited sheath. This is very advantageous compared to the FCVD process of the prior art.

Le coût de l'opération de dépôt CVD (qui est plus importante avec le procédé de l'invention qu'avec le procédé FCVD de l'art antérieur) compense largement le coût supplémentaire dû à l'utilisation d'un tube de grande pureté dans le procédé FCVD de l'art antérieur, compte tenu de l'accroissement de capacité des préformes obtenues selon le procédé de l'invention. The cost of the CVD deposition operation (which is greater with the process of the invention than with the FCVD process of the prior art) largely compensates for the additional cost due to the use of a high purity tube. in the FCVD process of the prior art, taking into account the increase in capacity of the preforms obtained according to the process of the invention.

Avec le procédé de l'invention, en partant d'un tube de dépôt semblable à ceux utilisés dans le procédé MCVD, c'est-à-dire de faible épaisseur (de l'ordre de 2 à 3 mm) et en un matériau de qualité moyenne, donc peu onéreux, on peut déposer une forte section transversale de revêtement, par exemple de surface voisine de 500 mm2, ce qui conduit à une préforme de capacité voisine de 900 km/m, donc nettement supérieure à ce que l'on peut obtenir avec le procédé MCVD en partant du même tube. With the process of the invention, starting with a deposition tube similar to those used in the MCVD process, that is to say of low thickness (of the order of 2 to 3 mm) and made of a material of medium quality, therefore inexpensive, it is possible to deposit a large cross-section of coating, for example with a surface area of around 500 mm 2, which leads to a preform with a capacity of around 900 km / m, therefore significantly greater than the one can obtain with the MCVD process starting from the same tube.

II est ainsi possible de réaliser avec le procédé de l'invention des préformes de capacité pouvant aller jusqu'à environ 3000 km/m. It is thus possible to produce, with the method of the invention, preforms with a capacity of up to approximately 3000 km / m.

Selon une caractéristique avantageuse supplémentaire de l'invention, lorsque le tube de dépôt a une faible épaisseur, inférieure à 10 mm, et un diamètre extérieur inférieur à 60 mm, on effectue une opération dite de recharge permettant d'accroître le diamètre extérieur de la préforme de sorte que le diamètre extérieur de la fibre optique obtenue par étirage de cette préforme est sensiblement égal à 125 pm. Lorsque le tube de dépôt est peu épais, il est nécessaire d'effectuer cette recharge pour parvenir, compte tenu du rapport b/a requis (au moins 2,5 lorsque le tube de dépôt est en silice de qualité médiocre, et au moins 1 lorsqu'il est en silice de très bonne qualité), à un diamètre extérieur de fibre de 125 pm. According to an additional advantageous characteristic of the invention, when the deposition tube has a small thickness, less than 10 mm, and an outside diameter less than 60 mm, a so-called refill operation is carried out making it possible to increase the outside diameter of the preform so that the outer diameter of the optical fiber obtained by drawing this preform is substantially equal to 125 μm. When the deposition tube is thin, it is necessary to carry out this refill in order to achieve this, taking into account the required b / a ratio (at least 2.5 when the deposition tube is made of poor quality silica, and at least 1 when it is made of very good quality silica), at an outer fiber diameter of 125 μm.

Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, une première partie du revêtement vitreux est destinée à constituer le coeur de ia préforme, et le reste du revêtement vitreux est destiné à constituer une partie de la gaine optique de la préforme, dite gaine optique déposée. According to another advantageous characteristic of the invention, a first part of the vitreous coating is intended to constitute the core of the preform, and the rest of the vitreous coating is intended to constitute a part of the optical cladding of the preform, called the deposited optical cladding. .

Ceci présente un intérêt notamment lorsque le tube de dépôt est en un matériau de qualité médiocre. This is of interest in particular when the deposition tube is made of a material of poor quality.

Selon l'invention, i'épaisseur totale maximale du tube de dépôt et du revêtement déposé est inférieure ou égale à 20 mm. Ceci correspond sensiblement à la limite technologique actuelle des fours à induction. According to the invention, the maximum total thickness of the deposition tube and of the deposited coating is less than or equal to 20 mm. This substantially corresponds to the current technological limit of induction furnaces.

De préférence, le diamètre intérieur du tube de dépôt est inférieur ou égal à 40 mm. Pour des valeurs supérieures, le dépôt CVD est plus délicat à obtenir car le volume initial à l'intérieur du tube de dépôt est grand de sorte que les produits de la réaction d'oxydation en phase vapeur peuvent ne pas se déposer sur la surface intérieure du tube. Preferably, the internal diameter of the deposition tube is less than or equal to 40 mm. For higher values, CVD deposition is more difficult to achieve because the initial volume inside the deposition tube is large so that the products of the vapor phase oxidation reaction may not be deposited on the interior surface. of the tube.

De préférence également, le diamètre intérieur total du tube de dépôt muni du revêtement est supérieur ou égal à 20 mm. Pour des valeurs inférieures, en fin de dépôt, les gaz ont tendance à traverser le tube trop rapidement, ce qui conduit à un rendement de dépôt trop faible. Also preferably, the total internal diameter of the deposit tube provided with the coating is greater than or equal to 20 mm. For lower values, at the end of the deposition, the gases tend to pass through the tube too quickly, which leads to a deposition efficiency that is too low.

Enfin, le tube de dépôt peut être constitué de silice synthétique et avoir une épaisseur inférieure à 15 mm. Dans ce cas, le rapport b/a peut être de l'ordre de 1, mais le rapport entre le diamètre extérieur de la gaine optique et celui du coeur est inférieur à 3 ; il faut effectuer une recharge partielle en silice synthétique puis une recharge classique afin d'obtenir un rapport entre le diamètre extérieur de la gaine optique avant recharge classique et le diamètre du coeur au moins égal à 3, et ce pour éviter que les ondes lumineuses se propagent dans la partie rechargée de manière classique de la préforme. Dans ce cas, le procédé de l'invention permet de réaliser des préformes de capacité pouvant aller jusqu'à environ 8000 km/m. Finally, the deposition tube can be made of synthetic silica and have a thickness of less than 15 mm. In this case, the b / a ratio may be of the order of 1, but the ratio between the outer diameter of the optical cladding and that of the core is less than 3; it is necessary to carry out a partial refill in synthetic silica then a conventional refill in order to obtain a ratio between the outer diameter of the optical cladding before conventional refill and the diameter of the core at least equal to 3, and this to prevent the light waves from being propagate in the recharged part of the preform in a conventional manner. In this case, the method of the invention makes it possible to produce preforms with a capacity of up to approximately 8000 km / m.

D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront dans la description suivante d'un mode de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, donné à titre illustratif et nullement limitatif. Other characteristics and advantages of the present invention will emerge from the following description of an embodiment of the method according to the invention, given by way of illustration and in no way limiting.

Dans les figures suivantes - la figure 1 représente schématiquement un dispositif de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, - la figure 2 montre en coupe transversale une préforme obtenue selon le procédé de l'invention. In the following figures - Figure 1 schematically represents a device for implementing the method according to the invention, - Figure 2 shows in cross section a preform obtained according to the method of the invention.

Dans toutes ces figures, les éléments communs portent les mêmes numéros de référence. In all these figures, the common elements bear the same reference numbers.

Le procédé selon l'invention de fabrication d'une préforme pour fibre optique se déroule de la manière suivante. The method according to the invention for manufacturing a preform for an optical fiber takes place as follows.

On part d'un tube de dépôt 1 (voir figure 1) en silice dopée ou non selon le profil d'indice de réfraction souhaité, préalablement nettoyé, de manière classique. The starting point is a deposition tube 1 (see FIG. 1) in silica doped or not according to the desired refractive index profile, cleaned beforehand, in a conventional manner.

Le tube de dépôt 1 a une faible épaisseur. Par exemple, le tube de dépôt 1 a un diamètre intérieur de 39 mm et un diamètre extérieur de 45 mm, c'est-à-dire une épaisseur de 3 mm. II n'est pas nécessaire que le tube de dépôt 1 soit constitué d'un matériau de très bonne qualité optique, c'est-à-dire qu'il soit très pur. The deposition tube 1 has a small thickness. For example, the deposition tube 1 has an inner diameter of 39 mm and an outer diameter of 45 mm, that is, a thickness of 3 mm. It is not necessary for the deposition tube 1 to be made of a material of very good optical quality, that is to say for it to be very pure.

Le tube de dépôt 1 est placé dans un four 2, par exemple un four à induction du type utilisé classiquement pour le fibrage de préformes. Le four à induction 2 comprend schématiquement, de manière connue, un suscepteur 3, en graphite ou en zircone, et un ensemble de spires d'induction 4 qui l'entoure et lui est coaxial. Le suscepteur 3 et l'ensemble de spires d'induction 4 entoure le tube de dépôt 1. Le four 2 a, comme cela est représenté sur la figure 1, une longueur inférieure à celle du tube de dépôt 1. Pour procéder au dépôt par oxydation en phase vapeur, il est nécessaire de réaliser un mouvement de translation relatif du four 2 par rapport au tube 1, de manière à ce que le tube de dépôt 1 soit chauffé sur toute sa longueur. The deposition tube 1 is placed in an oven 2, for example an induction oven of the type conventionally used for fiberizing preforms. The induction furnace 2 schematically comprises, in a known manner, a susceptor 3, made of graphite or of zirconia, and a set of induction turns 4 which surrounds it and is coaxial with it. The susceptor 3 and the set of induction turns 4 surround the deposition tube 1. The furnace 2 has, as shown in FIG. 1, a length less than that of the deposition tube 1. To proceed with the deposition by vapor phase oxidation, it is necessary to carry out a relative translational movement of the furnace 2 with respect to the tube 1, so that the deposition tube 1 is heated over its entire length.

On effectue ensuite, par exemple à l'aide du four 2, les opérations classiques de glaçage et d'attaque chimique de la surface interne 5 du tube de dépôt 1, pour la rendre régulière et exempte d'impuretés. Bien entendu, ces opérations pourraient être réalisées de toute autre manière connue, par exemple sans utiliser le four 2. Then carried out, for example using the oven 2, the conventional operations of glazing and chemical attack of the internal surface 5 of the deposit tube 1, to make it regular and free of impurities. Of course, these operations could be carried out in any other known manner, for example without using the oven 2.

Pour effectuer le dépôt du revêtement souhaité à l'intérieur du tube de dépôt 1, on introduit dans ce dernier un mélange gazeux contenant de l'oxygène, un précurseur de la silice tel que SiCI4, et éventuellement un précurseur d'un dopant modificateur d'indice lorsque cela est nécessaire pour obtenir le profil d'indice de réfraction requis. To deposit the desired coating inside the deposition tube 1, a gas mixture containing oxygen, a silica precursor such as SiCl4, and optionally a precursor of a d-modifying dopant is introduced into the latter. index when necessary to obtain the required refractive index profile.

On dépose par une réaction d'oxydation en phase vapeur sur la surface inteme 5 du tube de dépôt 1 un revêtement vitreux 6 comprenant une pluralité de couches. La partie "externe" 61 du revêtement 6, en contact avec la surface interne 5 du tube de dépôt 1, formera la gaine optique déposée 221 de la préforme 20 (voir figure 2) obtenue selon le procédé de l'invention. Le reste 62 du revêtement 6 constituera le coeur 21 de cette préforme 20. A vitreous coating 6 comprising a plurality of layers is deposited by a vapor phase oxidation reaction on the inner surface 5 of the deposition tube 1. The “external” part 61 of the coating 6, in contact with the internal surface 5 of the deposition tube 1, will form the deposited optical cladding 221 of the preform 20 (see FIG. 2) obtained according to the method of the invention. The remainder 62 of the coating 6 will constitute the core 21 of this preform 20.

Une fois le revêtement vitreux 6 déposé sur la surface inteme 5 du tube de dépôt 1, on effectue le rétreint de l'ensemble, par exemple au moyen du four 2, de manière à obtenir un barreau plein (non représenté). Once the vitreous coating 6 has been deposited on the internal surface 5 of the deposition tube 1, the assembly is shrunk, for example by means of the oven 2, so as to obtain a solid bar (not shown).

Si le diamètre extérieur du barreau ainsi obtenu est suffisant pour permettre, compte tenu du diamètre requis pour le coeur de la fibre optique, d'obtenir par fibrage de ce barreau une fibre optique ayant un diamètre extérieur de 125 um, ce barreau constitue la préforme 20. Sinon, on procède à une étape supplémentaire de recharge par plasma sur la surface extérieure du barreau jusqu'à atteindre le diamètre extérieur requis. On peut, de manière alternative, procéder à un manchonnage soit de l'ensemble tube de dépôt 1-revêtement 6, soit du barreau obtenu par rétreint de cet ensemble. If the outer diameter of the bar thus obtained is sufficient to allow, given the diameter required for the core of the optical fiber, to obtain by fiberizing this bar an optical fiber having an outer diameter of 125 μm, this bar constitutes the preform 20. Otherwise, an additional plasma recharge step is carried out on the outer surface of the bar until the required outer diameter is reached. Alternatively, sleeving can be done either of the deposition tube 1-coating 6 assembly, or of the bar obtained by shrinking of this assembly.

La figure 2 montre une préforme 20 obtenue selon le procédé décrit ci-dessus en partant du tube de dépôt 1. La préforme 20 comprend un coeur 21, de diamètre 8,41 mm, entouré d'une gaine optique 22, de diamètre extérieur 120,84 mm, formée: - de la gaine optique déposée 221 de diamètre extérieur 25,23 mm, en contact avec le coeur 21, - d'une partie externe 222 de diamètre extérieur 33,77 mm, en contact avec la gaine optique déposée 221 et constituée du tube de dépôt 1, et - d'une partie périphérique 223 de diamètre extérieur 120,84 mm provenant de la recharge plasma ou du manchon nage. FIG. 2 shows a preform 20 obtained according to the method described above, starting from the deposition tube 1. The preform 20 comprises a core 21, of diameter 8.41 mm, surrounded by an optical cladding 22, of outside diameter 120 , 84 mm, formed: - of the deposited optical cladding 221 with an external diameter of 25.23 mm, in contact with the core 21, - of an external part 222 with an external diameter of 33.77 mm, in contact with the deposited optical cladding 221 and consisting of the deposition tube 1, and - a peripheral part 223 with an outside diameter of 120.84 mm coming from the plasma refill or from the swimming sleeve.

Le rapport b/a est de 3 et l'épaisseur totale du revêtement déposé 6 est de 4,63 mm, ce qui correspond à une section transversale déposée de 500 mm2. The b / a ratio is 3 and the total thickness of the deposited coating 6 is 4.63 mm, which corresponds to a deposited cross section of 500 mm 2.

La capacité de la préforme 20 est de 935 km/m. The capacity of the preform 20 is 935 km / m.

A titre de comparaison, une préforme obtenue selon le procédé FCVD de l'art antérieur à partir d'un tube de dépôt de diamètre extérieur 45 mm, c'est-à-dire identique à celui du tube de dépôt ayant servi à la fabrication de la préforme 20 selon l'invention, et de diamètre intérieur 25 mm comprend un coeur de diamètre 2,66 mm, entouré d'une gaine optique de diamètre extérieur 38,15 mm, formée: - d'une gaine optique déposée de diamètre extérieur 7,43 mm, en contact avec le coeur, - d'une partie externe de diamètre extérieur 38,15 mm, en contact avec la gaine optique déposée et constituée du tube de dépôt. By way of comparison, a preform obtained according to the FCVD process of the prior art from a deposition tube with an outside diameter of 45 mm, that is to say identical to that of the deposition tube used in the manufacture of the preform 20 according to the invention, and with an internal diameter of 25 mm, comprises a core with a diameter of 2.66 mm, surrounded by an optical cladding with an external diameter of 38.15 mm, formed: - by an optical cladding deposited with a diameter external 7.43 mm, in contact with the core, - an external part with an external diameter of 38.15 mm, in contact with the optical cladding deposited and consisting of the deposition tube.

Le rapport b/a est de 2,8 et l'épaisseur totale du revêtement déposé de 0,57 mm, ce qui correspond à une section déposée de 43 mm2. The b / a ratio is 2.8 and the total thickness of the deposited coating is 0.57 mm, which corresponds to a deposited section of 43 mm 2.

La capacité de cette préforme est de 93 km/m, soit dix fois moins qu'avec le procédé de l'invention. The capacity of this preform is 93 km / m, ie ten times less than with the method of the invention.

On donne ci-après un autre exemple d'application du procédé selon l'invention, dans lequel le tube de dépôt est plus épais, ce qui évite d'avoir à effectuer une recharge importante. Le tube de dépôt a initialement un diamètre intérieur de 48 mm et un diamètre extérieur de 58 mm, et par conséquent une épaisseur de 5 mm.Les autres caractéristiques de la préforme obtenue sont les suivantes:
Epaisseur totale du revêtement déposé: 3,58 mm
Section totale du revêtement déposé: 500 mm2
Epaisseur totale du tube de dépôt et du revêtement: 8,58 mm
b/a = 3
Diamètre du coeur de la préforme: 8,41 mm
Diamètre de la gaine optique déposée: 25,23 mm
Diamètre de la préforme avant recharge plasma : 41,19 mm
Diamètre total de la préforme après plasma:120,84 mm
Capacité de la préforme : 935 km/m
Bien entendu, le procédé de l'invention implique un dépôt CVD plus important que celui effectué avec le procédé FCVD de l'art antérieur, ainsi qu'une opération éventuelle de manchonnage ou de recharge par plasma afin d'obtenir le diamètre extérieur nécessaire.Toutefois, le coût supplémentaire dû à ces opérations par rapport au procédé FCVD de l'art antérieur est largement compensé par l'économie faite sur le tube de dépôt, qui, selon l'invention, est de très faible épaisseur et peut être constitué d'un matériau de qualité optique médiocre, ainsi que par l'accroissement de la capacité de la préforme d'un facteur 10.Another example of application of the method according to the invention is given below, in which the deposition tube is thicker, which avoids having to carry out a significant refill. The deposition tube initially has an inner diameter of 48 mm and an outer diameter of 58 mm, and therefore a thickness of 5 mm. The other characteristics of the obtained preform are as follows:
Total thickness of the deposited coating: 3.58 mm
Total section of the deposited coating: 500 mm2
Total thickness of the deposit tube and coating: 8.58 mm
b / a = 3
Preform core diameter: 8.41 mm
Diameter of the deposited optical cladding: 25.23 mm
Diameter of the preform before plasma refill: 41.19 mm
Total diameter of the preform after plasma: 120.84 mm
Preform capacity: 935 km / m
Of course, the method of the invention involves a greater CVD deposition than that carried out with the FCVD method of the prior art, as well as a possible sleeving or plasma recharging operation in order to obtain the necessary external diameter. However, the additional cost due to these operations compared to the FCVD process of the prior art is largely offset by the savings made on the deposition tube, which, according to the invention, is very thin and may consist of 'a material of poor optical quality, as well as by increasing the capacity of the preform by a factor of 10.

Bien entendu, la présente invention n'est pas limitée au mode de réalisation et aux exemples qui viennent d'être décrits. Of course, the present invention is not limited to the embodiment and to the examples which have just been described.

Notamment, il est possible de partir d'un tube de dépôt constitué d'une silice de meilleure qualité que celle des tubes de dépôt utilisés dans le procédé MCVD, par exemple de silice synthétique. Etant donné que, selon l'invention, le tube de dépôt peut avoir une faible épaisseur, I'augmentation de coût due à l'utilisation d'un tube de silice synthétique de faible épaisseur est compensée par la diminution de coût provenant de la diminution de l'épaisseur de la gaine optique déposée correspondante, puisque dans ce cas, un rapport b/a de l'ordre de 1 est suffisant. In particular, it is possible to start from a deposition tube consisting of a silica of better quality than that of the deposition tubes used in the MCVD process, for example of synthetic silica. Since, according to the invention, the deposition tube can have a small thickness, the increase in cost due to the use of a synthetic silica tube of small thickness is compensated by the decrease in cost resulting from the decrease. the thickness of the corresponding deposited optical cladding, since in this case, a b / a ratio of the order of 1 is sufficient.

Par exemple, en partant d'un tube de dépôt en silice synthétique de diamètre extérieur 59 mm et de diamètre intérieur 39 mm, c'est-à-dire d'épaisseur 10 mm, on obtient une préforme ayant les caractéristiques suivantes:
Epaisseur totale du revêtement déposé : 4,63 mm
Section totale du revêtement déposé: 500 mm2
Epaisseur totale du tube de dépôt et du revêtement:14,63 mm
b/a = 1,5
Diamètre du coeur de la préforme:16,82 mm
Diamètre de la gaine optique déposée: 25,23 mm
Diamètre de la préforme avant recharge plasma: 50,96 mm
Diamètre total de la préforme après recharge plasma : 241,68 mm
Capacité de la préforme: 3738 km/m
Selon une autre variante du procédé de l'invention, on peut partir d'un tube de dépôt en silice synthétique de diamètre extérieur 59 mm et de diamètre intérieur 39 mm, c'est-à-dire d'épaisseur 10 mm, en déposant uniquement le coeur à l'intérieur de ce tube, de sorte que l'on obtient une préforme ayant les caractéristiques suivantes:
Epaisseur totale du revêtement déposé : 4,63 mm
Section totale du revêtement déposé: 500 mm2
Epaisseur totale du tube de dépôt et du revêtement:14,63 mm
b/a = 1
Diamètre du coeur de la préforme: 25,23 mm
Epaisseur de la gaine optique déposée : 0 mm
Diamètre de la préforme avant recharge ou manchonnage: 50,96 mm
Diamètre de la préforme après recharge synthétique au plasma: 75,69 mm
Diamètre total de la préforme après recharge ou manchonnage: 362,52 mm
Capacité de la préforme : 8411 km/m
Enfin, on pourra remplacer tout moyen par un moyen équivalent sans sortir du cadre de l'invention. For example, starting from a synthetic silica deposition tube with an external diameter of 59 mm and an internal diameter of 39 mm, that is to say with a thickness of 10 mm, a preform is obtained having the following characteristics:
Total thickness of the deposited coating: 4.63 mm
Total section of the deposited coating: 500 mm2
Total thickness of deposit tube and coating: 14.63 mm
b / a = 1.5
Preform core diameter: 16.82 mm
Diameter of the deposited optical cladding: 25.23 mm
Diameter of the preform before plasma refill: 50.96 mm
Total diameter of the preform after plasma refill: 241.68 mm
Preform capacity: 3738 km / m
According to another variant of the process of the invention, it is possible to start from a synthetic silica deposition tube with an external diameter of 59 mm and an internal diameter of 39 mm, that is to say of a thickness of 10 mm, by depositing only the core inside this tube, so that a preform is obtained with the following characteristics:
Total thickness of the deposited coating: 4.63 mm
Total section of the deposited coating: 500 mm2
Total thickness of deposit tube and coating: 14.63 mm
b / a = 1
Diameter of the preform core: 25.23 mm
Thickness of the deposited optical cladding: 0 mm
Diameter of the preform before refilling or sleeving: 50.96 mm
Diameter of the preform after synthetic plasma refill: 75.69 mm
Total diameter of the preform after refill or sleeving: 362.52 mm
Preform capacity: 8411 km / m
Finally, any means can be replaced by equivalent means without departing from the scope of the invention.

Claims

II. A method of manufacturing a preform for optical fibers, said preform comprising a core surrounded by an optical cladding intended respectively to constitute the core serving to guide the majority of light waves and the optical cladding of an optical fiber obtained by stretching of said preform, said method comprising the following operations: - placing a so-called deposition tube (1) made of a vitreous material inside a heating furnace (2), - depositing by vapor phase oxidation of a mixture of gaseous reactants a plurality of layers of a coating (61, 62) made of a glassy material on the internal surface of said deposition tube (1), - the deposition tube (1) provided with said coating (61) is constricted, 62) to obtain a bar, characterized in that the cross-sectional area of said coating (61, 62) is at least equal to 200 mm2 2 / A method according to claim 1 characterized in that said deposition tube has a lower thickness to 10 mm and an outside diameter less ieur to 60 mm, and in that a so-called recharging operation is carried out to increase the outside diameter of the preform so that the outside diameter of the optical fiber obtained by drawing said preform is substantially equal to 125 μm.

3 / A method according to one of claims 1 or 2 characterized in that said recharging operation is a plasma recharging operation subsequent to said shrinking operation.

4 / A method according to one of claims 1 or 2 characterized in that said recharging operation is a sleeving operation.

5 / A method according to one of claims 1 to 4 characterized in that a first part of said vitreous coating is intended to constitute the core of said preform, the remainder of said vitreous coating being intended to constitute part of the optical cladding of said preform, called the deposited optical cladding.

6 / A method according to one of claims 1 to 5 characterized in that the maximum total thickness of said deposition tube and of said deposited coating is less than or equal to 20 mm.

7 / A method according to one of claims 1 to 6 characterized in that the internal diameter of said deposition tube is less than or equal to 40 mm.

8 / A method according to one of claims 1 to 7 characterized in that the internal diameter of said deposition tube is greater than or equal to 20 mm.

9 / A method according to one of claims 1 to 8 characterized in that said tube consists of synthetic silica.