FR2741963A1 - Capteur optique realise selon la technique de l'optique integree et forme a base de polymeres - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un capteur optique réalisé selon la technique de l'optique intégrée et formé à base de polymères. Dans ce capteur comportant des guides d'ondes (2) présents dans un substrat (1), les guides d'ondes (2) ne sont pas ensevelis et la surface du substrat associée aux guides d'ondes (2) est recouverte par une couche non isolée optiquement vis-à-vis des guides d'ondes et formée de matériaux polymères actifs pour réaliser la détection et dont les caractéristiques physiques, notamment optiques ou électriques et/ou chimiques peuvent être modifiées par des influences physiques ou chimiques extérieures, l'indice de réfraction des guides d'ondes (2) étant supérieur à celui du substrat (1) et de la couche (3). Application notamment aux techniques optiques de communication et de transmission d'informations.
Description
L'invention concerne un capteur optique, réalisé selon la technique de
l'optique intégrée et formé à partir de polymères. De tels capteurs optiques, réalisés selon la technique de l'optique intégrée, sont utilisés dans la technique optique de communication et de transmission 5 d'informations, dans la technique des lasers, dans le domaine de l'analyse de l'environnement et de la détection biologique
pour la détection de champs électriques, de la température, de substances liquides ou gazeuses, de déformations ou d'oscillations mécaniques ou électriques ainsi que de10 variations d'intensité ou de polarisation.
Dans l'état de la technique, on utilise, pour des capteurs optiques dans le domaine de la technique des guides d'ondes lumineuses, des capteurs cylindriques à fibres optiques ou15 des guides d'ondes à canaux dans une technique planar. En tant que capteurs externes, des capteurs optiques sont constitués par un agencement hybride formé d'une fibre formant guide d'ondes et d'un élément formant capteur actif, un signal, qui doit être détecté optiquement, de la fibre20 formant guide d'ondes étant obtenu moyennant un affaiblissement intense de la propagation de la lumière dans le milieu d'interaction externe. De tels capteurs externes ne peuvent être fabriqués que difficilement du point de vue technologique et sont très sensibles aux perturbations. En25 outre, des capteurs optiques internes, réalisés selon l'optique intégrée, sont simples à fabriquer et insensibles
aux perturbations. Ils sont basés sur l'interaction entre un guide d'ondes non enseveli et le milieu ambiant, ainsi que sur l'action interférentielle de déphasages produits30 extérieurement.
Pour des capteurs optiques formés à base de polymères, on utilise des structures de guides d'ondes dans des polymères. Un avantage dans le cas de l'utilisation de matériaux polymères pour la fabrication de capteurs est la multiplicité des matériaux polymères ayant une action de détection et qui, sur la base d'influences physiques et/ou chimiques extérieures, modifient leurs caractéristiques physiques, notamment optiques et/ou chimiques. De tels guides d'ondes formés d'un polymère effectifs structurés sont cependant difficiles à fabriquer du point de vue technologique. En outre, le couplage optique des guides d'ondes lumineuses à fibres aux guides d'ondes formées d'un polymère du capteur optique réalisé selon l'optique intégrée, pose des problèmes importants. De même la structuration des polymères pour l'obtention du guide d'ondes formé d'un polymère est très difficile du point de vue technique. La structuration du polymère conduit en outre à une dispersion très élevée de l'onde lumineuse guidée dans le guide d'ondes formé d'un polymère. Les pertes optiques des capteurs optiques formés de polymères usuels, réalisés selon l'optique intégrée, sont par conséquent nettement plus élevées que dans le cas de capteurs usuels basés sur des guides d'ondes en verre. En outre, on ne peut pas structurer tous les polymères convenant pour la fabrication de capteurs optiques réalisés selon l'optique intégrée. La présente invention a pour but de proposer des capteurs optiques, réalisés selon la technique de l'optique intégrée et formés à base de polymères et dans lesquels apparaissent de faibles pertes optiques des ondes lumineuses guidées en eux, un bon couplage à des auides d'ondes à fibres, de bonnes caractéristiques non perturbées de détection ainsi qu'une applicabilité multiple pour la détection des grandeurs d'influence extérieures les plus diverses. En outre l'invention a pour but de proposer des capteurs optiques, réalisés selon l'optique intégrée et formés à base de polymères et que l'on peut fabriquer d'une manière simple et fiable. Ce problème est résolu conformément à l'invention à l'aide d'un capteur optique, réalisé selon la technique de l'optique intégrée et formé à base de polymères, qui contient au moins un guide d'ondes situé dans un substrat pour guides d'ondes, caractérisé en ce que les guides d'ondes ne sont pas ensevelis et que la surface du substrat pour guides d'ondes, associée aux guides d'ondes, est recouverte par une couche, non isolée optiquement par rapport aux guides d'ondes et formée de matériaux polymères actifs pour la détection et dont les caractéristiques physiques, notamment optiques ou électriques et/ou chimiques peuvent être modifiées par des influences physiques ou chimiques extérieures, l'indice de réfraction des guides d'ondes étant supérieur à l'indice de réfraction du substrat pour guides d'ondes et de la couche
polymère.
Les capteurs optiques, réalisés selon l'optique intégrée et formés à base de polymères, sont constitués par un substrat pour guides d'ondes, qui est réalisé en un matériau convenant pour des guides d'ondes, par exemple du verre, et sont disposés dans le guide d'ondes, ainsi que par une couche, non isolée optiquement par rapport à ces guides d'ondes et formée de matériaux polymères actifs du point de vue de la détection, les caractéristiques optiques et/ou physiques de la couche polymère pouvant être modifiées par des influences physiques ou chimiques extérieures. Les guides d'ondes disposés dans le substrat pour guides d'ondes ne sont pas ensevelis et possèdent un indice de réfraction qui est supérieur à l'indice de réfraction du substrat pour guides d'ondes et de la couche formée du matériau polymère. Etant donné que le matériau polymère lui-même n'est pas structuré, on évite les inconvénients liés à la structuration du matériau polymère. En particulier, tous les matériaux polymères appropriés peuvent être utilisés pour la fabrication des éléments fonctionnels selon l'invention. En outre, le couplage des éléments fonctionnels selon l'invention s'effectue entre le substrat pour guides d'ondes et le guide d'ondes à fibre, ce qui permet d'éviter le problème du couplage de matériaux polymères avec des guides d'ondes à fibres de verre. En outre la fabrication de guides d'ondes dans un substrat usuel pour guides d'ondes est plus simple du point de vue technique et conduit à l'obtention de guides d'ondes présentant moins de pertes. Ceci permet de réduire fortement l'affaiblissement des ondes lumineuses guidées dans les guides d'ondes des capteurs optiques réalisés selon l'optique intégrée et formés à base de polymères, selon l'invention, par rapport à des éléments
fonctionnels usuels formés à partir de polymères.
L'indice de réfraction du guide d'ondes est supérieur à l'indice de réfraction du substrat pour guides d'ondes et de la couche de revêtement. C'est pourquoi une onde lumineuse, qui a été injectée par un guide d'ondes à fibre dans le guide d'ondes du capteur selon l'invention, est limitée à ce guide d'ondes. D'une manière générale, cette onde lumineuse produite dans le guide d'ondes, produit un champ évanescent dans la couche polymère non isolée optiquement par rapport au guide d'ondes. Ce champ lumineux évanescent dépend des caractéristiques de la couche polymère, par exemple de son indice de réfraction, de sa transmission et de son absorption. Des variations de ces paramètres peuvent être produites par exemple par modification de l'épaisseur de la couche de polymère ou directement au moyen d'une modification de l'indice de réfraction. En outre il est possible d'utiliser, pour la couche polymère, un polymère dont les caractéristiques physiques et optiques sont influencées par un champ lumineux pénétrant depuis l'extérieur ou par le champ évanescent. Par exempie, la distribution de charges dans la couche polymère dans le cas de l'utilisation de polymères pyroélectriques peut être modifiée en fonction de
l'onde lumineuse évanescente, qui pénètre dans la couche.
Ces modifications induites des caractéristiques physiques, notamment optiques, de la couche polymère sur la base d'influences physiques et/ou chimiques extérieures conduit à une modification de la phase ou de l'intensité des ondes lumineuses guidées dans les guides d'ondes et l'intensité que l'on peut ensuite mesurer. De même les modifications physiques provoquées par le champ évanescent dans la couche polymère pourraient être utilisées pour déceler l'onde
lumineuse guidée dans les guides d'ondes.
Le guidage de la lumière s'effectue, dans les capteurs selon l'invention, dans un substrat usuel à guides d'ondes, dans des conditions optiques optimales. En raison de l'agencement flexible du système, grâce au choix d'un polymère approprié pour la couche polymère, on peut influencer de la manière voulue sur la fonctionnalité, comme par exemple la sensibilité et la sélectivité, des capteurs selon l'invention. On peut les utiliser, notamment, pour déceler des signaux électriques ou optiques et/ou pour la transmission de signaux optiques. De même les capteurs selon l'invention peuvent être également utilisés en tant que transducteurs bidirectionnels, par exemple entre des signaux
optiques et électriques.
Les capteurs selon l'invention peuvent être aisément intégrés dans d'autres microsystèmes et la réversibilité et la
reproductibilité de leurs caractéristiques sont élevées.
Grâce à l'agencement hybride verre - polymère selon l'invention, on réalise un capteur optique, réalisé selon l'optique intégrée et formé à partir de polymères et qui associe les avantages d'un guidage usuel d'ondes dans des guides d'ondes, qui sont situés dans un substrat usuel à guides d'ondes, aux avantages de la possibilité d'influencer physiquement et/ou chimiquement les caractéristiques physiques, notamment optiques et/ou chimiques de polymères appropriés. On évite alors les inconvénients d'une structuration de la couche polymère, telle qu'elle est nécessaire dans des capteurs optiques usuels, réalisés selon
l'optique intégrée et formés à partir de polymères.
Comme matériaux polymères, dont on peut modifier les caractéristiques optiques et/ou physiques, il convient
d'utiliser notamment des polymères électrc-optiques, élasto-
optiques, thermo-optiques, opto-optiques, chimio-optiaues, piézoélectriques, pyroélectriques ou ferroélectriques. Les caractéristiques optiques et/ou physiques de tels polymères varient en raison d'influences extérieures comme par exemple sur la base d'un champ électrique, d'une force extérieure, d'une variation de température ou d'une onde lumineuse
incidente.
Entre le substrat pour guides d'ondes et la couche polymère, on peut disposer une couche métallique possédant une épaisseur atteignant jusqu'à 100 nm. La réflexion, qui dépend de l'angle d'incidence, de telles couches métalliques, dépend fortement des caractéristiques optiques et d'autres caractéristiques des couches supérieures. Grâce à l'utilisation de telles couches métalliques, on peut par conséquent obtenir des effets de commutation particulièrement intenses pour l'onde lumineuse guidée dans les guides d'ondes. Dans le cas de l'utiiisation d'argent pour la couche métallique, on obtient des effets de commutation
particulièrement accusés.
Grâce à l'utilisation d'électrodes dans la région des guides d'ondes, on peut influer aisément notamment sur des polymères électro-optiques par l'intermédiaire d'un champ électrique extérieur, ou bien, dans le cas d'utilisation de polymères pyroélectriques, on peut détecter la pénétration de lumière dans la couche polymère, par l'intermédiaire de la
polarisation du polymère, qui est de ce fait déclenchée.
Comme matériau pour électrodes, il est avantageux d'utiliser, notamment, de l'oxyde d'indium et d'étain étant donné que de telles électrodes sont particulièrement transparentes et peuvent être également disposées par exemple entre le substrat pour guides d'ondes et la couche polymère de revêtement. Une couche d'aluminium, une couche d'or ou une
couche d'argent peuvent aussi être utilisées.
Pour fabriquer un capteur opto-optique, on peut équiper le capteur selon l'invention d'une couche de revêtement opaque à la lumière, qui est percée, selon une disposition en forme de fenêtre, au-dessus d'au moins l'un des guides d'ondes. Lors de l'arrivée d'une onde lumineuse, par exemple délivrée par une source de lumière laser, des caractéristiques optiques de la couche de polymère varient, ce qui provoque une modification de l'onde lumineuse guidée dans le guide d'ondes
situé au-dessous.
Si à la place d'une couche de revêtement opaque à la lumière on utilise une couche de revêtement imperméable au passage de substances, on peut, en utilisant une couche polymère appropriée, présentant une action de détection pour une substance déterminée, par exemple une couche polymère formée de polymères hydrophiles ou hydrophobes, modifier au moyen de la substance respective, uniquement dans la zone de l'un des guides d'ondes, les caractéristiaues optiques de la couche polymère, de sorte que la présence de la substance respective provoque une modification de l'onde lumineuse dans le guide
d'ondes situé au-dessous.
Comme substrat pour guides d'ondes, on peut utiliser de préférence un verre optique minéral usuel. De tels verres produisent un faible affaiblissement et il est possible d'avoir une adaptation optimale de l'indice de réfraction du verre dans le guide d'ondes et dans le substrat pour guides d'ondes à l'indice de réfraction de la couche polymère. En outre, le couplage du capteur selon l'invention à des guides
d'ondes à fibres est possible d'une manière simple et sûre.
o10 Les pertes optiques dans un guide d'ondes formé d'un verre optique minéral sont inférieures, d'un ordre de grandeur, aux pertes optiques apparaissant dans les capteurs usuels formés à partir de polymères et dans lesquels le guide d'ondes est
constitué par un polymère.
On obtient des conditions particulièrement avantageuses lorsque le substrat pour guides d'ondes est constitué par un verre à faible indice de réfraction, de préférence possédant un indice de réfraction dans la gamme de 1,47 à 1,52, et que la couche polymère est formée par un copolvmère ferroélectrique et/ou un mélange d'un copolymère ferroélectrique et de polyméthylméthacrylate. Pour accorder l'indice de réfraction de la couche polymère, le pourcentage de polyméthylméthacrylate dans le mélange de la couche polymère peut être compris avantageusement entre 10 % et 80 %. Une autre variante de réalisation avantageuse consiste à utiliser des polymères chromophores ayant des caractéristiques optiques non linéaires pour la couche polymère, et un verre pour le substrat pour guides d'ondes, dont l'indice de réfraction est supérieur à 1,6. Ici également, on peut obtenir une adaptation optimale des indices de réfraction des différentes couches du capteur
selon l'invention.
De façon particulièrement simple, on peut obtenir les fonctions de détection dans les capteurs selon l'invention lorsque les guides d'ondes sont disposés dans le substrat pour guides d'ondes sous la forme d'un interféromètre de Mach-Zehnder, sous la forme de guides d'ondes linéaires ou
sous la forme de coupleurs directionnels.
Avantageusement, le guide d'ondes peut être un guide d'onde
diffusé ou guide d'onde monomode.
L'invention concerne aussi l'utilisation d'un capteur optique tel que précédemment décrit en tant que transducteur bidirectionnel entre des ondes lumineuses, guidées dans les guides d'ondes, et les caractéristiques physiques et/ou
chimiques de la couche polymère.
D'autres caractéristiques et avantages de la présente
invention ressortiront de la description donnée ci-après
prise en référence aux dessins annexés, sur lesquels: - la figure 1 représente un capteur selon l'invention; et
- la figure 2 représente un autre capteur selon l'invention.
La figure 1 représente un premier exemple d'un capteur selon l'invention. Dans un substrat en verre usuel 1 à faible indice de réfraction pour guides d'ondes, un guide d'ondes formant canal non enseveli 2 est disposé dans une structure d'interféromètre de Mach-Zehnder. Sur le substrat 1 pour guides d'ondes on dépose par pulvérisation, er. tant qu'électrode inférieure 4, une couche d'oxyde d'indium et d'étain conductrice et transparente. L'électrode 4 possède une épaisseur de couche de 30 nm. Sur cette Électrode 4 formée d'un oxyde d'indium et d'étain, on a déposé par centrifugation une couche polymère 3 formée d'un produit composite à base de polyméthylméthacrylate et du copolymère fluoré fluorure de vinylidène/trifluoroéthylène dans le rapport 20: 80 % en poids avec une épaisseur de couche de 1 mm. Sur cette couche polymère 3, on dépose une électrode en aluminium 5 au moyen d'un dépôt par évaporation sous vide de
telle sorte que l'électrode 5 est située exclusivement au-
dessus d'un bras de la structure de l'interféromètre.
Ensuite, on polarise la couche polymère à une température de 80 C et avec une tension continue de 100 V pendant 120
secondes et on l'active, de ce fait, par voie pyroélectrique.
Si on injecte une onde lumineuse dans le guide d'ondes 2, un champ lumineux évanescent pénètre dans la couche polymère 4 et produit, sur la base des caractéristiques pyroélectriques de la couche polymère 4, un champ électrique entre les deux électrodes 4 et 5. Ce capteur selon l'invention représente par conséquent un capteur optique réalisé selon l'optique intégrée et qui peut être utilisé pour contrôler les signaux optiques guidés dans le guide d'ondes 2 ou pour convertir des
signaux entre le signal optique et un signal électrique.
La figure 2 représente un capteur selon l'invention. Dans une structure d'interféromètre de Mach-Zehnder, un guide d'ondes de canal non enseveli 2 est situé dans un substrat usuel pour guides d'ondes 1, possédant un faible indice de réfraction égal à 1,5. Sur le substrat 1 pour guides d'ondes, cn a déposé par centrifugation une couche de polymère formée de polyméthylméthacrylate modifié de manière à être hydrophile et possédant une épaisseur de 1 mm. Par-dessus, on a déposé, comme couche de revêtement finale, une couche de revêtement 6 structurée avec une fenêtre 7 et possédant une épaisseur de 2 mm, qui passive la région non structurée de la couche polymère 3. La fenêtre 7 est positionnée de telle sorte qu'elle est située exclusivement au- dessus de l'un des bras l1
de l'interféromètre.
L'action de milieux extérieurs, par exemple de substances aqueuses ou huileuses sur la couche polymère 3 est par conséquent limitée latéralement dans l'espace et conduit seulement, par l'intermédiaire de l'un des bras de l'interféromètre, à une modification des caractéristiques optiques de la couche de polymère 3, et à cela est associée
une modification de la transmission dans le guide d'ondes 2.
Dans un autre exemple, on a utilisé un guide d'ondes formant canal monomode usuel non enseveli dans une structure d'interféromètre de MachZehnder, dans un substrat en verre
pour guides d'ondes possédant un indice de réfraction de 1,5.
Sur ce substrat en verre pour guides d'ondes, on a déposé par centrifugation une couche polymère d'une épaisseur de 1 mm formée d'un matériau composite modifié comprenant 25 % en poids du copolymère fluorure de vinylidène/trifluoroéthylène et 75 % en poids de polyméthylméthacrylate. Une déformation mécano-élastique, qui agit sur la couche polymère et qui est produite par exemple par une onde ultrasonore, conduit, en raison de la variation de densité dans la couche polymère, à une modification de ses caractéristiques optiques. Les conditions de résonance, qui sont de ce fait perturbées, pour le guide d'ondes dans l'interféromètre de Mach-Zehnder conduisent à une modulation d'intensité en fonction de la perturbation mécaniaue. De ce fait on a obtenu un capteur mécano-optique. Dans un autre exemple, on a utilisé un guide d'ondes formant canal linéaire non enseveli situé dans un substrat en verre pour guides d'ondes, possédant un faible indice de réfraction situé dans la gamme de 1,47 à 1,5. Sur le substrat pour guides d'ondes, on a déposé par pulvérisation, en tant qu'électrode inférieure, une couche d'argent conductrice possédant une épaisseur de 48 nm. Sur cette électrode, on a déposé par centrifugation une couche polymère formée d'un matériau composite constitué de polyméthylméthacrylate et du copolymère fluoré fluorure de vinylidène/trifluoroéthylène dans le rapport 20: 80 % en poids, avec une épaisseur de 142 pm. Sur cette couche polymère, on a déposé une couche d'aluminium par dépôt par évaporation sous vide, en tant
qu'électrode supérieure possédant une épaisseur de 50 nm.
Si on applique une tension aux électrodes, on influe sur les caractéristiques optiques du système polymère/couche métallique et par conséquent sur les conditions de résonance pour l'excitation, qui dépend de l'angle d'incidence, de plasmons dans la couche métallique, qui conduit à une
réduction de la réflexion au niveau de la couche métallique.
De ce fait, les maxima d'affaiblissement, qui dépendent de la longueur d'onde, pour le guide d'ondes polychrome sont réglés de façon sélective par l'intermédiaire de la tension appliquée. Ce capteur représente par conséquent un sélecteur de longueurs d'onde et peut par conséquent être utilisé en
tant que spectromètre.
Dans d'autres formes de réalisation prises à titre d'exemple, on peut en outre équiper d'électrodes des capteurs selon l'invention indiqués jusqu'alors de sorte que l'on peut même détecter également des tensions électriques continues et des tensions électriques alternatives, aui conduisent, en raison d'interactions électro-optiques et/ou élasto-optiques d'influences extérieures avec la couche polymère, à une modulation d'intensité à la sortie du guide d'ondes structuré. Dans un autre exemple, on a utilisé un substrat en verre pour guides d'ondes, possédant un indice de réfraction élevé égal à 1,6 avec un guide d'ondes formant canal monomode non enseveli avec une structuration linéaire et/ou une structuration de Mach-Zehnder. Sur le substrat pour guides d'ondes, on a déposé une couche polymère, qui réalise une absorption dans la plage spectrale visible et possède des caractéristiques optiques linéaires et/ou non linéaires, dans cet exemple un polymère optique non linéaire à chaîne latérale à base de polyméthylméthacrylate ou à base de résine époxy. Lors de l'arrivée des impulsions laser sur la couche polymère, l'indice de réfraction de la couche polymère et, par conséquent, l'intensité d'une onde lumineuse guidée dans les guides d'ondes à la sortie du guide d'ondes varient. Ce capteur selon l'invention représente le capteur optoptique, qui peut être utilisé par exemple pour détecter des
impulsions laser.
Claims (19)
1. Capteur optique, réalisé selon la technique de l'optique intégrée et formé à base de polymères, qui contient au moins un guide d'ondes (2) situé dans un substrat (1) pour guides d'ondes, caractérisé en ce que les guides d'ondes (2) ne sont pas ensevelis et que la surface du substrat (1) pour guides d'ondes, associée aux guides d'ondes (2), est recouverte par une couche (3), non isolée optiquement par rapport aux guides d'ondes (2) et formée de matériaux polymères actifs pour la détection et dont les caractéristiques physiques, notamment optiques ou électriques et/ou chimiques peuvent être modifiées par des influences physiques ou chimiaues extérieures, l'indice de réfraction des guides d'ondes (2) étant supérieur à l'indice de réfraction du substrat (1) pour
guides d'ondes et de la couche polymère (3).
2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les matériaux polymères sont des polymères, dont les caractéristiques optiques et/ou électriques peuvent être
modifiées par les influences extérieures.
3. Capteur suivant l'une des revendications 1 ou 2,
caractérisé en ce que la couche polymère (3) est formée par un polymère électrooptique, élasto-optique, thermo-optique,
opto-optique, chimio-optique, piézoélectrique, pyro-
électrique ou ferroélectrique.
4. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à 3,
caractérisé en ce qu'entre le substrat pour guides d'ondes (1) et la couche polymère (3) est disposée une couche
métallique possédant une épaisseur atteignant jusqu'à 100 nm.
5. Capteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que la
couche métallique est formée d'argent.
6. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à 5,
caractérisé en ce qu'au moins deux électrodes (4,5) sont
disposées dans la région des guides d'ondes.
7. Capteur suivant la revendication 6, caractérisé en ce que les électrodes (4,5) sont constituées au moins en partie par une couche d'oxyde d'indium et d'étain, une couche
d'aluminium, une couche d'or ou une couche d'argent.
8. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à 7,
caractérisé en ce que la couche polymère est pourvue d'une couche de revêtement (6) opaque à la lumière et/ou imperméable à des substances et qui est traversée, selon une disposition en forme de fenêtre, par au moins l'un des guides d'ondes.
9. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à 8,
caractérisé en ce que le substrat (1) pour guides d'ondes est
un verre optique minéral.
10. Capteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que le substrat pour guides d'ondes est formé d'un verre à faible indice de réflexion et que le polymère est formé d'un copolymère ferroélectrique et/ou d'un mélange d'un copolymère
ferroélectrique et de polyméthylméthacrylate.
11. Capteur selon la revendication 10, caractérisé en ce que le verre à faible indice de réfraction possède un indice de
réfraction dans la gamme entre 1,47 et 1,52.
12. Capteur suivant l'une quelconque des revendications i à
11, caractérisé en ce aue le pourcentage de
polyméthylméthacrylate est compris entre 10 % et 80 %.
13. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à
12, caractérisé en ce que la couche polymère est formée par des polymères chromophores ayant des caractéristiques optiques non linéaires et en ce que le substrat (1) pour guides d'ondes est réalisé en verre possédant un indice de
réfraction supérieur à 1,6.
14. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à
13, caractérisé en ce que les guides d'ondes (2) sont agencés
sous la forme d'un interféromètre de Mach-Zehnder.
15. Capteur suivant l'une quelconaue des revendications 1 à
14, caractérisé en ce que le guide d'ondes (2) est disposé
sous la forme d'un guide d'ondes linéaire.
16. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à
, caractérisé en ce que les guides d'ondes (2) sont disposés sous la forme de coupleurs optiques ou de coupleurs
optiques directionnels.
17. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à
16, caractérisé en ce que le guide d'ondes (2) est un guide
d'ondes diffusé.
18. Capteur suivant l'une quelconque des revendications 1 à
17, caractérisé en ce que les guides d'ondes (2) sont agencés
sous la forme de guides d'ondes monomode.
19. Utilisation d'un capteur optique, réalisé selon l'optique
intégrée, selon l'une quelconque des revendications 1 à 18,
caractérisé en ce qu'il est utilisé en tant que transducteur bidirectionnel entre des ondes lumineuses, guidées dans les guides d'ondes (2), et les caractéristiques physiques et/ou
chimiques de la couche polymère (3).
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