FR2731076A1

FR2731076A1 - Composite acceleration measuring detector integrated in small dimensional box

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Publication number: FR2731076A1
Application number: FR9502289A
Authority: FR
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1995-02-24
Filing date: 1995-02-24
Publication date: 1996-08-30

Abstract

The detector is capacitive type having a flexible body which can be displaced under the effect of acceleration with respect to a fixed structure and has a sandwich structure having at least a central plaque (5) fixed between two lateral plaques (6,7). The central plaque (5) is made from a flexible material and is machined to an E-form whose partially conducting central wing (8) forms a twin movable armature for the capacitor. The lateral plaques (6,7) are made from a rigid material (sital, quartz or zerodur), with a low expansion coefft., and each has a fixed face (12) against which presses one of the main faces of the plaque (5). Each fixed face (12) in its part situated with respect to the central wing (8), is metallised (13) so as to form a fixed armature of the capacitor. The twin moving armature forms with the two fixed armatures a twin variable capacitor whose variations in capacity are representative of the acceleration.

Description

CAPTEUR ACCE LEROMETRI OUE COMPOSITE INTéGRABLE DANS UN
BOTTIER DE PETITES DIMENSIONS.ACCE LEROMETRI OR COMPOSITE SENSOR INTEGRATED INTO A
BOTTIER OF SMALL DIMENSIONS.

La présente invention a pour objet un capteur accélérométrique composite intégrable dans un boitier de petites dimensions.The subject of the present invention is a composite accelerometric sensor which can be integrated into a housing of small dimensions.

Elle concerne plus particulièrement un accéléromètre capacitif du type comprenant un corps d'épreuve flexible, pouvant se déplacer sous l'effet d'une accélération en regard d'une structure support fixe.It relates more particularly to a capacitive accelerometer of the type comprising a flexible test body, which can move under the effect of an acceleration opposite a fixed support structure.

Dans les accéléromètres de ce type, le corps d'épreuve est au moins en partie électriquement conducteur de manière à constituer avec une plage électriquement conductrice du substrat un condensateur dont la capacité varie en fonction de l'accélération.In accelerometers of this type, the test body is at least partly electrically conductive so as to constitute, with an electrically conductive surface of the substrate, a capacitor whose capacity varies as a function of acceleration.

De nombreuses solutions ont été déjà proposées pour réaliser des accéléromètres de ce type.Many solutions have already been proposed for producing accelerometers of this type.

Ainsi, le brevet US 5 006 487 propose un accéléromètre intégré réalisé en silicium au moyen d'un procédé comprenant les étapes suivantes - le dépôt d'une couche de silicium épitaxial dopée P+
sur une plaquette de silicium polie sur ses deux faces
et dopée P-, - la gravure du silicium épitaxial pour définir une
première forme du corps d'épreuve et de la zone de
flexion, - la fixation par fusion d'une seconde plaquette de
silicium dopée P- sur la couche dopée P+ de silicium
épitaxial, - l'oxydation des surfaces exposées des première et
seconde plaquettes dopées P- pour réaliser des couches
intermédiaires diélectriques servant à définir les
espaces d'excursion du corps d'épreuve, - l'application d'un matériau résistant à la gravure sur
la couche intermédiaire pour définir une forme
similaire à la première, - la gravure des première et deuxième plaquettes en
silicium dopé P- pour réaliser le corps d'épreuve et la
zone de flexion, - l'élimination des portions internes des couches
intermédiaires diélectriques pour réaliser l'espace
d'excursion du corps d'épreuve, - la fixation par fusion de deux plaquettes d'arrêt sur
les couches intermédiaires diélectriques des deux
plaquettes de silicium dopées P-, qui constituent deux
armatures fixes de condensateur entre lesquelles peut
se déplacer une armature mobile constituée par le corps
d'épreuve.Thus, US Pat. No. 5,006,487 proposes an integrated accelerometer made of silicon by means of a method comprising the following steps - the deposition of a layer of epitaxial silicon doped P +
on a silicon wafer polished on both sides
and P- doped, - the etching of epitaxial silicon to define a
first form of the test body and the area of
bending, - fixing by fusion of a second plate of
P- doped silicon on the P + doped silicon layer
epitaxial, - the oxidation of the exposed surfaces of the first and
second P- doped wafers to make layers
dielectric intermediates used to define the
excursion spaces of the test body, - the application of a material resistant to etching on
the middle layer to define a shape
similar to the first, - the engraving of the first and second plates in
P- doped silicon to produce the test body and the
bending zone, - elimination of the internal portions of the layers
dielectric intermediates to achieve space
of excursion of the test body, - the fixing by fusion of two stop plates on
the dielectric intermediate layers of the two
P- doped silicon wafers, which constitute two
fixed capacitor plates between which can
move a movable frame formed by the body
of test.

I1 est clair qu'une telle solution est à la fois complexe et coûteuse à réaliser. En outre, elle ne permet pas de maltriser tous les paramètres qui permettent d'obtenir une bonne reproductibilité en matière de précision, lors de fabrications en grande série. It is clear that such a solution is both complex and costly to carry out. In addition, it does not allow controlling all the parameters which make it possible to obtain good reproducibility in terms of precision, during mass production.

Le brevet US 4 483 194 concerne, quant à lui, un accéléromètre intégré dans lequel le corps d'épreuve est relié à la structure support fixe par des éléments de fixation jouant le rôle de ressorts de torsion : Ici aussi, le procédé de fabrication est relativement complexe.The US Pat. No. 4,483,194 relates to an integrated accelerometer in which the test body is connected to the fixed support structure by fastening elements acting as torsion springs: Here too, the manufacturing process is relatively complex.

L'invention a donc plus particulièrement pour but de supprimer ces inconvénients.The invention therefore more particularly aims to eliminate these drawbacks.

Elle propose donc un capteur accélérométrique de type différentiel plus facilement réalisable et qui présente un prix de revient plus réduit avec, cependant, un haut niveau de précision et de reproductibilité, ainsi que des propriétés dynamiques meilleures.It therefore offers an accelerometric sensor of the differential type which is more easily achievable and which has a lower cost price with, however, a high level of precision and reproducibility, as well as better dynamic properties.

Selon l'invention, cet accéléromètre présente une structure sandwich comprenant au moins une plaquette centrale maintenue fixement entre deux plaquettes latérales.According to the invention, this accelerometer has a sandwich structure comprising at least one central plate fixedly held between two side plates.

La plaquette centrale, réalisée en une matière flexible telle que du silicium est micro-usinée de manière à présenter une forme en E dont l'aile centrale constitue une poutre flexible servant de corps d'épreuve et qui constitue une double armature mobile de condensateur.The central plate, made of a flexible material such as silicon, is micro-machined so as to have an E-shape, the central wing of which constitutes a flexible beam serving as test body and which constitutes a movable double armature of the capacitor.

Les plaquettes latérales, réalisées en matériau rigide, présentant un faible coefficient de dilatation, présentent chacune une face de fixation contre laquelle vient en appui et se trouve solidarisée l'une des faces principales opposées de la partie centrale.The side plates, made of rigid material, having a low coefficient of expansion, each have a fixing face against which abuts and is secured to one of the main opposite faces of the central part.

Chaque face d'appui porte, dans sa partie située en regard de l'aile centrale, une métallisation constituant une armature fixe de condensateur.Each bearing face carries, in its part located opposite the central wing, a metallization constituting a fixed armature of the capacitor.

La fixation des deux faces latérales sur la plaquette centrale est réalisée à l'aide d'un moyen de fixation tel qu'un collage, une soudure ou une thermodiffusion sous pression, dans une ou plusieurs zones situées en regard de l'âme et des deux ailes latérales de la plaquette centrale.The two lateral faces are fixed to the central plate using a fixing means such as bonding, welding or pressure thermal diffusion in one or more zones located opposite the core and the two lateral wings of the central plate.

L'écart entre les deux armatures fixes de condensateur et l'armature mobile est obtenu soit à l'aide d'éléments espaceurs situés entre la plaquette centrale et les deux plaquettes latérales, soit grâce à une réduction de l'épaisseur de l'aile centrale formant le corps d'épreuve par rapport à l'épaisseur de l'âme et des deux ailes latérales de ladite plaquette.The distance between the two fixed capacitor plates and the movable plate is obtained either using spacers located between the central plate and the two side plates, or by reducing the thickness of the wing. central forming the test body with respect to the thickness of the core and of the two lateral wings of said plate.

Des modes de réalisation de l'invention seront décrits ci-après, à titre d'exemples non limitatifs, avec référence aux dessins annexés dans lesquels
La figure 1 est une vue éclatée d'un
accéléromètre ;
La figure 2 est une vue en perspective montrant
le capteur assemblé, capot ouvert
Les figures 3 et 4 sont deux vues à plus grande
échelle d'une plaquette latérale et de la
plaquette centrale du capteur
La figure 5 est un schéma de principe d'un
circuit électronique pour une mesure
différentielle des variations de capacité du
capteur accélérométrique.Embodiments of the invention will be described below, by way of nonlimiting examples, with reference to the accompanying drawings in which
Figure 1 is an exploded view of a
accelerometer;
Figure 2 is a perspective view showing
sensor assembled, cover open
Figures 3 and 4 are two larger views
scale of a side plate and the
central sensor plate
Figure 5 is a block diagram of a
electronic circuit for a measurement
differential capacity variations of the
accelerometric sensor.

Dans l'exemple représenté sur la figure 1, l'accéléromètre est enfermé dans un boîtier parallélépipédique rectangle comprenant une base 1 munie de deux séries 2, 3 de pattes de connexion et un capot 4 venant se sertir sur la base 1.In the example shown in FIG. 1, the accelerometer is enclosed in a rectangular parallelepipedic box comprising a base 1 provided with two series 2, 3 of connection lugs and a cover 4 which is crimped onto base 1.

Comme précédemment indiqué, l'accéléromètre présente une structure sandwich composée de trois plaquettes superposées, à savoir : une plaquette centrale 5, en un matériau flexible tel que du silicium et deux plaquettes latérales 6 et 7 réalisées en un matériau diélectrique rigide et présentant un faible coefficient de dilatation.As previously indicated, the accelerometer has a sandwich structure composed of three superimposed plates, namely: a central plate 5, made of a flexible material such as silicon and two side plates 6 and 7 made of a rigid dielectric material and having a low coefficient of expansion.

Ce matériau rigide peut par exemple consister en du sital, du quartz, du zérodur ou en tout autre matériau de ce genre.This rigid material may for example consist of sital, quartz, zerodur or any other material of this kind.

La plaquette centrale 5 est réalisée par micro-usinage d'une plaquette standard de silicium (et donc réalisable avec haute précision) d'une épaisseur de quelques dixièmes de millimètres (par exemple 0,36 mm). Elle présente une forme en E, inscrite dans un rectangle, par exemple de 10 mm x 15 m. L'aile centrale 8 du E qui constitue le corps d'épreuve peut, par exemple, présenter une longueur de 12 mm et une largeur de 3 mm.The central plate 5 is produced by micromachining a standard silicon wafer (and therefore achievable with high precision) with a thickness of a few tenths of a millimeter (for example 0.36 mm). It has an E shape, inscribed in a rectangle, for example 10 mm x 15 m. The central wing 8 of the E which constitutes the test body may, for example, have a length of 12 mm and a width of 3 mm.

Dans ce cas, les deux ailes latérales 9, 10, de même longueur que l'aile centrale 8 peuvent présenter une largeur de 2,5 mm, l'espace libre entre les ailes latérales et l'aile centrale étant de 1 mm. L'âme 11 du E peut alors présenter une longueur de 10 mm et une largeur de 3 - (figure 3).In this case, the two lateral wings 9, 10, the same length as the central wing 8 may have a width of 2.5 mm, the free space between the lateral wings and the central wing being 1 mm. The core 11 of the E can then have a length of 10 mm and a width of 3 - (Figure 3).

Une particularité de cette plaquette centrale 5 consiste en ce qu'elle ne nécessite pas de traitement bilatéral à l'eau forte mais un simple traitement unilatéral qui n'affecte pas son épaisseur et sa sensibilité, ces deux paramètres demeurant indépendants du procédé de microusinage (gravure chimique) utilisé.A particularity of this central plate 5 is that it does not require bilateral treatment with etching but a simple unilateral treatment which does not affect its thickness and sensitivity, these two parameters remaining independent of the micromachining process ( chemical etching) used.

Les plaquettes latérales 6, 7 présentent une forme rectangulaire dont les dimensions sont légèrement différentes de celles de la forme rectangulaire dans laquelle se trouve inscrite la plaquette centrale 5. De même que la plaquette centrale 5, ces plaquettes latérales présentent des dimensions standard et peuvent être réalisées en grande série avec des hautes précisions. La matière utilisée est ici une matière présentant de très bonnes propriétés de rigidité et un très faible coefficient de dilatation. Un tel matériau peut, par exemple, consister en un matériau diélectrique.The side plates 6, 7 have a rectangular shape the dimensions of which are slightly different from those of the rectangular shape in which the central plate 5 is inscribed. Like the central plate 5, these side plates have standard dimensions and can be produced in large series with high precision. The material used here is a material having very good stiffness properties and a very low coefficient of expansion. Such a material can, for example, consist of a dielectric material.

Dans cet exemple, les plaquettes 6, 7 présentent une largeur plus grande et une longueur plus petite que les dimensions correspondantes de la plaquette centrale 5.In this example, the plates 6, 7 have a greater width and a shorter length than the corresponding dimensions of the central plate 5.

Ces plaquettes latérales 6, 7 présentent chacune une face de fixation 12 sur laquelle vient se fixer, par exemple par collage, soudure, thermodiffusion ou par tout autre procédé de fixation analogue, l'une des faces principales opposées de la plaquette centrale 5.These lateral plates 6, 7 each have a fixing face 12 on which is fixed, for example by gluing, welding, heat diffusion or by any other similar fixing method, one of the main opposite faces of the central plate 5.

Cette face de fixation 12 porte, dans sa partie qui se trouve en regard de l'aile centrale 8 de la plaquette 5 une métallisation 13 qui constitue une armature fixe de condensateur. Cette métallisation 13 se prolonge du côté opposé à 1 'âme 11 de la plaquette centrale 5 par une patte de connexion 14 qui s'étend parallèlement à ladite âme 11.This fixing face 12 carries, in its part which is opposite the central wing 8 of the wafer 5, a metallization 13 which constitutes a fixed armature of the capacitor. This metallization 13 is extended on the side opposite the core 11 of the central plate 5 by a connection tab 14 which extends parallel to said core 11.

Les zones de fixation prévues sur les plaquettes latérales s'étendent au droit de l'âme 11 et des ailes latérales 9, 10 de la plaquette 5. Au niveau des ailes latérales 9, 10, les zones de fixation présentent une forme en C, 15, 16 dont la concavité s'ouvre à l'opposé de l'aile centrale 8. Cette forme en C sert notamment à assurer le piégeage de la colle de manière à l'empêcher de pénétrer dans la région située entre les électrodes.The fixing zones provided on the lateral plates extend in line with the core 11 and the lateral wings 9, 10 of the plate 5. At the level of the lateral wings 9, 10, the fixing zones have a C-shape, 15, 16, the concavity of which opens opposite the central wing 8. This C-shape is used in particular to ensure the trapping of the adhesive so as to prevent it from entering the region situated between the electrodes.

La zone de fixation 17 prévue sur l'âme centrale 11 s'étend pratiquement sur toute la longueur de cette dernière, sa largeur est inférieure à celle de ladite âme 11.The fixing zone 17 provided on the central core 11 extends practically over the entire length of the latter, its width is less than that of said core 11.

Comme précédemment mentionné, l'aile centrale 8 de la plaquette 5, qui est électriquement conductrice, constitue une armature double de condensateur, mobile par flexion sous l'effet d'une composante d'accélération perpendiculaire à son plan.As previously mentioned, the central wing 8 of the plate 5, which is electrically conductive, constitutes a double armature of capacitor, movable by bending under the effect of an acceleration component perpendicular to its plane.

L'espace libre nécessaire entre cette armature mobile (aile 8) et les deux armatures fixes (métallisations 13) entre lesquelles elle est disposée, peut être obtenu avec précision, par différents moyens.The necessary free space between this movable frame (wing 8) and the two fixed frames (metallizations 13) between which it is arranged, can be obtained with precision, by various means.

Une première solution consiste à effectuer sur les plaquettes latérales 6, 7 un dépôt de matière, par exemple un dépôt de nickel qui recouvre toute la zone de fixation précédemment décrite 15, 16, 17, cette couche pouvant avoir une épaisseur de l'ordre de 6 pia. La fixation des plaquettes s'effectuant alors au niveau de cette couche (figure 4).A first solution consists in carrying out on the side plates 6, 7 a deposit of material, for example a deposit of nickel which covers the whole of the previously described fixing zone 15, 16, 17, this layer possibly having a thickness of the order of 6 pia. The plates are then fixed at this layer (Figure 4).

Une deuxième solution consiste à disposer entre les plaquettes latérales 6, 7 et la plaquette centrale 5, des cales d'épaisseur (par exemple de 6 pm) pouvant, par exemple, consister en des languettes rectangulaires 18, 19 venant s'intercaler entre les ailes latérales 9, 10 de la plaquette centrale 5 et les plaquettes latérales 6, 7, comme indiqué sur la figure 1.A second solution consists in placing between the lateral plates 6, 7 and the central plate 5, shims of thickness (for example 6 μm) which can, for example, consist of rectangular tabs 18, 19 which are inserted between the lateral wings 9, 10 of the central plate 5 and the lateral plates 6, 7, as shown in FIG. 1.

Une troisième solution consiste à réduire, au moyen d'un procédé d'usinage de haute précision, l'épaisseur de l'aile centrale 8 par exemple de 6 pm, au niveau de chacune de ses faces principales.A third solution consists in reducing, by means of a high-precision machining process, the thickness of the central wing 8, for example by 6 μm, at each of its main faces.

Une fois les plaquettes 5, 6, 7 solidarisées les unes aux autres de la façon précédemment indiqué, l'accéléromètre ainsi obtenu est fixé sur la base 1, et des connexions sont réalisées entre les pattes de connexion 2, 3, la plaquette centrale 5 et les pattes de connexion associées aux métallisations 13. Once the plates 5, 6, 7 secured to each other in the manner previously indicated, the accelerometer thus obtained is fixed on the base 1, and connections are made between the connection tabs 2, 3, the central plate 5 and the connection lugs associated with the metallizations 13.

Le collage constitue une technique très simple et très bon marché pour la fixation des éléments de l'accéléromètre : I1 permet d'obtenir une rigidité mécanique suffisante et une bonne résistance aux légères déformations engendrées par les phénomènes de dilatation, dans une large gamme de température.Bonding constitutes a very simple and very inexpensive technique for fixing the elements of the accelerometer: I1 makes it possible to obtain sufficient mechanical rigidity and good resistance to slight deformations caused by the phenomena of expansion, in a wide temperature range .

Avantageusement, la surface des armatures fixe et mobile du double condensateur seront sensiblement égales de manière à réduire autant que possible les capacités parasites.Advantageously, the surface of the fixed and mobile armatures of the double capacitor will be substantially equal so as to reduce the stray capacitances as much as possible.

Il convient de noter que, dans l'exemple précédemment décrit, outre le fait que les dimensions des plaquettes 6, 7 sont différentes de celles de la plaquette 5, l'axe de symétrie des électrodes des plaquettes latérales 6, 7 est décalé par rapport à l'axe médian de ces plaquettes 6, 7. Grâce à ces dispositions, les plaquettes 6, 7 sont décalées par rapport à la plaquette 5, ce qui facilite les opérations d'assemblage mécanique et de connexion électrique de l'accéléromètre.It should be noted that, in the example described above, in addition to the fact that the dimensions of the plates 6, 7 are different from those of the plate 5, the axis of symmetry of the electrodes of the side plates 6, 7 is offset with respect to to the median axis of these plates 6, 7. Thanks to these arrangements, the plates 6, 7 are offset relative to the plate 5, which facilitates the operations of mechanical assembly and electrical connection of the accelerometer.

Du point de vue électrique, l'accéléromètre se comporte comme le double condensateur 20 représenté sur la figure 5 qui comprend deux armatures fixes parallèles 21, 22 entre lesquelles est disposée une armature mobile 23.From an electrical point of view, the accelerometer behaves like the double capacitor 20 shown in FIG. 5 which includes two parallel fixed plates 21, 22 between which is a movable plate 23.

Cette armature mobile 23 forme avec l'armature fixe 21 un condensateur variable de capacité C1 et avec l'armature fixe 22 un condensateur variable de capacité C2. Au repos, l'armature mobile 23 est à égale distance des armatures fixes 21, 22. De ce fait, les capacités C1 et
C2 sont égales à une valeur C. Par contre, lorsque l'armature mobile 23 se déplace sous l'effet d'une accélération, la capacité C1 devient égale à C | AC, tandis que la capacité C2 devient égale à C - AC, la valeur AC étant proportionnelle à l'accélération. This movable armature 23 forms with the fixed armature 21 a variable capacitor of capacity C1 and with the fixed armature 22 a variable capacitor of capacity C2. At rest, the mobile armature 23 is equidistant from the fixed armatures 21, 22. As a result, the capacities C1 and
C2 are equal to a value C. On the other hand, when the movable armature 23 moves under the effect of an acceleration, the capacity C1 becomes equal to C | AC, while the capacity C2 becomes equal to C - AC, the value AC being proportional to the acceleration.

Le circuit électronique représenté sur la figure 5 permet de délivrer une tension analogique proportionnelle à 2 x AC. The electronic circuit shown in Figure 5 allows to deliver an analog voltage proportional to 2 x AC.

Ce circuit fait intervenir deux générateurs de signaux crénelés G1, G2 en opposition de phase, rythmés par une horloge commune H à une fréquence Fo et alimentés par une tension Uo. Les sorties de ces deux générateurs G1, G2 sont respectivement reliées aux deux armatures fixes 21, 22 de l'accéléromètre. L'armature mobile 23 est, quant à elle, reliée à l'entrée d'un intégrateur I comprenant un amplificateur opérationnel A sur lequel est monté en parallèle un condensateur de capacité Co. La sortie de l'intégrateur I est reliée à l'entrée d'un convertisseur
SH, par exemple de type échantillonneur-bloqueur rythmé par l'horloge, qui fournit à sa sortie une tension analogique Us de la forme
(C2 - C1) 2Uo Us = -Uo ~~~~~~~~~ = AC C = 2C
Co Co This circuit involves two crenellated signal generators G1, G2 in phase opposition, paced by a common clock H at a frequency Fo and supplied by a voltage Uo. The outputs of these two generators G1, G2 are respectively connected to the two fixed plates 21, 22 of the accelerometer. The movable armature 23 is, in turn, connected to the input of an integrator I comprising an operational amplifier A on which is mounted in parallel a capacitor of capacitance Co. The output of the integrator I is connected to the converter input
SH, for example of a sampler-blocker rhythmized by the clock, which provides an analog voltage Us of its form at its output
(C2 - C1) 2Uo Us = -Uo ~~~~~~~~~ = AC C = 2C
Co Co

Claims

1. Capacitive accelerometric sensor of the type comprising a flexible test body which can move under the effect of an acceleration opposite a fixed structure, characterized in that it has a sandwich structure comprising at least one central plate ( 5) fixedly held between two side plates (6, 7), the central plate (5) being made of a flexible material and being micro-machined so as to have an E-shape including the central wing (8), which is at least partly electrically conductive, constitutes a movable double armature of capacitor, the side plates (6, 7), made of a rigid material, with low coefficient of expansion, each comprising a fixing face (12) against which abuts and is secured to one of the main opposite faces of the central plate (5), in that each fastening face carries, in its part located opposite the central wing (8), a metallization (13) constituting a fixed capacitor frame, and in that the movable double frame forms, with the two fixed frames, a variable double capacitor whose variations in capacity are representative of the acceleration.

2. Sensor according to claim 1, characterized in that the central plate (5) is made of silicon, while the side plates (6, 7) are made of a dielectric material such as sital, quartz or zerodur.

3. Sensor according to one of claims 1 and 2, characterized in that the fixing of the two lateral plates (6, 7) on the central plate (5) is carried out using a fixing means such as welding, bonding or thermodiffusion under pressure.

4. Sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the distance between the movable double frame and each of the two lateral plates (6, 7) is provided by a layer produced by deposition on the fixing face (12) of the side plate (6, 7), at the attachment zones thereof.

5. Sensor according to one of claims 1 to 3, characterized in that the gap between the movable double frame and each of the two side plates (6, 7) is provided by means of intermediate tabs (18, 19) playing the role of shims.

6. Sensor according to one of claims 1 to 3, characterized in that the difference between the movable double armature and each of the two side plates (6, 7) is ensured by means of a reduction in the thickness of the 'central wing (8) at its two main faces.

7. Sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the fixing zones (15, 16) provided on the side plates (6, 7) at the level of the side wings (9, 10) of the central plate (5 ) have C-shaped shapes, the concavity of which opens on the side opposite to the central wing (8) of said central plate (5).

8. Sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the lateral plates (6, 7) have dimensions slightly different from those of the central plate (5) and are offset relative to each other.

9. Sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the two fixed armatures (21, 22) are respectively connected to the outputs of two crenellated signal generators (mistletoe, G2) in phase opposition punctuated by a common clock ( H) and supplied by a voltage (Uo), in that the movable double armature (23) is connected to the input of an integrator (A, Co) whose output is connected to the input of a converter ( SH) punctuated by the clock (H) and designed so as to deliver an analog voltage whose amplitude is proportional to twice the capacity difference (AC) of each of the two variable capacitors formed by the double movable armature (23 ) and the two fixed frames (21, 22).