FR2729253A1 - Module capteur a boitier et procede de fabrication d'un tel module - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999019733A1 (de) * 1997-10-14 1999-04-22 Temic Telefunken Microelectronic Gmbh Piezoelektrischer biegesensor-beschleunigungsaufnehmer

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US5150616A (en) * 1989-09-21 1992-09-29 Nippondenso Co., Ltd. Semiconductor strain sensor and manufacturing method thereof
DE9314084U1 (de) * 1993-09-17 1994-01-05 Mannesmann Kienzle Gmbh, 78052 Villingen-Schwenningen Anordnung zum Befestigen eines mikromechanischen Sensors auf einem Träger durch Kleben
FR2694403A1 (fr) * 1992-07-31 1994-02-04 Sagem Accéléromètre pendulaire électrostatique à électrode de test et procédé de fabrication d'un tel accéléromètre.
DE9415696U1 (de) * 1993-09-29 1994-12-15 Société d'Applications Générales d'Electricité et de Mécanique, Paris Cedex Dichtes Gehäuse für Mikrobauelemente

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