FR2703473A1 - Optical filter having a ring resonator - Google Patents

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Abstract

The ring resonator (4) of this filter has the shape of a polygon, the sides of which are segments of light guides (12, 14, 16, 18) and the vertices of which are formed by mirrors (22, 24, 26, 28) optically connecting these segments to each other. These segments and these mirrors are formed in a semiconductor substrate (2). One of these segments (14) constitutes an amplifier for the light that it guides and makes it possible to compensate for the mirror losses. Another segment (18) makes it possible to tune the filter. The invention applies, in particular, to optical telecommunication networks.

Description

Filtre optique à résonateur en anneau
Les filtres optiques sont des éléments essentiels de tout système à transmission ou à commutation optique utilisant un multiplexage en longueur d'onde. Dans un tel système un filtre est utilisé pour sélectionner un canal optique parmi un certain nombre de tels canaux. Ce nombre dépend de l'architecture du système et peut varier de deux à plusieurs centaines. En pratique, la limite est très souvent imposée par les performances des composants disponibles.
Ring resonator optical filter
Optical filters are essential elements of any optical transmission or switching system using wavelength multiplexing. In such a system a filter is used to select an optical channel from a number of such channels. This number depends on the architecture of the system and can vary from two to several hundred. In practice, the limit is very often imposed by the performance of the available components.

Des résonateurs de filtres optiques connus sont constitués par une cavité Fabry Perot ou un résonateur en anneau. Known optical filter resonators consist of a Fabry Perot cavity or a ring resonator.

La réponse d'un tel filtre est son spectre de transmission. Elle est représentée à titre d'exemple sur la figure I sur laquelle les longueurs d'onde X sont portées en abscisses et les coefficients de transmission T en ordonnées. Elle présente une succession de raies de résonance centrées sur les longueurs d'ondes pour lesquelles, dans le cas d'un résonateur en anneau, la longueur optique du trajet parcouru par la lumière dans un tour de l'anneau est égale à un multiple entier de la longueur d'onde. Le spectre de transmission se caractérise par la bande passante B qui est la largeur à 3dB de chaque raie de résonance et par l'intervalle spectral libre A qui est l'intervalle séparant les longueurs d'onde centrales de deux raies de résonance consécutives.Ces paramètres sont déterminés par la longueur optique de l'anneau c'est-à-dire celle du trajet que la lumière parcourt, et par les pertes qu'elle subit lorsqu'elle fait un tour de l'anneau. The response of such a filter is its transmission spectrum. It is shown by way of example in FIG. I in which the wavelengths X are plotted on the abscissa and the transmission coefficients T on the ordinate. It has a succession of resonance lines centered on the wavelengths for which, in the case of a ring resonator, the optical length of the path traveled by the light in one revolution of the ring is equal to an integer multiple wavelength. The transmission spectrum is characterized by the bandwidth B which is the width at 3dB of each resonance line and by the free spectral interval A which is the interval separating the central wavelengths of two consecutive resonance lines. parameters are determined by the optical length of the ring, that is to say that of the path that the light travels, and by the losses it undergoes when it rotates around the ring.

Plus précisément l'intervalle spectral libre A est donné, si on considère des ondes dont la longueur d'onde est voisine d'une valeur moyenne X, par la relation
A = X2/L
L étant une longueur optique totale de l'anneau c'est-à-dire la somme des longueurs optiques des éléments de cet anneau.
More precisely, the free spectral interval A is given, if we consider waves whose wavelength is close to an average value X, by the relation
A = X2 / L
L being a total optical length of the ring, that is to say the sum of the optical lengths of the elements of this ring.

On sait que la longueur optique d'un tel élément est le produit nl de sa longueur géométrique 1 par son indice de réfraction n.We know that the optical length of such an element is the product nl of its geometric length 1 by its refractive index n.

Quant à la largeur de bande B elle est d'autant plus grande que les pertes sont plus grandes. As for the bandwidth B it is all the greater the greater the losses.

Un filtre se caractérise également par sa finesse, qui est le rapport A/B entre son intervalle spectral libre et sa bande passante. Lorsque on veut utiliser un filtre dans un système fonctionnant sur un grand nombre de canaux spectraux, la finesse de ce filtre doit typiquement être au moins trois fois plus grande que le nombre de ces canaux. A filter is also characterized by its fineness, which is the A / B ratio between its free spectral interval and its bandwidth. When it is desired to use a filter in a system operating on a large number of spectral channels, the fineness of this filter must typically be at least three times greater than the number of these channels.

Une grande finesse est donc souhaitable. Pour l'obtenir il convient de limiter les pertes et le périmètre de l'anneau.Great finesse is therefore desirable. To obtain it, it is necessary to limit the losses and the perimeter of the ring.

Par ailleurs, dans de nombreux systèmes utilisant des filtres, il est souhaitable que ces derniers soient accordables et que le temps nécessaire pour obtenir l'accord d'une longueur d'onde de résonance du filtre sur une longueur d'onde imposée par ailleurs soit limité. Furthermore, in many systems using filters, it is desirable that the latter be tunable and that the time necessary to obtain the agreement of a resonance wavelength of the filter with a wavelength imposed elsewhere is limit.

Un premier filtre optique accordable connu est décrit dans un article de K. ODA et al (Journal of Lightwave
Technology vol 9, n 6, juin 1991). I1 comporte deux résonateurs en anneaux constitués par des guides circulaires formés dans un substrat de silice SiO2. I1 présente une finesse importante grâce au fait que ces deux résonateurs sont couplés en série et présentent des rayons légèrement différents. Cette finesse est de 182, et l'intervalle spectral libre de 37.2 GHz (environ 0.3 nm).
A first known tunable optical filter is described in an article by K. ODA et al (Journal of Lightwave
Technology vol 9, no 6, June 1991). I1 comprises two ring resonators constituted by circular guides formed in a SiO2 silica substrate. I1 has significant finesse due to the fact that these two resonators are coupled in series and have slightly different radii. This fineness is 182, and the free spectral interval of 37.2 GHz (approximately 0.3 nm).

Ce filtre connu présente l'inconvénient que sa bande passante n'est pas aussi grande que cela est souhaitable dans de nombreux systèmes de télécommunication optique. This known filter has the drawback that its bandwidth is not as large as is desirable in many optical telecommunication systems.

Compte tenu du fait que sa finesse doit être conservée, une augmentation satisfaisante de cette bande devrait s'accompagner d'une augmentation correspondante de l'intervalle spectral libre, c'est-à-dire d'une diminution importante des rayons des guides circulaires. Ces rayons devraient être restreints à quelques centaines de microns.In view of the fact that its fineness must be preserved, a satisfactory increase in this band should be accompanied by a corresponding increase in the free spectral interval, that is to say a significant reduction in the radii of the circular guides . These radii should be limited to a few hundred microns.

Mais il est évident que le confinement optique dans des guides de rayons aussi restreints provoquerait des pertes excessives. L'augmentation satisfaisante de la bande passante n'apparait donc pas comme possible.But it is obvious that the optical confinement in such restricted ray guides would cause excessive losses. The satisfactory increase in bandwidth therefore does not appear to be possible.

Par ailleurs l'accord de ce premier filtre connu est réalisé par une modification locale de la température des guides circulaires. Le temps nécessaire pour obtenir un accord est alors excessif. Furthermore, the tuning of this first known filter is achieved by a local modification of the temperature of the circular guides. The time required to reach an agreement is therefore excessive.

Un deuxième filtre accordable connu est constitué par une fibre optique dont les extrémités ont été rendues fortement réfléchissantes pour constituer une cavité Fabry
Perot. Pour réaliser un accord de ce filtre la longueur de la fibre est commandée électriquement grâce à un élément piézoélectrique sur lequel la fibre est placée. De tels filtres ont cependant plusieurs défauts:.
A second known tunable filter is constituted by an optical fiber, the ends of which have been made highly reflective to constitute a Fabry cavity.
Perot. To make this filter match, the length of the fiber is electrically controlled by a piezoelectric element on which the fiber is placed. However, such filters have several flaws:

Le temps d'accord est élevé: il se chiffre en plusieurs dizaines de ms. The tuning time is high: it is calculated in several tens of ms.

. Les éléments piezoélectriques demandent des tensions de commande élevés (100V). . The piezoelectric elements require high control voltages (100V).

La fiabilité est rendue incertaine par l'utilisation d'éléments piezoélectriques. Reliability is made uncertain by the use of piezoelectric elements.

O La réalisation du filtre nécessite un assemblage micro-mécanique et optique et n'offre pas de perspective d' intégration. O The realization of the filter requires a micro-mechanical and optical assembly and does not offer any prospect of integration.

La présente invention a notamment pour buts: - de permettre d'augmenter la bande passante et l'intervalle spectral libre d'un filtre optique, - de faciliter une réalisation industrielle et une intégration de ce filtre, - et/ou de permettre un accord rapide de ce filtre. The aims of the present invention are in particular: - to allow the bandwidth and the free spectral interval of an optical filter to be increased, - to facilitate industrial production and integration of this filter, - and / or to allow agreement quick of this filter.

Dans ces buts elle a pour objet un filtre optique à résonateur en anneau, caractérisé par le fait que son résonateur est constitué de segments guidant la lumière et de miroirs la réfléchissant pour raccorder ces segments les uns aux autres au sein d'un substrat semiconducteur, un de ces segments constituant un amplificateur pour la lumière qu'il guide.  For these purposes it has for its object an optical filter with a ring resonator, characterized in that its resonator consists of segments guiding the light and mirrors reflecting it to connect these segments to each other within a semiconductor substrate, one of these segments constituting an amplifier for the light which it guides.

A l'aide des figures schématiques ci-jointes, on va décrire plus particulièrement ci-après, à titre d'exemple non limitatif, comment la présente invention peut être mise en oeuvre. Lorsqu'un même élément est représenté sur plusieurs figures il y est désigné par le même signe de référence. Using the attached diagrammatic figures, a more specific description will now be given below, by way of nonlimiting example, how the present invention can be implemented. When the same element is represented in several figures, it is designated therein by the same reference sign.

La figure 1 représente la courbe de réponse d'un filtre optique et a déjà été décrite. FIG. 1 represents the response curve of an optical filter and has already been described.

La figure 2 représente une vue de dessus d'un premier filtre selon cette invention. Figure 2 shows a top view of a first filter according to this invention.

La figure 3 représente une vue de ce premier filtre selon l'invention en coupe selon une ligne III-III de la figure 2. FIG. 3 represents a view of this first filter according to the invention in section along a line III-III in FIG. 2.

La figure 4 représente une vue de dessus d'un deuxième filtre selon cette invention. Figure 4 shows a top view of a second filter according to this invention.

De manière générale un filtre selon cette invention comporte les éléments suivants qui lui sont communs, quant à leurs fonctions, avec le premier filtre connu précédemment mentionné, et qui sont représentés sur les figures 1 et 2 dans le cas du premier filtre selon cette invention: - Un substrat 2. In general, a filter according to this invention comprises the following elements which are common to it, as regards their functions, with the first known filter previously mentioned, and which are represented in FIGS. 1 and 2 in the case of the first filter according to this invention: - A substrate 2.

- Un résonateur en anneau 4 propre à confiner une onde lumineuse sur un trajet fermé s'étendant dans la matière de ce substrat. Une telle onde se retrouve sensiblement en phase avec elle-même après avoir parcouru ce trajet dans le cas où la longueur optique de ce trajet est sensiblement un multiple entier de la longueur d'onde de cette onde. Dans ce cas cette onde sera appelée ci-après onde résonante de ce résonateur. Les longueurs d'onde des ondes résonantes de ce résonateur appartiennent donc sensiblement à une succession de longueurs d'onde de résonance de ce résonateur. Elles appartiennent plus précisément à des raies de résonances qui sont centrées sur ces longueurs d'onde de résonance et qui présentent une certaine largeur, cette largeur mesurée à mihauteur constituant la largeur de bande B du filtre, comme représenté à la figure 1.Cette succession étant définie par la longueur optique de ce résonateur.- A ring resonator 4 capable of confining a light wave on a closed path extending in the material of this substrate. Such a wave is found substantially in phase with itself after having traversed this path in the case where the optical length of this path is substantially an integer multiple of the wavelength of this wave. In this case this wave will be called below resonant wave of this resonator. The wavelengths of the resonant waves of this resonator therefore belong substantially to a succession of resonant wavelengths of this resonator. More precisely, they belong to resonance lines which are centered on these resonance wavelengths and which have a certain width, this width measured at mid-height constituting the bandwidth B of the filter, as shown in FIG. 1. being defined by the optical length of this resonator.

- Des moyens d'entrée du résonateur injectent dans celui-ci au moins une composante d'une lumière incidente à filtrer.- Input means of the resonator inject into it at least one component of an incident light to be filtered.

Cette lumière est représentée par une flèche 7 et comporte comme telle composante au moins une onde utile propre à constituer une onde résonante de ce résonateur. Ces moyens d'entrée sont par exemple constitués par un guide d'entrée 6 couplé par onde évanescente avec un guide 12 constituant un segment du résonateur.This light is represented by an arrow 7 and comprises as such component at least one useful wave suitable for constituting a resonant wave of this resonator. These input means are for example constituted by an input guide 6 coupled by evanescent wave with a guide 12 constituting a segment of the resonator.

- Enfin des moyens de sortie de ce résonateur extraient de celui-ci une lumière filtrée 9 constituée par au moins une onde utile qui était contenue dans la lumière à filtrer. Ces moyens de sortie sont par exemple constitués par un guide de sortie 8 couplé par onde évanescente avec un guide 16 constituant un segment du résonateur.- Finally, means of output from this resonator extract from it a filtered light 9 constituted by at least one useful wave which was contained in the light to be filtered. These output means are for example constituted by an output guide 8 coupled by evanescent wave with a guide 16 constituting a segment of the resonator.

Conformément à la présente invention, la matière du substrat 2 est semiconductrice et le résonateur en anneau 4 comporte les éléments suivants - Une pluralité de segments 12, 14, 16, 18 constitués par des guides de lumière par exemple rectilignes formés dans cette matière pour guider notamment ladite onde utile. Ces segments provoquent de faibles pertes de la puissance de cette onde.In accordance with the present invention, the material of the substrate 2 is semiconductor and the ring resonator 4 comprises the following elements - A plurality of segments 12, 14, 16, 18 constituted by light guides for example rectilinear formed in this material to guide in particular said useful wave. These segments cause small losses in the power of this wave.

- Une pluralité de miroirs 22, 24, 26, 28 formés dans le substrat pour réfléchir cette onde. Ces miroirs raccordent optiquement les segments les uns aux autres en succession cyclique. De tels miroirs sont bien connus dans la technologie des guides semiconducteurs. Des procédés connus comportant un auto-alignement connus permettent de les réaliser en creux dans le substrat et de les positionner correctement par rapport aux segments avec une grande reproductibilité. L'utilisation de ces miroirs permet de réaliser des résonateurs d'un faible périmètre voisin de quelques centaines de microns conduisant à des intervalles spectraux libre pouvant atteindre le nm. Cependant chacun d'eux provoque des pertes de la puissance de l'onde utile circulant dans l'anneau et ces pertes sont plus importantes que celles qui sont provoquées par les segments.Elles peuvent être d'environ 1dB par miroir. De telles pertes apparaissent incompatibles avec l'obtention d'une finesse acceptable du filtre. - A plurality of mirrors 22, 24, 26, 28 formed in the substrate to reflect this wave. These mirrors optically connect the segments to each other in cyclic succession. Such mirrors are well known in the technology of semiconductor guides. Known methods including known self-alignment allow them to be hollowed out in the substrate and to position them correctly with respect to the segments with high reproducibility. The use of these mirrors makes it possible to produce resonators of a small perimeter close to a few hundred microns leading to free spectral intervals which can reach nm. However, each of them causes losses of the useful wave circulating in the ring and these losses are greater than those caused by the segments. They can be around 1dB per mirror. Such losses appear incompatible with obtaining an acceptable fineness of the filter.

- Une région active d'amplification 14 s'étend dans le substrat 2. Elle doit être disposée en couplage optique avec un segment du résonateur, ce segment constituant un segment d'amplification 14 de ce dernier. Elle est par exemple confondue avec ce segment. Elle est constituée d'un matériau actif d'amplification présentant une largeur de bande d'énergie interdite telle que ce matériau amplifie ladite onde utile lorsque des porteurs de charge des deux types opposés (p, n) sont injectés dans ce matériau.- An active amplification region 14 extends in the substrate 2. It must be arranged in optical coupling with a segment of the resonator, this segment constituting an amplification segment 14 of the latter. For example, it is confused with this segment. It consists of an active amplification material having a prohibited energy bandwidth such that this material amplifies said useful wave when charge carriers of the two opposite types (p, n) are injected into this material.

- Deux couches d'injection d'amplification 32, 34 présentant les deux types de semiconduction opposés (p, n) sont situées dans le substrat de part et d'autre de la région active d'amplification 14 pour fournir les porteurs de charge des deux types opposés, respectivement.- Two amplification injection layers 32, 34 having the two opposite semiconductor types (p, n) are located in the substrate on either side of the active amplification region 14 to provide the charge carriers for the two opposite types, respectively.

- Deux électrodes d'amplification 36, 38 permettent de faire passer dans le substrat 2 un courant électrique d'amplification propre à injecter les porteurs de charge des deux types opposés dans la région active d'amplification 14 à partir des deux couches d'injection d'amplification 32, 34, respectivement.- Two amplification electrodes 36, 38 make it possible to pass an electrical amplification current through the substrate 2 capable of injecting the charge carriers of the two opposite types in the active amplification region 14 from the two injection layers 32, 34, respectively.

- Enfin une source d'alimentation d'amplification 40 fournit ce courant électrique d'amplification. L'intensité de ce courant est choisie de manière que le segment d'amplification 14 constitue au moins pour l'onde utile un amplificateur semiconducteur présentant un gain suffisamment grand pour compenser au moins partiellement les pertes de puissance provoquées par les miroirs. Ce gain doit cependant être suffisamment petit pour pas compenser la totalité des pertes de puissance provoquées dans le résonateur. - Finally, an amplification power source 40 supplies this electric amplification current. The intensity of this current is chosen so that the amplification segment 14 constitutes at least for the useful wave a semiconductor amplifier having a gain large enough to at least partially compensate for the power losses caused by the mirrors. This gain must however be small enough not to compensate for all of the power losses caused in the resonator.

Plus précisément le gain du segment amplificateur et l'intensité correspondante du courant électrique d'alimentation sont ajustés pour conférer au filtre la bande passante désirée. Dans le cas où cette bande passante devrait être commandée, la source d'alimentation d'amplification serait elle même commandée. More precisely, the gain of the amplifier segment and the corresponding intensity of the electrical supply current are adjusted to give the filter the desired bandwidth. In the event that this bandwidth should be controlled, the amplification power source would itself be controlled.

Plus particulièrement, dans le cas typique où il est utile que le filtre soit accordable, et comme représenté, le résonateur comporte encore les éléments suivants: - Une région active d'accord 18 s'étendant dans le substrat 2. Cette région doit être en couplage optique avec un segment du résonateur, ce segment étant différent du segment d'amplification et constituant un segment d'accord 18. Elle est par exemple confondue avec ce segment d'accord. Elle est constituée d'un matériau actif d'accord dont l'indice de réfraction est commandé par une grandeur d'accord de nature électrique telle qu'un courant ou un champ électrique.Une largeur de bande d'énergie interdite de ce matériau est par exemple telle que ce matériau ne peut pas amplifier ladite onde utile et qu'un indice de réfraction de ce matériau est modifié lorsque des porteurs de charge des deux types opposés sont injectés dans ce matériau ou en sont extraits de manière à y modifier la densité de ces porteurs. Dans ce cas deux couches d'injection d'accord 32, 34 de dopages opposés sont situées de part et d'autre de la région active d'accord 18 pour fournir et recevoir les porteurs de charge des deux types opposés, respectivement. More particularly, in the typical case where it is useful for the filter to be tunable, and as shown, the resonator further comprises the following elements: - An active tuning region 18 extending in the substrate 2. This region must be in optical coupling with a segment of the resonator, this segment being different from the amplification segment and constituting a chord segment 18. It is for example confused with this chord segment. It is made up of an active tuning material, the refractive index of which is controlled by a tuning quantity of an electrical nature such as a current or an electric field. A prohibited energy bandwidth of this material is for example such that this material cannot amplify said useful wave and that a refractive index of this material is modified when charge carriers of the two opposite types are injected into this material or are extracted therefrom so as to modify the density therein of these carriers. In this case, two tuning injection layers 32, 34 of opposite dopings are located on either side of the active tuning region 18 to supply and receive charge carriers of the two opposite types, respectively.

- Deux électrodes d'accord 38, 42 permettent de commander cette grandeur d'accord. Elles permettent par exemple de faire passer dans le substrat un courant électrique d'accord propre à injecter les porteurs de charge des deux types opposés dans la région active d'accord 18 à partir des deux couches d'injection d'accord 32 et 34. Un tel courant pourrait aussi être prévu pour extraire ces porteurs de cette région. - Two tuning electrodes 38, 42 make it possible to control this tuning quantity. They allow for example to pass through the substrate an electric tuning current suitable for injecting charge carriers of the two opposite types in the active tuning region 18 from the two tuning injection layers 32 and 34. Such a current could also be planned to extract these carriers from this region.

- Enfin des moyens de commande d'accord 44 extérieurs au substrat 2 commandent la grandeur d'accord par l'intermédiaire des électrodes d'accord. Il s'agit par exemple d'une source qui fournit et permet de commander le courant électrique d'accord de manière à commander l'indice de réfraction et donc la longueur optique du segment d'accord 18. Ces moyens permettent ainsi de commander la longueur optique totale du résonateur et donc la position spectrale de la succession de longueurs d'onde de résonance de ce dernier. Un tel accord peut se faire en une dizaine de nanosecondes si la grandeur d'accord est un courant électrique. I1 peut se faire en un temps inférieur à la nanoseconde dans le cas de l'extraction de porteurs ou de l'application d'un champ électrique.- Finally tuning control means 44 external to the substrate 2 control the tuning quantity by means of the tuning electrodes. It is for example a source which supplies and makes it possible to control the electric tuning current so as to control the refractive index and therefore the optical length of the tuning segment 18. These means thus make it possible to control the total optical length of the resonator and therefore the spectral position of the succession of resonance wavelengths of the latter. Such a tuning can be done in ten nanoseconds if the tuning quantity is an electric current. I1 can be done in less than a nanosecond in the case of carrier extraction or the application of an electric field.

Plus particulièrement encore, dans chacun des filtres selon la présente invention, par exemple dans le premier, le résonateur en anneau comporte quatre segments disposés en rectangle, à savoir un segment d'entrée 12, le segment amplificateur 14, un segment de sortie 16, et le segment d'accord 18. Il comporte aussi quatre miroirs 22, 24, 26 et 28 disposés aux sommets de ce rectangle. More particularly still, in each of the filters according to the present invention, for example in the first, the ring resonator comprises four segments arranged in a rectangle, namely an input segment 12, the amplifier segment 14, an output segment 16, and the chord segment 18. It also includes four mirrors 22, 24, 26 and 28 arranged at the vertices of this rectangle.

Le deuxième filtre selon la présente invention comporte un premier et un deuxième résonateurs en anneaux comportant chacun des éléments analogues à tous les éléments précédemment décrits du résonateur 4 du premier filtre. De manière générale chaque fois qu'un élément de ce deuxième filtre est analogue à un élément de ce premier filtre, il est désigné par le même numéro de référence augmenté de 100, sauf dans le cas où il s'agit d'un élément du deuxième résonateur de ce deuxième filtre, auquel cas le numéro de référence est augmenté de 200. The second filter according to the present invention comprises first and second ring resonators each comprising elements similar to all the elements described above of the resonator 4 of the first filter. In general, whenever an element of this second filter is analogous to an element of this first filter, it is designated by the same reference number increased by 100, except in the case where it is an element of the second resonator of this second filter, in which case the reference number is increased by 200.

Plus précisément ce deuxième filtre selon l'invention comporte notamment les éléments suivants représentés à la figure 4: - Un premier 104 et un deuxième 204 résonateurs en anneau tels que précédemment décrit sont formés dans un même substrat 102.More precisely, this second filter according to the invention notably comprises the following elements shown in FIG. 4: - A first 104 and a second 204 ring resonators as previously described are formed in the same substrate 102.

- Des moyens d'entrée de filtre 106, 112 constituent desdits moyens d'entrée du premier résonateur 104.- Filter input means 106, 112 constitute said input means of the first resonator 104.

- Des moyens de couplage intermédiaire 116, 212 couplant optiquement ces deux résonateurs 104, 204 constituent à la fois desdits moyens de sortie du premier résonateur 104 et desdits moyens d'entrée du deuxième résonateur 204.- Intermediate coupling means 116, 212 optically coupling these two resonators 104, 204 constitute both said output means of the first resonator 104 and said input means of the second resonator 204.

- Des moyens de sortie de filtre 108, 216 constituent desdits moyens de sortie du deuxième résonateur 204. Ces moyens de sortie de filtre permettent d'extraire de ce résonateur et de ce filtre une lumière deux fois filtrée dont chaque composante constitue à la fois une dite onde utile qui était présente dans la lumière d'entrée, une onde résonante de ce premier résonateur et une onde résonante de ce deuxième résonateur.- Filter output means 108, 216 constitute said output means from the second resonator 204. These filter output means make it possible to extract from this resonator and from this filter twice filtered light, each component of which constitutes both a said useful wave which was present in the input lumen, a resonant wave of this first resonator and a resonant wave of this second resonator.

- Enfin des moyens de commande 144, 244 commandent indépendamment les grandeurs d'accord des deux résonateurs.- Finally, control means 144, 244 independently control the agreement quantities of the two resonators.

Ils comportent pour cela par exemples deux sources d'alimentation d'accord 144 et 244 pour fournir deux courants électriques d'accord indépendants à ces deux résonateurs alors qu'une même source d'alimentation d'amplification 140 peut être utilisée pour ces deux résonateurs dont les bandes passantes peuvent ainsi être maintenues égales.For this, they include, for example, two tuning power sources 144 and 244 for supplying two independent tuning electric currents to these two resonators, while the same amplification power source 140 can be used for these two resonators. whose bandwidths can thus be kept equal.

Par ailleurs les éléments 112, 114, 116, 118, 122, 124, 126 et 128 du résonateur 104 sont analogues aux éléments 12, 14, 16, 18, 22, 24, 26, 28 du résonateur 4, c'est-à-dire qu'ils assurent les mêmes fonctions déjà décrites que ces éléments du résonateur 4, et il en est de même des éléments 212, 214, 216, 218, 222, 224, 226 et 228 du résonateur 204, respectivement. Furthermore, the elements 112, 114, 116, 118, 122, 124, 126 and 128 of the resonator 104 are similar to the elements 12, 14, 16, 18, 22, 24, 26, 28 of the resonator 4, i.e. say that they perform the same functions already described as these elements of the resonator 4, and the same is true of the elements 212, 214, 216, 218, 222, 224, 226 and 228 of the resonator 204, respectively.

Claims (5)

REVENDICATIONS 1) Filtre optique à résonateur en anneau, caractérisé par le fait que son résonateur (4) est constitué de segments (12, 14, 16, 18) guidant la lumière et de miroirs (22, 24, 26, 28) la réfléchissant pour raccorder ces segments les uns aux autres au sein d'un substrat semiconducteur (2), un de ces segments (14) constituant un amplificateur pour la lumière qu'il guide.1) Optical filter with ring resonator, characterized in that its resonator (4) consists of segments (12, 14, 16, 18) guiding the light and mirrors (22, 24, 26, 28) reflecting it connecting these segments to each other within a semiconductor substrate (2), one of these segments (14) constituting an amplifier for the light which it guides. 2) Filtre selon la revendication 1 comportant - un substrat (2), - un résonateur en anneau (4) propre à confiner une onde lumineuse sur un trajet fermé s'étendant dans la matière de ce substrat pour que cette onde se retrouve sensiblement en phase avec elle-même après avoir parcouru ce trajet si elle constitue une onde résonante de ce résonateur, les longueurs d'onde des ondes résonantes de ce résonateur appartenant sensiblement à une succession de longueurs d'onde de résonance de ce résonateur, cette succession étant définie par une longueur optique de ce résonateur, - des moyens d'entrée (6, 12) de ce résonateur pour permettre l'entrée dans celui-ci d'au moins une onde utile présente dans une lumière incidente à filtrer et propre à constituer une onde résonante de ce résonateur, - et des moyens de sortie (8, 16) de ce résonateur pour extraire de celui-ci une lumière filtrée constituée par au moins une dite onde utile, ce filtre étant caractérisé par le fait que ladite matière du substrat (2) est semiconductrice, ledit résonateur en anneau (4) comportant - une pluralité de segments (12, 14, 16, 18) constitués par des guides de lumière formés dans cette matière pour guider ladite onde utile, ces segments pouvant provoquer des pertes de la puissance de cette onde, - une pluralité de miroirs (22, 24, 26, 28) formés dans le substrat pour réfléchir cette onde de manière à raccorder optiquement ces segments les uns aux autres en succession cyclique, chacun de ces miroirs provoquant des pertes de la puissance de cette lumière, - une région active d'amplification (14) s'étendant dans le substrat en couplage optique avec un segment appartenant à ce résonateur et constituant un segment d'amplification (14) de ce dernier, cette région étant constituée d'un matériau actif d'amplification présentant une largeur de bande d'énergie interdite telle que ce matériau amplifie ladite onde utile lorsque des porteurs de charge des deux types opposés (p, n) sont injectés dans ce matériau, - deux couches d'injection d'amplification (32, 34) présentant les deux types de semiconduction opposés (p, n) et situées dans ce substrat de part et d'autre de ladite région active d'amplification (14) pour fournir lesdits porteurs de charge des deux types opposés, respectivement, - deux électrodes d'amplification (36,2) Filter according to claim 1 comprising - a substrate (2), - a ring resonator (4) capable of confining a light wave on a closed path extending in the material of this substrate so that this wave is found substantially in phase with itself after having traversed this path if it constitutes a resonant wave of this resonator, the wavelengths of the resonant waves of this resonator belonging substantially to a succession of resonant wavelengths of this resonator, this succession being defined by an optical length of this resonator, - input means (6, 12) of this resonator to allow entry into it of at least one useful wave present in an incident light to be filtered and suitable for constituting a resonant wave of this resonator, - and output means (8, 16) of this resonator for extracting from it a filtered light constituted by at least one said useful wave, this filter being characterized by l said material of the substrate (2) is semiconductor, said ring resonator (4) comprising - a plurality of segments (12, 14, 16, 18) constituted by light guides formed in this material to guide said useful wave , these segments being able to cause losses of the power of this wave, - a plurality of mirrors (22, 24, 26, 28) formed in the substrate to reflect this wave so as to optically connect these segments to each other in cyclic succession , each of these mirrors causing losses of the power of this light, - an active amplification region (14) extending in the substrate in optical coupling with a segment belonging to this resonator and constituting an amplification segment (14 ) of the latter, this region consisting of an active amplification material having a prohibited energy bandwidth such that this material amplifies said useful wave when charge carriers d es the two opposite types (p, n) are injected into this material, - two amplification injection layers (32, 34) having the two opposite semiconductor types (p, n) and located in this substrate on both sides other of said active amplification region (14) for supplying said charge carriers of the two opposite types, respectively, - two amplification electrodes (36, 38) de ce résonateur pour faire passer dans le substrat (2) un courant électrique d'amplification propre à injecter lesdits porteurs de charge des deux types opposés dans ladite région active d'amplification (14) à partir des deux couches d'injection d'amplification (32, 34), respectivement, - et une source d'alimentation d'amplification (40) pour fournir ce courant électrique d'amplification de manière que le segment d'amplification (14) constitue pour ladite onde utile un amplificateur semiconducteur présentant un gain suffisamment grand pour compenser au moins partiellement des pertes de puissance provoquées par lesdits miroirs et suffisamment petit pour pas compenser la totalité des pertes de puissance provoquées dans le résonateur. 38) of this resonator for passing an electrical amplification current through the substrate (2) capable of injecting said charge carriers of the two opposite types into said active amplification region (14) from the two injection layers d amplification (32, 34), respectively, - and an amplification power source (40) for supplying this electric amplification current so that the amplification segment (14) constitutes for said useful wave a semiconductor amplifier having a gain large enough to at least partially compensate for power losses caused by said mirrors and small enough not to compensate for all of the power losses caused in the resonator. 3) Filtre selon la revendication 2 caractérisé par le fait que ledit résonateur en anneau comporte en outre - une région active d'accord (18) s'étendant dans le substrat (2) en couplage optique avec un segment appartenant à ce résonateur et constituant un segment d'accord (18) de ce dernier, cette région étant constituée d'un matériau actif d'accord dont l'indice de réfraction est commandé par une grandeur d'accord elle même commandable à partir de l'extérieur du substrat, - et des moyens de commande d'accord (44) extérieurs au substrat (2) commandant cette grandeur d'accord de manière à commander la longueur optique du segment d'accord (18) et ladite succession de longueurs d'onde de résonance de ce résonateur.3) Filter according to claim 2 characterized in that said ring resonator further comprises - an active tuning region (18) extending in the substrate (2) in optical coupling with a segment belonging to this resonator and constituting a tuning segment (18) of the latter, this region consisting of an active tuning material whose refractive index is controlled by a tuning quantity itself controllable from the outside of the substrate, - And tuning control means (44) external to the substrate (2) controlling this tuning quantity so as to control the optical length of the tuning segment (18) and said succession of resonance wavelengths of this resonator. 4) Filtre selon la revendication 3 caractérisé par le fait que ledit résonateur en anneau comporte quatre segments (12, 14, 16, 18) et quatre miroirs (22, 24, 26, 28).4) Filter according to claim 3 characterized in that said ring resonator comprises four segments (12, 14, 16, 18) and four mirrors (22, 24, 26, 28). 5) Filtre selon la revendication 3 caractérisé par le fait qu'il comporte - un premier (104) et un deuxième (204) dits résonateurs en anneau formés dans ledit substrat (102), - des moyens d'entrée de filtre (106, 112) constituant lesdits moyens d'entrée du premier résonateur (104), - des moyens de couplage intermédiaire (116, 212) couplant optiquement ces deux résonateurs (104, 204) pour constituer à la fois lesdits moyens de sortie du premier résonateur (104) et lesdits moyens d'entrée du deuxième résonateur (204), - des moyens de sortie de filtre (108, 216) constituant lesdits moyens de sortie du deuxième résonateur (204), pour extraire de ce résonateur et de ce filtre une lumière deux fois filtrée dont chaque composante constitue à la fois une dite onde utile, une onde résonante de ce premier résonateur et une onde résonante de ce deuxième résonateur, - et des moyens de commande (144, 244) pour commander indépendamment les grandeurs d'accord des deux résonateurs. 5) Filter according to claim 3 characterized in that it comprises - a first (104) and a second (204) said ring resonators formed in said substrate (102), - filter input means (106, 112) constituting said input means of the first resonator (104), - intermediate coupling means (116, 212) optically coupling these two resonators (104, 204) to constitute both said output means of the first resonator (104 ) and said input means of the second resonator (204), - filter output means (108, 216) constituting said output means of the second resonator (204), to extract from this resonator and from this filter a light two once filtered, each component of which constitutes both a said useful wave, a resonant wave of this first resonator and a resonant wave of this second resonator, - and control means (144, 244) for independently controlling the agreement quantities of the two res onators.
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