FR2702277A1 - Checking plate, especially for optical appliances connected to an image analysis system and its method of use - Google Patents

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    • G01B9/04—Measuring microscopes

Abstract

Quartz plate (1) coated with chromium oxide etched by electron bombardment, especially for checking optical appliances connected to an image analysis system, characterised in that the plate (1) is divided into boxes (2) which have axes of symmetry and carry standard geometrical etchings (3.N) consisting of combinations of simple geometrical elements.

Description

PLAOUE DE CONTROLE NOTAMMENT D'APPAREILS OHTOUES
RELIES A UN SYSTEME D'ANALYSE D'IMAGES. ET SON
PROCEDE DE MISE EN OEUVRE.CONTROL PLAW, IN PARTICULAR OF OTOLED DEVICES
RELATED TO AN IMAGE ANALYSIS SYSTEM. AND HIS
IMPLEMENTATION PROCESS.

L'invention concerne une plaque de contrôle notamment d'appareils optiques reliés à un système d'analyse d'images, et son procédé de mise en oeuvre.The invention relates to a control plate, in particular of optical devices connected to an image analysis system, and to its implementation method.

L'invention concerne plus particulièrement une plaque de quartz revêtue d'oxyde de chrome, gravée par bombardement électronique, et son procédé de mise en oeuvre pour contrôler un appareil optique à viseur relié à un système d'analyse d'images constitué notamment d'une caméra de numérisation d'images, d'un écran de représentation et un système de calcul de caractéristiques d'images.The invention relates more particularly to a quartz plate coated with chromium oxide, etched by electronic bombardment, and its method of implementation for controlling an optical viewfinder device connected to an image analysis system consisting in particular of an image scanning camera, a display screen and a system for calculating image characteristics.

La publication FR-A-2 628 199 décrit un dispositif de détermination de la précision dimensionnelle de créations graphiques qui utilise une pluralité de règles transparentes mises en position sur des bords d'un échantillon.Publication FR-A-2 628 199 describes a device for determining the dimensional accuracy of graphic creations which uses a plurality of transparent rulers positioned on the edges of a sample.

Ce dispositif permet de déterminer Ia précision sur des mesures de longueur.This device makes it possible to determine the accuracy on length measurements.

L'invention a pour objet une plaque qui permet de déterminer la précision dimensionnelle d'images donnée par un appareil optique et/ou son système d'analyse d'images concernant les longueurs, les surfaces et les contours.The subject of the invention is a plate which makes it possible to determine the dimensional accuracy of images given by an optical device and / or its image analysis system concerning the lengths, the surfaces and the contours.

L'invention a également pour objet d'améliorer l'étalonnage en deux dimensions d'un appareil optique par une comparaison de valeurs de surface.The invention also aims to improve the two-dimensional calibration of an optical device by a comparison of surface values.

L'invention a encore pour objet de permettre une mesure des déformations de l'image engendrées par une succession de moyens de traitement.The object of the invention is also to allow a measurement of the deformations of the image generated by a succession of processing means.

L'invention a encore pour objet de permettre le contrôle et/ou la mesure des opérations mathématiques du système d'analyse d'images. Another object of the invention is to allow the control and / or measurement of the mathematical operations of the image analysis system.

Selon l'invention, la plaque est divisée en cases qui présentent des axes de symétries et portent des gravures géométriques étalons constituées par des combinaisons d'éléments géométriques simples.According to the invention, the plate is divided into boxes which have axes of symmetry and bear standard geometric engravings constituted by combinations of simple geometric elements.

Le procédé de mise en oeuvre de la plaque, selon l'invention, consiste à positionner la plaque de quartz sur un support de l'appareil optique, à aligner les bords d'une croix de la plaque avec les bords de l'écran, à déplacer la plaque de sorte que le viseur soit en coïncidence avec une autre figure gravée, à définir l'étalonnage par le nombre de pixels par unité de mesure sur ladite figure gravée, à calculer la valeur d'un paramètre caractéristique de cette figure et à comparer ladite valeur à la valeur réelle du paramètre.The method of implementing the plate, according to the invention, consists in positioning the quartz plate on a support of the optical device, in aligning the edges of a cross of the plate with the edges of the screen, moving the plate so that the viewfinder is in coincidence with another engraved figure, defining the calibration by the number of pixels per unit of measurement on said engraved figure, calculating the value of a parameter characteristic of this figure and comparing said value with the actual value of the parameter.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaitront à la lecture de la description d'un exemple de réalisation de la plaque en référence au dessin annexé dans lequel: - La figure 1 est une vue de dessus d'un exemple de réalisation de la plaque.Other characteristics and advantages of the invention will appear on reading the description of an exemplary embodiment of the plate with reference to the appended drawing in which: - Figure 1 is a top view of an exemplary embodiment of the plaque.

- La figure 2 est vue schématique de l'appareillage optique.- Figure 2 is a schematic view of the optical apparatus.

La plaque 1 en quartz revêtue d'oxyde de chrome, gravée par bombardement électronique est divisée en cases 2 qui présentent des axes de symétries et portent des gravures géométriques étalons de tailles comprises entre 2 m et 200 zm. The plate 1 in quartz coated with chromium oxide, engraved by electronic bombardment is divided into boxes 2 which have axes of symmetry and bear standard geometric engravings of sizes between 2 m and 200 zm.

Les gravures sont constituées par des figures 3.N qui sont des combinaisons d'éléments géométriques simples.The engravings are made up of figures 3.N which are combinations of simple geometric elements.

Une figure 3.1 est constituée par une croix.Figure 3.1 is made up of a cross.

Les figures 3.N sont repérées en abscisse et en ordonnée par des lettres et/ou des chiffres et sont de dimensions connues. Figures 3.N are marked on the abscissa and on the ordinate by letters and / or numbers and are of known dimensions.

La plaque représentée à titre d'exemple à la figure 1 comporte 36 cases parmi lesquelles une des cases porte, une figure 3.2 constituée par une multitude de carrés de faibles dimensions.The plate shown by way of example in FIG. 1 has 36 boxes among which one of the boxes carries, a figure 3.2 constituted by a multitude of squares of small dimensions.

La plaque conforme à l'invention est appliquée à un appareil 4 à viseur 5, tel qu'un microscope optique ou électronique, relié à un système d'analyse d'images 6.The plate according to the invention is applied to a device 4 with a viewfinder 5, such as an optical or electronic microscope, connected to an image analysis system 6.

Le système d'analyse d'images 6 est constitué d'une caméra 10 de numérisation d'images filmées et d'un écran 12 de représentation.The image analysis system 6 consists of a camera 10 for digitizing filmed images and a screen 12 for representation.

Entre la caméra 10 et l'écran 12 est branché un système de calcul des caractéristiques de l'image 15, tel qu'un ordinateur.Between the camera 10 and the screen 12 is connected a system for calculating the characteristics of the image 15, such as a computer.

Selon le procédé de mise en oeuvre de la plaque 1, celle-ci est positionnée sur un support 16 du microscope 4.According to the method of implementation of the plate 1, the latter is positioned on a support 16 of the microscope 4.

La plaque 1 est déplacée de sorte que le viseur 5 soit en coïncidence avec la croix 3.1 et les bords de ladite croix 3.1 sont alignés avec les bords de 11 écran 12 dans le but de visualiser ensuite sur l'écran les autres figures dans la position souhaitée.The plate 1 is moved so that the viewfinder 5 is in coincidence with the cross 3.1 and the edges of said cross 3.1 are aligned with the edges of the screen 12 in order to then view the other figures in the position desired.

La plaque 1 est ensuite déplacée de sorte que le viseur 5 soit placé sur une autre figure et le système d'analyse d'images 6 définit l'étalonnage par le nombre de pixels par unité de mesure sur ladite figure dans les deux dimensions.The plate 1 is then moved so that the viewfinder 5 is placed on another figure and the image analysis system 6 defines the calibration by the number of pixels per unit of measurement on said figure in two dimensions.

Le calcul d'un paramètre caractéristique de cette figure, tel que la surface, s'opère par l'ordinateur 15, et la comparaison du paramètre calculé avec sa valeur réelle permet d'améliorer l'étalonnage.The calculation of a characteristic parameter of this figure, such as the surface, is carried out by the computer 15, and the comparison of the calculated parameter with its real value makes it possible to improve the calibration.

Selon une autre application de la plaque, le viseur 5 est placé sur la figure 3.2. According to another application of the plate, the viewfinder 5 is placed in Figure 3.2.

On règle par le microscope 4 le grossissement minimal nécessaire pour voir nettement et séparément les carrés de la figure 3.2.The minimum magnification necessary to clearly and separately see the squares of figure 3.2 is adjusted by microscope 4.

On règle ensuite un nouveau grossissement en visualisant les carrés nets sur l'écran 12 au cours du passage direct de l'image du microscope 4 à la caméra 10 sans que l'ordinateur ne fonctionne. A new magnification is then adjusted by viewing the net squares on the screen 12 during the direct passage of the image from the microscope 4 to the camera 10 without the computer operating.

Un troisième grossissement est obtenu par visualisation de l'image des carrés nets sur l'écran 12 par l'intermédiaire de l'ordinateur 15.A third magnification is obtained by viewing the image of the net squares on the screen 12 by means of the computer 15.

La comparaison de ces trois grossissements permet d'observer et de quantifier la déformation introduite par la caméra 10 et par l'ordinateur 15.The comparison of these three magnifications makes it possible to observe and quantify the deformation introduced by the camera 10 and by the computer 15.

Selon une autre variante d'application de la plaque, on compare les valeurs théoriques d'un grand nombre de paramètres ou équations, telles que le périmètre, le nombre d'Euler, avec les valeurs calculées par un logiciel de calcul.According to another variant of application of the plate, the theoretical values of a large number of parameters or equations, such as the perimeter, the Euler number, are compared with the values calculated by calculation software.

L'écart obtenu entre les valeurs théoriques et calculées permet de contrôler la qualité de traitement par le logiciel.The difference obtained between the theoretical and calculated values makes it possible to control the quality of processing by the software.

L'opération peut être répétée sur un autre logiciel de calcul et ainsi permettre une comparaison entre plusieurs logiciels. The operation can be repeated on another calculation software and thus allow a comparison between several software.

Claims (3)

REVENDICATIONS 1) Plaque (1) de quartz revêtue d'oxyde de chrome gravée par bombardement électronique, de contrôle notamment d'appareils optiques (4) reliés à un système d'analyse d'images (6), caractérisée par le fait que la plaque (1) est divisée en cases (2) qui présentent des axes de symétries et portent des gravures (3.N) géométriques étalons constituées par des combinaisons d'éléments géométriques simples.1) Plate (1) of quartz coated with chromium oxide etched by electronic bombardment, in particular for checking optical devices (4) connected to an image analysis system (6), characterized in that the plate (1) is divided into boxes (2) which have axes of symmetry and bear standard geometric engravings (3.N) constituted by combinations of simple geometric elements. 2) Plaque selon la revendication 1, caractérisée par le fait qu'une au moins des cases (2) porte une croix (3.1) et que les gravures (3.N) sont repérées en abscisse et en ordonnée par des chiffres et/ou des lettres.2) Plate according to claim 1, characterized in that at least one of the boxes (2) carries a cross (3.1) and that the engravings (3.N) are marked on the abscissa and on the ordinate by numbers and / or letters. 3) Procédé de mise en oeuvre de la plaque de contrôle selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, d'un appareil optique (4) à viseur (5) relié à un système d'analyse d'images (6) constitué notamment d'une caméra de numérisation d'images (10), d'un écran de représentation (12) et d'un système de calcul de caractéristiques d'images (15) caractérisé en ce qu'il consiste à positionner la plaque (1) de quartz sur un support (16) de l'appareil optique (4), à aligner les bords d'une croix (3.1) de la plaque (1) avec les bords de l'écran (12), à déplacer la plaque (1) de sorte que le viseur (5) soit en coïncidence avec une autre figure gravée, à définir l'étalonnage par le nombre de pixels par unité de mesure sur ladite figure gravée, à calculer la valeur d'un paramètre caractéristique de cette figure et à comparer ladite valeur à la valeur réelle du paramètre. 3) A method of implementing the control plate according to any one of claims 1 or 2, an optical device (4) viewfinder (5) connected to an image analysis system (6) consisting in particular an image digitizing camera (10), a representation screen (12) and a system for calculating image characteristics (15) characterized in that it consists in positioning the plate ( 1) of quartz on a support (16) of the optical device (4), to align the edges of a cross (3.1) of the plate (1) with the edges of the screen (12), to move the plate (1) so that the viewfinder (5) is in coincidence with another engraved figure, to define the calibration by the number of pixels per unit of measurement on said engraved figure, to calculate the value of a characteristic parameter of this figure and to compare said value with the real value of the parameter.
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