FR2677753B1 - Procede pour evaluer des modeles periodiques de luminosite, calculateur pour evaluer la position de phase de tels modeles et dispositif associe pour la mesure de surfaces d'objets. - Google Patents

Procede pour evaluer des modeles periodiques de luminosite, calculateur pour evaluer la position de phase de tels modeles et dispositif associe pour la mesure de surfaces d'objets.

Info

Publication number
FR2677753B1
FR2677753B1 FR9207035A FR9207035A FR2677753B1 FR 2677753 B1 FR2677753 B1 FR 2677753B1 FR 9207035 A FR9207035 A FR 9207035A FR 9207035 A FR9207035 A FR 9207035A FR 2677753 B1 FR2677753 B1 FR 2677753B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
models
evaluating
calculator
objects
phase position
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
FR9207035A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2677753A1 (fr
Inventor
Michael Kuchel
Albrecht Hof
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of FR2677753A1 publication Critical patent/FR2677753A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2677753B1 publication Critical patent/FR2677753B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G01B11/2531Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object using several gratings, projected with variable angle of incidence on the object, and one detection device

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
FR9207035A 1991-06-15 1992-06-11 Procede pour evaluer des modeles periodiques de luminosite, calculateur pour evaluer la position de phase de tels modeles et dispositif associe pour la mesure de surfaces d'objets. Expired - Fee Related FR2677753B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914119744 DE4119744B4 (de) 1991-06-15 1991-06-15 Verfahren zur Auswertung periodischer Helligkeitsmuster

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2677753A1 FR2677753A1 (fr) 1992-12-18
FR2677753B1 true FR2677753B1 (fr) 1997-11-07

Family

ID=6434000

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR9207035A Expired - Fee Related FR2677753B1 (fr) 1991-06-15 1992-06-11 Procede pour evaluer des modeles periodiques de luminosite, calculateur pour evaluer la position de phase de tels modeles et dispositif associe pour la mesure de surfaces d'objets.

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPH05203426A (fr)
DE (1) DE4119744B4 (fr)
FR (1) FR2677753B1 (fr)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9420638D0 (en) * 1994-10-13 1994-11-30 Moore John H Three-dimensional digitiser
DE10130902A1 (de) 2001-06-27 2003-01-16 Zeiss Carl Interferometersystem, Verfahren zum Aufnehmen eines Interferogramms und Verfahren zum Bereitstellen und Herstellen eines Objekts mit einer Soll-Oberfläche
KR101547218B1 (ko) 2010-11-19 2015-08-25 주식회사 고영테크놀러지 기판 검사방법

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4488172A (en) * 1982-08-18 1984-12-11 Novon, Inc. Method and apparatus for range imaging
US4499492A (en) * 1982-08-18 1985-02-12 Novon, Inc. Method and apparatus for three frame range imaging
US4641972A (en) * 1984-09-14 1987-02-10 New York Institute Of Technology Method and apparatus for surface profilometry
US4639139A (en) * 1985-09-27 1987-01-27 Wyko Corporation Optical profiler using improved phase shifting interferometry
US4768881A (en) * 1987-05-27 1988-09-06 Jueptner Werner P O Method and apparatus for processing holographic interference patterns using Fourier-transforms
DE3721749A1 (de) * 1987-07-01 1989-01-12 Man Technologie Gmbh Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen erfassung der form von gegenstaenden
CH677972A5 (fr) * 1989-01-17 1991-07-15 Kern & Co Ag

Also Published As

Publication number Publication date
DE4119744B4 (de) 2004-11-18
JPH05203426A (ja) 1993-08-10
FR2677753A1 (fr) 1992-12-18
DE4119744A1 (de) 1992-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2710413B1 (fr) Dispositif de mesure pour capteurs amovibles.
FR2674017B1 (fr) Dispositif de mesure de forme ou de position d'un objet.
FR2683627B1 (fr) Dispositif de mesure pour la mesure continue de denivellations ondulatoires d'un rail.
FR2710411B1 (fr) Dispositif de mesure pour capteurs multizones amovibles.
FR2671405B1 (fr) Dispositif de mesure du ph d'une cible, procede d'utilisation dudit dispositif et ses applications.
FR2704131B1 (fr) Dispositif capteur pour électrocardiogramme.
FR2675686B3 (fr) Dispositif de revetement pour membre artificiel.
DE69019589D1 (de) Vorrichtung zur Ermittlung eines Bildbewegungsvektors.
FR2709558B1 (fr) Dispositif de mesure de distance.
FR2675583B1 (fr) Procede et dispositif de mesure de condensateur.
FR2679995B1 (fr) Dispositif de mesures non destructives et en temps reel sur des objets fragiles se deplacant en continu.
FR2675573B1 (fr) Procede de mesures dimensionnelles d'objets en mouvement.
FR2665256B1 (fr) Dispositif et procede pour mesurer un angle.
FR2662817B1 (fr) Dispositif et procede pour mesurer la radioactivite d'un produit elue.
FR2676138B1 (fr) Dispositif pour l'affichage d'images animees.
FR2713764B1 (fr) Dispositif de mesure d'un fluide.
FR2705450B1 (fr) Dispositif de mesure d'un écoulement.
FR2668823B1 (fr) Dispositif de mesure des dimensions d'une piece.
FR2677753B1 (fr) Procede pour evaluer des modeles periodiques de luminosite, calculateur pour evaluer la position de phase de tels modeles et dispositif associe pour la mesure de surfaces d'objets.
FR2678367B1 (fr) Dispositif de mesure dimensionnelle par voie pneumatique.
FR2712702B1 (fr) Procédé et dispositif pour déterminer la direction d'une source de signaux.
FR2707391B1 (fr) Dispositif de mesure pour taxi.
FR2666894B1 (fr) Dispositif de mesure d'efforts axiaux sur une tige.
FR2658302B1 (fr) Procede, et dispositif, de mesure unique pour visualiser et qualifier la linearite d'une chaine de transmission.
FR2683036B1 (fr) Procede et dispositif de determination de l'orientation d'un solide.

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse

Effective date: 20110228