FR2667470A1 - Electrooptical device with electronic addressing - Google Patents

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Abstract

The invention relates to an electrooptical device comprising an electrooptical element (1), the connecting element (10) having a first arrangement of electrodes (8) spaced from one another and means for integrating the electrooptical device and the connection element (10). The electrooptical device comprises, on a first surface, a second arrangement of electrodes (3) corresponding to the said first arrangement (8) as well as a deformable, interposed interconnection element (2) arranged between the connection element (10) and the electrooptical element (1) in such a way as to interconnect the first (8) and the second (3) arrangement.

Description

DISPOSITIF ELF.CTRO-OPTIQUE A ADRESSAGE ELECTRONIQUE.ELF.CTRO-OPTICAL DEVICE WITH ELECTRONIC ADDRESSING.

La présente invention a pour objet un dispositif électro-optique comprenant un élément électro-optique, un élément de connexion présentant un premier arrangement d'électrodes espacées les unes des autres et des moyens pour solidariser le dispositif électro-optique et l'élément de connexion. The present invention relates to an electro-optical device comprising an electro-optical element, a connection element having a first arrangement of electrodes spaced from each other and means for securing the electro-optical device and the connection element .

Un tel dispositif est connu du brevet US 438 0373 (Robert A. SPRAGUE-XEROX cor.), plus particulièrement avec un cristal de LiNbO3, pour moduler la polarisation d'un faisceau lumineux en rapport avec les signaux de donnée appliqués à des électrodes de ligne d'une image, distribuées sur la largeur du cristal en contact électrique avec celui-ci et correspondant à une ligne d'une image. Les électrodes font partie d'un support résilient, en particulier un circuit intégré, qui est appliqué contre l'élément électro-optique par l'intermédiaire d'un tampon élastomère, de manière à permettre aux électrodes de se conformer à la surface de l'élément électrooptique. Ce dispositif présente une seule ligne de modulation, et fonctionne par réflexion totale. Such a device is known from US patent 438 0373 (Robert A. SPRAGUE-XEROX cor.), More particularly with a LiNbO3 crystal, for modulating the polarization of a light beam in relation to the data signals applied to electrodes of line of an image, distributed over the width of the crystal in electrical contact with it and corresponding to a line of an image. The electrodes are part of a resilient support, in particular an integrated circuit, which is applied against the electro-optical element by means of an elastomeric pad, so as to allow the electrodes to conform to the surface of the electrooptical element. This device has a single modulation line, and works by total reflection.

Ce montage présente les inconvénients d'une part d'être délicat à réaliser et d'autre part d'appliquer des contraintes à l'élément électro-optique lesquelles s'ajoutent aux autres contraintes normalement présentes telles celles liées à la dilatation thermique. This arrangement has the drawbacks on the one hand of being difficult to produce and on the other hand of applying stresses to the electro-optical element which are added to the other stresses normally present such as those linked to thermal expansion.

L'invention a pour objet un dispositif électro-optique du type mentionné ci-dessus mais permettant d'éviter l'inconvénient précité. The subject of the invention is an electro-optical device of the type mentioned above but making it possible to avoid the aforementioned drawback.

L'idée de base de l'invention consiste à découpler mécaniquement le dispositif électro-optique et le support grâce à un élément intercalaire d'intrconnexion.  The basic idea of the invention consists in mechanically decoupling the electro-optical device and the support by means of an interconnecting interconnection element.

Un dispositif électro-optique selon l'invention est ainsi caractérisé en ce qu'il comporte sur une première surfa ce un deuxième arrangement d'électrodes correspondant audit premier arrangement et en ce qu'il comporte un élément intercalaire d'interconnexion déformable, disposé entre le support et l'élément électro-optique de manière à interconnecter le premier et le deuxième arrangement. An electro-optical device according to the invention is thus characterized in that it comprises on a first surface a second arrangement of electrodes corresponding to said first arrangement and in that it comprises a deformable interconnection interlayer element, disposed between the support and the electro-optical element so as to interconnect the first and the second arrangement.

Selon un premier mode de réalisation1 l'élément intercalaire comporte un film isolant présentant des trous métallisés disposés de manière à réaliser ladite interconnexion. According to a first embodiment1 the intermediate element comprises an insulating film having metallized holes arranged so as to make said interconnection.

Selon un deuxième mode de réalisation, l'élément intercalaire comporte des billes en matériau conducteur malléable, par exemple comportant de l'indium. According to a second embodiment, the intermediate element comprises balls of malleable conductive material, for example comprising indium.

L'élément de connexion peut être un circuit intégré, avantageusement de dimensions sensiblement égales à celles de l'élément électro-optique, et présentant un circuit électronique de commutation destiné à charger et à décharger séquentiellement des électrodes choisies du deuxième arrangement. The connection element can be an integrated circuit, advantageously of dimensions substantially equal to those of the electro-optical element, and having an electronic switching circuit intended to charge and discharge sequentially selected electrodes of the second arrangement.

Un adressage matriciel correspondant par exemple à des pixels d'une image, peut être obtenu avec des arrangements d'électrodes à deux dimensions. L'élément de connexion peut alors présenter un décodeur ligne, un décodeur colonne ainsi qu'une matrice d'interrupteurs correspondant auxdits pixels. A matrix addressing corresponding for example to pixels of an image can be obtained with arrangements of two-dimensional electrodes. The connection element can then have a line decoder, a column decoder and a matrix of switches corresponding to said pixels.

Selon un mode de réalisation particulièrement avantageux, les décodeurs de ligne et de colonne comportent r interrupteurs en série respectivement pour chaque ligne et pour chaque colonne et, pour commander lesdits interrupteurs, q signaux d'adressage sont prévus pour chaque décodeur, le nombre 1 de ligne, et le nombre c de colonne étant l'un et l'autre inférieur ou égal à cr. According to a particularly advantageous embodiment, the row and column decoders comprise r switches in series respectively for each row and for each column and, to control said switches, q addressing signals are provided for each decoder, the number 1 of row, and the number c of column being both less than or equal to cr.

q
Selon un mode de réalisation préféré, l'élément de connexion est mécaniquement solidaire d'un premier bloc en matériau ayant un coefficient de dilatation thermique voisin de celui de l'élément optique, (notamment un monocristal de DKDP avec un bloc en fluorine) lequel élément peut être alors solidaire d'un deuxième bloc en matériau ayant un coefficient de dilatation thermique voisin du sien (notamment également en fluorine dans le cas ci-dessus). De la sorte, les contraintes exercées sur l'élément électro-optique sont minimisées.
q
According to a preferred embodiment, the connection element is mechanically integral with a first block of material having a coefficient of thermal expansion close to that of the optical element, (in particular a single crystal of DKDP with a block in fluorite) which element can then be secured to a second block of material having a coefficient of thermal expansion close to its own (in particular also fluorite in the above case). In this way, the stresses exerted on the electro-optical element are minimized.

Il est avantageux1 pour homogénéiser la température de l'ensemble, d'interposer au moins une cale thermiquement conductrice entre le premier et le deuxième bloc. To homogenize the temperature of the assembly, it is advantageous to interpose at least one thermally conductive wedge between the first and the second block.

L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre d'exemple non limi statif, en liaison avec les dessins qui représentent - les figures 1 et 2 respectivement un premier et un deuxième mode de réalisation de l'invention, la figure 3 étant un mode de réalisation à deux dimensions de l'élément électro-optique. The invention will be better understood on reading the description which follows, given by way of nonlimited example, in connection with the drawings which represent - FIGS. 1 and 2 respectively a first and a second embodiment of the Figure 3 is a two-dimensional embodiment of the electro-optical element.

- la figure 4 un mode d'adressage à deux dimensions.- Figure 4 a two-dimensional addressing mode.

- les figures 5 et 6 un mode de réalisation d'un décodeur ligne ou colonne, et les diagrammes temporels correspondants.- Figures 5 and 6 an embodiment of a row or column decoder, and the corresponding time diagrams.

- la figure 7 une matrice d'interrupteurs commandés par décodeurs ligne et colonne.- Figure 7 a matrix of switches controlled by line and column decoders.

- et la figure 8 un mode préféré d'assemblage d'un dispositif électro-optique selon l'invention.- And Figure 8 a preferred method of assembling an electro-optical device according to the invention.

Selon la figure 1, un élément électro-optique 1 présente des électrodes 3 réparties sur sa face supérieure et au moins une contre-électrode 2 transparente sur sa face inférieure. L'élément électro-optique 1 peut être en particulier un monocristal de di-phosphate acide de potassium deutéré (DRDP), mettant en oeuvre l'effet Pockels comme par exemple dans les tubes TITUS. Dans de tels tubes, un adressage est obtenu à l'aide d'un faisceau électronique qui balaye séquentiellement tous les points du cristal (voir Revue Acta Electronica Vol.18 n02 et 3 - 1975). According to FIG. 1, an electro-optical element 1 has electrodes 3 distributed on its upper face and at least one transparent counter-electrode 2 on its lower face. The electro-optical element 1 can be in particular a monocrystal of deuterated potassium acid di-phosphate (DRDP), implementing the Pockels effect as for example in TITUS tubes. In such tubes, an addressing is obtained using an electron beam which sequentially scans all the points of the crystal (see Revue Acta Electronica Vol.18 n02 and 3 - 1975).

Il est ainsi possible de moduler des images à cadence vidéo. La résolution spatiale élevée du canon à électrons permet des applications à l'imagerie, en particulier la vidéoprojection. Par contre, la commande par faisceau d'électrons conduit à un encombrement important, et la fréquence image se trouve limitée par la valeur du courant de faisceau imposée par la résolution géométrique et par la complexité de l'électronique vidéo. Enfin, la modulation de phase de la lumière est limitée à un déphasage de tir/2 (variation de chemin optique de A/4, A étant la longueur d'onde du rayonnement utilisé). It is thus possible to modulate images at video rate. The high spatial resolution of the electron gun allows imaging applications, in particular video projection. On the other hand, the control by electron beam leads to a significant congestion, and the image frequency is limited by the value of the beam current imposed by the geometric resolution and by the complexity of the video electronics. Finally, the phase modulation of the light is limited to a firing phase shift / 2 (variation of optical path of A / 4, A being the wavelength of the radiation used).

Pour réaliser un adressage électronique direct, à l'aide d'électrodes, un élément de connexion 10, par exemple un circuit imprimé, un circuit hybride ou un circuit intégré, présente des électrodes 8 disposées en regard des électrodes 3 et un circuit d'interconnexion 12, ici constitué par un film isolant 5 (tel que celui connu sous la marque KAPTON) présentant des trous 6 métallisés sur ses bords en 7. Un tel film isolant 5 présente une certaine flexibilité qui fait qu'il n'est pas besoin d'exercer des contraintes sur l'élément 1 ou sur le support 10 pour assurer une bonne interconnexion. Dans l'antériorité US 4 380 0773 précitée, des contraintes importantes devaient être exercés en utilisant la résilience du circuit intégré pour appliquer ses électrodes sur une surface dépourvue d'électrode de l'élément opto-électronique.Par con trer le circuit d'interconnexion mentionné ci-dessus est intrinsèquement déformable, c'est-à-dire, au sens de la demande, nettement plus résilient que l'élément de connexion 10. To perform direct electronic addressing, using electrodes, a connection element 10, for example a printed circuit, a hybrid circuit or an integrated circuit, has electrodes 8 arranged opposite the electrodes 3 and a circuit of interconnection 12, here constituted by an insulating film 5 (such as that known under the brand KAPTON) having holes 6 metallized on its edges at 7. Such an insulating film 5 has a certain flexibility which means that there is no need to exert constraints on the element 1 or on the support 10 to ensure good interconnection. In the aforementioned prior art US 4 380 0773, significant constraints had to be exerted by using the resilience of the integrated circuit to apply its electrodes to a surface devoid of electrode of the optoelectronic element. To build the interconnection circuit mentioned above is intrinsically deformable, that is to say, in the sense of demand, much more resilient than the connection element 10.

Pour un fonctionnement par réflexion, autrement que par réflexion totale, une couche isolante et réfléchissante Il est prévue sous les électrodes 3, et l'électrode 2 est transparente. En variante, les électrodes 3 peuvent être réfléchissantes et séparées par une couche isolante et réfléchissante. For an operation by reflection, other than by total reflection, an insulating and reflecting layer It is provided under the electrodes 3, and the electrode 2 is transparent. Alternatively, the electrodes 3 can be reflective and separated by an insulating and reflective layer.

Sur la figure 2, l'élément d'interconnexion 12 est constitué par des billes d'indium de diamètre environ 30 microns, de préférence mises en forme par chauffage lors de l'assemblage de manière à augmenter la surface de contact. Une variante avantageuse consiste en la mise en oeuvre de billes cn eutectique indium-bismuth dont l'intérêt est en outre de présenter une température de solidification plus faible que celle de l'indium. Comme dans le cas ci-dessus, les billes sont nettement plus résilientes que le support 10.  In FIG. 2, the interconnection element 12 consists of indium balls with a diameter of around 30 microns, preferably shaped by heating during assembly so as to increase the contact surface. An advantageous variant consists in using cn eutectic indium-bismuth beads, the advantage of which is furthermore to present a lower solidification temperature than that of indium. As in the above case, the balls are much more resilient than the support 10.

La figure 3 illustre le cas d'un balayage vidéo à deux dimensions. L'élément électro-optique 1 présente des électrodes 3, à raison d'une par point image (pixel), alors que la contre-électrode 2 recouvre toute la surface de l'élément électro-optique I. Figure 3 illustrates the case of two-dimensional video scanning. The electro-optical element 1 has electrodes 3, one per image point (pixel), while the counter-electrode 2 covers the entire surface of the electro-optical element I.

Pour réaliser l'adressage, il suffit d'un décodeur ligne et d'un décodeur colonne commandant deux interrupteurs en série par point image. Lorsqu'un point image est sélectionné par les décodeurs, les deux interrupteurs correspondants sont fermés et le signal vidéo est appliqué à l'électrode du point image sélectionné. Si N est le nombre de lignes et de colonnes de la matrice (supposée carrée), il faut alors 4N2 interrupteurs. To carry out the addressing, a line decoder and a column decoder are sufficient to control two switches in series per image point. When an image point is selected by the decoders, the two corresponding switches are closed and the video signal is applied to the electrode of the selected image point. If N is the number of rows and columns of the matrix (assumed to be square), then 4N2 switches are required.

La figure 4 représente une configuration qui demande un nombre moins élevé d'interrupteurs, ici des transistors à effet de champs MOS fonctionnant en commutation. Soit 1 le nombre de lignes et c le nombre de colonnes . Chaque point image (représenté par une capacité Cnp) présente un transistor de commutation en série Tnp, n indiquant le numéro de ligne, et p le numéro de colonne, les transistors de même indice p étant tous commandés par une même sortie du décodeur de ligne 20 recevant le signal de ligne LS. Pour chaque ligne, un transistor Tn est commandé par la nième sortie du décodeur de ligne 20. Le transistor Tn est passant pour le signal vidéo VI lorsque la nième ligne est sélectionnée par le signal de ligne LS et est connecté à l'électrode de ligne 2 correspondant à la nième ligne.Le signal de colonne TS appliqué à l'entrée du décodeur de colonne 30 permet de balayer les p transistors de la nième ligne sélectionnée. FIG. 4 represents a configuration which requires a lower number of switches, here MOS field effect transistors operating in switching mode. Let 1 be the number of rows and c the number of columns. Each image point (represented by a capacitor Cnp) has a switching transistor in series Tnp, n indicating the line number, and p the column number, the transistors of the same index p being all controlled by the same output of the line decoder. 20 receiving the LS line signal. For each line, a transistor Tn is controlled by the nth output of the line decoder 20. The transistor Tn is on for the video signal VI when the nth line is selected by the line signal LS and is connected to the line electrode 2 corresponding to the nth row. The column signal TS applied to the input of the column decoder 30 makes it possible to scan the p transistors of the nth row selected.

Ce circuit tient compte des impératifs suivants - entre deux adressages successifs d'un même pixel, conservation de la charge électrique de la capacité Cnp du pixel - au cours de l'adressage du pixel (n,p) : charge ou décharge de la capacité Cnp du pixel selon le signe de la différence entre les signaux de l'image en cours d'inscription et de 1' image précédente.  This circuit takes account of the following imperatives - between two successive addresses of the same pixel, conservation of the electric charge of the pixel capacity Cnp - during the addressing of the pixel (n, p): charge or discharge of the capacity Cnp of the pixel according to the sign of the difference between the signals of the image being written and the previous image.

Selon les figures 5 et 6, on diminue le nombre total de transistors de commutation des décodeurs et des transistors de sélection de colonne (Tp aux figures 3 et 4) en utilisant un décodage combinatoire selon lequel plusieurs commutateurs sont placés en série sur les lignes et sur les colonnes. Si q est le nombre de signaux d'adressage et r le nombre de commutateurs placés sur chaque ligne et sur chaque colonne, il est possible d'adresser un nombre de lignes et un nombre de colonnes pouvant atteindre Cq avec cr = q! q -
Par exemple, avec trois interrupteurs (r=3) par ligne et par colonne, il est possible d'adresser une matrice carrée de 120 x 120 pixels avec q = 10 signaux ou 286 x 286 pixels avec q = 13 signaux.
According to FIGS. 5 and 6, the total number of switching transistors of the decoders and of the column selection transistors (Tp in FIGS. 3 and 4) is reduced by using a combinatorial decoding according to which several switches are placed in series on the lines and on the columns. If q is the number of addressing signals and r the number of switches placed on each line and on each column, it is possible to address a number of lines and a number of columns up to Cq with cr = q! q -
For example, with three switches (r = 3) per row and per column, it is possible to address a square matrix of 120 x 120 pixels with q = 10 signals or 286 x 286 pixels with q = 13 signals.

Bien entendu, on peut choisir des valeurs différentes de q et de r pour les lignes et les colonnes, pour des matrices non carrés. Of course, we can choose different values of q and r for the rows and columns, for non-square matrices.

On peut réaliser l'adressage avec un petit nombre de connexions, à savoir celles du signal vidéo et des q signaux d'adressage, lesquels peuvent être élaborés par une électronique extérieure au composant. Addressing can be carried out with a small number of connections, namely those of the video signal and of the q addressing signals, which can be produced by electronics external to the component.

Aux figures 5 et 6, on a donné à titre d'exemple un schéma d'un tel circuit d'adressage de ligne dans le cas simplifié de deux interrupteurs par ligne (r = 2) et de quatre
2 signaux d'adressage (q = 4) permettant de commander C4 lignes, soit six lignes.
In Figures 5 and 6, an example is given of a diagram of such a line addressing circuit in the simplified case of two switches per line (r = 2) and four
2 addressing signals (q = 4) for controlling C4 lines, i.e. six lines.

Pour caque ligne deux transistors fonctionnant en commutation ont leur trajet principal de courant en série, à savoir (Q1, Q'1) (Q2, Q 2) (Q3 Q'3) (Q41 Q'4) (Q, Q'5) et (Q6, Q'6), et connecté entre une borne d'amenée du signal vidéo VI et les lignes respectives de point image. Le signal de sélection de ligne LS comporte quatre signaux logiques S1, S2,
S3 et S4.
For each line two transistors operating in switching mode have their main current path in series, namely (Q1, Q'1) (Q2, Q 2) (Q3 Q'3) (Q41 Q'4) (Q, Q'5 ) and (Q6, Q'6), and connected between a video signal supply terminal VI and the respective image point lines. The line selection signal LS comprises four logic signals S1, S2,
S3 and S4.

Le signal S1 est appliqué à l'électrode de commande des transistors Q1, Q2 et Q3r le signal S2 est appliqué à l'é- lectrode de commande des transistors Q'1, Q4 et Qs, le signal S3 est appliqué à l'électrode de commande des transistors Q'2,
Q'4 et Q6 et le signal S4 est appliqué à l'électrode de commande des transistors Q'3, Q's et Q'6. Pendant un cycle de du rée T (figure 6b), présentant six séquences t1, t2, t3, t4, t5 et t6, le signal S1 est au niveau haut pendant t1, t2 et t3, le signal S2 est au niveau haut pendant t1, t4 et t5, le signal S3 est au niveau haut pendant t2, t4 et t6 et le signal
S4 est au niveau haut pendant t3, t5 et t6.
Signal S1 is applied to the control electrode of transistors Q1, Q2 and Q3r Signal S2 is applied to the control electrode of transistors Q'1, Q4 and Qs, signal S3 is applied to the electrode for controlling the Q'2 transistors,
Q'4 and Q6 and the signal S4 is applied to the control electrode of the transistors Q'3, Q's and Q'6. During a cycle of field T (Figure 6b), presenting six sequences t1, t2, t3, t4, t5 and t6, the signal S1 is at the high level during t1, t2 and t3, the signal S2 is at the high level during t1 , t4 and t5, signal S3 is high for t2, t4 and t6 and the signal
S4 is at the high level during t3, t5 and t6.

Pendant l'instant t1, S1 et S2 sont au niveau haut, d'où mise à l'état passant des transistors Q1 et Q'1 et sélection de la première ligne. Pendant l'instant t2, S1 et S3 sont au niveau haut, d'où sélection de la deuxième ligne, et ainsi de suite, S1 et S4 au niveau haut sélectionnant la troisième ligne, S2 et S3 au niveau haut sélectionnant la quatrième ligne, S2 et S4 au niveau haut sélectionnant la cinquième ligne et S3 et S4 au niveau haut sélectionnant la sixième ligne. Un raisonnement similaire pourrait s'appliquer au décodeur colonne 30 avec des signaux de sélection de colonne Sur S'2, S'3 et S'4.Pour le décodeur colonne 30, un signal V de tension continue (par exemple 12 Volts) peut être employé, cette tension servant à commander les transistors de commutation Tnp disposés au niveau de chaque pixel. During the instant t1, S1 and S2 are at the high level, from where the transistors Q1 and Q'1 are put into the on state and selection of the first line. During time t2, S1 and S3 are at the high level, from where selection of the second line, and so on, S1 and S4 at the high level selecting the third line, S2 and S3 at the high level selecting the fourth line, S2 and S4 at the high level selecting the fifth line and S3 and S4 at the high level selecting the sixth line. A similar reasoning could apply to the column decoder 30 with column selection signals On S'2, S'3 and S'4. For the column decoder 30, a DC voltage signal V (for example 12 Volts) can be used, this voltage being used to control the switching transistors Tnp arranged at the level of each pixel.

La figure 7 montre une telle configuration, le trajet de courant principal des transistors (tn1,
Tn2...Tnc) d'une même ligne n étant en série entre d'une part les transistors en série (Qnr Q'n^...) correspondant à la sélection de cette même ligne n par le décodeur ligne 20, et d'autre part les capacités respectives (Cn11 Cn2. . .Cnc) matérialisant les points image. En ce qui concerne la colonne de rang p, les transistors de commutation (Pp, P'p...) sont en série avec d'une part la borne d'alimentation à la tension continue V et d'autre part l'électrode de commande des transistors (T1p, T2p...Tlp) de la matrice 40 de commande de l'élément électro-optique.
FIG. 7 shows such a configuration, the main current path of the transistors (tn1,
Tn2 ... Tnc) of the same line n being in series between on the one hand the series transistors (Qnr Q'n ^ ...) corresponding to the selection of this same line n by the decoder line 20, and on the other hand the respective capacities (Cn11 Cn2... Cnc) materializing the image points. As regards the column of rank p, the switching transistors (Pp, P'p ...) are in series with on the one hand the supply terminal at the DC voltage V and on the other hand the electrode for controlling the transistors (T1p, T2p ... Tlp) of the matrix 40 for controlling the electro-optical element.

Selon la figure 8, le problème de dilatation différentielle entre le matériau constituant l'élément de connexion 10 et celui constituant l'élément électro-optique î est résolu en solidarisant, notamment par collage, l'élément de connexion 10 avec une paroi massive 52 dont le coefficient de dilatation thermique est voisin (ou égal) de celui de l'élément électro-optique 1. En effet, à titre d'exemple, la dilatation différentielle existant entre un support en silicium (circuit intégré) et un cristal de DKDP entre -500C et 1500C (écart de 220 C) correspond à un déplacement relatif de 25u pour une pastille de 7,5 mm de diamètre, soit un demi point image (ou pixel).Dans ce cas, on peut utiliser pour la paroi 52 un bloc de fluorine (CaF2), ou tout autre matériau présentant le même coefficient de dilatation thermique que celui de l'élément électro-optique 1. According to FIG. 8, the problem of differential expansion between the material constituting the connection element 10 and that constituting the electro-optical element î is resolved by joining, in particular by gluing, the connection element 10 with a solid wall 52 whose coefficient of thermal expansion is close (or equal) to that of the electro-optical element 1. Indeed, by way of example, the differential expansion existing between a silicon support (integrated circuit) and a DKDP crystal between -500C and 1500C (difference of 220 C) corresponds to a relative displacement of 25u for a pellet of 7.5 mm in diameter, i.e. a half image point (or pixel). In this case, one can use for the wall 52 a block of fluorite (CaF2), or any other material having the same coefficient of thermal expansion as that of the electro-optical element 1.

Selon un mode de réalisation préféré, l'élément électro-optique 1 est également solidarisé d'une paroi massive transparente 51 ayant un coefficient de dilatation thermique voisin de celui de l'élément 1, par exemple de la fluorine (CaF2) dans l'exemple ci-dessus, et est interposée entre les parois 51 et 52 une cale conductrice de la chaleur 53 de manière à obtenir une meilleure homogénéité thermique. According to a preferred embodiment, the electro-optical element 1 is also secured to a transparent solid wall 51 having a coefficient of thermal expansion close to that of element 1, for example fluorine (CaF2) in the example above, and is interposed between the walls 51 and 52 a heat conducting wedge 53 so as to obtain better thermal homogeneity.

Dans le cas où l'élément d'interconnexion 12 présente des billes 4, il est avantageux d'utiliser un eutectique indium-bismuth dont le point de fusion (720C) est plus bas que celui de l'indium.  In the case where the interconnection element 12 has balls 4, it is advantageous to use an indium-bismuth eutectic whose melting point (720C) is lower than that of indium.

Sur la paroi 52 peut être monté un circuit de refroidissement 56 à effet Peltier couplé par un bloc conducteur de la chaleur 55. Le circuit Peltier 56 est supporté par un support 60.  On the wall 52 can be mounted a Peltier cooling circuit 56 coupled by a heat conducting block 55. The Peltier circuit 56 is supported by a support 60.

Claims (15)

REVENDICATIONS 1. Dispositif électro-optique comprenant un élément électro-optique, un élément de connexion présentant un premier arrangement d'électrodes espacées les unes des autres et des moyens pour solidariser le dispositif électro-optique et l'élément de connexion caractérisé en ce que le dispositif électro-optique comporte sur une première surface un deuxième arrangement d'électrode (3) correspondant audit premier arrangement (8) et en ce qu'il comporte un élément intercalaire d'interconnection déformable (2) disposé entre le support (10) et l'élément électro-optique (1) de manière à interconnecter le premier (8) et le deuxième (3) arrangement. 1. Electro-optical device comprising an electro-optical element, a connection element having a first arrangement of electrodes spaced from each other and means for securing the electro-optical device and the connection element characterized in that the electro-optical device comprises on a first surface a second electrode arrangement (3) corresponding to said first arrangement (8) and in that it comprises an intermediate deformable interconnection element (2) disposed between the support (10) and the electro-optical element (1) so as to interconnect the first (8) and the second (3) arrangement. 2. Dispositif électro-optique selon la revendication 1 caractérisé en ce que l'élément intercalaire (12) comporte un film isolant (5) présentant des trous métallisés disposés de manière à réaliser ladite interconnexion.2. Electro-optical device according to claim 1 characterized in that the intermediate element (12) comprises an insulating film (5) having metallized holes arranged so as to make said interconnection. 3. Dispositif électro-optique selon la revendication I caractérisé en ce que l'élément intercalaire (12) comporte des billes (4) en matériau conducteur malléable.3. Electro-optical device according to claim I characterized in that the intermediate element (12) comprises balls (4) made of malleable conductive material. 4. Dispositif selon la revendication 3 caractérisé en ce que ledit matériau comporte de l'indium.4. Device according to claim 3 characterized in that said material comprises indium. 5. Dispositif selon une des revendications précédentes caractérisé en ce que le support (10) est un circuit intégré présentant un circuit électronique de commutation destiné à charger et à décharger des électrodes choisies du deuxième arrangement (3).5. Device according to one of the preceding claims characterized in that the support (10) is an integrated circuit having an electronic switching circuit intended to charge and discharge selected electrodes of the second arrangement (3). 6. Dispositif selon la revendication 5 caractérisé en ce que le circuit intégré (10) présente des dimensions sensiblement égales à celles de l'élément électro-optique (1).6. Device according to claim 5 characterized in that the integrated circuit (10) has dimensions substantially equal to those of the electro-optical element (1). 7. Dispositif selon une des revendications précédentes caractérisé en ce que les arrangements d'électrodes (3, 8) sont à deux dimensions.7. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the electrode arrangements (3, 8) are two-dimensional. 8. Dispositif selon la revendication 7 caractérisé en ce que le deuxième arrangement d'électrodes (3) correspond à des pixels d'une image. 8. Device according to claim 7 characterized in that the second arrangement of electrodes (3) corresponds to pixels of an image. 9. Dispositif selon la revendication 8 caractérisé en ce que l'élément électro-optique présente, sur une deuxième surface opposée à la première r une électrode (2) transparente.9. Device according to claim 8 characterized in that the electro-optical element has, on a second surface opposite to the first r a transparent electrode (2). 10. Dispositif selon la revendication 9 caractérisé en ce que le support comporte un décodeur ligne (20), un décodeur colonne (30) ainsi qu'une matrice d'interrupteurs (T 10. Device according to claim 9 characterized in that the support comprises a line decoder (20), a column decoder (30) and a matrix of switches (T Tic, T21---Tl1...TlC) correspondant audits pixels.Tic, T21 --- Tl1 ... TlC) corresponding to said pixels. 11. Dispositif selon la revendication 10 caractérisé en ce que les décodeurs de ligne et de colonne (20, 30) comportent q et q' interrupteurs en série respectivement pour chaque ligne et pour chaque colonne et pour commander les interrupteurs r et r' signaux d'adressages pour les décodeurs respectivement de lignes et de colonnes et en ce que 1( Cq; c avec 11. Device according to claim 10 characterized in that the row and column decoders (20, 30) comprise q and q 'switches in series respectively for each row and for each column and for controlling the switches r and r' signals d addresses for the line and column decoders respectively and in that 1 (Cq; c with C r q'!C r q '! q' r'(q'-r')l  q 'r' (q'-r ') l 1 = nombre de lignes et c = nombre de colonnes. 1 = number of rows and c = number of columns. 12. Dispositif selon une des revendications précédentes caractérisé en ce que l'élément de connexion (10) est mécaniquement solidaire d'un premier bloc (52) en matériau ayant un coefficient de dilatation thermique voisin de celui de l'élément électro-optique (1).12. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the connection element (10) is mechanically integral with a first block (52) of material having a coefficient of thermal expansion close to that of the electro-optical element ( 1). 13. Dispositif selon la revendication 12 caractérisé en ce que l'élément électro-optique (1) est mécaniquement solidaire d'un deuxième bloc en matériau (51) ayant un coefficient de dilatation thermique voisin du sien.13. Device according to claim 12 characterized in that the electro-optical element (1) is mechanically integral with a second block of material (51) having a coefficient of thermal expansion close to its own. 14. Dispositif selon la revendication 13 caractérisé en ce qu'au moins une cale thermiquement conductrice (53) est interposée entre le premier (52) et le deuxième (51) bloc.14. Device according to claim 13 characterized in that at least one thermally conductive wedge (53) is interposed between the first (52) and the second (51) block. 15. Dispositif selon une des revendications 12 à 14 caractérisé en ce que l'élément électro-optique (1) est un monocristal de di-phosphate acide de potassium deutéré (DKDP), et en ce qu'au moins un bloc (51, 52) est en fluorine (CaF2). 15. Device according to one of claims 12 to 14 characterized in that the electro-optical element (1) is a single crystal of deuterated potassium acid di-phosphate (DKDP), and in that at least one block (51, 52) is fluorite (CaF2).
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