FR2656696B1 - Dispositif de mesure continue de la resistivite d'une couche mince au cours de sa formation. - Google Patents
Dispositif de mesure continue de la resistivite d'une couche mince au cours de sa formation.Info
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- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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FR8917342A FR2656696B1 (fr) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Dispositif de mesure continue de la resistivite d'une couche mince au cours de sa formation. |
Applications Claiming Priority (1)
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FR8917342A FR2656696B1 (fr) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Dispositif de mesure continue de la resistivite d'une couche mince au cours de sa formation. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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FR2656696A1 FR2656696A1 (fr) | 1991-07-05 |
FR2656696B1 true FR2656696B1 (fr) | 1992-10-16 |
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Family Applications (1)
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FR8917342A Expired - Lifetime FR2656696B1 (fr) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | Dispositif de mesure continue de la resistivite d'une couche mince au cours de sa formation. |
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Country | Link |
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FR (1) | FR2656696B1 (fr) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19736113A1 (de) * | 1997-08-21 | 1999-03-18 | Pac Tech Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Kenngröße für ein Metallisierungsbad |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US3473124A (en) * | 1968-02-19 | 1969-10-14 | Sylvania Electric Prod | Method of electrically testing semiconductor elements retained under a pressure drawn film |
US3936738A (en) * | 1974-01-02 | 1976-02-03 | Drexelbrook Controls, Inc. | Method of and apparatus for measuring the amount of coating material applied to substrates |
US4793895A (en) * | 1988-01-25 | 1988-12-27 | Ibm Corporation | In situ conductivity monitoring technique for chemical/mechanical planarization endpoint detection |
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1989
- 1989-12-28 FR FR8917342A patent/FR2656696B1/fr not_active Expired - Lifetime
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FR2656696A1 (fr) | 1991-07-05 |
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