FR2647259A1 - ELECTRONIC DISPLAY TUBE WITH BLACK NETWORK BETWEEN LUMINOPHORES - Google Patents

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FR2647259A1
FR2647259A1 FR8906350A FR8906350A FR2647259A1 FR 2647259 A1 FR2647259 A1 FR 2647259A1 FR 8906350 A FR8906350 A FR 8906350A FR 8906350 A FR8906350 A FR 8906350A FR 2647259 A1 FR2647259 A1 FR 2647259A1
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FR8906350A
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Inventor
Jean-Pierre Galves
Pierre Merloz
Gerard Gomez
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Thales Electron Devices SA
Original Assignee
Thomson Tubes Electroniques
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/10Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
    • H01J29/18Luminescent screens
    • H01J29/30Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines
    • H01J29/32Luminescent screens with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots, in lines with adjacent dots or lines of different luminescent material, e.g. for colour television
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J9/20Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/22Applying luminescent coatings
    • H01J9/227Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

The invention concerns display screens and in particular electron beam indexation display tubes. Conventionally, the screen comprises alternate red and blue bands of luminophores separated from one another by black bands (32) providing a clear boundary between the colours. According to the invention, it is proposed to use metal oxides (manganese, chromium, iron) for the black network; these oxides are preferably used as a substrate beneath a chromium reflecting layer (34). The result is both good colour separation and a screen which only slightly reflects the diffuse ambient light. The use of these oxides is, moveover, perfectly compatible with vacuum deposition methods and fine photogravure, making it possible to obtain better resolution than with conventional colour television screens (using shadow masks), which make use of graphite.

Description

TUBE ELECTRONIQUE DE VISUALISATION
AVEC RESEAU NOIR ENTRE LUMINOPHORES
L'invention concerne les tubes électronlques de visualisation, et notamment les tubes de visualisation dits à indexation de faisceau électronique.
ELECTRONIC DISPLAY TUBE
WITH BLACK NETWORK BETWEEN LUMINOPHORES
The invention relates to electronic display tubes, and in particular to so-called electronic beam indexing display tubes.

Un tube électronique de visualisation comprend un écran de visualisation sur lequel sont déposés des luminophores (en anglais nphosphors") qui ont la propriété d'émettre de la lumière lorsqu'ils sont frappés par un faisceau d'électrons, et d'autant plus que l'intensité du faisceau est - importante. Un canon à électrons émet un faisceau d'électrons qui balaye la surface de écran et qui est modulé en intensité par un signal vidéo de manière que chaque point de ltécran stillumine avec une intensité désirée. An electronic viewing tube includes a viewing screen on which phosphors (in English nphosphors ") are deposited which have the property of emitting light when struck by an electron beam, and all the more so as the intensity of the beam is - important. An electron gun emits an electron beam which scans the screen surface and which is modulated in intensity by a video signal so that each point of the screen is still emitting with a desired intensity.

L'écran est subdivisé en points d'image qui sont définis par des zones de luminophores placées à ces points. Ces zones. de luminophores de formation d'image peuvent être réparties de plusieurs manières. Dans les tubes à indexation de faisceau les zones élémentaires sont normalement des bandes parallèles de luminophores s'étendant chacune sur toute la hauteur de l'écran perpendiculairement aux lignes de balayage du faisceau électronique. The screen is subdivided into image points which are defined by zones of phosphors placed at these points. These areas. image forming phosphors can be distributed in several ways. In beam-indexing tubes, the elementary zones are normally parallel strips of phosphors each extending over the entire height of the screen perpendicular to the scanning lines of the electron beam.

Dans tous les cas, les zones de luminophores sont séparées les unes des autres par des zones opaques. C'est ce qui permet en particulier de bien différencier les couleurs lorsque des luminophores émettant dans des couleurs différentes sont
Juxtaposés sur l'écran.
In all cases, the phosphor zones are separated from each other by opaque zones. This is what makes it possible in particular to clearly differentiate colors when luminophores emitting in different colors are
Juxtaposed on the screen.

La figure 1 représente la coupe d'un écran en cours de réaiisation, avec un substrat de verre 10, des bandes opaques 12 déposées sur la face avant de ce substrat, des bandes 14 de luminophores rouges (R), verts (V), bleus (B), déposés sur le substrat après la formation des bandes opaques et donc recouvrant partiellement celles-ci. Les bandes opaques 12 servent notamment à éviter que la lumière émise par la partie . de luminophore qui les recouvre ne soit transmise vers la face arrière de l'écran. La résolution d'image en serait diminuée, notamment pour les tubes à indexation de faisceau électronique dont a résolution repose essentiellement sur la finesse et la séparation mutuelle des bandes de couleur.Les bandes opaques ont d'ailleurs aussi pour rôle, dans le cas des tubes à indexation de faisceau, le masquage des luminophores d'indexation, afin que ceux-ci n'émettent pas vers la face arrière de l'écran donc vers l'observateur. FIG. 1 represents the cross section of a screen in the process of being produced, with a glass substrate 10, opaque bands 12 deposited on the front face of this substrate, bands 14 of red (R), green (V) phosphors, blue (B), deposited on the substrate after the formation of the opaque bands and therefore partially covering them. The opaque strips 12 serve in particular to prevent the light emitted by the party. phosphor covering them is not transmitted to the back of the screen. Image resolution would be reduced, in particular for electron beam indexing tubes, whose resolution is essentially based on the sharpness and mutual separation of the color bands. Opaque bands also have the role, in the case of beam indexing tubes, masking the indexing phosphors, so that they do not emit towards the rear face of the screen and therefore towards the observer.

Dans la technique antérieure utilisée en télévision couleurs (téléviseurs grand public), les zones opaques 12 sont en graphite. Le graphite a l'avantage d'être très noir, c'est-à-dire qu'il absorbe bien la lumière même en couche très mince. Il permet donc d'éliminer relativement bien le rayonnement émis vers l'arrière. Mais le graphite est un produit très polluant (poudre noire) que l'on en souhaite pas introduire dans des salles à atmosphère contrôlée. Par ailleurs, le graphite nécessite des méthodes de dépôt particulières telles que le coulage (en anglais "slurry process") d'une suspension de graphite et la gravure par lift off avec des résines qui ne sont pas des résines classiques de microllthographie électronique et qui ne permettent pas une grande résolution.La résolution n'est en particulier pas comparable à celle qu'on peut obtenir pour la gravure de couches minces deposées par évaporation. Enfin, cette technique n'est pas du tout utilisable avec des écrans plats sans jupe périphérique, tels qu'on en utilise pour les tubes à indexation de faisceau. Il est en effet très difficile de bien mouiller la surface de l'écran avec une suspension de graphite si l'écran n'a pas de rebord périphérique. In the prior art used in color television (consumer televisions), the opaque zones 12 are made of graphite. Graphite has the advantage of being very black, that is to say that it absorbs light well even in a very thin layer. It therefore makes it possible to eliminate the radiation emitted towards the rear relatively well. But graphite is a very polluting product (black powder) that we do not want to introduce in rooms with controlled atmosphere. Furthermore, graphite requires specific deposition methods such as the casting (in English "slurry process") of a graphite suspension and etching by lift off with resins which are not conventional electron microllthography resins and which do not allow a high resolution. The resolution is in particular not comparable to that which can be obtained for the engraving of thin layers deposited by evaporation. Finally, this technique cannot be used at all with flat screens without a peripheral skirt, such as is used for tubes with beam indexing. It is indeed very difficult to properly wet the surface of the screen with a graphite suspension if the screen has no peripheral edge.

Pour mémoire, on rappelle que les tubes à indexation de faisceau sont des tubes dans lesquels le faisceau passe au cours de son balayage sur des bandes d'indexation qui sont des luminophores ne participant pas à la formation de l'image; ces luminophores émettent seulement de la lumière (en général en ultraviolet) vers un détecteur qui repère ainsi le passage du faisceau à des points bien déterminés de sorte qu'on peut savoir à tout moment où est le faisceau et définir en fonction de cela le signal vidéo à appliquer. Les tubes à indexation de faisceau servent notamment à la réallsation d'un affichage ën couleurs avec un seul canon à électrons. As a reminder, it is recalled that the beam indexing tubes are tubes in which the beam passes during its scanning over indexing bands which are phosphors which do not participate in the formation of the image; these phosphors only emit light (generally in ultraviolet) towards a detector which thus locates the passage of the beam at well determined points so that one can know at any time where the beam is and define according to that the signal video to apply. The beam indexing tubes are used in particular for the reassembly of a color display with a single electron gun.

Pour ces tubes, une technique qu'on peut utiliser consiste à former les bandes opaques par dépôt de chrome, ce qui a plusieurs avantages. D'abord, le chrome est fortement opaque à la lumière grâce à son fort pouvoir réfléchissant. Ensuite il peut être déposé en couche mince par évaporation sous vide et gravé avec une très bonne résolution (sur écran plat). Mais le contraste d'image vu du côté de l'utilisateur n'est pas optimal. For these tubes, a technique that can be used consists in forming the opaque strips by depositing chromium, which has several advantages. First, chromium is highly opaque to light thanks to its strong reflecting power. Then it can be deposited in a thin layer by evaporation under vacuum and engraved with very good resolution (on flat screen). But the image contrast seen from the user side is not optimal.

Il est en particulier moins bon que celui qu'on obtient dans les écrsns bombés de télévision du type "shadow mask" utilisant du graphite.It is in particular less good than that which one obtains in bulging television screens of the type "shadow mask" using graphite.

On s'est aperçu selon l'invention qu on pouvait, sans modifier fondamentalement la technologie utilisée, améllorer considérablement le contraste des tubes à indexation de faisceau, et plus généralement des tubes dont l'écran est plat et qui peuvent être réalisés par des technologies de dépôt et gravures de couches minces. It was found according to the invention that it was possible, without fundamentally modifying the technology used, to considerably improve the contrast of beam indexing tubes, and more generally of tubes whose screen is flat and which can be produced by technologies. of deposit and engravings of thin layers.

On propose selon l'invention de réallser les zones opaques de séparation des luminophores en utilisant des matériaux noirs (absorbant fortement la lumière), déposables par les techniques usuelles de dépôt sous vide, ces matériaux noirs pouvant par exemple être des oxydes métalliques noirs, ou même des oxydes chargés de particules métalliques qui les rendent fortement absorbants aux longueurs d'onde visibles.Selon un autre sspect de l'invention, on propose d'utiliser en combinaison une couche réfléchissante (telle que du chrome) et une sous-couche absorbante, cette dernière couche pouvant être absorbante soit parce qu'elle est constituée d'un matériau à fort pouvoir d'absorption de la lumière (telle que des oxydes métalliques noirs), soit parce qu'elle est constituée de manière à réallser un effet anti-reflets vu du côté arrière de l'écran. It is proposed according to the invention to re-organize the opaque areas of separation of the phosphors using black materials (strongly absorbing light), which can be deposited by the usual vacuum deposition techniques, these black materials possibly being, for example, black metal oxides, or even oxides charged with metallic particles which make them highly absorbent at visible wavelengths. According to another aspect of the invention, it is proposed to use a combination of a reflective layer (such as chromium) and an absorbent sublayer , this last layer being able to be absorbent either because it is made of a material with strong power of absorption of the light (such as black metallic oxides), or because it is constituted so as to realler an anti effect - reflections seen from the rear side of the screen.

Les oxydes métalliques noirs que l'on préfère utiliser selon l'invention sont choisis de préférence parmi les suivants oxyde de manganèse, oxyde de chrome, oxyde de fer, ces oxydes ayant entre autres l'avantage d'être peu coûteux (ils sont utilisés habituellement pour faire des résistances). On peut utiliser avantageusement aussi de l'oxyde de silicium chargé de particules métalliques, notamment -du chrome (phase dispersée de particules métalliques noyées dans l'oxyde). L'oxyde de silicium est transparent mais la charge métallique de chrome le rend non seulement opaque mais également absorbant (ctest-à-dire non réfléchissant bien que le chrome qui sert de charge soit réfléchissant). The black metal oxides which are preferred to use according to the invention are preferably chosen from the following manganese oxide, chromium oxide, iron oxide, these oxides having inter alia the advantage of being inexpensive (they are used usually to resist). It is also advantageous to use silicon oxide charged with metallic particles, in particular chromium (dispersed phase of metallic particles embedded in the oxide). The silicon oxide is transparent but the metallic charge of chromium makes it not only opaque but also absorbent (that is to say non-reflective although the chromium which serves as charge is reflective).

Ces matériaux ont l'avantage important d'être déposables sous vide et gravables par des procédés de photolithographie fine. Ils sont donc particulièrement adaptés à la réallsation d'écrans plats de haute résolution, et notamment de tubes de visualisation à indexation de faisceau électronique. These materials have the important advantage of being vacuum-depositable and etchable by fine photolithography processes. They are therefore particularly suitable for re-mounting high resolution flat screens, and in particular display tubes with electron beam indexing.

De plus, ces matériaux ont été choisis parce qu'ils restent stables et noirs à des températures allant jusqu'à 4500C au moins, ce qui est nécessaire dans les procédés de fabrication où les luminophores sont recouverts d'une couche d'aluminium et où un recuit à 4500C est effectué après dépôt de cette couche. In addition, these materials were chosen because they remain stable and black at temperatures up to at least 4500C, which is necessary in manufacturing processes where the phosphors are covered with a layer of aluminum and where annealing at 4500C is carried out after deposition of this layer.

Dans le cas où on utilise en combinaison une couche metallique et une couche antireflets en matériau intrinsèquement peu absorbant, l'épaisseur de la couche antireflets est de quelques centaines d'angströms, pour permettre un effet anti-reflets dans les longueurs d'onde visibles. Dans le cas où on utilise une couche absorbante noire, l'épaisseur de cette couche est de l'ordre d'au moins plusieurs milliers d'angströms pour permettre une absorption suffisante de la lumière. In the case where a metallic layer and an antireflection layer made of an intrinsically poorly absorbent material are used in combination, the thickness of the antireflection layer is a few hundred angstroms, to allow an anti-reflection effect in the visible wavelengths. . In the case where a black absorbent layer is used, the thickness of this layer is of the order of at least several thousand angstroms to allow sufficient absorption of light.

Enfin, on peut combiner une couche de chrome avec une sous couche anti reflets constituée d'un matériau ayant un assez fort pouvoir absorbant intrinsèque mais ayant aussi un indice de réfraction élevé. On le dépose alors en couche mince (de l'ordre du dixième de la longueur d'onde de la lumière, c 'est-à-dire 'de 400 à 800 angströms), et on profite à la fois de son pouvoir absorbant (limite puisque l'épaisseur est très faible) et de l'effet antireflets. Dans ce cas, on calcule l'épaisseur de la couche antireflets pour pièger surtout dans cette couche les grandes longueurs dinde (couleur rouge) étant donné que le pouvoir absorbant intrinsèque de la sous couche agit plutôt sur les courtes longueurs d'onde.On peut ainsi utiliser une couche d'oxyde de manganèse ou d'oxyde de chrome d'épaisseur très faible comme sous couche au dessous d'une couche de chrome réfléchissante. Finally, we can combine a chromium layer with an anti-reflective sublayer made of a material having a fairly strong intrinsic absorbing power but also having a high refractive index. It is then deposited in a thin layer (of the order of a tenth of the wavelength of light, that is to say 'from 400 to 800 angstroms), and we take advantage of both its absorbing power ( limit since the thickness is very small) and the anti-reflection effect. In this case, we calculate the thickness of the antireflection layer to trap especially in this layer the long lengths of turkey (red color) since the intrinsic absorbing power of the under layer acts rather on the short wavelengths. thus use a layer of manganese oxide or chromium oxide of very low thickness as an under layer below a reflective chromium layer.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels
- la figure 1, déjà décrite, représente une coupe d'un écran de visualisation en cours de fabrication, selon la technique antérieure;
- la figure 2 représente un écran de visualisation selon un premier mode de réalisation de l'invention;
- la figure 3 représente un écran de visualisation selon un deuxième mode de réalisation de l'invention.
Other characteristics and advantages of the invention will appear on reading the detailed description which follows and which is given with reference to the accompanying drawings in which
- Figure 1, already described, shows a section of a display screen during manufacture, according to the prior art;
- Figure 2 shows a display screen according to a first embodiment of the invention;
- Figure 3 shows a display screen according to a second embodiment of the invention.

L'invention sera décrite plus précisément à propos d'un tube à indexation de faisceau. The invention will be described more precisely with regard to a beam indexing tube.

Selon un premier mode de réalisation (figure 1), on réalise l'écran à partir d'un substrat plat de verre 20 et on dépose sur une face de ce substrat (face avant) une couche de plusieurs milliers d'angströms d'un matériau simple ou composé ayant la propriété d'être déposable par les procédés classiques de dépôt en couche mince sous vide, notamment par évaporation (par opposition aux procédés de êpôt par sérigraphie ("soreen processes" en anglais). Ce matériau est fortement absorbant pour la lumière et il est souhaitable que l'épaisseur de la couche soit choisie pour que la transmission des longueurs d'onde visibles soit inférieure à quelques pour cent (transmission depuis la face avant de l'écran vers la face arrière). According to a first embodiment (FIG. 1), the screen is produced from a flat glass substrate 20 and a layer of several thousand angstroms of a layer of several thousands of angstroms is deposited on one face of this substrate (front face). simple or compound material having the property of being depositable by conventional thin layer deposition processes under vacuum, in particular by evaporation (as opposed to screen printing processes ("soreen processes" in English). This material is highly absorbent for light and it is desirable that the thickness of the layer is chosen so that the transmission of the visible wavelengths is less than a few percent (transmission from the front face of the screen to the rear face).

L'épaisseur est par exemple de 0,7 à I micromètre environ.The thickness is for example from 0.7 to I micrometer approximately.

Le matériau choisi selon l'invention est un oxyde métallique noir, de préférence de l'oxyde de manganèse, ou éventuellement de oxyde de chrome, ou de l'oxyde de fer. Ce peut être aussi un matériau transparent tel que de l'oxyde de silicium chargé de particules qui le rendent noir. C'est le cas en particulier des particules de chrome en phase dispersée dans l'oxyde de silicium. Dans ce dernier cas, on dépose la couche absorbante par évaporation simultanée de chrome et d'oxyde de silicium. L'oxyde de manganèse est le matériau préféré. The material chosen according to the invention is a black metal oxide, preferably manganese oxide, or optionally chromium oxide, or iron oxide. It can also be a transparent material such as silicon oxide charged with particles which make it black. This is particularly the case for chromium particles in the dispersed phase in silicon oxide. In the latter case, the absorbent layer is deposited by simultaneous evaporation of chromium and silicon oxide. Manganese oxide is the preferred material.

On grave ensuite la couche absorbante de manière à définir des bandes étroites 22 qui sépareront les bandes de luminophores qui vont maintenant etre déposées. La gravure sur écran plat de cette couche absorbante peut permettre d'obtenir des bandes de 20 micromètres de large à plus ou moins 2 micromètres de tolérance sur cette largeur. Cette finesse résulte en particulier du mode de dépôt par évaporation sur une épaisseur très petite mais suffisante pour obtenir l'opacité désirée. The absorbent layer is then etched so as to define narrow strips 22 which will separate the strips of phosphors which will now be deposited. Etching this absorbent layer on a flat screen can make it possible to obtain strips of 20 micrometers wide to more or less 2 micrometers of tolerance over this width. This fineness results in particular from the mode of deposition by evaporation over a very small thickness but sufficient to obtain the desired opacity.

Il est à noter que l'on peut preférer effectuer la gravure de la couche opaque plutôt par une méthode de llft-off. Dans ce cas, on dépose et on grave une couche de résine photosensible avant de deposer la couche absorbante; puis, on dissous la résine, enlevant ainsi la couche opaque là où elle reposait sur la résine et laissant subsister la couche opaque là où elle reposait directement sur l'écran. Les résines photosensibles utilisées sont alors des résines classiques de microlithographie électronique. It should be noted that it is preferable to effect the etching of the opaque layer rather by an llft-off method. In this case, a layer of photosensitive resin is deposited and etched before depositing the absorbent layer; then, the resin is dissolved, thus removing the opaque layer where it rests on the resin and leaving the opaque layer where it rests directly on the screen. The photosensitive resins used are then conventional resins of electron microlithography.

On depose ensuite par sérigraphie une couche d'un luminophore d'une première couleur. Le dépôt est fait uniformément sur toute la surface de l'écran. On grave cette couche par un procédé de photogravure. Il en résulte des bandes verticales 24 de luminophores de cette couleur. On dépose et on grave de la même manière successivement les luminophores des autres couleurs.Il en résulte un réseau de bandes 24, 25, 26.de luminophores de couleurs alternées, chaque bande étant séparée des bandes voisines par des bandes opaques 22;
Le reste du procédé de fabrication de l'écran à indexation de faisceau comprend le dépôt d'une substance de planarisation puis le dépôt d'une couche d'aluminium, le dépôt et la photogravure de bandes de luminophores d'indexation sur l'aluminium, et le recuit de l'écran à environ 4500C pour faire disparaître les solvants et liants organiques encore présents dans les différentes couches (notamment dans la substance de planarisation).
A layer of a phosphor of a first color is then deposited by screen printing. The deposit is made uniformly over the entire surface of the screen. This layer is etched by a photoengraving process. This results in vertical strips 24 of phosphors of this color. The phosphors of the other colors are deposited and etched in the same manner successively. This results in a network of bands 24, 25, 26 of phosphors of alternating colors, each band being separated from the neighboring bands by opaque bands 22;
The rest of the manufacturing process for the beam indexing screen includes the deposition of a planarization substance and then the deposition of a layer of aluminum, the deposition and photogravure of bands of indexing phosphors on the aluminum. , and the annealing of the screen at around 4500C to remove the organic solvents and binders still present in the different layers (especially in the planarization substance).

Un autre mode de réalisation est représenté à la figure 3. Another embodiment is shown in FIG. 3.

Dans cette réalisation, on forme la couche opaque en deux parties. On dépose d'abord une sous couche absorbante qui a les mêmes propriétés et qui est déposée de la même manière que ce qui a été décrit en référence à la figure 2. Elle peut cependant être déposée sur une épaisseur moins - importante puisque l'effet principal recherché pour cette couche est l'absorption de la lumière ambiante vue de l'arrière de l'écran plus que l'absorption de la lumière émise par les luminophores.In this embodiment, the opaque layer is formed in two parts. First of all, an absorbent sub-layer is deposited which has the same properties and which is deposited in the same way as that which has been described with reference to FIG. 2. It can however be deposited on a less significant thickness since the effect main sought for this layer is the absorption of the ambient light seen from the back of the screen more than the absorption of the light emitted by the phosphors.

L'épaisseur de la sous-couche absorbante reste toutefois de l'ordre de quelques milliers d'angströms.The thickness of the absorbent sub-layer remains, however, of the order of a few thousand angstroms.

Là encore, le matériau préféré reste l'oxyde de manganèse. Again, the preferred material is manganese oxide.

Les autres matériaux mentionnés en référence à la figure 2 sont également utilisables.The other materials mentioned with reference to FIG. 2 can also be used.

Sur la figure 3, la sous-couche absorbante porte la référence 32. In FIG. 3, the absorbent underlay has the reference 32.

On dépose ensuite une cpuche 34 de matériau réfléchissant pour supprimer l'émission vers l'utilisateur de lumière en provenance des luminophores en dehors des zones de luminophores délimitées par les bandes opaques. Ce matériau est de préférence du chrome. L'épaisseur du dépôt peut être d'environ 1000 angströms. De préférence, le dépôt est effectué dans le même bâti d'évaporation que celui qui a servi au dépôt de la sous couche absorbante. Dans le cas où la sous-couche absorbante est un oxyde de silicium chargé de particules de chrome, on termine Itévaporation simultanée d'oxyde de silicium et de chrome par une évaporation de chrome seulement. A cpuche 34 of reflective material is then deposited to suppress the emission towards the user of light coming from the phosphors outside the zones of phosphors delimited by the opaque bands. This material is preferably chromium. The thickness of the deposit can be around 1000 angstroms. Preferably, the deposition is carried out in the same evaporation frame as that which served for the deposition of the absorbent sublayer. In the case where the absorbent sublayer is a silicon oxide loaded with chromium particles, the simultaneous evaporation of silicon oxide and chromium is ended by evaporation of chromium only.

On grave ensuite successivement, ou simultanément si cela est possible, la couche réfléchissante 34 et la sous couche absorbante 32. La gravure peut se faire aussi par lift off à condition d'avoir déposé - et gravé une résine avant le dépôt de la sous couche absorbante et de la couche réfléchissante. Then etching successively, or simultaneously if possible, the reflective layer 34 and the absorbent sublayer 32. The etching can also be done by lift off provided that you have deposited - and etched a resin before the deposition of the sublayer absorbent and reflective layer.

Dans cette réalisation avec un matériau réfléchissant tel que du chrome, on notera que les bandes de ce matériau sont relativement de bons conducteurs de l'électricité, de sorte qu'ils participent à l'élimination des charges électriques engendrées dans les luminophores lors du balayage de l'écran par le faisceau électronique. In this embodiment with a reflective material such as chromium, it will be noted that the strips of this material are relatively good conductors of electricity, so that they participate in the elimination of the electric charges generated in the phosphors during scanning. of the screen by the electron beam.

Dans une autre réalisation encore, de structure générale semblable à celle de la figure 3, la sous-couche absorbante 32 est constituée de manière à tirer son pouvoir d'absorption de la lumière (venant de l'arrière de l'écran) non pas du pouvoir absorbant intrinsèque du matériau qui la constitue, mais des effets interférentiels antireflets qui se produisent dans cette couche si elle est déposée en couche mince (quelques centaines d'angströms, c 'est-à-dire de tordre du dixième des longueurs d'onde de la lumière visible) et si elle possède un pouvoir de réfraction optique supérieur à celui du substrat 20. In yet another embodiment, of general structure similar to that of FIG. 3, the absorbent sublayer 32 is formed so as to derive its power from absorbing light (coming from the back of the screen) not of the intrinsic absorbing power of the material which constitutes it, but of the anti-reflective interference effects which occur in this layer if it is deposited in a thin layer (a few hundred angstroms, that is to say to twist a tenth of the lengths of wave of visible light) and if it has an optical refractive power greater than that of the substrate 20.

Le matériau de la sous couche 32 peut encore être un des oxydes mentionnés plus haut, notamment de l'oxyde de manganèse ou de l'oxyde de chrome, mais déposé sur une épaisseur suffisamment faible pour que l'absorption intrinsèque soit faible devant lteffet anti reflet. Mais le matériau de la sous couche 32 peut être un autre diélectrique à fort indice de réfraction, même transparent. Ce peut être de l'oxyde d'indium. The material of the under-layer 32 can also be one of the oxides mentioned above, in particular manganese oxide or chromium oxide, but deposited on a thickness sufficiently small so that the intrinsic absorption is low before the anti-effect reflection. However, the material of the sub-layer 32 can be another dielectric with a high refractive index, even a transparent one. It can be indium oxide.

On peut aussi améliorer Effet antireflet en superposant plusieurs couches antireflets ayant chacune des gammes de longueurs d'onde absorbées spécifiques.  The anti-reflection effect can also be improved by superimposing several anti-reflection layers each having specific absorbed wavelength ranges.

Claims (13)

REVENDICATIONS 1. Tube électronique de visualisation comportant un écran portant sur une face avant des zones (24, 25, 26) de luminophores de formation d'image séparées par des zones opaques à la lumière émise vers la face arrière par les luminophores, caractérisé en ce que ces zones comprennent une sous-couche absorbante (32) pour la lumière reçue par la face arrière de l'écran, surmontée d'une couche opaque réfléchissante (34). 1. Electronic display tube comprising a screen carrying on a front face zones (24, 25, 26) of image-forming phosphors separated by zones opaque to the light emitted towards the rear face by the phosphors, characterized in that that these areas comprise an absorbent under layer (32) for the light received by the rear face of the screen, surmounted by an opaque reflecting layer (34). 2. Tube électronique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche réfléchissante (34) est en chrome. 2. Electronic tube according to claim 1, characterized in that the reflective layer (34) is made of chrome. 3. Tube électronique selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la sous-couche absorbante est une mince couche diélectrique réalisée en un matériau transparent ou peu absorbant mais dont l'épaisseur est choisie pour permettre l'obtention d'un effet anti-reflet pour les longueurs d'onde visibles. 3. Electronic tube according to one of claims 1 and 2, characterized in that the absorbent sublayer is a thin dielectric layer made of a transparent or poorly absorbent material but whose thickness is chosen to allow obtaining an anti-reflection effect for visible wavelengths. 4. Tube électronique selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'écran comporte un substrat de verre (20) sur lequel sont déposés les zones opaques puis les luminophores, caractérisé en ce que la sous-couche est une couche diélectrique d'indice optique supérieur à celui du verre, d'une épaisseur de quelques centaines d'angströms  4. Electronic tube according to claim 3, characterized in that the screen comprises a glass substrate (20) on which are deposited the opaque zones then the phosphors, characterized in that the sub-layer is a dielectric layer of index optical superior to that of glass, a few hundred angstroms thick 5. Tube électronique selon l'une des revendications 3 et 4, caractérisé en ce que la sous-couche absorbante est réalisée par empilement de plusieurs couches d'épaisseur choisies de manière a améliorer l'effet anti-reflet dans toute la gamme de longueurs d'onde visible. 5. Electronic tube according to one of claims 3 and 4, characterized in that the absorbent sublayer is produced by stacking several layers of thickness chosen so as to improve the anti-reflection effect over the entire range of lengths visible wave. 6. Tube électronique selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la sous-couche absorbante est réalisée en un matériau noir ayant un coefficient d'absorption important: 6. Electronic tube according to one of claims 1 and 2, characterized in that the absorbent sub-layer is made of a black material having a high absorption coefficient: 7. Tube électronique selon la revendication - G, caractérisé en ce que la sous couche absorbante a une épaisseur de quelques milliers d'angströms. 7. Electronic tube according to claim - G, characterized in that the absorbent sublayer has a thickness of a few thousand angstroms. 8. Tube électronique selon l'une des - revendications 6 et 7, caractérisé en ce que la sous-couche absorbante est réalisée dans un matériau déposable sous vide, notamment un oxyde métallique. 8. Electronic tube according to one of - claims 6 and 7, characterized in that the absorbent sub-layer is made of a material which can be deposited under vacuum, in particular a metal oxide. 9. Tube électronique selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que la sous-couche absorbante est un oxyde métallique stable et restant noir à une température allant jusqu'à environ 4500C. 9. Electronic tube according to one of claims 6 to 8, characterized in that the absorbent sublayer is a stable metal oxide and remaining black at a temperature up to about 4500C. 10. Tube électronique selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la sous-couche absorbante est choisie parmi les matériaux suivants 10. Electronic tube according to one of claims 1 to 9, characterized in that the absorbent sublayer is chosen from the following materials - oxyde de manganèse - manganese oxide - oxyde de chrome - chromium oxide - oxyde de fer - iron oxide - oxyde de silicium chargé d'un métal, de préférence du chrome, formant une phase dispersée de métal dans l'oxyde.  - silicon oxide charged with a metal, preferably chromium, forming a dispersed phase of metal in the oxide. 11. Tube électronique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les zones opaques comprennent une couche d'oxyde de manganèse recouverte de chrome. 11. Electronic tube according to one of the preceding claims, characterized in that the opaque zones comprise a layer of manganese oxide covered with chromium. 12. Tube électronique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'écran est plat, et en ce que le tube est un tube à indexation de faisceau électronique. 12. Electronic tube according to one of the preceding claims, characterized in that the screen is flat, and in that the tube is an electron beam indexing tube. 13. Tube électronique de visualisation comportant un écran portant sur une face avant des zones de luminophores de formation d'image séparées par des zones opaques à la lumière émise vers la face arrière par les luminophores, caractérisée en ce que ces zones comportent une couche (22) comprenant au moins un oxyde métallique absorbant fortement la lumière visible reçue aussi bien de la face arrière que de la face avant de l'écran.  13. Electronic display tube comprising a screen bearing on a front face zones of image-forming phosphors separated by zones opaque to the light emitted towards the rear face by the phosphors, characterized in that these zones comprise a layer ( 22) comprising at least one metal oxide strongly absorbing the visible light received both from the rear face and from the front face of the screen.
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