FR2640843A1 - DIAPHRAGM FOR ACOUSTICAL APPARATUS - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne un diaphragme pour appareil acoustique. Il comporte une couche superficielle durcie, constituée d'un film de SiC formé sur la surface d'un substrat comprenant un film entièrement carboné. Le diaphragme possède donc des caractéristiques acoustiques supérieures grâce à l'utilisation des caractéristiques physiques supérieures du carbone. Domaine d'application : haut-parleurs, microphones, etc.The invention relates to a diaphragm for a hearing device. It has a hardened surface layer, consisting of an SiC film formed on the surface of a substrate comprising a fully carbon film. The diaphragm therefore has superior acoustic characteristics through the use of the superior physical characteristics of carbon. Area of application: speakers, microphones, etc.

Description

L'invention concerne un diaphragme pour unThe invention relates to a diaphragm for a

appareil acoustique. L'invention concerne plus particuliè-  acoustic device. The invention relates more particularly to

rement un diaphragme pour un appareil acoustique, possédant des caractéristiques acoustiques supérieures, tel qu'un diaphragme pour hautparleurs et microphones, en raison de sa plus grande dureté, de sa plus grande résistance, de sa plus grande élasticité et de son plus faible poids en  a diaphragm for an acoustic device with superior acoustic characteristics, such as a speaker and microphone diaphragm, because of its greater hardness, strength,

comparaison avec les matières classiques pour diaphragmes.  comparison with conventional materials for diaphragms.

En général, il est souhaitable qu'un diaphragme pour haut-parleurs et analogues satisfasse les conditions suivantes: (1) une faible densité; (2) un faible module d'Young; (3) une vitesse élevée de propagation des ondes longidutinales; (4) une valeur convenablement élevée de sa  In general, it is desirable that a diaphragm for loudspeakers and the like satisfy the following conditions: (1) low density; (2) a weak Young's modulus; (3) a high rate of propagation of long-wave waves; (4) an appropriately high value of its

perte par vibration interne.loss by internal vibration.

En outre, la formule V = (E/ p) 1/2 (dans laquelle V est la vitesse du son, E est le module d'Young, p est la densité) exige une matière de faible densité et de module d'Young  In addition, the formula V = (E / p) 1/2 (where V is the speed of sound, E is the Young's modulus, p is the density) requires a low density material and Young's modulus

élevé pour accroître la vitesse du son.  high to increase the speed of sound.

Classiquement, on connaît bien, en tant que diaphragmes acoustiques ayant un module d'Young élevé, les  Conventionally, it is well known, as acoustic diaphragms having a high Young's modulus, the

diaphragmes utilisant des métaux légers tels que l'alumi-  diaphragms using light metals such as aluminum

nium, le titane, le magnésium, le béryllium, le bore, etc. Cependant, les diaphragmes acoustiques utilisant l'aluminium, le titane, le magnésium, etc. ne  nium, titanium, magnesium, beryllium, boron, etc. However, acoustic diaphragms using aluminum, titanium, magnesium, etc. born

possèdent pas un module d'Young spécifique E/I satis-  not have a specific Young's modulus E / I satisfies

faisant, et les diaphragmes acoustiques utilisant du béryllium, du bore, etc. ont un module d'Young spécifique très élevé, mais ces matières sont très coûteuses et extrêmement difficiles à mettre en oeuvre au niveau industriel, ce qui a pour résultat un coût très élevé en comparaison avec celui des diaphragmes utilisant d'autres matières. L'invention a pour objet de proposer un  making, and acoustic diaphragms using beryllium, boron, etc. have a very high specific Young's modulus, but these materials are very expensive and extremely difficult to implement at the industrial level, which results in a very high cost in comparison with that of the diaphragms using other materials. The object of the invention is to propose a

diaphragme ayant des caractéristiques acoustiques supé-  diaphragm having superior acoustic characteristics

rieures obtenues par l'utilisation des caractéristique physiques supérieures du carbone, compte tenu des incon-  from the use of the higher physical characteristics of carbon, taking into account the

vénients des matières classiques des diaphragmes.  the classic materials of diaphragms.

Ainsi qu'il est bien connu, le carbone possède, de sa forme cristalline telle que le diamant, le graphite, etc. a sa forme non cristalline telle que le noir de carbone, le charbon de bois, etc., des caractéristiques  As is well known, carbon has, in its crystalline form such as diamond, graphite, etc. has its non-crystalline form such as carbon black, charcoal, etc., characteristics

physiques et chimiques très étendues.  very extensive physical and chemical

La présente Demanderesse a procédé à une étude poussée visant à obtenir les diverses caractéristiques fonctionnelles souhaitées en concevant et combinant ces matières conformément aux fonctions demandées. Elle a déjà  The present Applicant has carried out a thorough study aimed at obtaining the various desired functional characteristics by designing and combining these materials in accordance with the functions required. She already has

inventé un procédé de fabrication d'un diaphragme entière-  invented a method of manufacturing an entire diaphragm

ment carboné, obtenu par la formation préalable d'un mélange d'une résine thermodurcissable et d'une poudre de carbone en tant que matière de départ, pour former un film, moulage du film en une forme de diaphragme et frittage de celle-ci dans une atmosphère inerte, ce qui a fait l'objet d'une demande de brevet (N de publication, non examinée, Sho 60-121895). Elle a également inventé un procédé de fabrication d'un diaphragme carboné vitreux en n'utilisant qu'Une résine thermodurcissable en tant que matière de dÉpart, et ceci a fait l'objet d'une demande de brevet (N de publication, non examinée, Sho 61-65596). Bien que les diaphragmes conformes à ces inventions puissent être fabriqués industriellement à bon marché et possèdent des caractéristiques physiques supérieures, la présente Demanderesse a mené une étude poussée pour améliorer les caractéristiques physiques de ces diaphragmes et a abouti à la mise au point d'un diaphragme ayant des caractéristiques acoustiques supérieures à celles des diaphragmes ne comportant qu'un film entièrement carboné, par évaporation d'un film de SiC à partir d'une phase gazeuse, sur la surface de la matière du diaphragme comprenant un film entièrement carboné, ceci résultant de la constatation que le SiC possède une vitesse de propagation très élevée, de 11 000 m/s. Les procédés bien connus de synthèse pour évaporer un film de SiC à partir d'une phase gazeuse comprennent le procédé de dépôt en phase vapeur par voie thermique, le procédé de dépôt chimique en phase vapeur au laser, le procédé de dépôt chimique en phase vapeur au plasma, etc., et on peut utiliser l'un quelconque de ces procédés dans la présente invention. Le coefficient de dilatation thermique d'un film de SiC est avantageusement égal ou similaire à celui d'un film entièrement carboné. Le coefficient de dilatation thermique de SiC est de 3,5 - 5,5 x 10-6/-C, tandis que celui du carbone vitreux est de 2 - 3,5 x 10-6/ C, et celui d'un composite carbone/ carbone, composé de poudres de carbone, peut être de l'ordre de 3 - 5 x 10-6, selon le contenu de la poudre de carbone additionnée. Conformément au procédé utilisé pour synthétiser le SiC, il existe certains cas dans lesquels le coefficient de dilatation thermique d'un substrat carboné doit être ajusté par une sélection de la proportion du  carbon fiber, obtained by pre-forming a mixture of a thermosetting resin and a carbon powder as a starting material, to form a film, molding the film into a diaphragm shape and sintering it in an inert atmosphere, which was the subject of a patent application (Publication N, unexamined, Sho 60-121895). She also invented a method of manufacturing a vitreous carbon-based diaphragm using only a thermosetting resin as a starting material, and this was the subject of a patent application (Publication N, unexamined Sho 61-65596). Although the diaphragms according to these inventions can be industrially manufactured inexpensively and have superior physical characteristics, the present Applicant has conducted a thorough study to improve the physical characteristics of these diaphragms and has resulted in the development of a diaphragm having acoustic characteristics superior to those of the diaphragms having only an entirely carbonized film, by evaporation of an SiC film from a gaseous phase, on the surface of the diaphragm material comprising an entirely carbon-based film, this resulting the finding that SiC has a very high propagation speed of 11 000 m / s. Well known synthetic processes for evaporating an SiC film from a gaseous phase include the thermal vapor deposition method, the chemical vapor deposition method, the chemical vapor deposition method to plasma, etc., and any of these methods can be used in the present invention. The coefficient of thermal expansion of an SiC film is advantageously equal to or similar to that of an entirely carbon-based film. The coefficient of thermal expansion of SiC is 3.5-5.5x10-6 / -C, whereas that of vitreous carbon is 2- 3.5x10-6 / C, and that of composite carbon / carbon, composed of carbon powders, can be of the order of 3 - 5 x 10-6, depending on the content of the carbon powder added. According to the method used to synthesize SiC, there are certain cases in which the coefficient of thermal expansion of a carbon substrate has to be adjusted by a selection of the proportion of the SiC.

mélange des poudres de carbone, optionnellement, au besoin.  Mix carbon powders, optionally, if necessary.

L'invention sera décrite plus en détail en regard d'exemples de réalisation auxquels elle n'est pas  The invention will be described in more detail with regard to exemplary embodiments to which it is not

limitée.limited.

Exemple 1Example 1

On additionne, en tant que durcisseur, 4% en  As a hardener, 4% is added to

poids d'une solution méthanolique à 50% d'acide p-toluène-  weight of a 50% methanol solution of p-toluene acid

sulfonique à 100% en poids d'un condensat initial d'alcool furfurylique/résine furfural (produit "UF-302" fabriqué par HITACHI KASEI CO., LTD). Apres agitation suffisante au moyen d'un malaxeur à grande vitesse, le mélange est appliqué sur une feuille de support au moyen d'un appareil d'enduction comportant une lame de raclage, puis est soumis à un durcissement préalable afin que l'on obtienne une feuille préformée en phase B. Après enlèvement de la feuille de support, la feuille préformée est moulée afin de prendre la forme d'un dôme au moyen d'un appareil de moulage à vide, durcie par chauffage et retirée du moule afin que l'on obtienne un moulage de diaphragme. Un traitement de post-durcissement est appliqué à ce moulage pendant 5 heures dans un four à air à 150 C. Puis on achève le frittage du moulage en le chauffant dans un four à atmosphère d'azote, à une vitesse de montée en température de 15C/heure jusqu'à 500 C et de C/heure entre 500 et 1000 C, le moulage étant maintenu pendant 3 heures supplémentaires à 1000-C avant de pouvoir refroidir naturellement. Le diaphragme carboné vitreux ainsi obtenu, d'un diamètre de 25 mm et d'une épaisseur de film de 25 pm, a été utilisé comme substrat sur lequel on a déposé, par un procédé bien connu de dépôt chimique en  sulfonic acid 100% by weight of an initial furfuryl alcohol / furfural resin condensate (product "UF-302" manufactured by HITACHI KASEI CO., LTD). After sufficient stirring by means of a high speed kneader, the mixture is applied to a carrier sheet by means of a coating apparatus having a scraping blade, and is then hardened to obtain a preformed B-phase sheet. After removing the carrier sheet, the preformed sheet is molded into a dome shape by means of a heat-cured, vacuum-molded apparatus and removed from the mold so that the a diaphragm molding is obtained. A postcuring treatment is applied to this molding for 5 hours in an air oven at 150 ° C. Then the sintering of the molding is completed by heating it in a nitrogen atmosphere oven, at a temperature rise rate of 15C / hour up to 500 C and C / hour between 500 and 1000 C, the molding being maintained for 3 additional hours at 1000-C before being able to cool naturally. The glassy carbon diaphragm thus obtained, having a diameter of 25 mm and a film thickness of 25 μm, was used as the substrate on which was deposited, by a well known method of chemical deposition.

phase vapeur, un film de SiC.vapor phase, a SiC film.

Dans la synthèse du film de SiC, les débits d'écoulement d'hydrogène, de méthane et de tétrachlorure de silicium doivent être de 1 litre/min, 3 ml/min et 3 ml/min, respectivement, et leur mélange est introduit dans une cloche à vide sous la pression de 133,3 Pa. Par ailleurs, on a maintenu le substrat à une température de 500 C, du plasma a été induit par des micro-ondes de 2,45 GHz et l'évaporation a été effectuée pendant 2 heures. Le film de  In the SiC film synthesis, the flow rates of hydrogen, methane and silicon tetrachloride should be 1 liter / min, 3 ml / min and 3 ml / min, respectively, and their mixture is introduced into a vacuum bell under the pressure of 133.3 Pa. Furthermore, the substrate was maintained at a temperature of 500 ° C., plasma was induced by microwaves of 2.45 GHz and evaporation was carried out. during 2 hours. The film

SiC avait une épaisseur de 5 gm.SiC was 5 gm thick.

Exemple 2Example 2

On a mélangé et dispersé de façon homogène, dans un malaxeur Warner, 80% en poids d'un condensat initial d'alcool furfurylique/résine furfural (produit "UF 302" fabriqué par HITACHI KASEI CO., LTD) et 20% en poids de graphite naturel en lamelles (dimension moyenne du grain de 1 pm), et ce mélange a ensuite été fortement dispersé par l'utilisation de 3 rouleaux de malaxage d'encre pour que l'on obtienne une composition de pâte constituant la matière de départ. On a additionné, en tant que durcisseur,  80% by weight of an initial furfural alcohol / furfural resin condensate (product "UF 302" manufactured by HITACHI KASEI CO., LTD) and 20% by weight were homogeneously mixed and dispersed in a Warner kneader. of natural graphite in flakes (average grain size of 1 μm), and this mixture was then strongly dispersed by the use of 3 ink kneading rollers to obtain a dough composition constituting the starting material . We added, as a hardener,

4% en poids d'une solution méthanolique à 50% d'acide p-  4% by weight of a 50% methanol solution of p-acid

toluènesulfonique à 100% en poids de la composition de pâte constituant la matière de départ, et on a répété les mêmes opérations que dans l'exemple 1 pour obtenir un diaphragme entièrement carboné ayant un diamètre de 25 mm et une épaisseur de film de 40 pm. Ce diaphragme entièrement carboné a été utilisé comme substrat sur lequel on a déposé par évaporation, en utilisant un procédé bien connu de  toluenesulphonic to 100% by weight of the dough composition constituting the starting material, and the same operations as in Example 1 were repeated to obtain a completely carbonized diaphragm having a diameter of 25 mm and a film thickness of 40 μm. . This fully carbonized diaphragm was used as a substrate on which was deposited by evaporation, using a well known method of

dépôt chimique en phase vapeur, un film de SiC.  chemical vapor deposition, a SiC film.

Dans la synthèse du film de SiC, les débits d'écoulement de l'hydrogène, du méthane et du tétrachlorure de silicium doivent être respectivement de 1 litre/min, 1 ml/min et 3 ml/min et leur mélange est introduit dans une cloche à vide sous la pression de 4000 Pa. Par ailleurs, le  In the SiC film synthesis, the flow rates of hydrogen, methane and silicon tetrachloride must be 1 liter / min, 1 ml / min and 3 ml / min, respectively, and their mixture is introduced into a vacuum bell under the pressure of 4000 Pa.

substrat entièrement carboné a été maintenu à une tempéra-  completely carbonaceous substrate was maintained at a

ture de 1500'C par un chauffage à induction à haute fréquence, et l'évaporation a été effectuée pendant 40  1500 ° C. by a high-frequency induction heating, and the evaporation was carried out for 40 hours.

minutes. Le film de SiC obtenu avait une épaisseur de 5 Nm.  minutes. The SiC film obtained had a thickness of 5 Nm.

Les caractéristiques du diaphragme obtenu conformément à l'invention sont comparées à celles de  The characteristics of the diaphragm obtained according to the invention are compared with those of

diaphragmes classiques dans le tableau suivant.  conventional diaphragms in the following table.

Vitesse du Module d'Young, Masse volu-  Young's Module Speed, Mass Volume

Matière son, km/s GPa mique,g/cm3 Aluminium 5,1 70,0 2,70 Titane 4,9 110, 0 4,50 Béryllium 12,2 270,0 1,80 Exemple 1 (substrat) 7,5 78,0 1,40 Exemple 2 (substrat) 9,0 115,0 1,43  Material, km / s GPa mic, g / cm3 Aluminum 5.1 70.0 2.70 Titanium 4.9 110, 0 4.50 Beryllium 12.2 270.0 1.80 Example 1 (substrate) 7.5 78.0 1.40 Example 2 (substrate) 9.0 115.0 1.43

Exemple 1Example 1

(après évaporation) 8,4 110,0 1,55  (after evaporation) 8.4 110.0 1.55

Exemple 2Example 2

(après évaporation) 9,7 163,0 1,73 Comme cela est montré clairement dans le tableau, les caractéristiques physiques du substrat, dans les deux exemples 1 et 2, ont été améliorées d'environ 40% pour le module d'Young et d'environ 10% pour la vitesse du son, en comparaison avec celles présentées par le substrat avant l'évaporation. De plus, les effets de l'invention ne  (after evaporation) 9.7 163.0 1.73 As is clearly shown in the table, the physical characteristics of the substrate, in both Examples 1 and 2, were improved by about 40% for the Young's modulus and about 10% for the speed of sound, compared with those presented by the substrate before evaporation. Moreover, the effects of the invention

sont pas limités aux exemples et il est possible d'amélio-  are not limited to examples and it is possible to improve

rer encore les caractéristiques physiques en augmentant  still improve physical characteristics by increasing

l'épaisseur du film évapore.the thickness of the film evaporates.

Du fait de ces caractéristiques supérieures, le diaphragme selon l'invention peut être utilisé efficacement en tant que diaphragme pour des appareils de reproduction  Because of these superior characteristics, the diaphragm according to the invention can be effectively used as a diaphragm for reproductive apparatus

des sons par procédé numérique, à présent très répandus.  digital sound, now widespread.

Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au diaphragme décrit et représenté  It goes without saying that many modifications can be made to the diaphragm described and shown

sans sortir du cadre de l'invention.  without departing from the scope of the invention.

Claims (1)

REVENDICATIONCLAIM Diaphragme pour appareil acoustique, carac-  Diaphragm for acoustic device, térisé en ce qu'une couche, durcie en surface, constituée d'un film de SiC, est formée sur la surface du substrat du diaphragme comprenant un film entièrement carboné.  characterized in that a surface hardened layer of SiC film is formed on the surface of the diaphragm substrate comprising an all carbon film.
FR8816727A 1987-05-15 1988-12-19 DIAPHRAGM FOR ACOUSTICAL APPARATUS Pending FR2640843A1 (en)

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GB2225510A (en) 1990-05-30
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