FR2635231A2 - Mirror for power laser - Google Patents

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Jean-Pierre Crancon
Bernard Lavarini
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Alcatel Lucent SAS
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Abstract

L'invention concerne un miroir pour laser de puissance. Ce miroir est formé de trois lames métalliques 4, 5 6 superposées fixées entre elles et constituées de matériaux différents. Un fluide circule successivement à l'intérieur d'une lame extrême 4 comportant la face 2 de réflexion du miroir, puis dans l'autre lame extrême 6. Application aux générateurs laser à gaz carbonique et azote de grande puissance.The invention relates to a mirror for a power laser. This mirror is formed of three superimposed metal blades 4, 5 6 fixed together and made of different materials. A fluid circulates successively inside an end plate 4 comprising the reflection face 2 of the mirror, then in the other end plate 6. Application to high power carbon dioxide and nitrogen laser generators.

Description

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La présente invention concerne un miroir pour laser de puissance ayant  The present invention relates to a mirror for a power laser having

fait l'objet d'un brevet principal déposé sous le ne 74 22 428.  is the subject of a main patent filed under No. 74 22 428.

Selon la revendication I du brevet principal, ce miroir pour laser de puissance, comportant une plaque épaisse dont une face avant est polie de manière à réfléchir une forte proportion de la lumière incidente et des conduits en contact thermique avec ladite plaque pour permettre la circulation d'un fluide de refroidissement, est caractérisé par le fait que lesdits conduits sont disposés dans une fraction de l'épaisseur de ladite plaque au voisinage de  According to claim I of the main patent, this power laser mirror, comprising a thick plate whose front face is polished so as to reflect a large proportion of the incident light and the conduits in thermal contact with said plate to allow the circulation of light. a cooling fluid, is characterized in that said ducts are disposed in a fraction of the thickness of said plate in the vicinity of

ladite face avant.said front face.

Dans une forme de réalisation du miroir selon le brevet principal, la plaque est constituée sur la quasi totalité de son épaisseur d'un même  In one embodiment of the mirror according to the main patent, the plate is formed on almost all of its thickness of the same

métal bon conducteur thermique tel que le cuivre.  good thermal conductor metal such as copper.

De tels miroirs sont utilisés notamment pour réaliser la cavité optique résonnante de lasers du type à gaz carbonique et azote qui sont aptes à émettre un faisceau de rayonnement infrarouge de grande Duissance. Il apparaît cependant que lorsque la puissance du faisceau est très élevée, le rendement des lasers équipés de miroirs selon le brevet principal diminue rapidement au cours du fonctionnement. La présente invention a pour but de perfectionner les miroirs pour laser selon le brevet principal afin de permettre aux lasers de grande puissance utilisant des miroirs de ce type de conserver un bon rendement au cours du  Such mirrors are used in particular for producing the resonant optical cavity of carbon dioxide and nitrogen type lasers which are capable of emitting a beam of infrared radiation of high Dense. However, it appears that when the power of the beam is very high, the efficiency of lasers equipped with mirrors according to the main patent decreases rapidly during operation. The present invention aims to improve the laser mirrors according to the main patent in order to allow high-power lasers using mirrors of this type to maintain a good performance during the

f onc t ionnement.f unction.

La présente invention a pour objet un miroir pour laser de puissance selon la revendication I du brevet principal, comportant: - une plaque épaisse dont une face avant est polie de manière à réfléchir une forte proportion de la lumière laser incidente, - des conduits disposés dans une fraction de l'épaisseur de ladite plaque au voisinage de ladite face avant, - et des moyens pour faire circuler un fluide dans lesdits conduits en vue de refroidir ladite plaque  The present invention relates to a power laser mirror according to claim 1 of the main patent, comprising: - a thick plate whose front face is polished so as to reflect a high proportion of the incident laser light, - conduits disposed in a fraction of the thickness of said plate in the vicinity of said front face, and means for circulating a fluid in said ducts in order to cool said plate

caractérisé par le fait que ladite plaque est composée de trois lames super-  characterized by the fact that said plate is composed of three superficial blades

posées - une première lame comportant ladite face avant et constituée essentiellement d'un premier matériau métallique, - une deuxième lame dont une face est fixée sur l'autre face de ladite première lame, cette deuxi&me lame étant constituée d'un deuxième matériau métallique, lesdits conduits étant disposés sensiblement suivant la surface de contact entre lesdites première et seconde lames, - une troisième lame dont une face est fixée sur l'autre face de ladite deuxième lame, cette troisième lame étant constituée d'un troisième matériau métallique,  posed - a first blade comprising said front face and consisting essentially of a first metallic material, - a second blade, one face of which is fixed on the other face of said first blade, this second blade being constituted by a second metallic material, said ducts being disposed substantially along the contact surface between said first and second blades, - a third blade, one face of which is fixed on the other side of said second blade, this third blade consisting of a third metallic material,

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des canaux étant disposés dans l'épaisseur de cette troisième lame, les coefficients de dilatation desdits premier et troisième matériaux étant supérieurs à celui dudit deuxième matériau, les conductivités thermiques desdits premier et troisième matériaux étant supérieures à celles dudit deuxième matériau, et que lesdits moyens pour faire circuler un fluide dans lesdits conduits font en outre passer dans lesdits canaux le fluide sortant desdits  channels being disposed in the thickness of this third blade, the expansion coefficients of said first and third materials being greater than that of said second material, the thermal conductivities of said first and third materials being greater than those of said second material, and said means to circulate a fluid in said ducts also pass in said channels the fluid exiting said

conduits afin de réchauffer ladite troisième lame.  conduits for heating said third blade.

L'invention est décrite ci-dessous, à titre illustratif mais nullement limitatif, en regard du dessin annexé dans lequel la figure I représente un mode de réalisation du miroir selon l'invention et la figure 2 est une coupe  The invention is described below, by way of illustration but in no way limiting, with reference to the appended drawing in which FIG. 1 represents an embodiment of the mirror according to the invention and FIG.

schématique suivant le plan XX du miroir illustré par la figure 1.  schematic along plane XX of the mirror illustrated in FIG.

Sur la figure 1, une plaque cylindrique épaisse I comporte une face avant plane 2 polie pour réfléchir une forte proportion de la puissance d'un faisceau laser 3 de lonrueur d'onde 10,6 microns, provenant d'un générateur laser à azote et gaz carbonique. A cet effet la face 2 de la plaque 1 a été préalablement  In FIG. 1, a thick cylindrical plate I has a polished flat front face 2 for reflecting a large proportion of the power of a 10.6 micron laser beam 3 from a nitrogen laser generator and carbon dioxide. For this purpose, the face 2 of the plate 1 has been previously

revêtue d'une couche d'or de quelques microns.  coated with a layer of gold a few microns.

La plaque I est composée de trois lames métalliques 4, 5 et 6 superposées  The plate I is composed of three metal blades 4, 5 and 6 superimposed

et assemblées entre elles par brasage par exemple.  and assembled together by brazing for example.

La lame 4, réalisée en molybdène, comporte la face avant 2 dont il a été question plus haut. La face de la lame 4 opposée à la face 2 est fixée par brasage à une face de la lame 5 réalisée en invar. De nombreux conduits tels que 7 et 8 permettant la circulation d'un fluide de refroidissement sont disposés sensiblement suivant la surface de contact X-X entre les lames 4 et 5. L'autre face de la lame 5 est brasée sur une face de la lame 6 réalisée en cuivre. Des  The blade 4, made of molybdenum, comprises the front face 2 which was discussed above. The face of the blade 4 opposite to the face 2 is fixed by soldering to a face of the blade 5 made invar. Many ducts such as 7 and 8 allowing the circulation of a cooling fluid are arranged substantially along the contact surface XX between the blades 4 and 5. The other face of the blade 5 is brazed to one face of the blade 6 made of copper. of the

canaux tels que 9 et 10 sont disposés dans l'épaisseur de la lame 6.  channels such as 9 and 10 are arranged in the thickness of the blade 6.

Bien entendu les matériaux métalliques dont sont constitués les lames 4, 5 et 6 peuvent être différents de ceux cités ci-dessus, mais ces matériaux doivent être tels que les coefficients de dilatation des matériaux constituant les lames 4 et 6 soient supérieurs au coefficient de dilatation du matériau constituant la lame 5. De plus, les conductivités thermiques des matériaux constituant les lames 4et 6 doivent être supérieures à celles du matériau constituant la lame 5.  Of course the metallic materials of which the blades 4, 5 and 6 are made may be different from those mentioned above, but these materials must be such that the expansion coefficients of the materials constituting the blades 4 and 6 are greater than the coefficient of expansion. of the material constituting the blade 5. In addition, the thermal conductivities of the materials constituting the blades 4 and 6 must be greater than those of the material constituting the blade 5.

Des moyens sont en outre prévus pour faire circuler un fluide de refroidis-  Means are further provided for circulating a cooling fluid.

sement, par exemple de l'eau, dans les conduits et canaux du miroir. L'eau circule d'abord dans les conduits 7, 8, puis est dirigée dans les canaux 9 et de la lame 6. A cet effet un réseau de canalisations Il et 12 relie les conduits aux canaux; l'eau de circulation pénètre dans le miroir par des entrées 13 et 14 et le quitte par des sorties 15 et 16. Ces moyens de circulation  such as water, in the ducts and channels of the mirror. The water flows first in the ducts 7, 8, then is directed into the channels 9 and the blade 6. For this purpose a network of pipes 11 and 12 connects the ducts to the channels; the circulating water enters the mirror through inputs 13 and 14 and leaves it through outlets 15 and 16. These circulation means

comprennent en outre un système de pompes non représenté.  further comprise a pump system not shown.

La figure 2 illustre un mode de réalisation des conduits. Les conduits 7,  Figure 2 illustrates an embodiment of the conduits. Ducts 7,

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8, 17, 18, 19 sont disposés suivant des cercles concentriques autour d'un point  8, 17, 18, 19 are arranged in concentric circles around a point

disposé sur la surface X-X.disposed on the X-X surface.

Le fluide de refroidissement entre notamment en un point 21 d'un conduit quelconque 7. Le flux de ce fluide se divise alors en deux parties 22 et 23 se propageant en sens inverse l'une de l'autre le long de ce conduit de part et d'autre du point 21, ce flux sortant dudit conduit en un point 24 opposé au  The cooling fluid enters in particular at a point 21 of any duct 7. The flow of this fluid is then divided into two parts 22 and 23 that propagate in opposite directions along each other along this duct. and other point 21, this flow out of said conduit at a point 24 opposite the

point 21 sur le conduit circulaire 7.  point 21 on the circular duct 7.

Dans ce cas, il est prévu de préférence que le fluide de refroidissement irrigant le conduit 8 adjacent au conduit 7 entre dans le conduit 8 en un point 25 de ce conduit, situé à proximité du point 24. Le flux correspondant se divise en deux parties 27 et 28 se propageant en sens inverse l'une de l'autre le long du conduit 8 et sortant de ce conduit en un point 29 situé à proximitt du point 21. La circulation du fluide dans les différents conduits est alors telle que les sens d'écoulement du fluide dans deux conduits adjacents quelconques  In this case, it is preferably provided that the cooling fluid irrigating the conduit 8 adjacent the conduit 7 enters the conduit 8 at a point 25 of this conduit, located near the point 24. The corresponding flow is divided into two parts 27 and 28 propagating in opposite directions along the conduit 8 and out of this conduit at a point 29 located near the point 21. The circulation of the fluid in the various conduits is then such that the senses of fluid flow in any two adjacent conduits

sont opposés l'un par rapport à l'autre.  are opposed to each other.

La densité du réseau de conduits dans la lame 4 peut être variable d'un point à l'autre de cette lame en fonction de la distance au centre 20. C'est ainsi que corie représenté sur la figure 2 la densité des conduits dans la zone centrale proche du point 20 peut être supérieure à celle de la zone  The density of the duct network in the blade 4 can be variable from one point to the other of this blade as a function of the distance to the center 20. Thus it is shown in Figure 2 the density of the ducts in the central area near point 20 may be greater than that of the area

périphérique.peripheral.

De même, la section des différents conduits et le débit du fluide dans ces  Likewise, the section of the different ducts and the flow of the fluid in these

conduits peuvent être variables d'un conduit 3 l'autre.  ducts can be variable from one duct 3 to the other.

Pour réaliser facilement ces conduits, on peut creuser des rainures de section sensiblement rectangulaire dans la lame 4 ou dans la lame 5 suivant la surface de contact X-X entre ces deux lames. Dans le dispositif représenté sur les figures I et 2, ces rainures sont creusées dans la lame 4 et sont couvertes par  To easily achieve these ducts, grooves of substantially rectangular section can be hollowed in the blade 4 or in the blade 5 along the X-X contact surface between these two blades. In the device shown in FIGS. 1 and 2, these grooves are hollowed out in the blade 4 and are covered by

des portions de la face de la lame 5 en contact avec la lame 4.  portions of the face of the blade 5 in contact with the blade 4.

La forme des canaux disposés dans la lame 6 peut 'être analogue à celle des conduits de la lame 4 décrite ci-dessus. Mais plus simplement, cormme représenté sur la figure 1, ces canaux peuvent être rectilignes, parallèles à la face I et  The shape of the channels disposed in the blade 6 may be similar to that of the ducts of the blade 4 described above. But more simply, as shown in FIG. 1, these channels can be rectilinear, parallel to the face I and

répartis de façon homogène dans la masse de la lame 6.  distributed homogeneously in the mass of the blade 6.

Grâce à la mince couche d'or déposée sur la face avant 2, le coefficient de réflexion du miroir est très élevé et voisin de 99 %. La face 2 absorbe donc et transforme en chaleur environ 1 Z de la lumière incidente. Grâce à la bonne conductivité thermique du matériau constituant la lame 4, cette chaleur est transmise rapidement vers les conduits et évacuée en grande partie par le fluide de refroidissement circulant dans ces conduits. Cependant la chaleur non évacuée tend à échauffer la lame 4 et à la dilater. Cone le coefficient de dilatation de la lame 5 est inférieur à celui de la lame 4, la dilatation de la lame 4 engendre une contrainte mécanique s'exerçant sur la lame 5 qui tendrait, si la lame 6 n'existait pas, à provoquer une courbure de la face avant 2 de façon à rendre le miroir convexe. Or on sait qu'il suffit que le miroir prenne  Thanks to the thin layer of gold deposited on the front face 2, the reflection coefficient of the mirror is very high and close to 99%. The face 2 absorbs and transforms into heat about 1% of the incident light. Thanks to the good thermal conductivity of the material constituting the blade 4, this heat is rapidly transmitted to the ducts and largely evacuated by the cooling fluid circulating in these ducts. However, the non-evacuated heat tends to heat the blade 4 and to expand it. Since the coefficient of expansion of the blade 5 is less than that of the blade 4, the expansion of the blade 4 generates a mechanical stress acting on the blade 5 which would tend, if the blade 6 did not exist, to cause a curvature of the front face 2 so as to make the mirror convex. But we know that it is enough for the mirror to take

une faible convexité pour que le rendement laser baisse considérablement.  a low convexity so that the laser efficiency drops considerably.

Le fluide de refroidissement qui s'est échauffé par passage dans les conduits de la lame 4 vient ensuite réchauffer la lame 6 par circulation dans les canaux de cette lame. En général l'élévation de température de la lame  The cooling fluid which has heated up by passing through the ducts of the blade 4 then comes to heat the blade 6 by circulation in the channels of this blade. In general the temperature rise of the blade

6 est inférieure h celle de la lame 4. Etant donné que le coefficient de dilata-  6 is smaller than that of the blade 4. Since the expansion coefficient

tion du matériau de la lame 6 est supérieur à celui de la lame 4, il en résulte  the material of the blade 6 is greater than that of the blade 4, the result is

pour la lame 6 une dilatation h peu près équivalente h celle de la lame 4.  for the blade 6 a dilatation approximately equivalent to that of the blade 4.

La dilatation de la lame 6 engendre une contrainte mécanique s'exercant sur  The expansion of the blade 6 generates a mechanical stress exerted on

la lame 5, sensiblement égale et de sens opposé h celle qu'exerce la lame 4.  the blade 5, substantially equal and opposite to that exerted by the blade 4.

Les deux contraintes mécaniques s'exerçant sur la lame 5 se compensent donc sen-  The two mechanical stresses acting on the blade 5 thus compensate for each other.

siblement. La courbure résultante de la face avant 2 du miroir est alors beaucoup plus faible que celle d'un miroir selon le brevet principal réalisé en un matériau unique. Cette diminution de courbure de la face avant rend possible pratiquement l'utilisation des miroirs perfectionnés selon l'invention pour des puissances laser nettement plus élevées que la puissance maximale  siblement. The resulting curvature of the front face 2 of the mirror is then much lower than that of a mirror according to the main patent made of a single material. This curvature reduction of the front face makes it practically possible to use the improved mirrors according to the invention for laser powers that are significantly higher than the maximum power.

autorisée par les miroirs réalisés en un matériau unique.  authorized by mirrors made of a single material.

L'homme de l'art pourra prédéterminer, par un calcul de résistance des matériaux, les valeurs optimales à donner h l'épaisseur des lames 4, 5 et 6 et les caractéristiques du système de refroidissement en fonction des matériaux choisis pour les lames et de la densité de puissance du faisceau laser. A titre indicatif un miroir de 10 centirmtres de diamètre constitué d'une lame 4 en molybdène d'épaisseur 0,2 cmri, d'une lame 5 en invar d'épaisseur  Those skilled in the art can predetermine, by a calculation of strength of the materials, the optimum values to be given to the thickness of the blades 4, 5 and 6 and the characteristics of the cooling system according to the materials chosen for the blades and the power density of the laser beam. As an indication a mirror 10 centirmtres of diameter consisting of a blade 4 molybdenum thickness 0.2 cmri, a blade 5 invar thickness

1,8 cri et d'une lame 6 en cuivre d'épaisseur 2,3 cm permet d'obtenir un fonction-  1.8 cry and a 6 copper blade thickness of 2.3 cm provides a function-

nement laser satisfaisant pour une densité moyenne de puissance du faisceau laser de 10 KW/cm2 si l'on prévoit un système de refroidissement capable d'assurer une densité moyenne de débit d'eau dans les conduits de la lame 4 égale h 10 grammes par seconde par centimètre carré de surface utile de la  a satisfactory laser level for an average power density of the laser beam of 10 KW / cm 2 if a cooling system capable of providing an average density of water flow in the ducts of the blade 4 equal to 10 grams per second per square centimeter of useful area of the

face avant, la section de ces conduits étant définie par une largeur de 0, 1 centi-  front section, the section of these ducts being defined by a width of 0, 1 centime-

mètre et une profondeur de 0,15 centimètre, la distance entre les axes de deux  meter and a depth of 0.15 centimeters, the distance between the axes of two

conduits consécutifs étant de l'ordre de 0,25 centimètre.  consecutive ducts being of the order of 0.25 cm.

La forme et la disposition des conduits décrite ci-dessus et illustrée par la figure 2 permet de compenser une répartition spatiale inhomogène de l'énergie  The shape and arrangement of the ducts described above and illustrated in FIG. 2 makes it possible to compensate for an inhomogeneous spatial distribution of energy.

laser qui vient frapper la lame 4 et la diminution de l'efficacité du refroidis-  laser that hits the blade 4 and decreases the efficiency of the cooling

sement au fur et h mesure de la propagation du liquide dans chaque conduit de  as the spread of the liquid in each

la lame 4.the blade 4.

On sait en effet qu'un faisceau laser présente rarement une répartition transversale homogène de sa puissance. Le plus souvent cette répartition est de type gaussien.. c'est-à-dire que la densité axiale de puissance est beaucoup  It is known that a laser beam rarely has a homogeneous transverse distribution of its power. Most often this distribution is of Gaussian type .. that is to say that the axial density of power is much

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plus forte que la densité périphérique. Dans ce cas, la lame 4 qui recoit l'énergie laser sur la face 2 tend à se déforner de manière e produire une convexité de la face 2, cette déformation venant augmenter celle provoquée par  stronger than the peripheral density. In this case, the blade 4 which receives the laser energy on the face 2 tends to become deformed so as to produce a convexity of the face 2, this deformation coming to increase that caused by

l'échauffement global de la lamne 4.  global warming of the lamina 4.

Il est connu de plus que les échanges thermiques au niveau de la paroi d'un conduit dans lequel s'écoule un fluide de refroidissement se dégradent au fur et à mesure que le fluide progresse dans le conduit et que sa température augmente. La forme circulaire des conduits illustrée par la figure 2 est utilisée  It is further known that heat exchange at the wall of a conduit in which a cooling fluid flows is degraded as the fluid progresses in the conduit and its temperature increases. The circular shape of the ducts illustrated in FIG. 2 is used

lorsque la répartition de l'énergie du faisceau reçu sur le miroir est sensi-  when the distribution of the energy of the beam received on the mirror is sensi-

blement de révolution autour de l'axe du faisceau, le centre 20 des cercles  rotation around the axis of the beam, the center of the circles

concentriques étant placé sur cet axe.  concentric being placed on this axis.

La variation de densité du réseau de conduits dans la lame 4 est destinée à compenser l'effet thermique provoqué par la variation de densité d'énergie dans une section transversale du faisceau. C'est ainsi que lorsque la répartitior énergétique est du type gaussien, la densité du réseau de conduit est plus forte dans la zone axiale que dans la zone périphérique (voir figure 2). Bien entendu cette compensation de l'effet thermique provoqué par la variation de  The density variation of the duct network in the blade 4 is intended to compensate for the thermal effect caused by the variation of energy density in a cross section of the beam. Thus, when the energy distribution is of the Gaussian type, the density of the duct network is higher in the axial zone than in the peripheral zone (see Figure 2). Of course this compensation of the thermal effect caused by the variation of

densité d'énergie du faisceau peut aussi être obtenue par une variation corres-  energy density of the beam can also be obtained by a corresponding variation

pondante de la section de ces conduits ou du débit du fluide de refroidissement  the section of these ducts or the flow rate of the coolant

dans ces conduits.in these ducts.

L'alternance du sens de circulation dans les conduits successifs est destinée à compenser la diminution de l'efficacité du refroidissement au fur et à mesure que le liquide se propage dans les conduits, et à rendre  The alternation of the direction of circulation in the successive ducts is intended to compensate for the decrease in cooling efficiency as the liquid propagates in the ducts, and to render

ainsi plus homogène le refroidissement de la lame 4.  thus more homogeneous the cooling of the blade 4.

Les miroirs selon la présente invention peuvent être appliqués à la réalisation de cavités optiques résonnantes de générateurs laser de grande  The mirrors according to the present invention can be applied to the production of resonant optical cavities of large laser generators.

puissance, notamment de générateurs du type à gaz carbonique et azote.  power, including generators of carbon dioxide and nitrogen type.

Bien entendu, l'invention n'est nullement limitée aux modes de réalisation décrits et représentés qui n'ont été donnés qu'à titre d'exemple. En particulier on peut, sans sortir du cadre de l'invention, changer certaines dispositions et  Of course, the invention is not limited to the embodiments described and shown which have been given by way of example. In particular, without departing from the scope of the invention, it is possible to change certain provisions and

remplacer certains moyens par des moyens équivalents.  replace certain means by equivalent means.

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Claims (10)

REVENDICATIONS 1/ Miroir pour laser de puissance, selon la revendication 1 du brevet principal, comportant: - une plaque épaisse dont une face avant est polie de manière à réfléchir une forte proportion de la lumière laser incidente, - des conduits disposés dans une fraction de l'épaisseur de ladite plaque au voisinage de ladite face avant, - et des moyens pour faire circuler un fluide dans lesdits conduits en vue de refroidir ladite plaque caractérisé par le fait que ladite plaque (1) est composée de trois lames (4, et 6) superposées  1 / mirror for a power laser, according to claim 1 of the main patent, comprising: - a thick plate whose front face is polished so as to reflect a large proportion of the incident laser light, - ducts arranged in a fraction of the thickness of said plate in the vicinity of said front face, and means for circulating a fluid in said ducts for cooling said plate characterized in that said plate (1) is composed of three blades (4, and 6 ) superimposed - une première lame (4) comportant ladite face avant (2) et constituée essentiel-  a first blade (4) comprising said front face (2) and consisting essentially of lement d'un premier matériau métallique, - une deuxième lame (5) dont une face est fixée sur l'autre face de ladite première lame (4), cette deuxième lame (5) étant constituée d'un deuxième matériau métallique, lesdits conduits (7, 8) étant disposés sensiblement suivant la surface de contact (X-X) entre lesdites première et seconde lames (4, 5), - une troisième lane (6) dont une face est fixée sur l'autre face de ladite deuxième lame (5), cette troisième lame (6) étant constituée d'un troisième matériau métallique, des canaux (9, 10) étant disposés dans l'épaisseur de cette troisième lame (6), les coefficients de dilatation desdits premier et troisième matériaux étant supérieurs à celui dudit deuxième matériau, les conductivités thermiques desdits premier et troisième matériaux étant supérieures à celles dudit deuxième matériau, et que lesdits moyens pour faire circuler un fluide dans lesdits conduits (7, 8) font en outre passer dans lesdits canaux (9, 10) le fluide  firstly a first metal material, - a second blade (5) whose one face is fixed on the other side of said first blade (4), this second blade (5) being made of a second metal material, said conduits (7, 8) being disposed substantially along the contact surface (XX) between said first and second blades (4, 5), - a third lane (6), one face of which is fixed on the other face of said second blade ( 5), this third blade (6) consisting of a third metallic material, channels (9, 10) being arranged in the thickness of this third blade (6), the expansion coefficients of said first and third materials being greater than to that of said second material, the thermal conductivities of said first and third materials being greater than those of said second material, and that said means for circulating a fluid in said ducts (7, 8) additionally pass in said naux (9, 10) the fluid sortant desdits conduits (7, 8) afin de réchauffer ladite troisième lame (6).  exiting said ducts (7, 8) to heat said third blade (6). 2/ Miroir selon la revendication 1, caractérisé par le fait que lesdits conduits  2 / Mirror according to claim 1, characterized in that said conduits (7, 8) sont disposés suivant des cercles concentriques.  (7, 8) are arranged in concentric circles. 3/ Miroir selon la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit premier  3 / mirror according to claim 1, characterized in that said first matériau est du molybdène, ledit second matériau est de l'invar et ledit troi-  material is molybdenum, said second material is invar and said third sinème matériau du cuivre.sine material of copper. 4/ Miroir selon la revendication 1, caractérisé par le fait que lesdites  4 / Mirror according to claim 1, characterized in that said lames (4, 5, 6) sont fixées les unes aux autres par brasage.-  blades (4, 5, 6) are fixed to each other by brazing. 5/ Miroir selon la revendication 2, caractérisé par le fait que lesdits moyens pour faire circuler un fluide dans lesdits conduits donnent à ce fluide des sens de circulation opposés (22, 28) dans deux conduits adjacents quelconques  5 / mirror according to claim 2, characterized in that said means for circulating a fluid in said ducts give the fluid opposite flow directions (22, 28) in any two adjacent ducts (7, 8).(7, 8). 6/ Miroir selon la revendication 5, caractérisé par le fait que lesdits moyens pour faire circuler un fluide dans lesdits conduits sont tels que le flux dudit fluide entre dans chaque conduit (7) en un point (21) du cercle correspondant puis se divise en deux parties (22, 23) de façon à parcourir ce conduit en sens inverse de part et d'autre de ce point (21), le flux dudit fluide sortant dudit conduit (7) en un point (24) opposé de ce cercle par rapport au point d'entrée  6 / mirror according to claim 5, characterized in that said means for circulating a fluid in said conduits are such that the flow of said fluid enters each conduit (7) at a point (21) of the corresponding circle and then divides into two parts (22, 23) so as to traverse this conduit in the opposite direction on either side of this point (21), the flow of said fluid exiting said conduit (7) at a point (24) opposite this circle by report at the point of entry (21).(21). 7/ Miroir selon la revendication 2, caractérisé par le fait que la densité desdits conduits (7, 8, 17, 18, 19) sur la surface dudit plan varie en fonction  7 / mirror according to claim 2, characterized in that the density of said ducts (7, 8, 17, 18, 19) on the surface of said plane varies according to de la distance desdits conduits au centre (20) desdits cercles concentriques.  the distance of said conduits to the center (20) of said concentric circles. 8/ Miroir selon la revendication 2, caractérisé par le fait que la densité desdits conduits sur la surface dudit plan est plus forte dans la zone centrale  8 / mirror according to claim 2, characterized in that the density of said conduits on the surface of said plane is stronger in the central zone desdits cercles concentriques que dans la périphérie.  of said concentric circles only in the periphery. 9/ Miroir selon la revendication 2, caractérisé par le fait que la section  9 / Mirror according to claim 2, characterized in that the section des différents conduits est variable d'un conduit à l'autre.  different ducts is variable from one conduit to another. / Miroir selon la revendication 2, caractérisé par le fait que le débit  Mirror according to Claim 2, characterized in that the flow rate dudit fluide dans les différents conduits est variable d'un conduit à l'autre.  said fluid in the different ducts is variable from one conduit to another. 11/ Miroir selon la revendication 1, caractérisé par le fait que lesdits conduits sont constitués par les rainures (7, 8) creusées dans une desdites première et deuxième lames (4, 5) suivant la surface de contact (X-X) entre ces lames.  11 / mirror according to claim 1, characterized in that said ducts are constituted by the grooves (7, 8) cut in one of said first and second blades (4, 5) along the contact surface (X-X) between these blades.
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US3708223A (en) * 1971-04-02 1973-01-02 North American Rockwell Cooled mirrors
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US3884558A (en) * 1972-07-03 1975-05-20 Rockwell International Corp Stabilized thermally compensated mirror

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