FR2621124A1 - Procede et appareil de mesure par voie optique, sans contact, de la granulometrie d'un nuage de particules ou de la rugosite d'une surface - Google Patents
Procede et appareil de mesure par voie optique, sans contact, de la granulometrie d'un nuage de particules ou de la rugosite d'une surface Download PDFInfo
- Publication number
- FR2621124A1 FR2621124A1 FR8713206A FR8713206A FR2621124A1 FR 2621124 A1 FR2621124 A1 FR 2621124A1 FR 8713206 A FR8713206 A FR 8713206A FR 8713206 A FR8713206 A FR 8713206A FR 2621124 A1 FR2621124 A1 FR 2621124A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- cloud
- lens
- roughness
- intensity
- particle size
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 68
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title abstract description 9
- 238000001033 granulometry Methods 0.000 title 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 241000238876 Acari Species 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010291 electrical method Methods 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 239000010881 fly ash Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
L'invention concerne la mesure, en temps réel et sans contact, de la granulométrie d'un nuage de particules ou de la rugosité d'une surface, à l'aide d'un appareil comprenant : une lentille convergente 9 formant une figure de diffraction du nuage de particules ou de la surface; des moyens multiplicateurs 10 multipliant, en intensité, cette figure de diffraction par une fonction f**(r)le que : A (r**1**,**5 + Bro **4) =< f(r) =< A (r**4, + Bro **4) avec A = constante déterminée par étalonnage, B = constante o =< B =< 0,1, r = distance mesurée dans le plan focal de la lentille par rapport à l'axe optique de celle-ci; ro = rayon maximum utile du filtre spatial; et des moyens 11 effectuant, sur le résultat de cette multiplication, une transformation inverse de Fourier dont le résultat constitue le spectre recherché de granulométrie du nuage de particules ou le spectre recherché de rugosité de la surface.
Description
?621 124
Procédé et aooareil de mesure par voie ootioue, sans contact. de la granulométrie d'un nuage de particules ou
de la rugosité d'une surface.
La présente invention concerne la mesure, sans contact, de la granulométrie d'un nuage de particules ou
de la rugosité d'une surface.
De nombreuses applications industrielles, notam-
ment dans le domaine de l'énergie solaire, du contrôle
de la pollution, de l'isolation thermique, des recher-
ches spatiales et militaires, nécessitent la connais-
sance des propriétés thermooptiques de matériaux telles que l'émissivité, l'absorptivité, la transmittivité, la réflectivité.
En particulier, on peut être amené i vouloir dé-
terminer ces paramètres pour des compositions gazeuses
ou des suspensions analogues (par exemple caractéristi-
ques d'un aérosol, d'une flamme, etc...).
A titre d'exemple, pour ce qui concerne les
aérosols, il est connu d en déterminer les caractéris-
tiques physicochimiques en faisant déposer l'aérosol pour obtenir un liquide ou un solide sur lequel peuvent ensuite être effectuées un certain nombre de mesures bien connues (notamment mesure des coefficients de
Fresnel, d'émissivité, etc...). Cependant, cette ma-
nière de procéder est désavantageuse dans bien des cas, en raison notamment du temps de sédimentation qui est long (plusieurs mois pour le brouillard atmosphérique); il est donc impossible de suivre une évolution chimique et/ou physique du produit, a fortiori pour surveiller un
phénomène i évolution relativement rapide.
Toujours i titre d'exemple, les mesures optiques effectuées sur les flammes de charbon dans une chaudière industrielle sont la conjugaison de deux composants:
d'une part, l'émission propre de la flamme qui est re-
présentative dans une certaine mesure des conditions de fonctionnement du brûleur et, d'autre part, l'émission et l'absorption du nuage de cendres volantes enveloppant les flammes, composante aléatoire caractéristique de l'écoulement des gaz dans la chaudière et, dans une moindre mesure, des flammes. De ce fait, l'amélioration des rendements de combustion implique une optimisation de la granulométrie de chaque type de charbon pulvérisé, ce qui nécessite une étude de la granulométrie des flammes. 3usqu'i présent, l'étude de la distribution granulométrique des tailles de particules s'effectue par
des méthodes mécaniques et/ou électriques qui nécessi-
tent un prélèvement d'échantillon et qui ne permettent donc pas de caractériser in situ la granulométrie des particules présentes dans les flammes et d'en suivre
l'évolution en temps réel.
L'invention a donc essentiellement pour objet de remédier aux inconvénients des procédés actuellement
connus et de proposer un procédé et un appareillage per-
mettant de mesurer, sans contact, la granulométrie d'un nuage de particules et, aussi, par voie de conséquence,
de mesurer la rugosité de la surface d'un corps.
A ces fins, selon un premier de ses-aspects, l'invention propose un procédé de mesure, sans contact, de la granulométrie d'un nuage de particules ou de la rugosité d'une surface caractérisé en ce que:
- on forme une figure de diffraction du nuage de parti-
cules ou de la surface du corps, A l'aide d'une len-
tille convergente,
- on multiplie, en intensité, cette figure de diffrac-
tion par une fonction f(r) telle que A(r ' + Br) f(r) ( A (r4 + Br 4 o o avec A = constante déterminée par étalonnage, B = constante o ( B 4 0,1
r = distance mesurée dans le plan focal de la lentil-
le par rapport i l'axe optique de celle-ci r = rayon maximum utile du filtre spatial, o
- et on effectue, sur le résultat de cette multiplica-
tion, une transformation inverse de Fourier dont le
résultat constitue le spectre recherché de granulomé-
trie du nuage de particules ou le spectre recherché de
rugosité de la surface.
Ainsi, conformément au but recherché, il est
possible, grâce à l'invention, de déterminer la granu-
lométrie d'un nuage de particules ou la rugosité d'une surface à distance et sans contact, donc sans perturber le milieu à analyser, et éventuellement en temps réel, ce qui donne la possibilité d'une analyse continue d'un
milieu évolutif.
Eventuellement, la fonction f (r) peut être nulle ou inférieure à la valeur précédente dans le domaine o < r < r /4, c'est-à-dire en dehors du domaine o
défini précédemment (cas d'un cache central opaque).
Dans une première mise en oeuvre du procédé de
l'invention, il est possible de prévoir que la multipli-
cation en intensité. de la figure de diffraction par la fonction f(r) et la transformation inverse de Fourier
sont effectuées par des moyens de calcul électronique.
Ce calcul mathématique est en principe effectué à l'aide d'un ordinateur. Les résultats ainsi obtenus sont alors
dotés d'une bonne précision, mais le processus est rela-
tivement lent et ne permet pas le suivi en temps réel d'un phénomène évolutif; en outre, le matériel utilisé
est lourd, encombrant et fragile. Toutefois cette solu-
tion peut être retenue lorsque la précision du résultat est requise alors qu'une grande vitesse d'analyse n'est
pas impérative.
Dans une autre mise en oeuvre du procédé de l'invention, on prévoit que la figure de diffraction est multipliée optiquement, en intensité, par un dispositif optique de filtrage spatial d'amplitude ou de phase
situé dans le plan focal image de la lentille conve-
gente précitée, et en ce qu'on forme optiquement le spectre de granulométrie ou de rugosité à l'aide d'une seconde lentille convergente dont le foyer objet est
situé au foyer image de la première lentille convergen-
te. Cette mise en oeuvre purement optique du procédé de l'invention autorise une mesure en continu et en temps réel permettant de suivre un phénomène évolutif; en outre, un autre intérêt primordial réside dans le fait que l'appareillage correspondant est un appareillage purement optique, relativement léger, peu encombrant et robuste (et en tout état de cause beaucoup plus léger,
beaucoup moins encombrant et plus robuste que le maté-
riel électronique utilisé pour la première mise en
oeuvre possible du procédé), qui est par exemple suscep-
tible d'être embarqué à bord d'un véhicule tel qu'un missile ou analogue, tout en procurant une précision de mesure satisfaisante pour la plupart des applications envisageables. Selon un second de ses aspects, l'invention propose un appareil de mesure, sans contact, de la granulométrie d'un nuage de particules ou de la rugosité d'une surface, caractérisé en ce qu'il comprend - une lentille convergente (9) apte à former une figure
de diffraction du nuage de particules ou de la surfa-
ce,
- des moyens multiplicateurs (10) agencés pour multi-
plier, en intensité, cette figure de diffraction par une fonction f(r) telle que A (r15 + Br 4) ( fr) ( A (r + Br 4 o o avec A = constante déterminée par étalonnage de l'appareil, B = constante o g B ( 0,1
r = distance mesurée dans le plan focal de la lentil-
le par rapport à l'axe optique de celle-ci r = rayon maximum utile du filtre spatial, - et des moyens (11) agencés pour effectuer sur le - et des moyens <11) agencés pour effectuer, sur le
2 6 2 1 1 2 4
résultat de la multiplication en intensité précitée, une transformation inverse de Fourier dont le résultat constitue le spectre recherché de granulométrie du
nuage de particules ou le spectre recherché de rugo-
sité de la surface. Il est possible d'avoir recours à un cache central opaque, la fonction f(r) étant alors nulle ou inférieure à la valeur précitée dans le domaine o ( r ( r /4, c'est-à-dire en dehors du domaine précédemment o
défini.
Il est possible de réaliser cet appareil sous
forme électronique, en prévoyant que les moyens multi-
plicateurs en intensité et les moyens effectuant la transformation inverse de Fourier sont constitués sous
forme de calculateurs électroniques.
Toutefois, pour les nombreuses applications o il est souhaitable d'effectuer des mesures en temps réel pour suivre un phénomène évolutif et o l'on désire un appareil léger et peu encombrant, on prévoit que les moyens effectuant la transformation inverse de Fourier comprennent une seconde lentille convergente disposée de manière que son foyer objet soit situé au foyer image de la première lentille, et que les moyens multiplicateurs
en intensité comprennent un dispositif optique de fil-
trage spatial d'amplitude situé au foyer image de la
première lentille et au foyer objet de la seconde len-
tille, ce grâce i quoi, lorsque l'appareil reçoit un rayonnement électromagnétique ayant traversé le nuage de particules ou réfléchi par la surface, le spectre de granulométrie du nuage de particules ou de rugosité de la surface est formé dans le plan focal image de la
seconde lentille.
Dans un exemple de réalisation d'un tel appareil purement optique, le dispositif optique de filtrage est un filtre dont l'opacité diminue en s'écartant de l'axe
optique du système.
262 1 124
Dans un autre exemple de réalisation de cet appareil, le dispositif optique de filtrage est un cache opaque dont la surface entre deux rayons r et r + dr croit de façon telle que l'intensité traversant l'anneau correspondant croit suivant la loi f {r) précitée. L'invention sera mieux comprise à la lecture de
la description détaillée qui suit de deux modes de réa-
lisation préférés donnés uniquement à titre d'exemples nullement limitatifs, et dans laquelle on se réfère au dessin annexé sur lequel: la figure 1 représente de façon très schématique la
constitution d'un appareil optique conforme à l'in-
vention permettant la mesure de la granulométrie d'un nuage de particules, et - la figure 2 représente de façon très schématique la
constitution d'un appareil optique conforme à l'inven-
tion permettant la mesure de la rugosité de la surface d'un corps, et - la figure 3 est une représentation très schématique d'un appareil électronique conforme à l'invention, destiné à la mesure de la granulomtrie d'un nuage de particules. Conformément à l'invention, on éclaire la zone à analyser à l'aide d'un faisceau lumineux émis par une
source de lumière cohérente, ce faisceau lumineux tra-
versant le nuage des particules dont on souhaite connai-
tre la granulométrie ou étant réfléchi par la surface
dont on souhaite connaître la rugosité.
Ce faisceau lumineux cohérent parvient alors à
une lentille convergente qui fournit une figure de dif-
fraction du nuage de particules ou de la surface ru-
gueuse.
Cette figure de diffraction est ensuite multi-
pliée en intensité par une fonction f(r) telle que A (r1'5 + Br 4) f(r) 4 A (r4 + Br 4) o o cette multiplication pouvant être effectuée par voie électronique au moyen d'un calculateur électronique ou par voie purement optique par des moyens qui seront
indiqués plus loin.
Dans les expressions ci-dessus, A est une cons-
tante d'appareillage qui peut se calculer à partir de la théorie de la diffraction de Fraunhofer et de la réponse du détecteur utilisé;dans le cas d'un processus purement optique, le coefficient A est déterminé en pratique par étalonnage de l'appareil sur un objet diffractant connu préalablement, tel qu'un trou unique; B est une constante caractérisant le pouvoir de transmission du filtre spatial d'amplitude ou de phase, dont la valeur est comprise entre 0 (cache central opaque) et 0,1: r est la distance mesurée dans le plan focal de la lentille convergente par rapport à l'axe optique de celle-ci; et r est le rayon maximal utile du filtre o spécial.
On fait alors subir au résultat de cette multi-
plication en intensité une transformation inverse de
Fourier, soit par voie électronique à l'aide d'un cal-
culateur électronique mettant en oeuvre les algorithmes appropriés connus de l'homme de l'art, soit par voie purement optique comme expliqué plus loin. On obtient ainsi un spectre de granulométrie qui peut être réparti en classes de particules ou bien, selon le cas, un
spectre de rugosité de la surface.
Bien qu'elle fournisse un résultat doué d'une très bonne précision qui est intéressant pour certaines applications, la voie électronique mettant en oeuvre des moyens électroniques de calcul mathématiques présentent cependant les inconvénients résidant dans la lenteur du
traitement des informations et de l'obtention du résul-
tat, et donc corrélativement dans l'impossibilité de suivre en temps réel un phénomène évolutif, et résidant aussi dans l'encombrement excessif du matériel utilisé qui restreint ses conditions d'emploi (impossibilité
2 6 2 1 1 2 4
d'embarquer le matériel dans un véhicule tel qu'un missile).
C'est pourquoi la voie purement optique qui éli-
mine tous ces inconvénients, tout en fournissant des résultats d une précision suffisante pour des applica- tions courantes, semble être la plus avantageuse et deux exemples d'appareils purement optiques, l'un pour la mesure de granulométrie d'un nuage de particules et l'autre pour la mesure de la rugosité d'une surface, sans contact et en temps réel, vont maintenant être plus particulièrement décrits de façon détaillée en référence
aux figures 1 et 2.
Les appareils représentés aux figures 1 et 2 possèdent des parties communes et, sur ces figures, les
organes identiques sont désignés par les mêmes référen-
ces numériques.
En se reportant tout d'abord à la figure 1, l'appareil de mesure de la granulométrie d'un nuage de particules, désigné dans son ensemble par la référence 1, comporte une source de lumière cohérente 2 dont le rayonnement peut être repris par une lentille 3 pour former un faisceau à rayons parallèles 4 qui est dirigé sur le nuage de particules 5 à analyser et traverse celui-ci.
En se reportant maintenant à la figure 2, l'ap-
pareil de mesure de la rugosité de la surface d'un corps, désigné dans son ensemble par la référence 6, comporte une source de lumière cohérente 2 dont le rayonnement est repris par une lentille 3 pour former faisceau à rayons parallèles 4 qui est dirigé sur la
surface 7 du corps 8 à analyser.
Le faisceau 4, ayant traversé le nuage de parti-
cules 5 dans l'appareil 1 ou ayant été réfléchi par la surface 7 dans l'appareil 6, parvient sur une première lentille convergente 9 qui forme optiquement une figure
de diffraction du nuage ou de la surface, respective-
ment. Dans le plan focal image de la première lentille 9 est disposé un dispositif optique 10 de filtrage
spatial d'amplitude ou de phase qui multiplie optique-
ment, en intensité, la figure de diffraction formée par la première lentille. Le dispositif de filtrage optique 10 peut être un filtre dont l'opacité diminue en s'écartant de l'axe optique du système, et l'intensité lumineuse le traversant suit la loi f(r) énoncée plus haut. Le centre de ce filtre peut éventuellement être noirci et
totalement opaque (B = o dans la formule précitée).
Le dispositif de filtrage optique 10 peut aussi être constitué par un cache opaque dont la surface entre
deux rayons r et r + dr croit de façon telle que l'in-
tensité lumineuse traversant l'anneau correspondant
croit selon la loi f(r).
Enfin, une deuxième lentille convergente 11,
dont le foyer objet est situé au foyer image de la pre-
mière lentille, effectue optiquement la transformée de Fourier appropriée du signal optique et forme le spectre de granulométrie (pour l'appareil 1) ou de rugosité
(pour l'appareil 6) dans son plan focal image 12.
Le spectre de granulométrie ou de rugosité ainsi recueilli dans le plan focal 12 peut être exploité par tous moyens appropriés connus de l'homme de l'art et
sortant du cadre de la présente invention.
Ainsi, un appareil agencé conformément i l'in-
vention permet d'obtenir le spectre de granulométrie d'un nuage de particules ou le spectre de rugosité de la surface d'un corps de façon continue, en temps réel, et sans contact, en ayant recours à un matériel purement optique, donc relativement peu encombrant, léger et robuste, pouvant éventuellement être embarqué facilement à bord d'un véhicule tel qu'un missile ou une fusée, et qui procure une précision de mesure satisfaisante pour
la plupart des types de mesure envisagés.
A la fig. 3 est représenté schématiquement un appareil électronique permettant de fournir le spectre de granulométrie d'un nuage de particules 13. Un faisceau de lumière cohérente 14 est dirigé sur le nuage de particules 13 et est focalisé par une lentille convergente 15 (les particules 13 pouvant se trouver soit avant, soit après la lentille 15). Le faisceau en provenance de la lentille 15 est repris et réfléchi par un miroir oscillant 16. La figure de diffraction peut donc être déplacée sur une trajectoire circulaire 17 sur laquelle est disposé un détecteur fixe 18, tel qu'un photomultiplicateur, sensible à la lumière du faisceau cohérent et fournissant un signal électrique analogique I (r). Ce signal analogique est traité par un convertisseur analogique/numérique 19 avant d'être appliqué à une première entrée d'un dispositif
multiplicateur 20.
Le déplacement angulaire du miroir 16 est détec-
té par un détecteur de position angulaire 21 fournissant un signal électrique analogique qui est traité par un
convertisseur analogique/numérique 22. Le signal numé-
rique de sortie de ce dernier est multiplié par la fonc-
tion f(r) précitée dans un dispositif multiplicateur 23, dont la sortie est reliée i une seconde entrée du
dispositif multiplicateur 20.
Le signal de sortie du multiplicateur 20. repré-
sentatif du produit I(r).f(r),. est ensuite appliqué à un analyseur de spectre 24 utilisant par exemple les algorithmes connus de transformation rapide de Fourier qui fournit un spectre de granulométrie ou de rugosité de surface qui est affiché par un dispositif d'affichage 25. Bien entendu, toute la partie de traitement des signaux électriques, représentée à la figure 3 dans le cadre en tirets 26, peut être effectuée à l'aide d'un ordinateur.
262 1 124
ll On notera que les calculs peuvent également être effectués en utilisant des dispositifs multiplicateurs et des analyseurs de spectres purement analogiques; toutefois, dans ce cas la précision est moins bonne que celle obtenue en passant par une conversion analogique/-
numérique des informations.
L'appareillage représenté à la figure 3 pourra convenir pour toutes les applications dans lesquelles une grande précision de calcul est requise pour la détermination du spectre de granulométrie, mais dans lesquelles la rapidité d'obtention du résultat n'est pas requise étant donné que cet appareillage ne fonctionne
pas en temps réel.
Comme il va de soi et comme il résulte d'ailleurs déjà de ce qui précède, l'invention ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application et de réalisation qui ont été plus spécialement envisagés;
elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes.
Claims (10)
1. Procédé de mesure, en temps réel et sans contact, de la granulométrie d'un nuage de particules ou de la rugosité d'une surface caractérisé en ce que: - on forme une figure de diffraction du nuage de parti-
cules ou de la surface du corps, à l'aide d'une len-
tille convergente,
- on multiplie, en intensité, cette figure de diffrac-
tion par une fonction f(r) telle que A(r1' 5 + Br) (f(r) ( A (r + Br 4 o o avec A = constante déterminée par étalonnage, B = constante: o ( B ( 0,1
r = distance mesurée dans le plan focal de la lentil-
le par rapport à l'axe optique de celle-ci r = rayon maximum utile du filtre spatial, o
- et on effectue, sur le résultat de cette multiplica-
tion, une transformation inverse de Fourier dont le
résultat constitue le spectre recherché de granulo-
métrie du nuage de particules ou le spectre recherché
de rugosité de la surface.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la fonction f(r) est nulle ou inférieure à la valeur précédente dans le domaine o ( r ( r /4, o
3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la multiplication en intensité de la figure de diffraction par la fonction f(r) et la transformation inverse de Fourier sont effectuées par
des moyens de calcul électronique.
4. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la figure de diffraction est multipliée optiquement, en intensité, par un dispositif optique de filtrage spatial d'amplitude ou de phase situé dans le plan focal image de la lentille convergente précitée, et en ce qu'on forme optiquement le spectre de granulométrie ou de rugosité à l'aide d'une seconde lentille convergente dont le foyer objet est situé au foyer image de la première lentille convergente.
5. Appareil de mesure, en temps réel et sans contact, de la granulométrie d'un nuage de particules ou de la rugosité d'une surface, caractérisé en ce qu'il comprend: - une lentille convergente (9, 15) apte à former une figure de diffraction du nuage de particules ou de la surface, - des moyens multiplicateurs (10, 20) agencés pour multiplier, en intensité, cette figure de diffraction par une fonction f(r) telle que A (r15 + Br 4) f(r) ( A (r + Br 4 o o avec
A = constante déterminée par étalonnage de l'appa-
reil, B = constante o ( B ( 0,1
r = distance mesurée dans le plan focal de la lentil-
le par rapport à l'axe optique de celle-ci r = rayon maximum utile du filtre spatial, o - et des moyens (11, 24) agencés pour effectuer, sur le
résultat de la multiplication en intensité précitée.
une transformation inverse de Fourier dont le résultat constitue le spectre recherché de granulométrie du
nuage de particules ou le spectre recherché de rugo-
sité de la surface.
6. Appareil selon la revendication 5, caractéri-
sé en ce qu'il est prévu un cache central opaque, la fonction f(r) étant alors nulle ou inférieure i la
valeur précédente dans le domaine o 4 r 4 r o/4.
7. Appareil selon la revendication 5 ou 6.
caractérisé en ce que les moyens multiplicateurs en intensité (20) et les moyens effectuant la transformation inverse de Fourier (24) sont constitués
sous forme de calculateurs électroniques.
262 1 124
8. Appareil selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que les moyens effectuant la transformation inverse de Fourier comprennent une seconde lentille convergente (11) disposée de manière que son foyer objet soit situé au foyer image de la première lentille et en ce que les moyens multiplicateurs en intensité comprennent un dispositif optique de filtrage spatial d'amplitude ou de phase (10) situé au foyer image de la première lentille et au foyer objet de la seconde lentille, ce grâce à quoi, lorsque l'appareil reçoit un rayonnement électromagnétique ayant traversé le nuage de particules ou réfléchi par la surface, le spectre de granulométrie du nuage de particules ou de rugosité de la surface est formé dans
le plan focal image (12) de la seconde lentille (11).
9. Appareil de mesure selon la revendication 8, caractérisé en ce que le dispositif de filtrage optique est un filtre dont l'opacité diminue en s'écartant de
l'axe optique du système.
10. Appareil de mesure selon la revendication 8.
caractérisé en ce que le dispositif de filtrage optique est un cache opaque dont la surface entre deux rayons croit de façon telle que l'intensité traversant cette
surface annulaire croit suivant la loi f(r) précitée.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8713206A FR2621124B1 (fr) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | Procede et appareil de mesure par voie optique, sans contact, de la granulometrie d'un nuage de particules ou de la rugosite d'une surface |
US07/326,367 US4927267A (en) | 1987-09-24 | 1989-03-21 | Method and apparatus for optically measuring, without contact, the granulometry of a cloud of particles or the roughness of a surface |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8713206A FR2621124B1 (fr) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | Procede et appareil de mesure par voie optique, sans contact, de la granulometrie d'un nuage de particules ou de la rugosite d'une surface |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2621124A1 true FR2621124A1 (fr) | 1989-03-31 |
FR2621124B1 FR2621124B1 (fr) | 1990-01-12 |
Family
ID=9355180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8713206A Expired - Lifetime FR2621124B1 (fr) | 1987-09-24 | 1987-09-24 | Procede et appareil de mesure par voie optique, sans contact, de la granulometrie d'un nuage de particules ou de la rugosite d'une surface |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4927267A (fr) |
FR (1) | FR2621124B1 (fr) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5155372A (en) * | 1991-11-26 | 1992-10-13 | International Business Machines Corporation | Optical inspection system utilizing wedge shaped spatial filter |
JP3442220B2 (ja) * | 1996-05-15 | 2003-09-02 | シスメックス株式会社 | 光散乱媒体中物体の可視化光学システム |
CN106525671A (zh) * | 2016-12-06 | 2017-03-22 | 湖南七迪视觉科技有限公司 | 一种燃烧颗粒图像获取装置和方法 |
CN109708593B (zh) * | 2019-02-27 | 2023-11-07 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种大规模拼接焦平面探测器平面度测量装置与测量方法 |
CN110398787B (zh) * | 2019-07-23 | 2021-10-29 | 北京中兵人影科技有限公司 | 一种激光云粒子成像仪的校准装置和方法 |
JP7510066B2 (ja) | 2021-02-19 | 2024-07-03 | 日本製鉄株式会社 | 充填率測定装置及び充填率測定方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3809478A (en) * | 1970-11-23 | 1974-05-07 | J Talbot | Analysis and representation of the size, shape and orientation characteristics of the components of a system |
US4037964A (en) * | 1976-01-15 | 1977-07-26 | Leeds & Northrup Company | Method and apparatus for measuring the sum of the radii of particles in a collection |
US4213036A (en) * | 1977-12-27 | 1980-07-15 | Grumman Aerospace Corporation | Method for classifying biological cells |
FR2459966A1 (fr) * | 1979-06-22 | 1981-01-16 | Thery Jean Francois | Appareil de determination de l'histogramme des tailles de particules ou de globules notamment sanguins |
US4334780A (en) * | 1979-06-29 | 1982-06-15 | Grumman Aerospace Corporation | Optical surface roughness detection method and apparatus |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4052600A (en) * | 1975-01-06 | 1977-10-04 | Leeds & Northrup Company | Measurement of statistical parameters of a distribution of suspended particles |
US4037965A (en) * | 1976-03-23 | 1977-07-26 | Leeds & Northrup Company | Method and optical means for determining dimensional characteristics of the particle distribution in a collection of particles |
US4167335A (en) * | 1977-12-16 | 1979-09-11 | Leeds & Northrup Company | Apparatus and method for linearizing a volume loading measurement utilizing particle scattering |
-
1987
- 1987-09-24 FR FR8713206A patent/FR2621124B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-03-21 US US07/326,367 patent/US4927267A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3809478A (en) * | 1970-11-23 | 1974-05-07 | J Talbot | Analysis and representation of the size, shape and orientation characteristics of the components of a system |
US4037964A (en) * | 1976-01-15 | 1977-07-26 | Leeds & Northrup Company | Method and apparatus for measuring the sum of the radii of particles in a collection |
US4213036A (en) * | 1977-12-27 | 1980-07-15 | Grumman Aerospace Corporation | Method for classifying biological cells |
FR2459966A1 (fr) * | 1979-06-22 | 1981-01-16 | Thery Jean Francois | Appareil de determination de l'histogramme des tailles de particules ou de globules notamment sanguins |
US4334780A (en) * | 1979-06-29 | 1982-06-15 | Grumman Aerospace Corporation | Optical surface roughness detection method and apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2621124B1 (fr) | 1990-01-12 |
US4927267A (en) | 1990-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2734884B1 (fr) | Dispositif optique d'éclairage conoscopique a cone creux pour microscope optique et procédé de microscopie optique en conoscopie | |
EP0744613B1 (fr) | Dispositif d'inspection optique d'un fluide, notamment pour analyses hématologiques | |
US7336351B1 (en) | Laser remote sensing of backscattered light from a target sample | |
CA2359010C (fr) | Dispositif d'analyse elementaire par spectrometrie d'emission optique sur plasma produit par laser | |
EP3488505A1 (fr) | Système et procédé de spectrométrie acoustique résonante | |
EP3069185A1 (fr) | Dispositif et methode de mise au point tridimensionnelle pour microscope | |
FR2801671A1 (fr) | Dispositif de mesure, par diffraction, de tailles de particules sensiblement spheriques, notamment de gouttes opaques | |
EP0020238B1 (fr) | Procédé et dispositif de mesure des transferts thermiques d'un échantillon et application à la mesure du coefficient d'absorption | |
FR2621124A1 (fr) | Procede et appareil de mesure par voie optique, sans contact, de la granulometrie d'un nuage de particules ou de la rugosite d'une surface | |
EP0846274B1 (fr) | Sonde velocimetrique optique | |
FR2794247A1 (fr) | Procede et dispositif de mesure de vitesse par effet doppler | |
EP0082050B1 (fr) | Dispositif de détection hétérodyne d'un image optique | |
EP4179299B1 (fr) | Systeme de caracterisation de particules se presentant sous la forme d'un aerosol dans un gaz ambiant et procede associe | |
JP3101707B2 (ja) | ラマン散乱光増強装置 | |
WO2007110395A1 (fr) | Procede de mesure, sans contact, d'une caracteristique opto-geometrique d'un materiau, par spectrometrie interferentielle | |
RU2703941C1 (ru) | Устройство для преобразования инфракрасного излучения в поверхностную электромагнитную волну на плоской грани проводящего тела | |
RU2660764C2 (ru) | Сенсор на основе поверхностно-плазмонного резонанса с элементом плоской оптики | |
US20120327406A1 (en) | Apparatus and method for characterizing an electromagnetic signal using spectral analysis | |
EP0040116A1 (fr) | Dispositif de prise de vue à champ étendu | |
WO2024061843A1 (fr) | Microscope optique avec résonateur | |
FR2463504A1 (fr) | Source d'ions pour analyseur de masses | |
FR2760839A1 (fr) | Procede de determination de la dispersion dielectrique dans la region du terahertz, en utilisant une impulsion optique visible ultracourte dans le domaine de la femtoseconde | |
FR2876182A1 (fr) | Dispositif spectrometrique de coherence | |
Araguillin et al. | Comparative evaluation of wavelength-scanning Otto and Kretschmann configurations of SPR biosensors for low analyte concentration measurement | |
Guo et al. | Restoration of rotating Fourier transform ultraviolet Raman spectrum with a time sequences trigger method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |