FR2570876A1 - IMAGE AMPLIFIER TUBE, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND COATING FOR FRONT PLATE OF SUCH A TUBE - Google Patents

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Abstract

TUBE AMPLIFICATEUR D'IMAGE COMPRENANT UNE PLAQUE AVANT 12 REALISEE EN MATERIAU OPTIQUE ET COMPORTANT DES SURFACES DE RECEPTION ET DE TRANSMISSION DE LA LUMIERE, DES MOYENS PHOTO-EMETTEURS 19 PREVUS SUR LADITE SURFACE DE TRANSMISSION PERMETTANT D'EMETTRE DES ELECTRONS EN REPONSE A LA LUMIERE RECUE PAR LESDITS MOYENS PHOTO-EMETTEURS EN PROVENANCE DE LADITE SURFACE DE TRANSMISSION DE LA LUMIERE, UNE PLAQUE A MICROCANAUX 25 ADJACENTE AUXDITS MOYENS PHOTO-EMETTEURS ET PERMETTANT D'AMPLIFIER LES ELECTRONS EMIS PAR LESDITS MOYENS PHOTO-EMETTEURS, UNE PREMIERE ENDUCTION 21 S'ETENDANT LE LONG D'UNE PARTIE DE LADITE PLAQUE AVANT ET REJOIGNANT LESDITS MOYENS PHOTO-EMETTEURS, LADITE PREMIERE ENDUCTION ETANT CONSTITUEE DE MATERIAU ABSORBANT LA LUMIERE AU MOINS DANS LA REGION D'INFRAROUGE PROCHE ET NON REFLECHISSANT, ET UNE SECONDE ENDUCTION 22 DEPOSEE SUR LADITE PREMIERE ENDUCTION ET REJOIGNANT LESDITS MOYENS PHOTO-EMETTEURS, LADITE SECONDE ENDUCTION ETANT CONSTITUEE DE MATERIAU METALLIQUE CONDUCTEUR DE L'ELECTRICITE.IMAGE AMPLIFIER TUBE INCLUDING A FRONT PLATE 12 MADE OF OPTICAL MATERIAL AND INCLUDING LIGHT RECEPTION AND TRANSMISSION SURFACES, PHOTO-EMITTING MEANS 19 PROVIDED ON THE SAID TRANSMISSION SURFACE ALLOWING THE EMISSION OF ELECTRONS TO REPLY THE LIGHT TO THE LIGHT RECEIVED BY THE SAID PHOTO-EMITTING MEANS FROM THE SAID LIGHT TRANSMISSION SURFACE, A MICRO-CHANNEL PLATE 25 ADJACENT TO THE SAID PHOTO-EMITTING MEDIA AND ALLOWING TO AMPLIFY THE ELECTRONS EMITTED BY THE SAID PHOTO-EMITTING MEDIA, A 21 EXTENDING ALONG A PART OF THE SAID FRONT PLATE AND JOINING THE SAID PHOTO-EMITTING MEANS, THE SAID FIRST COATING CONSISTING OF LIGHT-ABSORBING MATERIAL AT LEAST IN THE NEAR AND NON-REFLECTING INFRARED REGION, AND A SECOND OF LIGHT-ABSORBING MATERIAL FIRST COATING AND JOINING THE SAID PHOTO-EMITTING MEANS, THE SAID SECOND COATING CONSISTING OF CONDUCTIVE METAL MATERIAL UR OF ELECTRICITY.

Description

La présente invention concerne des tubes amplificateursThe present invention relates to amplifier tubes

d'image du type utilisé dans les systèmes de vision nocturne et, no-  image of the type used in night vision systems and, no-

tamment, un tube amplificateur d'image avec réduction du halo  a picture amplifier tube with halo reduction

parasite et une méthode de fabrication dudit tube.  parasite and a method of manufacturing said tube.

Les tubes amplificateurs d'image multiplient la lumière in-  Image intensifier tubes multiply the light

cidente qu'ils reçoivent et permettent donc d'accroître le débit lu-  cidente they receive and therefore increase the flow

mineux qui peut être délivré à une caméra ou directement à l'oeil d'un observateur. Ces dispositifs sont particulièrement utiles pour  which can be delivered to a camera or directly to the eye of an observer. These devices are particularly useful for

fournir des images de zones obscures et ont des applications tant in-  provide images of dark areas and have applications both

dustrielles que militaires. Ils sont par exemple utilisés pour amé-  industrial than military. They are for example used to improve

liorer la vision nocturne des aviateurs, pour photographier des corps  improve night vision of aviators, to photograph bodies

extra-terrestres et pour permettre aux personnes atteintes de rétini-  extra-terrestrial and to allow people with retina-

te pigmentaire (cécité nocturne) de voir la nuit.  you pigmentary (night blindness) to see at night.

Les tubes modernes amplificateurs d'image comportent une plaque à microcanaux qui est une mince plaque de verre traversée par un réseau de trous microscopiques. Chaque trou est conçu pour agir comme un multiplicateur d'électrons à émission secondaire en forme de canal. Lorsque la plaque à microcanaux est placée dans le plan d'une image électronique dans un tube amplificateur, elle permet de  Modern image amplifier tubes have a microchannel plate which is a thin glass plate crossed by a network of microscopic holes. Each hole is designed to act as a channel-emitting secondary emission electron multiplier. When the microchannel plate is placed in the plane of an electronic image in an amplifier tube, it makes it possible to

réaliser un gain de dix à vingt mille ainsi qu'une très haute réso-  achieve a gain of ten to twenty thousand as well as a very high resolution

lution. Dans la mesure o chacun des canaux de la plaque à microca-  lution. Insofar as each of the microchannel plate channels

naux fonctionne pratiquement indépendamment de tous les autres, une source de lumière ponctuelle brillante sature quelques canaux mais ne  nales works almost independently of all the others, a bright point light source saturates a few channels but does not

s'étend pas sur les zones adjacentes. Cette caractéristique de "satu-  not extend to adjacent areas. This characteristic of "satu-

ration locale" rend ces tubes moins sensibles au phénomène  local ration "makes these tubes less sensitive to the phenomenon

d'étalement des zones brillantes. Cependant, ces tubes pré-  spreading bright areas. However, these tubes pre-

sentent un inconvénient connu sous le nom de "halo parasite". Le halo parasite apparaît lorsqu'une lumière diffuse arrive à l'entrée de lumière ou sur le plan focal du tube. Dans l'amplificateur d'image, cela se traduit en une perte de contraste par éclaircissement  feel a drawback known as "parasitic halo". The stray halo appears when a diffuse light arrives at the light entry or on the focal plane of the tube. In the image amplifier, this translates into a loss of contrast by lightening

des parties obscures de l'image, ce qui réduit la visibilité des ob-  dark parts of the image, which reduces the visibility of objects

jets de petites dimensions ou de faible contraste. Dans des cas extrê-  small or low contrast jets. In extreme cases

mes, cela peut même provoquer une perte complète des informations  mes, it can even cause complete loss of information

d'image dans une grande partie du champ visuel.  much of the visual field.

Le halo parasite est essentiellement dû à la lumière en dehors de l'axe qui est reflétée vers l'intérieur du tube et qui est amplifiée pour apparaître dans le champ visuel sous la forme d'images parasites. Les sources de halo parasite sont notamment des rayons de lumière brillante qui pénètrent dans le champ visuel normal selon des angles en dehors de l'axe. Les rayons lumineux qui proviennent de sources situées en dehors du champ visuel normal sont réfléchies à l'interface de la plaque avant et de la couche métallique conductrice vers le matériau photoémetteur du tube, ce qui provoque une émission  The parasitic halo is essentially due to the light outside the axis which is reflected towards the interior of the tube and which is amplified to appear in the visual field in the form of parasitic images. Sources of parasitic halo include rays of bright light that enter the normal field of view at angles outside the axis. Light rays coming from sources outside the normal visual field are reflected at the interface of the front plate and the conductive metallic layer towards the photoemitting material of the tube, which causes an emission.

depuis ce dernier vers l'image focalisée sur le matériau photoémet-  from the latter to the image focused on the photoemeter material-

teur et engendre le halo parasite.tor and generates the parasitic halo.

Différentes tentatives ont été faites pour supprimer ou ré-  Various attempts have been made to delete or re-

duire le halo parasite en ajoutant du matériau au tube,qui absorbe la lumière en dehors de l'axe et qui l'empêche d'être réfléchie vers  mute the stray halo by adding material to the tube, which absorbs light off the axis and prevents it from being reflected back

la couche photoémettrice. Par exemple, des anneaux noirs ont été réa-  the light emitting layer. For example, black rings have been made

lisés sur la surface réfléchissant la lumière en dehors de l'axe. Ces anneaux ont été maintenus en place en scellant un anneau en verre à la surface ou en fondant un anneau en verre à la surface pour prendre l'anneau en sandwich entre la surface réfléchissante et l'anneau en  read on the surface reflecting the light outside the axis. These rings were held in place by sealing a glass ring on the surface or by melting a glass ring on the surface to sandwich the ring between the reflecting surface and the ring.

verre. Cette opération s'est avérée difficile à réaliser et très coû-  glass. This operation proved difficult to perform and very costly.

teuse. Une autre technique a consisté à réaliser une rainure par gra-  teuse. Another technique consisted in making a groove by gra-

vure entre la surface d'entrée de la lumière et la surface réfléchis-  between the light entry surface and the reflected surface

sante et à remplir cette rainure avec de matériau absorbant la  and fill this groove with absorbent material

lumière. Là encore, cette opération s'est révélée difficile à réali-  light. Here again, this operation proved difficult to carry out.

ser et est également très coûteuse.  ser and is also very expensive.

La présente invention a donc pour objet de fournir un tube  The object of the present invention is therefore to provide a tube

amplificateur d'images lumineuses présentant un halo parasite ré-  bright image amplifier with a parasitic halo

duit et pouvant être fabriqué à moindre coût. La présente invention a également pour objet de fournir une méthode permettant de fabriquer  duit and can be manufactured at lower cost. The present invention also aims to provide a method for manufacturing

un tube de ce type de manière très économique et efficace.  a tube of this type very economically and efficiently.

Ce tube amplificateur d'image comporte une plaque avant réa-  This image amplifier tube has a front plate

lisée en matériau optique et destinée à transmettre la lumière, et des moyens photoémetteurs destinés à émettre des électrons en réponse à la lumière transmise. Lors de la fabrication du tube, il est prévu une phase pendant laquelle est formée une première couche d'un matériau qui réduit sensiblement la réflexion et/ou est capable  made of optical material and intended to transmit light, and photoemitting means intended to emit electrons in response to the transmitted light. During the manufacture of the tube, a phase is provided during which a first layer of a material is formed which substantially reduces the reflection and / or is capable

7C8 767C8 76

d'absorber la lumière notamment dans la région infrarouge proche,sur  absorb light especially in the near infrared region, on

la plaque avant adjacente à toute surface à partir de laquelle la lu-  the front plate adjacent to any surface from which the

mière en dehors de l'axe pourrait être réfléchie vers le moyen photo-  matter outside the axis could be reflected towards the photo-

émetteur, et une phase ultérieure pendant laquelle une seconde couche d'un matériau métallique conducteur de l'électricité est déposée sur la pre  emitter, and a subsequent phase during which a second layer of an electrically conductive metallic material is deposited on the pre

re couche.down again.

Le tube ainsi obtenu comporte une plaque avant conçue pour recevoir et transmettre la lumière entrante, un moyen photoémetteur  The tube thus obtained comprises a front plate designed to receive and transmit the incoming light, a photoemitting means

permettant d'émettre les électrons, et une plaque à microcanaux per-  to emit the electrons, and a microchannel plate per-

mettant d'amplifier les électrons émis. La plaque avant comporte éga-  putting to amplify the emitted electrons. The front plate also has

lement une surface o la lumière en dehors de l'axe entrante peut  a surface where light outside the incoming axis can

être réfléchie vers le moyen photoémetteur et la région non réflé-  be reflected towards the light emitting means and the region not reflected

chissante est adjacente à ladite surface.  is adjacent to said surface.

Les différents objets et caractéristiques de l'invention se-  The various objects and characteristics of the invention are-

ront maintenant détaillés dans la description qui va suivre, faite à  will now be detailed in the description which follows, made to

titre d'exemple non limitatif, en se reportant aux figures annexées qui représentent:  by way of nonlimiting example, with reference to the appended figures which represent:

- la figure 1, une vue en perspective d'un tube amplificate-  - Figure 1, a perspective view of an amplificate tube-

ur d'image, - la figure 2, une vue en coupe transversale d'une plaque avant en verre utilisée dans le tube amplificateur d'image conforme à la présente invention, - la figure 3, une vue en coupe transversale partielle d'une  ur image, - Figure 2, a cross-sectional view of a glass front plate used in the image amplifier tube according to the present invention, - Figure 3, a partial cross-sectional view of a

tube amplificateur typique conforme à la présente invention.  Typical amplifier tube according to the present invention.

La figure 1 représente une vue en perspective simplifiée d'une tube amplificateur d'image 10. Le tube amplificateur d'image  FIG. 1 represents a simplified perspective view of an image amplifier tube 10. The image amplifier tube

comprend un boîtier cylindrique 11 dans lequel est logée une pla-  comprises a cylindrical housing 11 in which is housed a plate

que frontale avant 12 réalisée en matériau optique et conçue pour re-  that front 12 made of optical material and designed to re-

cevoir et transmettre la lumière. La plaque avant 12 est normalement  to receive and transmit light. The front plate 12 is normally

scellée à l'intérieur du boîtier 11 et est entourée d'une bride péri-  sealed inside the housing 11 and is surrounded by a perimeter flange

phérique 15. Les rayons lumineux provenant du champ visuel (notés  spherical 15. The light rays coming from the visual field (noted

"dans l'axe" à la figure 1) traversent la plaque avant 12 et sont di-  "in the axis" in Figure 1) cross the front plate 12 and are di-

rigés vers l'amplificateur d'image o leur amplitude est augmentée.  rigged to the image amplifier where their amplitude is increased.

Dans de nombreux agencements connus de ce type, la lumière qui pro-  In many known arrangements of this type, the light which pro-

vient de l'extérieur du champ visuel (notée "en dehors de l'axe" à la figure 1) est réfléchie sur une surface intérieure du tube 10 et est  comes from outside the visual field (noted "outside the axis" in Figure 1) is reflected on an inner surface of the tube 10 and is

renvoyée à l'amplificateur o son amplitude est également augmentée.  returned to the amplifier o its amplitude is also increased.

Cette lumière en dehors de l'axe est la source du halo parasite  This light outside the axis is the source of the parasitic halo

comme on le verra ci-après.as will be seen below.

A la figure 3, on constate que le tube amplificateur d'image est constitué de trois éléments principaux: la plaque avant 12 qui fonctionne à la manière d'une cathode, une plaque avant (placée à l'intérieur de la chambre 18 et non représentée à la figure) qui fonctionne à la manière d'une anode, et une plaque à microcanaux 25 logée entre ces éléments et placée à distance de la plaque avant 12 et de la chambre 18. Les plaques avant de cathode et d'anode sont de  In Figure 3, we see that the image amplifier tube consists of three main elements: the front plate 12 which operates like a cathode, a front plate (placed inside the chamber 18 and not represented in the figure) which functions in the manner of an anode, and a microchannel plate 25 housed between these elements and placed at a distance from the front plate 12 and from the chamber 18. The front cathode and anode plates are of

préférence réalisées en verre possédant des qualités optiques éle-  preferably made of glass with high optical qualities

vées. La plaque à microcanaux 25 est également réalisée en verre pos-  vee. The microchannel plate 25 is also made of glass pos-

sédant une propriété d'émission secondaire et des caractéristiques conductrices. La plaque à microcanaux 25 est montée dans le tube d'image 10, ses faces d'entrée et de sortie étant parallèles à la plaque avant de cathode 12 du tube d'image et un écran phosphoreux étant associé à la plaque avant d'anode. La plaque à microcanaux 25  attractive secondary emission property and conductive characteristics. The microchannel plate 25 is mounted in the image tube 10, its inlet and outlet faces being parallel to the cathode front plate 12 of the image tube and a phosphor screen being associated with the anode front plate . The microchannel plate 25

fonctionne de manière connue pour amplifier les photoélectrons pro-  works in known manner to amplify the photoelectrons pro-

duits par la lumière entrante afin d'accroître le débit lumineux des tubes. La plaque avant 12 peut être réalisée en verre optique clair de haute qualité tel que Corning 7056. Ce verre se compose de 70 Z de silice (SiO2), de 17 % d'oxyde borique (B203), de 8 % de potasse (K20), de 3 % d'alumine (A1203) et de respectivement 1 % de soude  supplied by the incoming light in order to increase the light output of the tubes. The front plate 12 can be made of high quality clear optical glass such as Corning 7056. This glass consists of 70% silica (SiO2), 17% boric oxide (B203), 8% potassium hydroxide (K20 ), 3% alumina (A1203) and 1% soda respectively

(Na20) et d'oxyde de lithium (Li20). D'autres verres peuvent bien en-  (Na20) and lithium oxide (Li20). Other glasses may well

tendu également être utilisés.stretched also be used.

En référence à la figure 2, la plaque avant 12 comprend une une partie de corps centrale de forme généralement circulaire 12a et  With reference to FIG. 2, the front plate 12 comprises a central body part of generally circular shape 12a and

une partie de rebord de moindre épaisseur 12b en forme de bride en-  a flange portion of lesser thickness 12b in the form of a flange

tourant la partie de corps. Une surface 13 de la plaque avant 12  turning the body part. A surface 13 of the front plate 12

s'étend de manière continue à travers les parties de corps et de re-  extends continuously through the body parts and re-

bord respectivement 12a et 12b et la partie de cette surface s'éten-  edge respectively 12a and 12b and the part of this surface extends

dant sur la partie de rebord 12b, et une petite portion adjacente de la partie de corps centrale 12a s'insère sous la bride 15 et y est  dant on the rim part 12b, and a small adjacent portion of the central body part 12a fits under the flange 15 and is there

fixée pour retenir la plaque avant dans le boîtier 11. La partie res-  fixed to retain the front plate in the housing 11. The part

tante de la surface 13, c'est-à-dire la partie entourée par la bride  aunt of surface 13, i.e. the part surrounded by the flange

, est la surface exposée de la plaque avant 12 sur laquelle la lu-  , is the exposed surface of the front plate 12 on which the

mière entrante vient frapper.incoming mother comes to strike.

La plaque avant 12 comprend également des parties de surface 16a et 16b qui sont généralement parallèles à la surface 13 et qui s'étendent respectivement sur la partie de corps 12a et la partie de rebord 12b. En raison de la différence d'épaisseur entre la partie de corps 12a et la partie de rebord 12b, les parties de surface 16a et 16b sont situées dans des plans différents, la partie 16a étant plus éloignée de la surface 13 que la partie 16b. Entre les parties de surface 16a et 16b s'étend une partie de surface de liaison 16c qui, dans le mode de réalisation représenté ici, présente généralement la  The front plate 12 also comprises surface parts 16a and 16b which are generally parallel to the surface 13 and which extend respectively over the body part 12a and the rim part 12b. Due to the difference in thickness between the body part 12a and the rim part 12b, the surface parts 16a and 16b are located in different planes, the part 16a being further from the surface 13 than the part 16b. Between the surface portions 16a and 16b extends a connecting surface portion 16c which, in the embodiment shown here, generally has the

forme d'un tronc de cone.shape of a cone trunk.

Selon un agencement habituel connu, la partie de surface 16a est recouverte d'une tranche photoémettrice 19 conçue de manière que la lumière qui frappe la partie de surface exposée 13 et finalement  According to a known conventional arrangement, the surface part 16a is covered with a light-emitting wafer 19 designed so that the light which strikes the exposed surface part 13 and finally

la tranche 19 provoque l'émission d'électrons. Ces électrons sont ac-  section 19 causes the emission of electrons. These electrons are ac-

célérés à travers un intervalle par un champ électrique vers la plaque à microcanaux 25, ce qui provoque l'émission secondaire d'électrons  celerated through an interval by an electric field towards the microchannel plate 25, which causes the secondary emission of electrons

conformément aux principes connus. La tranche photoémettrice 19 habi-  in accordance with known principles. The 19 light emitting unit

tuelle est un dispositif approprié à l'arséniure de gallium (GaAs), mais d'autres matériaux appropriés peuvent être utilisés. Dans des dispositifs connus, une enduction métallique est appliquée sur les surfaces 16b, 16c et une partie de 16a pour établir une connexion  tuelle is a suitable device for gallium arsenide (GaAs), but other suitable materials can be used. In known devices, a metallic coating is applied to surfaces 16b, 16c and part of 16a to establish a connection

électrique entre la tranche 19 et la source de courant extérieure.  between the unit 19 and the external current source.

Les enductions métalliques conductrices utilisées jusqu'à présente donnent satisfaction à plusieurs égards, mais sont souvent à l'origine du halo parasite. La lumière en dehors de l'axe qui  The conductive metallic coatings used until now are satisfactory in several respects, but are often the source of the parasitic halo. The light outside the axis which

frappe la partie exposée de la surface 13 heurte cette enduction mé-  strikes the exposed part of the surface 13 strikes this metallic coating

tallique et est reflétée dans la partie de corps centrale 12a o elle  metallic and is reflected in the central body part 12a where it

frappe la tranche photoémettrice 19 et provoque l'émission d'élec-  hits the light emitting unit 19 and causes the emission of electro

trons qui sont accélérés vers la plaque à microcanaux 25, causant  sections which are accelerated towards the microchannel plate 25, causing

ainsi une émission secondaire d'électrons. Dans la mesure o la pla-  thus a secondary emission of electrons. Insofar as the plac-

que à microcanaux 25 provoque une augmentation du débit de lumière,  that at microchannels 25 causes an increase in the light flow,

elle accroit effectivement le halo indésirable.  it actually increases the unwanted halo.

En l'occurence, la réduction du halo parasite est assurée  In this case, the reduction of the parasitic halo is ensured

au moyen d'une enduction de matériau 21 qui est appliqué sur les sur-  by means of a coating of material 21 which is applied to the sur-

faces 16b et 16c et également sur une partie de surface 16a adjacente à la tranche 19. Cette enduction est constituée de matériau non ré-  faces 16b and 16c and also on a surface part 16a adjacent to the wafer 19. This coating is made of non-reflective material.

fléchissant capable d'absorber la lumière, en particulier dans la ré-  bending capable of absorbing light, especially in the re-

gion infrarouge proche. Les matériaux possédant ces caractéristiques sont des oxydes métalliques. Cependant, dans de nombreux cas, cette enduction n'est pas conductrice d'électricité. On applique donc une seconde enduction 22 de matériau métallique conducteur d'électricité sur l'enduction 21, de sorte que cette enduction 22 assure le contact avec la tranche 19 et établit ainsi une connexion électrique entre la tranche 19 et une alimentation électrique externe de polarisation  near infrared region. Materials with these characteristics are metallic oxides. However, in many cases, this coating is not electrically conductive. A second coating 22 of electrically conductive metallic material is therefore applied to the coating 21, so that this coating 22 makes contact with the wafer 19 and thus establishes an electrical connection between the wafer 19 and an external bias power supply.

(non représentée). Dans un mode de réalisation avantageux, l'enduc-  (not shown). In an advantageous embodiment, the coating

tion 21 est constituée d'oxyde de chrome et l'enduction 22 de chrome élémentaire. Les enductions 21 et 22 peuvent être appliquées selon une manière appropriée quelconque. Une méthode avantageuse d'application  tion 21 consists of chromium oxide and the coating 22 of elemental chromium. Coatings 21 and 22 can be applied in any suitable manner. An advantageous method of application

des enductions 21 et 22 est fournie par le procédé connu de pulvéri-  coatings 21 and 22 is provided by the known method of spraying

sation dans lequel une électrode en matériau métallique est bombardée  station in which a metal material electrode is bombarded

d'ions de gaz positifs et les particules pulvérisées de matériau mé-  of positive gas ions and the pulverized particles of mixed material

tallique qui en résultent sont déposées sur une surface située dans  resulting metal are deposited on a surface located in

la zone adjacente aux particules pulvérisées.  the area adjacent to the sprayed particles.

La présente invention a adapté la technique de pulvérisation pour déposer l'enduction 21 d'oxyde de chrome et l'enduction 22 de chrome sur les surfaces 16b, 16c et sur une partie de surface 16a qui  The present invention has adapted the spraying technique for depositing the coating 21 of chromium oxide and the coating 22 of chromium on the surfaces 16b, 16c and on a surface portion 16a which

est placée dans le prolongement de 16c. Dans le procédé de pulvérisa-  is placed in the extension of 16c. In the spraying process

tion appliqué ici, la surface 13 de la plaque avant en verre est pla-  tion applied here, the surface 13 of the glass front plate is placed

cée sur un support dans une chambre. Pour déposer l'enduction 21, la chambre est évacuée pour obtenir une pression relativement basse et un volume d'oxygène mélangé à un gaz inerte, par exemple l'argon, est  created on a support in a room. To deposit the coating 21, the chamber is evacuated to obtain a relatively low pressure and a volume of oxygen mixed with an inert gas, for example argon, is

introduit dans la chambre. Tout agencement d'électrodes de pulvérisa-  introduced into the room. Any arrangement of spray electrodes

tion de plasma induite par radiofréquence peut être utilisé. Au moins une de ces électrodes, désignée sous le terme d'électrode cible, est  tion of plasma induced by radio frequency can be used. At least one of these electrodes, referred to as the target electrode, is

placée dans la chambre. L'électrode cible est réalisée dans le maté-  placed in the room. The target electrode is made in the material

riau élémentaire qui doit être pulvérisé. Dans le mode de réalisation  elementary line which must be sprayed. In the embodiment

préféré, le matériau de l'électrode cible est du chrome. Une radio-  preferred, the target electrode material is chromium. A radio-

fréquence d'environ 13,56 MHz est appliquée à l'argon et à l'oxygène.  frequency of about 13.56 MHz is applied to argon and oxygen.

On obtient ainsi des atomes ionisés d'argon et d'oxygène dont le dé-  Ionized atoms of argon and oxygen are thus obtained, the de-

placement est accéléré par la présence d'une différence de potentiel  placement is accelerated by the presence of a potential difference

dans la chambre. Les ions d'argon ionisés bombardent l'électrode ci-  in the bedroom. Ionized argon ions bombard the electrode below

ble et les atomes de chrome quittent l'électrode par pulvérisation.  ble and the chromium atoms leave the electrode by sputtering.

L'énergie communiquée à l'argon pendant l'ionisation est transférée aux atomes de chrome. En raison de la présence d'oxygène, le chrome réagit avec l'oxygène pour forme de l'oxyde de chrome qui est alors déposé sur la plaque avant. La tranche 19 qui a déjà été appliquée sur la surface 16a est protégée pendant le dépôt et ne reçoit donc  The energy communicated to argon during ionization is transferred to the chromium atoms. Due to the presence of oxygen, chromium reacts with oxygen to form chromium oxide which is then deposited on the front plate. The wafer 19 which has already been applied to the surface 16a is protected during the deposition and therefore does not receive

pas l'enduction 21.not the coating 21.

Lorsque l'enduction 21 a été déposée, l'oxygène présent dans la chambre est évacué et l'argon est maintenu au niveau nécessaire à l'opération de pulvérisation. L'opération est alors répétée et donne  When the coating 21 has been deposited, the oxygen present in the chamber is evacuated and the argon is maintained at the level necessary for the spraying operation. The operation is then repeated and gives

lieu à un dépôt de la seconde enduction 22 composée de l'oxyde métal-  place a deposit of the second coating 22 composed of the metal oxide-

lique sous sa forme élémentaire qui, dans le présent mode de réalisa-  lique in its elementary form which, in the present embodiment

tion, est du chrome. Cette couche est déposée selon une épaisseur d'environ 2000 A. Pendant le dépôt de la seconde enduction 22, la tranche 19 est à nouveau protégée de sorte qu'elle ne reçoit pas l'enduction 22  tion, is chromium. This layer is deposited at a thickness of approximately 2000 A. During the deposition of the second coating 22, the wafer 19 is again protected so that it does not receive the coating 22

sur la majeure partie de sa surface, mais pas sur ses parties extrê-  on most of its surface, but not on its extreme parts

mes o une continuité avec la tranche 19 doit être assurée.  mes o continuity with section 19 must be ensured.

Il est également possible de réduire progressivement la con-  It is also possible to gradually reduce the

centration d'oxygène après le dépôt d'une épaisseur suffisante d'en-  oxygen centering after depositing a sufficient thickness of

duction 21 et de poursuivre l'opération de pulvérisation jusqu'à ce  duction 21 and continue spraying until

que le matériau déposé ne soit plus que du chrome élémentaire. On ob-  that the material deposited is only elemental chromium. We ob-

tient ainsi une couche de transition et l'opération de pulvérisation  thus holds a transition layer and the spraying operation

peut se dérouler sans interruption.  can take place without interruption.

L'enduction 21 d'oxyde de chrome ainsi obtenue tient lieu de  The chromium oxide coating 21 thus obtained takes the place of

couche antiréfléchissante capable d'absorber la lumière dans l'infra-  anti-reflective layer capable of absorbing light in the infrared

rouge proche, de sorte que la lumière en dehors de l'axe provenant de la surface 13 recevant la lumière n'est pas réfléchie vers la plaque à microcanaux 25. L'enduction 22 de chrome élémentaire ainsi obtenue  near red, so that the light outside the axis coming from the surface 13 receiving the light is not reflected towards the microchannel plate 25. The coating 22 of elementary chromium thus obtained

assure la liaison électrique entre la tranche 19 et l'alimen-  provides the electrical connection between unit 19 and the power supply

tation électrique externe. L'enduction 21 présente un aspect sombre et non réfléchissant tandis que l'enduction 22 a un aspect luisant et  external electrical supply. Coating 21 has a dark, non-reflective appearance while coating 22 has a shiny and

argenté que l'on retrouve dans les enductions métallisées standard.  silver found in standard metallic coatings.

La résistance entre la tranche photoémettrice 19 et l'enduction conductrice 22 est faible et est sensiblement la même que celle obtenue avec une couche conductrice classique. C'est la teneur en oxygène de  The resistance between the light emitting wafer 19 and the conductive coating 22 is low and is substantially the same as that obtained with a conventional conductive layer. This is the oxygen content of

l'enduction d'oxyde de chrome 21 qui détermine les propriétés réflé-  the coating of chromium oxide 21 which determines the reflective properties

chissantes et absorbantes dans l'infrarouge proche à l'interface de l'enduction 21 et de la plaque avant en verre 12, et c'est l'absence  and absorbing in the near infrared at the interface of the coating 21 and the glass front plate 12, and this is the absence

d'oxygène dans l'enduction métallique 22 qui assure une bonne conduc-  of oxygen in the metal coating 22 which ensures good conduc-

tivité électrique.electrical activity.

Bien entendu, il est également possible d'utiliser des mé-  Of course, it is also possible to use

taux autres que le chrome pour réaliser l'enduction 21, sous réserve  rates other than chromium for coating 21, subject

que ces métaux donnent naissance à des oxydes présentant les proprié-  that these metals give rise to oxides with the properties

tés optiques désirées et possédant une conductivité électrique accep-  desired optical tees and having an acceptable electrical conductivity

table. En outre, le matériau de l'enduction 21 peut, tout au moins en principe, être différent du matériau de l'enduction 22 et ne pas y être associé, si cela est souhaité ou souhaitable. Les matériaux  table. In addition, the material of the coating 21 may, at least in principle, be different from the material of the coating 22 and not be associated with it, if this is desired or desirable. The materials

d'enduction peuvent être choisis individuellement pour leurs proprié-  coating can be chosen individually for their properties

tés optiques et électriques requises et pour leur aptitude à adhérer  optical and electrical tees required and for their ability to adhere

au matériau de la couche voisine.to the material of the neighboring layer.

Le tube amplificateur d'image 10 est représenté en détail à la figure 3. On constate que la bride 15 fait partie intégrante du corps cylindrique 11 et que la plaque avant 12 est située sous la bride 15 et supportée à ses extrémités par deux éléments en forme de  The image amplifier tube 10 is shown in detail in FIG. 3. It can be seen that the flange 15 is an integral part of the cylindrical body 11 and that the front plate 12 is located under the flange 15 and supported at its ends by two elements in made of

L dont l'un est noté 30. La partie de corps centrale 12a mesure envi-  L, one of which is noted 30. The central body part 12a measures approx.

ron 5,5 mm tandis que le rebord 12b mesure environ 3,8 mm.  ron 5.5 mm while the rim 12b measures approximately 3.8 mm.

Sous la plaque avant 12 se trouve la plaque à microcanaux 25. Les deux plaques 12 et 25 sont scellées au corps du tube 17 au moyens d'éléments de fixation classiques. La chambre 18 renferme la  Under the front plate 12 is the microchannel plate 25. The two plates 12 and 25 are sealed to the body of the tube 17 by means of conventional fasteners. Room 18 contains the

plaque avant optique en fibre d'anode et les autres éléments consti-  anode fiber optic front plate and other components

tutifs du tube amplificateur d'image. Du sommet à la base, le tube complet mesure environ 2,5 à 3,5 cm de longueur avec un diamètre typique  image amplifier tube tutorials. From top to bottom, the complete tube measures approximately 2.5 to 3.5 cm in length with a typical diameter

de 3,5 cm et on peut donc dire que l'unité complète est très petite.  3.5 cm and we can therefore say that the complete unit is very small.

La description ci-dessus concerne un mode de réalisation  The above description relates to an embodiment

avantageux de l'invention, mais il est bien entendu que divers chan-  advantageous of the invention, but it is understood that various chan-

gements et modifications peuvent y être apportés sans s'écarter de  modifications and modifications can be made without deviating from

l'esprit ni de la portée véritables de l'invention.  the true spirit or scope of the invention.

Claims (10)

REVENDICATIONS 1. Tube amplificateur d'image comprenant une plaque avant (12) réalisée en matériau optique et comportant des surfaces de réception et de transmission de la lumière, des moyens photoëmetteurs(19) prévus sur ladite surface de transmission permettant d'émettre des électrons en réponse à la lumière reçue par lesdits moyens photoémetteur en  1. Image amplifier tube comprising a front plate (12) made of optical material and comprising light reception and transmission surfaces, photoemitting means (19) provided on said transmission surface making it possible to emit electrons response to the light received by said photoemitting means in provenance de ladite surface de transmission de la lumière, une pla-  from said light transmitting surface, a plate que à microcanaux (25) adjacente auxdits moyens photoémetteurs et per-  as microchannels (25) adjacent to said photoemitting means and per- mettant d'amplifier les électrons émis par lesdits moyens photoémet-  putting to amplify the electrons emitted by said photoemeter means- teurs, une première enduction (21) s'étendant le long d'une partie de  teurs, a first coating (21) extending along a part of ladite plaque avant et rejoignant lesdits moyens photoémetteurs, la-  said front plate and joining said photoemitting means, la- dite première enduction étant constituée de matériau absorbant la lu-  said first coating consisting of material absorbing light mière au moins dans la région d'infrarouge proche et non réfléchis-  at least in the near infrared region and not reflected sant, et une seconde enduction (22) déposée sur ladite première enduction et rejoignant lesdits moyens photoémetteurs, ladite seconde enduction  health, and a second coating (22) deposited on said first coating and joining said photoemitting means, said second coating étant constituée de matériau métallique conducteur de l'électricité.  being made of metallic material conducting electricity. 2. Tube amplificateur d'image conforme à la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau de ladite première enduction est un  2. Image amplifier tube according to claim 1, characterized in that the material of said first coating is a oxyde métallique.metal oxide. 3. Tube amplificateur d'image conforme à la revendication 2,  3. Image amplifier tube according to claim 2, caractérisé en ce que ledit matériau d'oxyde métallique est de l'oxy-  characterized in that said metal oxide material is oxy- de de chrome, et en ce que ledit matériau de ladite seconde enduction  of chromium, and in that said material of said second coating est du chrome.is chromium. 4. Méthode de fabrication d'un tube amplificateur d'image  4. Method of manufacturing an image amplifier tube comprenant une plaque avant en matériau optique permettant de rece-  comprising a front plate made of optical material making it possible to receive voir et de transmettre la lumière et des moyens photoémetteurs asso-  see and transmit light and associated photoemitting means ciés à la plaque avant permettant d'émettre des électrons en réponse à la lumière transmisse à travers la plaque avant, comprenant les  ciés to the front plate allowing to emit electrons in response to the light transmitted through the front plate, including the phases de dépôt d'une première enduction de matériau non réfléchis-  deposition phases of a first coating of non-reflective material sant et absorbant la lumière dans l'infrarouge proche sur une partie  healthy and absorbing light in the near infrared on a part de la surface de transmission de la lumière et sur les moyens photo-  of the light transmitting surface and on the photo- émetteurs adjacents, et de dépôt d'une seconde enduction d'un maté-  adjacent transmitters, and depositing a second coating of a material riau métallique de l'électricité sur la première enduction et rejoi-  metallic line of electricity on the first coating and rejoin- gnant les moyens photoémetteurs.hampering the photoemitting means. 5. Méthode conforme à la revendication 4, caractérisée en ce  5. Method according to claim 4, characterized in that que ledit procédé de pulvérisation comprend le bombardement d'un ma-  that said spraying process involves bombarding a ma- tériau métallique par des ions d'argon.  metallic material by argon ions. 6. Méthode conforme à la revendication 5, caractérisée en ce  6. Method according to claim 5, characterized in that que ledit procédé de pulvérisation prévoit la mise en oeuvre d'un ma-  that said spraying process provides for the implementation of a ma- tériau métallique de chrome.chrome metal material. 7. Enduction destinée à une plaque avant d'un tube amplifi-  7. Coating intended for a front plate of an amplified tube cateur d'image, la plaque avant comprenant une surface recevant la lumière, une surface transmettant la lumière opposée à la première et  image creator, the front plate comprising a surface receiving the light, a surface transmitting the light opposite to the first and des surfaces latérales reliant les surfaces de réception et de trans-  lateral surfaces connecting the receiving and trans- mission de la lumière, comprenant une première partie en matériau non réfléchissant absorbant l'infrarouge proche réalisée sur une grande  light mission, comprising a first part made of non-reflecting material absorbing near infrared carried out on a large partie des surfaces latérales de manière que la lumière reçue en de-  part of the side surfaces so that the light received below hors de l'axe à travers ladite surface recevant la lumière ne puisse  off the axis through said light receiving surface cannot pas passer à travers la surface transmettant la lumière, et une se-  not pass through the light-transmitting surface, and a se- conde partie en matériau métallique électroconducteur placée sur la-  this part made of electrically conductive metallic material placed on the dite première partie.said first part. 8. Enduction conforme à la revendication 7, caractérisée en  8. Coating according to claim 7, characterized in ce que ledit matériau de ladite première partie est un oxyde métalli-  that said material of said first part is a metal oxide que.  than. 9. Enduction conforme à la revendication 7, caractérisée en9. Coating according to claim 7, characterized in ce que ledit oxyde métallique est de l'oxyde de chrome.  that said metal oxide is chromium oxide. 10. Enduction conforme à la revendication 7, caractérisée en  10. Coating according to claim 7, characterized in ce que ledit matériau de ladite seconde partie est du chrome.  that said material of said second part is chromium.
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