FR2568064A1 - SEMICONDUCTOR LASER FOR LIMITING AND REMOVING NOISE FROM HOPPING AND REDUCTION OF THRESHING CURRENT - Google Patents

SEMICONDUCTOR LASER FOR LIMITING AND REMOVING NOISE FROM HOPPING AND REDUCTION OF THRESHING CURRENT Download PDF

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FR2568064A1 FR8511015A FR8511015A FR2568064A1 FR 2568064 A1 FR2568064 A1 FR 2568064A1 FR 8511015 A FR8511015 A FR 8511015A FR 8511015 A FR8511015 A FR 8511015A FR 2568064 A1 FR2568064 A1 FR 2568064A1
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    • H01S5/20Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
    • H01S5/22Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers having a ridge or stripe structure
    • H01S5/223Buried stripe structure
    • H01S5/2231Buried stripe structure with inner confining structure only between the active layer and the upper electrode

Abstract

A.LASER A SEMI-CONDUCTEUR. B.LASER CARACTERISE EN CE QUE LA COUCHE ABSORBANT LA LUMIERE 35 COMPORTE UNE PARTIE ENLEVEE 35A EN FORME DE BANDE POUR CONSTITUER UN CHEMIN DE COURANT, LA LARGEUR W DE LA PARTIE ENLEVEE 35A ETANT COMPRISE ENTRE 1 ET 4MICRONS, L'EPAISSEUR D DE LA COUCHE ACTIVE 33 SATISFAIT A LA CONDITION D A 500A ET LA DISTANCE D ENTRE LA COUCHE ACTIVE 33 ET LA COUCHE ABSORBANT LA LUMIERE 35 EST CHOISIE ENTRE 0,2 ET 0,7MICRON. C.L'INVENTION CONCERNE LES LASERS A SEMI-CONDUCTEUR.A. SEMICONDUCTOR LASER. B. LASER CHARACTERIZED IN THAT THE LIGHT ABSORBING LAYER 35 INCLUDES A BAND-SHAPED REMOVED PART 35A TO CONSTITUTE A CURRENT PATH, THE WIDTH W OF THE REMOVED PART 35A BEING BETWEEN 1 AND 4MICRONS, THE THICKNESS D OF THE ACTIVE LAYER 33 MEETS DA 500A CONDITION AND THE DISTANCE BETWEEN ACTIVE LAYER 33 AND LIGHT ABSORBING LAYER 35 IS CHOSEN BETWEEN 0.2 AND 0.7MICRON. C. THE INVENTION CONCERNS SEMICONDUCTOR LASERS.

Description

Laser à semi-conducteur pour limiter et supprimer unSemiconductor laser to limit and remove a

bruit de sauts et réduction du courant de. seuil."  noise of jumps and reduction of the current of. threshold."

La présente invention concerne unThe present invention relates to a

laser à semi-conducteur.semiconductor laser.

De façon générale, les lasers à semi-  In general, semiconductor lasers

conducteurs selon l'art antérieur se classent schématique-  conductors according to the prior art are schematically

ment en lasers à guidage par indice de réfraction et en  in refractive index guided lasers and in

lasers à guidage par le gain, suivant le système de trans-  gain-guided lasers, according to the transmission system

fert et de passage de lumière en mode longitudinal.  fertility and light passage in longitudinal mode.

Comme laser à semi-conducteur à guidage par indice deréfraction, on connaît par exemple celui  As a semiconductor laser guided refraction index, for example known that

représenté à la figure 1. A la figure 1, le laser à semi-  shown in Figure 1. In Figure 1, the semiconductor laser

conducteur se compose d'un support 1 GaAs par exemple de  conductor consists of a support 1 GaAs for example of

type N sur lequel est formée une première couche de revê-  type N on which is formed a first coating layer

tement 2, composée de AIzGCa 1-z As de type N, d'une couche active 3 de AlxGal xAs de type P ou N, d'une seconde couche de revêtement 4 de AlzGa izAs de type P, d'une couche absorbant de la lumière 5 de AlyGal yAs de type N noyée dans la seconde couche de revêtement 4 et d'une  2, composed of N-type AlzGCa 1-z As, an active layer 3 of AlxGal xAs of the P or N type, a second P-type AlzGa izAs coating layer 4, an absorbing layer of the N-type AlyGal yAs light 5 embedded in the second coating layer 4 and a

couche de couverture 6 de type P ayant une forte concentra-  P-type cover layer 6 having a high concentration

tion en impureté. La couche absorbant de la lumière 5  impurity. The absorbent layer of light

présente une partie enlevée 5a en forme de bande de lar-  has a stripped portion 5a in the form of a band of

geur W qui est réalisée en enlevant la couche d'absorption de lumière 5 par exemple dans sa partie centrale dans la direction perpendiculaire à la feuille de papier de la figure 1. La composition de cette couche absorbant de la lumière 5 est choisie de façon que la largeur de sa bande interdite soit inférieure à celle de la couche active 3 et que son indice de réfraction pour la lumière oscillante, émise de la région photo- émissive de la couche active 3  W which is achieved by removing the light absorbing layer 5 for example in its central portion in the direction perpendicular to the paper sheet of Figure 1. The composition of this light absorbing layer 5 is chosen so that the width of its forbidden band is less than that of the active layer 3 and its refractive index for the oscillating light, emitted from the photoemissive region of the active layer 3

soit supérieur à celui de la région photo-émissive c'est-  is higher than that of the photo-emissive region

à-dire la couche active 3. Cela signifie que la composi-  the active layer 3. This means that the composi-

tion de la couche active 3 et celle de la couche d'absorp-  active layer 3 and that of the absorption layer.

tion de lumière 5 sont choisies pour satisfaire à la con-  5 are selected to meet the con-

dition x> y.edition x> y.

A la figure 1, les références numéri-  In Figure 1, the numerical references

ques 7 et 8 désignent des électrodes déposées sur la cou-  7 and 8 designate electrodes deposited on the neck.

che de couverture 6 et le support 1, respectivement en  cover 6 and support 1, respectively in

contact avec ces couches.contact with these layers.

Dans cette structure du laser semi-In this semicircle laser structure

conducteur, lorsqu'une tension directe prédéterminée est appliquée entre les électrodes 7 et 8, la couche active 3 émet de la lumière, les porteurs et la lumière de cette couche étant maintenus entre la première et la seconde  when a predetermined direct voltage is applied between the electrodes 7 and 8, the active layer 3 emits light, the carriers and the light of this layer being maintained between the first and the second

couche de revêtement 2 et 4. La distance d2 entre la cou-  coating layer 2 and 4. The distance d2 between the

che active 3 et la couche d'absorption de lumière 5 est choisie de façon à être une distance à travers laquelle la lumière oscillante sortant de la couche active 3 puisse  3 and the light absorption layer 5 is chosen to be a distance through which the oscillating light emerging from the active layer 3 can

atteindre la couche d'absorption de lumière 5, c'est-à-  reach the light absorption layer 5, that is,

dire par exemple de l'ordre de 0,3 à 0,4 micron. Si la distance d2 est choisie comme indiqué ci-dessus, la lumière envoyée dans la couche d'absorption de lumière 5 par la couche active 3 est absorbée par cette couche 5, la partie en-dessous de la couche d'absorption de lumière 5 et la partie correspondant à la partie enlevée 5a en forme de bande au milieu de la couche d'absorption de lumière 5 dans laquelle la lumière est difficilement absorbée, il  say for example of the order of 0.3 to 0.4 micron. If the distance d2 is chosen as indicated above, the light sent into the light absorption layer 5 by the active layer 3 is absorbed by this layer 5, the part below the light absorption layer 5. and the portion corresponding to the band-shaped removed portion 5a in the middle of the light absorbing layer 5 in which the light is hardly absorbed, it

y a une différence d'indice de réfraction effectif c'est-  is there an actual difference in refractive index

à-dire une différence n de l'indice de réfraction inté-  i.e., a difference n of the refractive index of interest

gré dans la direction latérale. La largeur W de la partie enlevée 5a en forme de bande de la couche 5 est choisie entre 5 et 8 microns de façon qu'à la base de la sélection de la distance d2, on a une différence A n = nl-n2 entre l'indice de réfraction n1 de la partie de la couche active 3 (appelée ci-après "partie centrale") en regard de la partie enlevée 5a de la couche absorbante 5 et l'indice de réfraction n2 des parties de la couche active 3 des deux côtés de la partie centrale pour avoir par exemple +102 à +10- 3. Comme décrit ci-dessus dans la couche active 3, l'effet de limitation de l'oscillation de la  grateful in the lateral direction. The width W of the strip-shaped stripped portion 5a of the layer 5 is chosen between 5 and 8 microns so that at the base of the selection of the distance d2, there is a difference A n = nl-n2 between refractive index n1 of the portion of the active layer 3 (hereinafter referred to as "central portion") facing the removed portion 5a of the absorbent layer 5 and the refractive index n2 of the portions of the active layer 3 of the two sides of the central part to have for example +102 to +10-3. As described above in the active layer 3, the effect of limiting the oscillation of the

lumière dans la direction latérale s'obtient dans la par-  light in the lateral direction is obtained in the

tie centrale en regard de la partie enlevée 5a dans la-  center section opposite the part removed 5a in the-

quelle la région photo-émissive est limitée.  which photo-emissive region is limited.

Comme le laser semi-conducteur du type à guidage par indice de réfraction n'est pas limité à la structure dans laquelle la couche absorbant de la lumière 5 est noyée dans la seconde couche de revêtement 4 mais qu'un fonctionnement analogue à celui ci-dessus s'applique à un laser à semiconducteur connu sous la dénomination C.S.P. (à support plan à canal) décrit dans  Since the refractive index guiding type semiconductor laser is not limited to the structure in which the light absorbing layer 5 is embedded in the second cladding layer 4, operation similar to the above above applies to a semiconductor laser known as CSP (flat-to-channel support) described in

la publication de la demande de brevet japonaise non exa-  the publication of the unexamined Japanese patent application

minée nO 143787/1977, on a un support 1 utilisé par exem-  n ° 143787/1977, we have a support 1 used for ex-

ple comme couche absorbant la lumière.  ple as a light absorbing layer.

Comme indiqué ci-dessus, bien que le laser à semi-conducteur du type à guidage par indice de réfraction soit réalisé comme représenté à la figure 1, on peut modifier le laser à semi-conducteur de ce type  As indicated above, although the refractive index guide type semiconductor laser is made as shown in FIG. 1, the semiconductor laser of this type can be modified.

en un laser à semi-conducteur à guidage par le gain.  into a gain-guided semiconductor laser.

Ainsi dans la structure de la figure 1, comme la couche absorbant la lumière 5 est choisie comme étant d'un type conducteur différent de celui de la seconde couche de revêtement 4, il en résulte que l'on a une structure de thyristor P-N-P-N dans la partie dans laquelle existe la couche absorbant la lumière 5, ce qui limite le chemin du courant. Il en résulte que le laser à semi-conducteur  Thus, in the structure of FIG. 1, since the light absorbing layer 5 is chosen to be of a conductive type different from that of the second coating layer 4, it follows that there is a PNPN thyristor structure in FIG. the part in which the light-absorbing layer 5 exists, which limits the path of the current. As a result, the semiconductor laser

du type à guidage par le gain peut se réaliser en utili-  of the gain-guiding type can be achieved by using

sant cette couche absorbant la lumière 5 comme région de limitation de courant. Cela signifie que sur le plan qualitatif, on a une forte concentration de courant dans la partie en forme de bande, concentration obtenue par réduction de la largeur W de la partie enlevée 5a par comparaison à un laser à semi-conducteur à guidage-par indice de réfraction; l'épaisseur d1 de la couche active 3 peut être augmentée ou encore la distance d2 entre la couche active 3 et la région de limitation de courant (c'est-à-dire la couche d'absorption de lumière 5) est augmentée pour réduire l'effet d'absorption de la  this light absorbing layer 5 as a current limiting region. This means that qualitatively, there is a high concentration of current in the band-shaped portion, obtained by reducing the width W of the removed portion 5a as compared to a guide-semiconductor semiconductor laser. refraction; the thickness d1 of the active layer 3 can be increased or the distance d2 between the active layer 3 and the current limiting region (i.e., the light absorption layer 5) is increased to reduce the absorption effect of the

lumière de la couche active 3 par la couche absorbante 5.  light of the active layer 3 by the absorbent layer 5.

On a ainsi une variation négative - 4ne d'indice de  We thus have a negative variation - 4ne of index of

réfraction par l'injection de porteurs qui devient domi-  refraction by carrier injection which becomes dominant

nante par comparaison avec la variation An de l'indice de réfraction intégré, de sorte que la différence A n (A n= An - An) entre l'indice de réfraction de la partie -- e centrale de la couche active 3 et l'indice de réfraction des deux parties latérales soit comprise entre -10 2 et  compared with the variation An of the integrated refractive index, so that the difference A n (A n = An - An) between the refractive index of the central part e of the active layer 3 and the refractive index of the two lateral parts is between -10 2 and

-103. On a ainsi un laser du type à guidage par le gain.  -103. There is thus a laser of the type guided by the gain.

Cependant à la fois le laser à semi-  However, both the semiconductor laser

conducteur à guidage par indice de réfraction et le laser  refractive index guide conductor and laser

à semi-conducteur par guidage par le gain ont des avanta-  gain-controlled semiconductors have advantages

ges et des inconvénients respectifs. Ainsi lorsqu'on uti-  respective disadvantages. So when we use

lise chacun de ces lasers comme source de lumière d'ins-  read each of these lasers as a light source for

cription et/ou de lecture, par exemple pour un disque vidéo, chacun d'eux constitue une source de difficultés  and / or reading, for example for a video disc, each of them is a source of difficulties

en pratique.in practice.

De façon plus précise, dans un laser à semi-conducteur du type à gain par indice de réfraction, comme son mode longitudinal est le seul mode, lorsque ce  More precisely, in a semiconductor laser of the refractive index gain type, as its longitudinal mode is the only mode, when this

laser est utilisé comme source lumineuse pour l'inscrip-  laser is used as a light source for

tion (ou écriture) et/ou lecture, par exemple pour un dis-  tion (or writing) and / or reading, for example for a

que vidéo optique ou autre, on a l'inconvénient que le retour de lumière engendre du bruit de sauts. La figure 2 est un graphique représentant les résultats des mesures du bruit de sauts engendré par un courant direct pour le  Whether optical or other video, there is the disadvantage that the return of light generates noise jumps. Fig. 2 is a graph showing the results of hopping noise measurements generated by a direct current for the

laser à semi-conducteur.semiconductor laser.

A la figure 2, la courbe 21 désigne les résultats des mesures du bruit engendré dans le laser à semi-conducteur à guidage par indice de réfraction;  In FIG. 2, the curve 21 designates the results of the measurements of the noise generated in the refractive index guided semiconductor laser;

comme cela apparaît clairement, on a du bruit de sauts.  as it is clear, we have the sound of jumps.

Par ailleurs dans'le laser à semi-conducteur à guidage par  Furthermore, in the semiconductor laser guided by

indice de réfraction, il existe une position de rétrécis-  index of refraction, there is a position of shrinking

sement de faisceau au voisinage de la surface d'extrémité de la région photo-émissive. En pratique, on a ainsi  beam in the vicinity of the end surface of the photoemissive region. In practice, we have

l'avantage de pouvoir régler facilement la position focale.  the advantage of being able to easily adjust the focal position.

De plus comme une image très éloignée de la section trans-  Moreover, as an image far removed from the trans-

versale dans la direction parallèle à la jonction ou schéma de champ éloigné est symétrique dans la direction droite et la direction gauche, on a l'avantage que par exemple en pratique, il est facile d'obtenir un point de  versale in the direction parallel to the junction or far field diagram is symmetrical in the right direction and the left direction, it has the advantage that for example in practice, it is easy to obtain a point of

lumière de lecture et/ou d'écriture à faible distorsion.  low distortion reading and / or writing light.

Par comparaison à cela dans le laser à semi-conducteur du type à guidage par le gain, la partie rétrécie du faisceau se trouve à l'intérieur à environ 20 microns de la face d'extrémité de la région photo-émissive et le schéma du champ est fréquemment asymétrique dans la direction droite et la direction gauche; l'astigmatisme est important et  Compared with that in the gain-guided type semiconductor laser, the narrowed portion of the beam is within about 20 microns of the end face of the photoemissive region and the pattern of field is frequently asymmetrical in the right direction and the left direction; astigmatism is important and

ainsi la déformation du point est relativement grande.  thus the deformation of the point is relatively large.

Comme cela apparaît clairement dans la caractéristique de  As is clear from the characteristic of

bruit représentée par la courbe 22 à la figure 2, le ni-  noise represented by curve 22 in Figure 2, the

veau de bruit du laser à semi-conducteur à guidage par le gain est plus grand que le niveau de bruit représenté  noise caliber of the gain-guided semiconductor laser is larger than the noise level represented

par la courbe 21 et correspondant au laser à semi-conduc-  by the curve 21 and corresponding to the semiconductor laser.

teur à guidage par indice de réfraction. Comme le mode longitudinal est le mode multiple, on a avantage à ne pas  refractive index guide. Since the longitudinal mode is the multiple mode, it is best not to

engendrer de bruit de sauts par la lumière en retour.  generate noise jumps by the light back.

La présente invention a pour but de  The present invention aims to

créer un dispositif à semi-conducteur ayant une caracté-  to create a semiconductor device with a characteristic

ristique dite intermédiaire entre celle du laser à semi-  so-called intermediary between that of the semi-

conducteur à guidage par indice de réfraction et celle du laser à semiconducteur à guidage par le gain, et qui puisse utiliser les avantages des deux types de lasers en  refractive index-guided conductor and that of the gain-guided semiconductor laser, and that can utilize the advantages of both types of lasers by

remédiant à leurs inconvénients par la réduction du bruit.  overcoming their disadvantages by reducing noise.

L'invention a également pour but de créer un dispositif à semi-conducteur utilisable comme  The invention also aims to create a semiconductor device that can be used as

source lumineuse d'inscription et/ou de lecture, par exem-  light source of inscription and / or reading, for example

ple pour un disque vidéo optique ou un disque audio numé-  for an optical video disc or a digital audio disc

rique. A cet effet, l'invention concerne un laser à semi-conducteur comportant un support sur lequel  America. For this purpose, the invention relates to a semiconductor laser comprising a support on which

est réalisée une premiere couche de revêtement, une cou-  is carried out a first coating layer, a cou-

che active, une seconde couche de revêtement et une couche d'absorption de lumière pour limiter le chemin du courant  active layer, a second coating layer and a light absorption layer to limit the path of the current

et pour absorber la lumière oscillante sortant de la cou-  and to absorb the oscillating light coming out of the

che active qui sont formées successivement en contact l'une avec l'autre, la couche absorbant la lumière ayant une partie enlevée en forme de bande pour constituer le chemin du courant, la largeur W de la partie enlevée étant  active layer which are successively in contact with each other, the light absorbing layer having a band-shaped portion removed to form the current path, the width W of the removed portion being

comprise entre 1 et 4 microns, l'épaisseur d1 de la cou-  between 1 and 4 microns, the thickness d1 of the neck

che active satisfaisant à la condition dl> 500 A et la distance d2 entre la couche active et la couche absorbant  active agent satisfying the condition d1> 500 A and the distance d2 between the active layer and the absorbing layer

la lumière étant comprise entre 0,2 et 0,7 micron.  the light being between 0.2 and 0.7 micron.

La présente invention sera décrite de façon plus détaillée à l'aide d'un exemple de laser semi-conducteur représenté dans les dessins annexés, dans lesquels: - la figure 1 est une vue en coupe  The present invention will be described in more detail with the aid of an exemplary semiconductor laser shown in the accompanying drawings, in which: - Figure 1 is a sectional view

transversale à échelle agrandie d'un laser à semi-conduc-  cross-section on a larger scale of a semiconductor laser

teur selon l'art antérieur.according to the prior art.

- la figure 2 est un graphique donnant le niveau de bruit pour un courant direct dans un laser à  FIG. 2 is a graph giving the noise level for a direct current in a laser

semi-conducteur; cette figure donne également la puissan-  semiconductor; this figure also gives the power

ce. - la figure 3 est une vue en coupe transversale schématique à échelle agrandie montrant un mode de réalisation d'un laser à semi-conducteur selon l'invention. - la figure 4 est un graphique donnant la relation entre la densité du courant de seuil et la lar- geur de la partie enlevée dans la couche d'absorption de lumière. - la figure 5 est un graphique donnant la distribution de la lumière provenant de la couche  this. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view on an enlarged scale showing an embodiment of a semiconductor laser according to the invention. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the threshold current density and the width of the portion removed in the light absorption layer. FIG. 5 is a graph showing the distribution of the light coming from the layer

active.active.

DESCRIPTION DU MODE DE REALISATION PREFERENTIEL:  DESCRIPTION OF THE PREFERENTIAL EMBODIMENT:

Un mode de réalisation d'un laser à semi-conducteur selon la présente invention sera décrit  An embodiment of a semiconductor laser according to the present invention will be described

ci-après à l'aide de la figure 3 et des figures suivantes.  hereinafter with the aid of FIG. 3 and the following figures.

Dans ce mode de réalisation, de façon analogue au laser à semi-conducteur décrit en relation avec la figure 1, on a un support 31 GaAs à conductibilité par exemple de type N, couche sur laquelle sont réalisées successivement une premiere couche de revêtement 32 en AlzGal zAs de type N, une couche active 33 en AlxGal xAs de type P ou de type N, une seconde couche de revêtement 34 en AlzGal zAs de type  In this embodiment, analogously to the semiconductor laser described in connection with FIG. 1, there is a 31 GaAs carrier with conductivity, for example N type, on which layer a first coating layer 32 is successively produced. AlzGal zAs type N, an active layer 33 in AlxGal xAs of type P or N type, a second layer of coating 34 in AlzGal zAs type

de conductibilité différent de celui de la premiere cou-  of conductivity different from that of the first

che de revêtement 32 ou type P, une couche d'absorption de lumière 35 en AlyGa yAs ayant pour effet de limiter le chemin du courant et qui peut absorber la lumière  coating 32 or type P, a light absorbing layer 35 of AlyGa yAs having the effect of limiting the path of the current and which can absorb the light

venant de la couche active 33 ainsi qu'une couche de reve-  from the active layer 33 as well as a recovery layer

tement 36 à forte concentration en impureté et à type de conduction P, identique a celui de la seconde couche de  36 with a high concentration of impurity and with a conduction type P, identical to that of the second layer of

revêtement 34.coating 34.

La couche d'absorption de lumière 35 est de conductibilité différente de celle de la seconde couche de revêtement 34, par exemple de type N dans ce  The light absorbing layer 35 is of different conductivity from that of the second coating layer 34, for example N-type in this case.

mode de réalisation pour que la couche absorbant la lu-  embodiment so that the absorbing layer

mière 35 soit opposée par l'intermédiaire de la seconde  35 be opposed through the second

couche de revêtement 34 à la couche active 33, d'une dis-  coating layer 34 to the active layer 33, a

tance d2, la couche 35 absorbant la lumière est noyée par exemple dans la seconde couche de revêtement 34. De plus, la couche d'absorption de lumière 35 présente par exemple une partie centrale enlevée 35a en forme de bande ayant une largeur prédéterminée et s'étendant dans la direction  At d2, the light-absorbing layer 35 is embedded, for example, in the second coating layer 34. In addition, the light-absorbing layer 35 has, for example, a stripped-off central portion 35a having a predetermined width, and extending in the direction

perpendiculaire à la feuille du papier de la figure 3.  perpendicular to the paper sheet of Figure 3.

La composition de la première couche de revêtement 32 et de la seconde couche de revêtement 34 est choisie de façon à satisfaire à la condition z > x pour que la largeur de la bande interdite de chacune des  The composition of the first cladding layer 32 and the second cladding layer 34 is chosen to satisfy the condition z> x so that the width of the forbidden band of each of the

couches soit supérieure à celle de la couche active 33.  layers is greater than that of active layer 33.

De plus, la composition de la couche absorbant la lumière est choisie pour que la largeur de sa bande interdite soit inférieure à celle de la couche active 33 et que son indice de réfraction par rapport à la lumière oscillante provenant de la région photo-émissive de la couche active 33 soit supérieur à celui de la région photo-émissive ou couche 33. En d'autres termes, dans la composition de la couche active 33 et de la couche absorbant la. lumière 35,  In addition, the composition of the light absorbing layer is chosen so that the width of its forbidden band is less than that of the active layer 33 and its refractive index with respect to the oscillating light coming from the light emitting region of the active layer 33 is greater than that of the photoemissive region or layer 33. In other words, in the composition of the active layer 33 and the absorbent layer la. light 35,

les compositions sont choisies pour satisfaire à la condi-  the compositions are chosen to satisfy the conditions

tion x> y. Les électrodes 37 et 38 sont déposées respecti-  tion x> y. The electrodes 37 and 38 are deposited respectively

vement sur la couche de revêtement 36 et sur le support 31  on the coating layer 36 and on the support 31

en ayant un contact ohmique avec ces couches.  by having an ohmic contact with these layers.

Dans cette structure, la largeur W de la partie enlevée 35a de la couche d'absorption de  In this structure, the width W of the removed portion 35a of the absorption layer of

lumière 35 est comprise entre 1 et 4 microns, de préféren-  light 35 is between 1 and 4 microns, preferably

ce entre 2 et 4 microns. L'épaisseur d1 de la couche active 33 est choisie de façon à satisfaire à la condition  this between 2 and 4 microns. The thickness d1 of the active layer 33 is chosen so as to satisfy the condition

O O OO O O

dl > 500 A et de préférence 1500 A > d1 > 700 A. De plus, la distance d2 entre la couche active 33 et la couche  dl> 500 A and preferably 1500 A> d1> 700 A. Moreover, the distance d2 between the active layer 33 and the layer

d'absorption de lumière 35 est choisie dans la plage com-  light absorption 35 is selected in the range of

prise entre 0,2 et 0,7 micron, de préférence entre 0,3  between 0.2 and 0.7 micron, preferably between 0.3

et 0,5 micron.and 0.5 micron.

Dans le laser à semi-conducteur ayant cette structure, on a une caractéristique de bruit pour un courant direct I passant entre les deux électrodes 37 et 38 lorsqu'une tension directe est appliquée entre les électrodes 37 et 38 comme le montre la courbe 23 à la  In the semiconductor laser having this structure, there is a noise characteristic for a direct current I passing between the two electrodes 37 and 38 when a direct voltage is applied between the electrodes 37 and 38 as shown in the curve 23 at the

figure 2. A la figure 2, la courbe 24 représente la rela-  Figure 2. In Figure 2, curve 24 represents the relationship between

tion entre le courant I et la puissance P.  between current I and power P.

Comme le montre clairement la compa-  As is clear from the comparison

raison de la courbe 23 et de la courbe 22, le niveau de bruit du laser à semi-conducteur selon l'invention est  because of the curve 23 and the curve 22, the noise level of the semiconductor laser according to the invention is

diminué par comparaison avec celui du laser à semi-conduc-  decreased compared to that of the semiconductor laser.

teur à guidage par le gain. Si le laser à semi-conducteur selon l'invention travaille par exemple à une puissance  Gain-guided motor. If the semiconductor laser according to the invention works for example with a power

de 5 mW en étant traversé par un courant Il, la diffeéren-  of 5 mW with a current II, the diffe-

ce entre les courbes 22 et 23 est de l'ordre de 5 dB.  this between the curves 22 and 23 is of the order of 5 dB.

En d'autres termes, lorsque le laser à semi-conducteur travaille à une puissance de 5 mW selon l'invention, il est possible de réduire le bruit d'environ 5 dB par comparaison au laser à semi-conducteur à guidage par le  In other words, when the semiconductor laser operates at a power of 5 mW according to the invention, it is possible to reduce the noise by about 5 dB compared to the semiconductor laser guided by the

gain. De plus dans le laser à semi-conducteur selon l'in-  gain. Moreover in the semiconductor laser according to the in-

vention, comme cela apparaît clairement à la courbe 23,  vention, as is clear from curve 23,

il n'y a pas de bruit de sauts, comme pour la courbe 21.  there is no noise of jumps, as for curve 21.

De façon plus détaillée, selon la structure de la présen-  In more detail, according to the structure of the

te invention, on peut estimer que l'on a une oscillation auto-excitée en maintenant la lumière et les porteurs confinés, et qui correspond à une situation intermédiaire entre le laser à guidage par indice de réfraction et celui à guidage par le gain, selon l'art antérieur. En d'autres termes, on estime que le laser à semi-conducteur selon l'invention travaille dans une plage dans laquelle la différence de l'indice de réfraction efficace A n, mentionné ci-dessus, est extrêmement faible dans le sens positif ou négatif par comparaison avec les lasers à semi-conducteur à guidage par indice de réfraction et à  According to the invention, it is possible to estimate that a self-excited oscillation is maintained by keeping the light and the carriers confined, and which corresponds to an intermediate situation between the refractive index guided laser and the gain guided laser, according to the invention. the prior art. In other words, it is believed that the semiconductor laser according to the invention operates in a range in which the difference of the effective refractive index λ n, mentioned above, is extremely low in the positive or negative direction. negative in comparison with refractive index guided semiconductor lasers and

guidage par le gain.guidance by gain.

De plus dans le laser à semi-conduc-  Moreover in the semiconductor laser

teur selon l'invention, la caractéristique de symétrie du schéma du champ éloigné est améliorée par comparaison à un laser à semi-conducteur de l'art antérieur à guidage par le gain et le diamètre du point du faisceau est très  according to the invention, the symmetry characteristic of the far-field pattern is improved by comparison with a prior art semiconductor laser with gain-guidance and the diameter of the beam point is very small.

faible, ce qui réduit notablement le courant de seuil.  low, which significantly reduces the threshold current.

Il est clair qu'en fonction de telles caractéristiques, le laser à semiconducteur de l'invention travaille comme laser à semi-conducteur, intermédiaire entre un laser à guidage par indice de réfraction et un laser à guidage par  It is clear that, depending on such characteristics, the semiconductor laser of the invention operates as a semiconductor laser intermediate between a refractive index guided laser and a laser guided laser.

le gain.Gain.

La suppression du bruit de sautsThe suppression of the noise of jumps

décrit ci-dessus, le faible bruit, la réduction du cou-  described above, low noise, reduced

rant de seuil et l'amélioration du schéma de champ éloi-  threshold and the improvement of the elec-

gné peuvent s'obtenir en définissant de façon particu-  can be obtained by defining in particular

lière les trois paramètres à savoir la largeur W de la partie enlevée 35a de la couche d'absorption de lumière , la distance d2 entre la couche active 33 et la couche d'absorption de lumière 35 et l'épaisseur d1 de la couche  the three parameters namely the width W of the removed portion 35a of the light absorption layer, the distance d2 between the active layer 33 and the light absorption layer 35 and the thickness d1 of the layer

active 33, et cela de façon simultanée. De façon plus pre-  active 33, and this simultaneously. More

cise, on choisit la largeur W dans une plage comprise entre 1 micron et 4 microns et de préférence entre 2 et  cise, the width W is chosen in a range of between 1 micron and 4 microns and preferably between 2 and

4 microns; l'épaisseur d1 est choisie de façon à satis-  4 microns; the thickness d1 is chosen so as to satisfy

o faire à la condition d > à 500 A (de préférence  o do with condition d> 500 A (preferably

0 00 0

1500 A > d1 > 700 A) et la distance d2 est choisie dans la plage comprise entre 0,2 et 0,7 micron (de préférence  1500 A> d1> 700 A) and the distance d2 is chosen in the range between 0.2 and 0.7 micron (preferably

dans la plage comprise entre 0,3 et 0,5 micron).  in the range of 0.3 to 0.5 micron).

La largeur W, l'épaisseur d1 et laThe width W, the thickness d1 and the

distance d2 seront respectivement explicitées ci-après.  distance d2 will respectively be explained below.

On examinera d'abord la largeur W de la partie enlevée 35a de la couche d'absorption de lumière 35. Comme la concentration en courant diminue lorsque la  The width W of the removed portion 35a of the light absorbing layer 35 will first be examined. As the current concentration decreases when the

largeur W augmente comme indiqué précédemment, la varia-  width W increases as indicated above, the variation

tion de l'indice de réfraction I ne| par injection de por-  refractive index I | by injection of

teurs devient faible. Si la largeur W continue d'augmenter, la variation En de l'indice de réfraction intégré domine *11 et le semi-conducteur selon l'invention fonctionne comme  become weak. If the width W continues to increase, the variation En of the integrated refractive index dominates * 11 and the semiconductor according to the invention functions as

un semi-conducteur à guidage par indice de réfraction.  a refractive index guide semiconductor.

Dans ce cas, la largeur W est l'un des coefficients qui détermine le courant de seuil Ith pour faire osciller le laser à semi-conducteur. Comme le courant de seuil Ith est le produit de la densité de courant de seuil Jth et de la surface d'émission lumineuse, si la largeur W augmente, la largeur de la région photo-émissive ou sa  In this case, the width W is one of the coefficients that determines the threshold current Ith to oscillate the semiconductor laser. Since the threshold current Ith is the product of the threshold current density Jth and the light emission surface, if the width W increases, the width of the photoemissive region or its

surface augmente et ainsi le courant de seuil Ith augmente.  surface increases and so the Ith threshold current increases.

Par ailleurs comme la relation entre la densité de cou-  Moreover, as the relation between the density of cou-

rant de seuil et la largeur W est représentée à la figure 4, lorsque la largeur W augmente, la densité de courant de seuil 3th devient faible. C'est pourquoi, le courant de seuil Ith peut être rendu négligeable, si la largeur  As shown in FIG. 4, as the width W increases, the threshold current density 3th becomes small. Therefore, the Ith threshold current can be made negligible, if the width

W atteint une certaine plage. Ainsi pour réduire le cou-  W reaches a certain range. In order to reduce the

rant de seuil Ith, le choix de la largeur W devient un  threshold Ith, the choice of width W becomes a

élément important.important element.

L'épaisseur d1 de la couche active 33 sera examinée ci-après. Si l'épaisseur d1 augmente, la  The thickness d1 of the active layer 33 will be examined below. If the thickness d1 increases, the

surface de la zone photo-émissive augmente, ce qui se tra-  the area of the photo-emissive zone increases, which is

duit par une augmentation du courant de seuil Ith comme déjà indiqué. Ainsi sur le plan de la réduction du courant de seuil Ith, il est préférable que l'épaisseur d1 ne soit pas trop importante. La transparence à la lumière pour la couche active 33 vers la première et la seconde couche de revêtement 32 et 34 sera examinée ci-après. Comme indiqué à la figure 5, lorsque l'épaisseur d1 est faible, la  due to an increase in the Ith threshold current as already indicated. Thus in terms of the reduction of the threshold current Ith, it is preferable that the thickness d1 is not too important. The light transparency for the active layer 33 to the first and second coating layers 32 and 34 will be discussed hereinafter. As shown in FIG. 5, when the thickness d1 is small, the

transparence à la lumière présente une distribution accen-  light transparency has an accelerated distribution

tuée comme cela est représenté par la courbe 51 à la figure  killed as shown by curve 51 in the figure

5 alors que si l'épaisseur d1 est importante, cela se tra-  5 whereas if the thickness d1 is important, it is

duit par une distribution douce comme le montre la courbe 52 à la figure 5. Ainsi, lorsque l'épaisseur d1 augmente, l'effet d'absorption de lumière par la couche absorbant  by a soft distribution as shown in curve 52 in Figure 5. Thus, when the thickness d1 increases, the light absorption effect by the absorbent layer

la lumière 35 diminue, de sorte que le laser à semi-conduc-  the light 35 decreases, so that the semiconductor laser

teur selon l'invention peut fonctionner à guidage par le gain ou encore il permet d'éviter l'émission de bruit de sauts. En outre, la distance d2 entre la couche active 33 et la couche d'absorption lumineuse 35 est l'un des éléments qui détermine l'action d'absorption  According to the invention, it is possible for the driver to operate with gain control or else to avoid the emission of jumping noise. In addition, the distance d2 between the active layer 33 and the light absorption layer 35 is one of the elements that determines the absorption action.

lumineuse par la couche 35 pour absorber la couche prove-  by the layer 35 to absorb the layer

nant de la couche active 33. Si la distance d est faible,  active layer 33. If the distance d is small,

l'effet d'absorption lumineuse est important et la carac-  the light absorption effect is important and the character

téristique de guidage par indice de réfraction domine dans le laser à semi-conducteur. Si par ailleurs la distance d2 augmente, l'effet d'absorption lumineuse diminue ou disparaît et le laser à semi-conducteur devient un laser  The refractive index guidance property dominates in the semiconductor laser. If, on the other hand, the distance d2 increases, the light absorption effect decreases or disappears and the semiconductor laser becomes a laser

à guidage par le gain.guided by the gain.

Comme indiqué ci-dessus, du fait que  As indicated above, because

la largeur W, l'épaisseur dl et la distance d2 sont choi-  the width W, the thickness d1 and the distance d2 are chosen

sies de façon particulière, simultanément, on évite le  in a particular way, at the same time, the

bruit de sauts et on réduit le niveau de bruit par compa-  noise and the noise level is reduced by comparison

raison avec un laser à semi-conducteur à guidage par le gain; le courant de seuil Ith est faible par comparaison au courant de seuil Ithg d'un laser à guidage par le gain  reason with a gain-guided semiconductor laser; the threshold current Ith is weak compared to the threshold current Ithg of a gain-guided laser

et le schéma de champ éloigné est amélioré.  and the far-field scheme is improved.

Comme indiqué ci-dessus, dans le cas du laser à semi-conducteur de l'invention, on peut éviter l'émission du bruit de sauts et par comparaison avec un laser à semi-conducteur à guidage par le gain, on peut réduire le bruit et le courant de seuil et améliorer le  As indicated above, in the case of the semiconductor laser of the invention, the emission of jumping noise can be avoided and compared with a gain-guided semiconductor laser, the noise and threshold current and improve the

schéma de champ éloigné. En conséquence, le laser à semi-  distant field diagram. As a result, the semiconductor laser

conducteur de l'invention s'utilise comme source lumineuse  conductor of the invention is used as a light source

pour l'inscription et/ou la lecture par exemple d'un dis-  for the registration and / or reading of, for example, a

que vidéo ou d'un disque audio numérique et présente un grand nombre d'avantages tels que l'amélioration de la résolution et du rapport S/N (rapport signal/bruit), ce  video or a digital audio disc and has a large number of advantages, such as improved resolution and S / N ratio (signal-to-noise ratio).

qui permet de simplifier le système optique.  which simplifies the optical system.

R E V E N D I CA TI ONCA TI ON R E V E N

Laser à semi-conducteur comportant un support (31) portant une première couche de revêtement  Semiconductor laser having a carrier (31) carrying a first coating layer

(32), une couche active (33), une seconde couche de reve-  (32), an active layer (33), a second

tement (34) et une couche absorbant la lumière (35) pour limiter un chemin de courant et pour absorber la lumière  (34) and a light absorbing layer (35) for limiting a current path and for absorbing light

émise de la couche active (33), ces couches étant réali-  emitted from the active layer (33), these layers being made

sées successivement en contact l'une avec l'autre, laser caractérisé en ce que la couche absorbant la lumière (35) comporte une partie enlevée (35a) en forme de bande pour constituer un chemin de courant, la largeur (W) de la partie enlevée (35a) étant comprise entre 1 et 4 microns, l'épaisseur (dl) de la couche active (33) satisfait à la o condition (d1 à 500 A) et la distance (d2) entre la couche active (33) et la couche absorbant la lumière (35)  characterized in that the light absorbing layer (35) has a band-shaped removed portion (35a) to form a current path, the width (W) of the removed portion (35a) being between 1 and 4 microns, the thickness (dl) of the active layer (33) satisfies the o condition (d1 at 500 A) and the distance (d2) between the active layer (33) and the light absorbing layer (35)

est choisie entre 0,2 et 0,7 micron.  is chosen between 0.2 and 0.7 micron.

FR8511015A 1984-07-18 1985-07-18 SEMICONDUCTOR LASER FOR LIMITING AND REMOVING NOISE FROM HOPPING AND REDUCTION OF THRESHING CURRENT Granted FR2568064A1 (en)

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NL (1) NL8502080A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0462816A2 (en) * 1990-06-21 1991-12-27 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor laser producing visible light

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4323859A (en) * 1980-02-04 1982-04-06 Northern Telecom Limited Chanelled substrate double heterostructure lasers
GB2105099A (en) * 1981-07-02 1983-03-16 Standard Telephones Cables Ltd Injection laser
DE3410793A1 (en) * 1983-03-24 1984-10-04 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo SEMICONDUCTOR LASER DEVICE

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52143787A (en) * 1976-05-26 1977-11-30 Hitachi Ltd Semiconductor laser
DE3065856D1 (en) * 1979-02-13 1984-01-19 Fujitsu Ltd A semiconductor light emitting device
JPS5640292A (en) * 1979-09-11 1981-04-16 Fujitsu Ltd Semiconductor laser
US4329189A (en) * 1980-02-04 1982-05-11 Northern Telecom Limited Channelled substrate double heterostructure lasers
JPS5736882A (en) * 1980-08-15 1982-02-27 Nec Corp Stripe type double hetero junction laser element
JPS57170584A (en) * 1981-04-15 1982-10-20 Hitachi Ltd Semiconductor laser device
JPS5967677A (en) * 1982-07-01 1984-04-17 Semiconductor Res Found Photo integrated circuit

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4323859A (en) * 1980-02-04 1982-04-06 Northern Telecom Limited Chanelled substrate double heterostructure lasers
GB2105099A (en) * 1981-07-02 1983-03-16 Standard Telephones Cables Ltd Injection laser
DE3410793A1 (en) * 1983-03-24 1984-10-04 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo SEMICONDUCTOR LASER DEVICE

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ELECTRONICS LETTERS, vol. 17, no. 1, 8 janvier 1981, pages 17-19, Londres, GB; H. IMAI et al.: "InGaAsP/InP separated multiclad layer stripe geometry lasers emitting at 1.5 mum" *
INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING, Washington, 5-7 décembre 1983, pages 12.2: 292-295, IEEE, New York, US; M. OKAJIMA et al.: "Transverse-mode stabilized GaAlAs laser with an embedded confining layer on optical guide by MOCVD" *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0462816A2 (en) * 1990-06-21 1991-12-27 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor laser producing visible light
EP0462816A3 (en) * 1990-06-21 1992-04-15 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor laser producing visible light
US5161167A (en) * 1990-06-21 1992-11-03 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor laser producing visible light

Also Published As

Publication number Publication date
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