FR2567873A1 - PROCESS FOR OBTAINING WHISKEYS OF TYPE B SILICON CARBIDE AND CONTINUOUS REACTION FURNACE FOR ITS IMPLEMENTATION - Google Patents

PROCESS FOR OBTAINING WHISKEYS OF TYPE B SILICON CARBIDE AND CONTINUOUS REACTION FURNACE FOR ITS IMPLEMENTATION Download PDF

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Tatsuo Hayashi
Fumio Michizuki
Masayuki Ozawa
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Nippon Light Metal Co Ltd
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    • C30B25/00Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
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Abstract

L'OBJET DE LA PRESENTE INVENTION EST UN PROCEDE D'OBTENTION DE WHISKERS DE CARBURE DE SILICIUM DE TYPE B ET UN FOUR A REACTION CONTINUE POUR SA MISE EN OEUVRE. LE PROCEDE EST CARACTERISE EN CE QU'IL CONSISTE A MELANGER DE LA POUDRE DE CARBONE ET DE LA POUDRE DE BIOXYDE DE SILICIUM, A PLACER LE MELANGE RESULTANT DANS UN RECIPIENT A REACTION SUIVANT UNE DENSITE APPARENTE NON SUPERIEURE A 0,23GCM, ET A CHAUFFER LEDIT MELANGE A DES FINS DE REACTION DANS UNE ATMOSPHERE DE GAZ INERTE A UNE TEMPERATURE COMPRISE ENTRE 1500 ET 2000C. APPLICATION A LA FABRICATION DE WHISKERS DE CARBURE DE SILICIUM DE TYPE B.THE OBJECT OF THE PRESENT INVENTION IS A PROCESS FOR OBTAINING TYPE B SILICON CARBIDE WHISKERS AND A CONTINUOUS REACTION OVEN FOR ITS IMPLEMENTATION. THE PROCESS IS CHARACTERIZED IN THAT IT CONSISTS OF MIXING CARBON POWDER AND SILICON BIOXIDE POWDER, PLACING THE RESULTING MIXTURE IN A CONTAINER WITH A REACTION FOLLOWING AN APPARENT DENSITY OF NOT GREATER THAN 0.23GCM, AND IN HEATING IT MIXED FOR REACTION PURPOSES IN AN INERT GAS ATMOSPHERE AT A TEMPERATURE BETWEEN 1500 AND 2000C. APPLICATION TO THE MANUFACTURE OF TYPE B SILICON CARBIDE WHISKERS.

Description

-1--1-

PROCEDE D'OBTENTION DE WHISKERS DE CARBURE DE SILICIUM  PROCESS FOR OBTAINING WHISKEYS OF SILICON CARBIDE

DE TYPE B ET FOUR A REACTION CONTINUE POUR SA MISE EN OEUVRE  TYPE B AND CONTINUOUS REACTION FURNACE FOR ITS IMPLEMENTATION

La présente invention a trait à un procédé pour l'obtention de whiskers de carbure de silicium de type et à  The present invention relates to a process for obtaining silicon carbide whiskers of type and

un four à réaction continue pour l'obtention de ces whiskers.  a continuous reaction oven for obtaining these whiskers.

Plus particulièrement l'invention a trait à un procédé de fabrication économique de whiskers de carbure de silicium de type B de haute qualité et à fendement élevé ainsi qu'à un four particulièrement intéressant pour l'obtention de ces whiskers. On sait déjà produire des whiskers de carbure de silicium, qu'on appellera par la suite simplement whiskers, à partir de matières premières solides par des méthodes utilisant de la poudre de carbone comme source de carbone et du bioxyde de silicium comme source de silicium (demandes de brevet japonais SHO 54 (1979)-17.720 et SHO 57 (1982) -111.300). Ces procédés sont tous basés sur le principe de la croissance des cristaux à whiskers en provoquant le transfert du gaz de réaction provenant de la matière première dans un endroit autre que celui o est disposée cette matière première. Ainsi, il est nécessaire de réguler de manière stricte la température et la pression partielle de gaz. Les dispositifs conçus pour mettre en oeuvre ces procédés sont par suite tellement compliqués qu'ils rendent difficile la production de masse de whiskers. Par suite, ces procédés ont l'inconvénient de produire des whiskers avec dé faibles rendements. Les inventeurs ont recherché attentivement un procédé -2- capable de produire une réaction entre de la poudre de carbone et de la poudre de bioxyde de silicium. Ils ont découvert que la réaction provoquée dans la zone appropriée de la matière première s'effectue plus doucement et que les whiskers sont obtenus plus facilement avec une efficacité réactionnelle satisfaisante par la détermination de la densité apparente du mélange des matières premières mises en place dans un bac à réaction. La présente invention a été réalisée sur la base de  More particularly, the invention relates to a process for the economical manufacture of high quality and high yielding type B silicon carbide whiskers as well as a particularly advantageous furnace for obtaining these whiskers. It is already known to produce whiskers of silicon carbide, which will be called simply whiskers, from solid raw materials by methods using carbon powder as a source of carbon and silicon dioxide as a source of silicon ( Japanese Patent Applications SHO 54 (1979) -17,720 and SHO 57 (1982) -111,300). These methods are all based on the principle of growth of whisker crystals by causing the transfer of the reaction gas from the raw material to a location other than the one where this raw material is disposed. Thus, it is necessary to strictly regulate the temperature and the partial pressure of gas. Devices designed to implement these processes are therefore so complicated that they make it difficult to mass produce whiskers. As a result, these processes have the disadvantage of producing whiskers with low yields. The inventors have carefully investigated a process capable of producing a reaction between carbon powder and silicon dioxide powder. They discovered that the reaction provoked in the appropriate zone of the raw material is carried out more slowly and that the whiskers are obtained more easily with a satisfactory reaction efficiency by the determination of the apparent density of the mixture of the raw materials put in place in a reaction tank. The present invention was carried out on the basis of

cette découverte.this discovery.

Le premier objet de l'invention est de fournir un procédé d'obtention de whiskers de haute pureté très facilement et avec un haut rendement. Un second objet de l'invention est de réaliser un four électrique à chauffage continu vertical permettant au mélange de carbone en poudre et de poudre de bioxyde de silicium qui doit être traité thermiquement au repos, ledit mélange étant appelé ci-après simplement mélange réactionnel, d'être traité à haute température tout en étant contenu dans des bacs à réaction en mouvement. En particulier, ce four sert avantageusement de  The first object of the invention is to provide a process for obtaining whiskers of high purity very easily and with a high yield. A second object of the invention is to provide a vertical continuous heating electric furnace for the mixture of carbon powder and silicon dioxide powder which must be heat-treated at rest, said mixture being hereinafter simply called reaction mixture, to be treated at high temperature while being contained in moving jet trays. In particular, this oven advantageously serves to

dispositif pour la fabrication de whiskers.  device for making whiskers.

Le premier aspect de l'invention réside dans un procédé pour l'obtention de whiskers qui comporte le mélange de poudre de carbone avec de la poudre de bioxyde de silicium, le remplissage d'un bac ou récipient à réaction à l'aide du mélange résultant avec une densité apparente non supérieure à 0,23 g/cm, et le chauffage du mélange sous atmosphère de  The first aspect of the invention resides in a process for obtaining whiskers which comprises mixing the carbon powder with silicon dioxide powder, filling a reaction vessel or container with the aid of the mixture. resulting in an apparent density of not more than 0.23 g / cm, and heating the mixture under a

gaz inerte à une température comprise entre 1500 et 2000C.  inert gas at a temperature between 1500 and 2000C.

Le second aspect de la présente invention réside dans un four à réaction continue vertical muni de réchauffeurs électriques et comportant un tube de coeur disposé axialement dans une enveloppe de four, des refroidisseurs et des conduites d'air connectés au tube de coeur à proximité des deux extrémités ouvertes opposées de l'enveloppe du four, des moyens pour amener des récipients à réaction en ligne à la partie supérieure du tube de coeur et des moyens pour supporter et évacuerles récipients à réaction à la partie inférieure dudit tube de coeur, en sorte que le mélange de matières premières en traitement contenu dans les récipients à  The second aspect of the present invention resides in a vertical continuous reaction furnace provided with electric heaters and having a core tube axially disposed in an oven casing, chillers and air ducts connected to the core tube in proximity to the two. opposite open ends of the furnace shell, means for bringing line reaction vessels to the upper part of the core tube and means for supporting and discharging the reaction vessels at the lower part of said core tube, so that the mixture of raw materials in treatment contained in the

réaction subit le traitement thermique de manière continue.  reaction undergoes heat treatment continuously.

- 3- D'autres caractéristiques et avantages de l'invention  Other features and advantages of the invention

ressortiront de la description qui va suivre de modes de  will emerge from the following description of modes of

réalisation du dispositif de l'invention, description donnée à  embodiment of the device of the invention, description given to

titre d'exemple uniquement et en regard des dessins annexes sur lesquels: - Figure 1 est une coupe verticale d'un mode de réalisation préféré d'un four à réaction continue conforme à l'invention;  By way of example only and with reference to the appended drawings in which: FIG. 1 is a vertical section of a preferred embodiment of a continuous reaction oven according to the invention;

- Figure 2 est une coupe verticale d'un autre mode de réali-  FIG. 2 is a vertical section of another embodiment of FIG.

sation du four selon l'invention;the oven according to the invention;

- Figure 3 est une vue en coupe partielle agrandie d'une par-  3 is an enlarged partial sectional view of a

tie de l'étage supérieur d'un four au voisinage de la zone d'introduction des récipients à réaction;  part of the upper stage of an oven in the vicinity of the zone of introduction of the reaction vessels;

- Figure 4 est une vue partielle agrandie en coupe d'une par-  FIG. 4 is an enlarged partial view in section of a part

tie de l'étage inférieur du four au droit de la zone d'extraction; Figure 5 est une vue de dessus montrant l'agencement d'un  part of the lower floor of the kiln to the right of the extraction zone; Figure 5 is a top view showing the arrangement of a

dispositif pour supporter et évacuer les récipients à réac-  device for supporting and evacuating the reaction vessels

tion, suivant la ligne A-A' des figures 1 et 2; - et les figures 6A à 6D sont des vues en perspective montrant des récipients à réaction pour l'appareil selon l'invention. La poudre de carbone à utiliser dans le procédé de l'invention n'est pas limitée spécifiquement. Comme exemple de poudre de carbone effectivement utilisable on peut citer le coke de poix, le coke de pétrole, le charbon, l'anthracite, le noir de carbone, le charbon actif, et les suies provenant de la combustion incomplète de composés organiques tels que l'acétylène, disponibles sous forme d'une poudre. La poudre de carbone doit avoir avantageusement une densité apparente non  along line A-A 'of Figures 1 and 2; and FIGS. 6A to 6D are perspective views showing reaction vessels for the apparatus according to the invention. The carbon powder to be used in the process of the invention is not specifically limited. As an example of a usable carbon powder, there may be mentioned pitch coke, petroleum coke, coal, anthracite, carbon black, activated carbon, and soot resulting from the incomplete combustion of organic compounds such as acetylene, available as a powder. The carbon powder must advantageously have an apparent density not

supérieure à 0,12 g/cm3.greater than 0.12 g / cm3.

Comme exemple de poudre de bioxyde de silicium effectivement utilisable dans l'invention, on peut citer le bioxyde de silicium, le carbone blanc, l'acide silicique, et la farine de silice, disponibles sous forme d'une poudre. Dans ce cas, la dimension de particules de la poudre n'est pas spécifiquement définie. Le rapport du mélange de-la poudre de bioxyde de silicium et de la poudre de carbone est généralement fixé en fonction de la densité apparente de -4- chacune des poudres à mélanger. Normalement il est souhaitable que la poudre de carbone soit incorporée dans le mélange avec un léger excès du poids équivalent indiqué par la formule SiO2 + 3C + SiC + 2C0, à cause du fait que toute poudre de carbone n'ayant pas réagi et subsistant dans le dispositif à réaction peut être facilement enlevée par oxydation à environ 750 C, tandis que toute poudre de bioxyde de silicium non altérée et subsistant dans le dispositif à réaction ne peut pas être enlevée à moins d'être traitée avec de l'acide fluorhydrique. Pendant le mélange il est nécessaire que les  As an example of a silicon dioxide powder that may actually be used in the invention, mention may be made of silicon dioxide, white carbon, silicic acid, and silica flour, available in the form of a powder. In this case, the particle size of the powder is not specifically defined. The ratio of the mixture of the silicon dioxide powder and the carbon powder is generally set according to the apparent density of each of the powders to be mixed. Normally it is desirable that the carbon powder be incorporated into the mixture with a slight excess of the equivalent weight indicated by the formula SiO 2 + 3C + SiC + 2CO, because any unreacted carbon powder remaining in the the reaction device can be easily removed by oxidation at about 750 ° C, while any unaltered silicon dioxide powder remaining in the reaction device can not be removed unless treated with hydrofluoric acid. During mixing it is necessary that the

deux poudres soientmélangées aussi uniformément que possible.  two powders are mixed as uniformly as possible.

Si elles ne sont pas mélangées de manière uniforme, il peut survenir dans le mélange résultant du SiC particulaire ou des  If they are not mixed uniformly, it may occur in the resulting mixture of particulate SiC or

restes de SiO2 sous forme non altérée.  remains of SiO2 in unaltered form.

Les matières premières mélangées sont soumises à une réaction thermique après remplissage dans un récipient à réaction constitué de graphite, de carbone ou de carbure de silicium. La densité apparente du mélange de matières premières disposé dans le récipient à réaction ne doit pas être supérieur à 0,23 g/cm. Si la densité apparente dépasse 0,23 g/cm3 le carbure de silicium résultant apparaît sous forme de fines particules divisées ou de whiskers de faible longueur. Même en dessous de la limite de 0,23 g/cm3, la densité apparente qui n'est pas inférieure à 0,03 g/cm3 et  The mixed raw materials are subjected to a thermal reaction after filling in a reaction vessel made of graphite, carbon or silicon carbide. The bulk density of the raw material mixture disposed in the reaction vessel must not be greater than 0.23 g / cm. If the bulk density exceeds 0.23 g / cm3 the resulting silicon carbide appears as divided fine particles or short whiskers. Even below the limit of 0.23 g / cm3, the bulk density is not less than 0.03 g / cm3 and

ne dépasse pas 0,15 g/cm3 se révèle particulièrement souhaita-  not more than 0,15 g / cm3 is particularly desirable.

ble du fait que les whiskers produits ont une taille relati-  because the produced whiskers have a relative size

vement grande et uniforme de manière satisfaisante. Si la den-  large and uniform in a satisfactory manner. If the

sité apparente est inférieure à 0,03 g/cm3, le rendement est inférieur bien que les whiskers produits aient les mêmes  apparent capacity is less than 0.03 g / cm3, the yield is lower although the produced whiskers have the same

taille et forme.size and shape.

La réaction thermique s'opère à une température comprise entre 1500 et 2000 C. Si cette température est inférieure à 1500 C, le temps nécessaire à la réaction est excessivement long. Si elle excède 20000C, le carbure de silicium résultant se présente en partie sous la forme de fines particules et le rendement des whiskers n'est pas suffisamment élevé. Puisque la réactivité de la poudre de carbone et de la poudre de bioxyde de silicium est variable selon les types de matières premières, la température de la  The thermal reaction takes place at a temperature of between 1500 and 2000 C. If this temperature is below 1500 ° C., the time required for the reaction is excessively long. If it exceeds 20000C, the resulting silicon carbide is partly in the form of fine particles and the yield of the whiskers is not high enough. Since the reactivity of the carbon powder and the silicon dioxide powder is variable according to the types of raw materials, the temperature of the

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-5- réaction doit être choisie de manière appropriée à l'intérieur de la plage mentionnée, en fonction des types de matières  The reaction must be appropriately selected within the range mentioned, depending on the types of materials used.

premières utilisées.first used.

Le terme "gaz inerte" désigne un gaz tel que l'argon ou le monoxyde de carbone qui est chimiquement inactif dans le système de réaction mis en oeuvre dans l'invention. Ce terme  The term "inert gas" refers to a gas such as argon or carbon monoxide which is chemically inactive in the reaction system employed in the invention. This term

ne concerne ni l'azote ni un quelconque gaz à base d'azote.  does not concern nitrogen or any nitrogen-based gas.

L'azote et les gaz à base d'azote sont indésirables du fait que la réaction qui s'opère en présence de l'un ou l'autre de ces gaz produit des whiskers de nitrure de silicium. La réaction thermique s'opère après que l'air dans le récipient à réaction a été remplacé par le gaz inerte sus-mentionné. La poudre de carbone qui demeure à l'état non altéré après achèvement de la réaction thermique est enlevée par combustion  Nitrogen and nitrogen-based gases are undesirable because the reaction in the presence of either of these gases produces silicon nitride whiskers. The thermal reaction takes place after the air in the reaction vessel has been replaced by the inert gas mentioned above. The carbon powder that remains in the unaltered state after completion of the thermal reaction is removed by combustion

à une température d'environ 750 C.  at a temperature of about 750 C.

Le carbure de silicium produit par la réaction se présente sous la forme de whiskers de 0,1 à 1 micromètre de diamètre et de 50 à 200 micromètres de longueur. On ne trouve sensiblement aucune formation de carbure de silicium particulaire. Par l'analyse par diffraction aux rayons X, on constate que le produit est constitué essentiellement de SiC de type. Le rendement de fabrication des whiskers est presque de 100%, sur la base du composant SiO2 des matières  The silicon carbide produced by the reaction is in the form of whiskers 0.1 to 1 micrometer in diameter and 50 to 200 microns in length. There is substantially no formation of particulate silicon carbide. By X-ray diffraction analysis, it is found that the product consists essentially of SiC type. Whiskey manufacturing yield is almost 100%, based on the SiO2 component of the materials

premières mélangées.first mixed.

L'intérêt de la présente invention réside dans le fait que par un processus simple, des whiskers de haute qualité sont facilement obtenus avec un rendement de presque % e.t que les whiskers possèdent une haute pureté du fait que la réaction mise en oeuvre ne nécessite pas de  The advantage of the present invention lies in the fact that by a simple process, high quality whiskers are easily obtained with a yield of almost% and that the whiskers have a high purity because the reaction implemented does not require of

catalyseur.catalyst.

Le four utilisé pour le traitement thermique du mélange de poudre de carbone et de poudre de bioxyde de silicium n'est pas limité au four à réaction continue vertical selon la présente invention. Des fours d'autres modes de construction, incluant des fours horizontaux, peuvent être utilisés pour réaliser le traitement thermique selon l'invention. Le four à réaction continue selon la présente invention est un four vertical comportant des réchauffeurs -6- électriques tels qu'illustrés en coupe verticale axiale sur les figures 1 et 2. Ce four comporte un tube de coeur 2 disposé axialement à travers un four vertical 1, des dispositifs réfrigérants, 3,3' et une entrée de gaz 7 et une sortie de gaz 7' connectées au tube de coeur 2 aux deux extrémités ouvertes du four, des moyens 11 pour amener des bacs ou récipients à réaction 10 en ligne à l'étage supérieur du tube de coeur et des moyens 16 pour supporter et évacuer les récipients à réaction 10a, lO0b à l'étage inférieur du tube de coeur 2, en sorte que le mélange à traiter dans les récipients à réaction soit traité thermiquement de manière  The furnace used for heat treatment of the mixture of carbon powder and silicon dioxide powder is not limited to the vertical continuous reaction furnace according to the present invention. Furnaces of other modes of construction, including horizontal furnaces, can be used to carry out the heat treatment according to the invention. The continuous reaction furnace according to the present invention is a vertical furnace comprising electric heaters as illustrated in axial vertical section in FIGS. 1 and 2. This furnace comprises a core tube 2 arranged axially through a vertical furnace. 1, refrigerating devices, 3,3 'and a gas inlet 7 and a gas outlet 7' connected to the core tube 2 at the two open ends of the furnace, means 11 for bringing containers or reaction vessels 10 in line at the upper stage of the core tube and means 16 for supporting and discharging the reaction vessels 10a, 10b at the lower stage of the core tube 2, so that the mixture to be treated in the reaction vessels is heat-treated so

continue dans ces récipients.continue in these containers.

Le four vertical 1 est une structure réfractaire isolée thermiquement et conçu suivant la technique conventionnelle pour supporter les conditions de température de travail impliquées. Si le four doit supporter un traitement thermique à des températures aussi élevées que 2400"C environ, par exemple, il peut être conçu de façon que la partie du coeur soit constituée de réfractaires en carbone ou graphite, le revêtement extérieur étant formé de briques réfractaires du type silice-alumine et de fibres isolantes thermiques, et  The vertical kiln 1 is a thermally insulated refractory structure and designed according to the conventional technique to withstand the working temperature conditions involved. If the furnace is to withstand heat treatment at temperatures as high as about 2400 ° C, for example, it may be designed so that the core portion is made of carbon or graphite refractories, the outer coating being formed of refractory bricks. silica-alumina type and thermal insulating fibers, and

l'enveloppe extérieure étant faite de matériaux d'acier.  the outer shell being made of steel materials.

Les réchauffeurs électriques 4,4' disposés dans le four vertical 1 sont de préférence du type à chauffage direct du point de vue de l'efficacité thermique. Eventuellement, des réchauffeurs électriques du type à chauffage indirect peuvent  The electric heaters 4,4 'arranged in the vertical furnace 1 are preferably of the direct heating type from the point of view of thermal efficiency. Optionally, indirect heating type electric heaters may

être utilisés si nécessaire.be used if necessary.

Plus précisément, les réchauffeurs électriques 4,4' du type à chauffage direct sont obtenus en réalisant le tube de coeur 2 lui-même à l'aide d'un matériau chauffant par résistance et en reliant des barres conductrices 6,6' au tube de coeur 2 respectivement par l'intermédiaire de manchons réfrigérants tels que par exemple des manchons à chemise d'eau ,5'de cuivre comme illustré par la figure 1. Avec cet agencement, l'élévation de température désirée est atteinte en faisant générer la chaleur par le tube de coeur 2 lui-même. Le matériau chauffant par résistance est choisi de manière appropriée pour atteindre la température particulière du traitement thermique opéré par le four. Lorsque la température -7- de chauffage se- situe entre 1000 et 2400 C, par exemple, on adopte comme matériau résistant à la chaleur du carbure de silicium, du carbone, ou du graphite. Le tube de coeur peut être constitué uniquement d'un seul type de matière résistant à la chaleur ou bien d'un mélange de deux sortes de matériaux résistant à la chaleur ou davantage. Il est possible d'utiliser un seul type de matière résistant à la chaleur dans les zones à basse température du tube de coeur et un autre type de matière dans la zone à haute température. On peut recourir à d'autres combinaisons de types de matériaux résistant à la chaleur. Les barres conductrices 6,6' peuvent être connectées au tube de coeur 2 à l'intérieur du four si nécessaire. Au contraire, les réchauffeurs électriques 4,4' du type à chauffage indirect sont obtenus en insérant un élément chauffant résistant 8 réalisé en un matériau chauffant résistant tel que décrit ci-dessus, à l'intérieur du four de manière à entourer le tube de coeur 2 et en reliant les barres conductrices 6,6' à l'élément chauffant résistant 8 par l'intermédiaire desdits manchons réfrigérants 5, 5' comme illustré par la figure 2. Dans cet agencement la température du tube de coeur 2 est élevée indirectement par la chaleur générée par l'élément chauffant résistant 8. Dans ce cas, le tube de coeur 2 peut être constitué d'un matériau conducteur thermique résistant à la chaleur, quelconque, choisi pour atteindre la température de chauffage. Par exemple, il peut être constitué de nitrure de silicium, de carbure de silicium,  Specifically, electric heaters 4,4 'of the direct heating type are obtained by producing the core tube 2 itself with a resistance heating material and connecting 6,6' bus bars to the tube core 2 respectively by means of cooling sleeves such as for example sleeves water jacket, 5'de copper as shown in Figure 1. With this arrangement, the desired temperature rise is reached by generating the heat through the heart tube 2 itself. The resistance heating material is suitably selected to achieve the particular temperature of the heat treatment operated by the furnace. When the heating temperature is between 1000 and 2400 C, for example, silicon carbide, carbon, or graphite is adopted as the heat-resistant material. The core tube may consist of only one type of heat-resistant material or a mixture of two or more kinds of heat-resistant materials. It is possible to use a single type of heat resistant material in the low temperature areas of the core tube and another type of material in the high temperature zone. Other combinations of types of heat resistant materials may be used. The busbars 6, 6 'can be connected to the core tube 2 inside the oven if necessary. In contrast, the indirect heating type electric heaters 4,4 'are obtained by inserting a resistive heating element 8 made of a strong heating material as described above, inside the oven so as to surround the tube of core 2 and connecting the busbars 6, 6 'to the resistive heating element 8 via said cooling sleeves 5, 5' as illustrated in FIG. 2. In this arrangement the temperature of the core tube 2 is raised indirectly. by the heat generated by the resistive heating element 8. In this case, the core tube 2 may be made of any heat-resistant thermal conductive material selected to achieve the heating temperature. For example, it may consist of silicon nitride, silicon carbide,

de carbone, ou de graphite.carbon, or graphite.

Le tube de coeur 2 sert à appliquer la chaleur aux récipients à réaction 10 au cours de leurs déplacements à travers lui et, en même temps, forme lui-même un passage pour le déplacement des récipients. Il peut être constitué d'un matériau approprié. Lorsque les réchauffeurs électriques 4, 4' sont du type à chauffage indirect, le tube de coeur peut être divisé en plusieurs tronçons alignés longitudinalement au four. Il est préférable de recouvrir la surface exposée du tube de coeur d'un revêtement d'un matériau insensible à l'oxydation ou à l'usure tel que par exemple un oxyde, un carbure, ou un nitrure, en fonction du type de l'atmosphère de -8-  The core tube 2 serves to apply heat to the reaction vessels 10 as they move through it and, at the same time, itself forms a passage for moving the containers. It can be made of a suitable material. When the electric heaters 4, 4 'are of indirect heating type, the core tube can be divided into several longitudinally aligned sections in the oven. It is preferable to cover the exposed surface of the core tube with a coating of a material insensitive to oxidation or wear such as for example an oxide, a carbide, or a nitride, depending on the type of the atmosphere of -8-

ciaul rage.Ciaul rage.

Les refroidisseurs 3,3' entourent complètement le tube de coeur 2 de manière à éviter que la surface du tube de coeur soit usée ou oxydée et, en même temps, à refroidir les récipients à réaction circulant à l'intérieur du tube de coeur. Ce peut être des canalisations de refroidissement enroulées en spirale autour du tube de coeur ou des chemises  The coolers 3,3 'completely surround the core tube 2 so as to prevent the surface of the core tube from being worn or oxidized and, at the same time, to cool the reaction vessels circulating inside the core tube. It can be spiral wound cooling ducts around the core tube or shirts

enfilées sur le tube de coeur par exemple.  threaded on the heart tube for example.

L'entrée de gaz 7 et la sortie de gaz 7' sont des conduits disposés pour régler l'atmosphère à l'intérieur du tube de coeur 2. Ces conduits sont reliés à une source de gaz, à un dispositif d'aspiration du gaz, à un dispositif de récupération et de circulation (non représenté),etc... à diverses fins telles que la formation ou le maintien d'une atmosphère inerte (en utilisant de l'argon ou du monoxyde de carbone) à l'intérieur du four, l'enlèvement du gaz formé à la suite de l'application de la chaleur, et la fourniture d'un gaz réactif utilisé par exemple dans une réaction de frittage. Aux extrémités opposées du tube de coeur 2-sont connectés des tubes de guidage 14,14' en graphite qui, comme illustré sur les figures 3 et 4, retiennent par pincement les joints 9,9' servant à assurer l'étanchéité à l'air de l'intérieur du tube de coeur, et, en même temps, servant de guide aux récipients à réaction 10 à l'entrée et à la sortie du tube de coeur 2. Les joints 9,9' sont réalisés en un matériau flexible tel que du caoutchouc brut, du caoutchouc siliconé, ou une résine de fluor et sont de forme présentant un diamètre inférieur au diamètre externe des récipients à réaction 10, en sorte qu'ils épousent étroitement les parois extérieures des récipients en transit à l'intérieur du tube de coeur et assurent la conservation d'une bonne étanchéité à  The gas inlet 7 and the gas outlet 7 'are ducts arranged to regulate the atmosphere inside the core tube 2. These ducts are connected to a gas source, to a gas suction device , a recovery and circulation device (not shown), etc ... for various purposes such as forming or maintaining an inert atmosphere (using argon or carbon monoxide) inside of the furnace, the removal of the gas formed as a result of the application of heat, and the supply of a reactive gas used for example in a sintering reaction. At the opposite ends of the core tube 2 are connected graphite guide tubes 14, 14 'which, as illustrated in FIGS. 3 and 4, pinch the seals 9, 9' serving to seal the air from inside the core tube, and, at the same time, serving as a guide to the reaction vessels 10 at the inlet and the outlet of the core tube 2. The joints 9, 9 'are made of a flexible material such as raw rubber, silicone rubber, or a fluorine resin and are of a shape having a diameter smaller than the outer diameter of the reaction vessels 10, so that they closely follow the outer walls of the containers in transit inside. heart tube and ensure the preservation of a good seal at

l'air à l'intérieur du tube de coeur.  the air inside the heart tube.

Le dispositif d'alimentation 11 sert à amener les récipients à réaction 10 dans le tube de coeur à l'étage supérieur du tube 2. Il comporte un dispositif de transfert horizontal 13 pour transférer les récipients à réaction 10 contenant le mélange à- traiter et disposés sur une plaque support 12, en direction de la partie supérieure du tube de -9- coeur, un tube de guidage 14 pour guider les récipients 10 dans la bonne position, et un dispositif de transfert vertical pour déplacer à force vers le bas les récipients à réaction 10. Les moyens 16 pour soutenir et évacuer les récipients à réaction 10 servent à l'évacuation des récipients hors du tube de coeur par l'intermédiaire d'un tube de guidage disposé dans le fond du four et coopérant avec le dispositif d'amenée 11 à l'étage supérieur du four. Il comprend un dispositif élévateur 17 pour maintenir les récipients à réaction en place au cours du traitement thermique, un dispositif d'amenée 18 pour évacuer latéralement les récipients à réaction extraits de la base du four par la descente de la tige du dispositif élévateur 17, et une table d'attente 19 servant de réceptacle pour les récipients à réaction sortant du four. Le dispositif élévateur 17 et le dispositif d'amenée 18 comportent indépendamment un bras 21 en forme de fourchette à deux doigts et une pièce de support 20 susceptible de se déplacer à l'intérieur de ladite fourchette, disposés à l'extrémité de  The feeding device 11 serves to bring the reaction vessels 10 into the core tube at the upper stage of the tube 2. It comprises a horizontal transfer device 13 for transferring the reaction containers 10 containing the mixture to be treated and arranged on a support plate 12, in the direction of the upper part of the core tube, a guide tube 14 for guiding the containers 10 in the right position, and a vertical transfer device for forcibly moving down the reaction containers 10. The means 16 for supporting and discharging the reaction containers 10 are used for discharging the containers out of the core tube via a guide tube disposed in the bottom of the oven and cooperating with the device feed 11 to the upper floor of the oven. It comprises a lifting device 17 for holding the reaction containers in place during the heat treatment, a feed device 18 for laterally evacuating the reaction vessels extracted from the furnace base by lowering the stem of the lifting device 17, and a waiting table 19 serving as a receptacle for the reaction vessels leaving the furnace. The lifting device 17 and the feeding device 18 independently comprise a fork-shaped arm 21 with two fingers and a support piece 20 able to move inside said fork, arranged at the end of the fork.

leur tige d'actionnement respective.  their respective actuating rod.

La figure 5 illustre un agencement dans lequel la pièce de support 20 est disposée sur le dispositif d'élévation 17 et le bras 21 sur le dispositif d'amenée 18. Une disposition inverse peut être prévue si nécessaire. Les parties actives du dispositif de transfert horizontal 13, du dispositif de transfert vertical 15, du dispositif élévateur 17 et du dispositif d'amenée 18 ci-dessus peuvent être choisis de manière appropriée parmi les divers dispositifs tels que des dispositifs à cylindre et piston actionnés hydrauliquement ou pneumatiquement et des dispositifs à vis et engrenages actionnés électriquement, capables de déplacer les tiges  Figure 5 illustrates an arrangement in which the support member 20 is disposed on the elevating device 17 and the arm 21 on the delivery device 18. A reverse arrangement may be provided if necessary. The active parts of the horizontal transfer device 13, the vertical transfer device 15, the lifting device 17 and the feed device 18 above can be suitably selected from the various devices such as actuated cylinder and piston devices. hydraulically or pneumatically and electrically actuated screw and gear devices capable of moving the rods

suivant des mouvements à va-et-vient de manière sûre.  following movements back and forth safely.

La configuration de base du four à réaction continue  The basic configuration of the continuous reaction oven

vertical selon la présente invention vient d'être décrite.  vertical according to the present invention has just been described.

Naturellement, on peut y adjoindre divers dispositifs communément montés sur des fours ou substituer à certains  Naturally, one can add various devices commonly mounted on ovens or substitute some

composants des moyens équivalents.components equivalent means.

Par exemple, le four 1 peut comporter un thermomètre ou un manomètre 22 pour le contrôle de la température ou de la -10- pression à l'intérieur du tube de coeur 2, une fenêtre d'inspection (non représentée) ou une barre conductrice souple, ou des dispositifs de verrouillage et de contrôle pour les composants du four. La plaque support 12 et la table d'attente 19 sont des plaques fixes horizontales à surface lisse. Eventuellement il peut s'agir de plaques fixes inclinées à surface lisse ou bien de plaques mobiles telles que des convoyeurs à bandes ou à rouleaux. En outre, le dispositif de transfert horizontal 13 du dispositif d'amenée 11 peut être un dispositif de transfert automatique 23 susceptible de saisir à la manière d'une pince les récipients à réaction entre des bras pour les prendre en charge depuis la plaque de support pour les transférer directement dans le tube de coeur comme illustré par la figure 2, au lieu d'un simple dispositif agencé pour déplacer à va-et-vient horizontalement la tige d'actionnement. Le bras en forme de fourche 21 du dispositif élevateur 17 ou du dispositif d'amenée 18 peut être agencé pour s'ouvrir ou se fermer en vue de réaliser un mouvement de saisie à la manière d'une pince au lieu d'être  For example, the oven 1 may comprise a thermometer or a pressure gauge 22 for controlling the temperature or pressure inside the core tube 2, an inspection window (not shown) or a conducting bar flexible, or locking and control devices for oven components. The support plate 12 and the waiting table 19 are horizontal fixed plates with a smooth surface. Optionally it may be sloping fixed plates with a smooth surface or moving plates such as belt or roller conveyors. In addition, the horizontal transfer device 13 of the feed device 11 may be an automatic transfer device 23 capable of gripping the reaction vessels in the manner of a gripper between arms to support them from the support plate. to transfer them directly into the core tube as shown in Figure 2, instead of a simple device arranged to horizontally move back and forth the actuating rod. The fork-shaped arm 21 of the elevating device 17 or of the feed device 18 may be arranged to open or close in order to perform a gripping movement in the manner of a gripper instead of being

agencé pour effectuer un simple déplacement.  arranged to perform a simple displacement.

Les récipients à réaction 10 peuvent être constitués d'un matériau résistant à la chaleur approprié choisi en fonction des conditions de traitement (température et atmosphère) et des propriétés de résistance à la chaleur, de conduction thermique et de résistance à la corrosion. Lorsque  The reaction vessels 10 may be made of a suitable heat-resistant material selected according to the processing conditions (temperature and atmosphere) and the properties of heat resistance, thermal conduction and corrosion resistance. When

la température de chauffage atteint 15000C, par exemple, les-  the heating temperature reaches 15000C, for example, the-

récipients peuvent être constitués de matériaux réfractaires à  containers may be made of refractory materials to

base de nitrure de silicium, d'alumine ou de silice-alumine.  base of silicon nitride, alumina or silica-alumina.

Lorsqu'ils doivent résister à des flammes de températures excédant 2000 C, ils peuvent être constitués de matières réfractaires à base de carbure de silicium, de carbone ou de graphite. Ils peuvent être constitués à l'aide d'un seul  When they have to withstand flames with temperatures exceeding 2000 C, they may consist of refractory materials based on silicon carbide, carbon or graphite. They can be formed with the help of a single

matériau ou de plusieurs couches de divers matériaux.  material or multiple layers of various materials.

Les récipients à réaction 10 peuvent être du type ouvert ou du type fermé et étanche. Des exemples typiques de forme de récipients à réaction sont illustrés par les figures 6. Plus précisément, les récipients à réaction 10 peuvent être sous la forme de simples tubes (figure 6A), de tubes percés de trous pour le passage du gaz formé et du gaz de réaction - 11(figure 6B), de tubes ayant une partie centrale saillante formant partie intégrante des tubes en vue d'assurer une conduction efficace de la chaleur vers le tube de coeur (figure 6C), et de tubes fermés munis d'un couvercle pour permettre une fermeture étanche à l'air (figure 6D). Les récipients à réaction 10 sont munis sur leurs parties supérieure et inférieure de dépressions et de saillies correspondantes agencées pour permettre aux récipients d'être  The reaction vessels 10 may be of the open type or of the closed and sealed type. Typical examples of the shape of reaction vessels are illustrated in FIGS. 6. More precisely, the reaction vessels 10 may be in the form of simple tubes (FIG. 6A), tubes pierced with holes for the passage of the gas formed and the reaction gas - 11 (FIG. 6B), tubes having a projecting central part forming an integral part of the tubes in order to ensure an efficient conduction of heat towards the core tube (FIG. 6C), and of closed tubes provided with a cover to allow airtight closure (Figure 6D). The reaction vessels 10 are provided on their upper and lower parts with depressions and corresponding projections arranged to allow the containers to be

superposés de manière stable les uns sur les autres.  stacked steadily on top of each other.

Le diamètre externe des récipients à réaction 10 peuv-nt être choisis de manière appropriée. Le rendement thermique du traitement est augmenté ainsi que la facilité de séparation des poussières adhérant aux récipients durant leur transit, de manière inversement proportionnelle au jeu existant entre la paroi interne du tube de coeur 2 et la paroi extérieure des récipients à réaction. De ce faite le diamètre extérieur des récipients à réaction 10 doit être choisi de façon que le jeu soit au moins de 2 mm environ. Lorsque ce jeu est inférieur à 2 mm, bien que l'énergie électrique de chauffage du tube de coeur pour l'obtention de whiskers de forme uniforme puisse être préservée, la possibilité de dépôt de matières étrangères dans l'intervalle entre le tube de coeur 2 et les récipients à réaction 10 s'accroît et peut  The outer diameter of the reaction vessels 10 may be appropriately selected. The thermal efficiency of the treatment is increased as well as the ease of separation of the dust adhering to the containers during their transit, inversely proportional to the clearance existing between the inner wall of the core tube 2 and the outer wall of the reaction vessels. As a result, the outer diameter of the reaction vessels 10 must be chosen so that the clearance is at least about 2 mm. When this game is less than 2 mm, although the electric heating energy of the core tube for obtaining uniformly shaped whiskers can be preserved, the possibility of depositing foreign matter in the interval between the core tube 2 and the reaction vessels 10 increases and can

aboutir à l'arrêt de l'opération.  terminate the operation.

De préférence le jeu est de l'ordre de 2 à 15 mm. Si le jeu dépasse 15 mm, la consommation d'énergie dépasse la normale. Le diamètre interne du tube de coeur, bien que non défini de manière précise, est compris la plupart du temps  Preferably the clearance is of the order of 2 to 15 mm. If the clearance exceeds 15 mm, the energy consumption exceeds normal. The inner diameter of the heart tube, although not precisely defined, is mostly included

entre 50 et 500 mm.between 50 and 500 mm.

Le four décrit ci-dessus peut fonctionner de différentes manières. On va décrire à titre d'exemple un fonctionnement typique du four illustré sur les figures 1 et 5. Le gaz inerte est introduit par la conduite d'entrée 7' pour vider l'intérieur du tube du coeur 2 dans lequel sont empilés des récipients à réaction 10 vides et pour créér une atmosphère inerte. Ensuite, de l'eau est envoyée dans les refroidisseurs (3,3' et 5,5'), et de l'électricité est envoyée -12- dans les barres conductrices 4,4' pour élever la température  The oven described above can work in different ways. By way of example, a typical operation of the oven illustrated in FIGS. 1 and 5 will be described. The inert gas is introduced through the inlet pipe 7 'to empty the inside of the tube of the core 2 in which containers are stacked. reaction 10 empty and to create an inert atmosphere. Then, water is sent into the coolers (3,3 'and 5,5'), and electricity is sent into the conductive bars 4,4 'to raise the temperature

du tube de coeur au niveau prescrit.  from the heart tube to the prescribed level.

Puis, le récipient à réaction lOa est retiré à la base du four grâce à la coopération du dispositif de transfert vertical 15 et du dispositif élévateur 17. La tige d'actionnement du dispositif d'amenée 18 est avancée de sorte que le récipient à réaction lO0b soit reçu sur la partie supérieure du bras 21 en forme de fourchette et que le récipient à réaction lOa soit poussé sur le côté par l'extrémité dudit bras 21. Le récipient à réaction lOa ainsi poussé par le bras 21 est déplacé latéralement au bas du four et transféré sur la table d'attente 19. Ensuite, la pièce support 20 fixée à l'extrémité de la tige d'actionnement du dispositif élévateur 17 est déplacée vers le haut dans l'intervalle entre les branches du bras en forme de fourchette 21 jusqu'à ce qu'elle prenne en charge le récipient à réaction lO0b se trouvant au- dessus. Puis, la tige d'actionnement du dispositif d'amenée 18 est rétractée pour ramener le bras 21 dans sa position d'origine. En répétant le processus ci-dessus, les récipients à réaction 10 empilés les uns au dessus des autres à la partie supérieure du tube de coeur 2 peuvent être évacués à la base du four les uns après les autres. Dans le même temps, à la partie supérieure du four, après que le récipient à réaction l0a a été retiré de la base du four, les moyens d'amenée 11 sont actionnés pour présenter un à un au tube de coeur 2 les récipients à réaction 10 remplis à l'avance du mélange à traiter grâce à un dispositif de mesure approprié (non représenté). Plus particulièrement, les récipients -à réaction 10 se trouvant sur la plaque de support 12 sont déplacés latéralement en direction du tube de coeur 2 par l'actionnement de la tige du dispositif de transfert horizontal.13. Le tube de guidage 14 met en alignement les récipients à réaction 10 un à un par rapport à l'axe du tube de coeur 2. Ensuite, les récipients à réaction sont descendus à l'intérieur du tube de coeur 2 par  Then, the reaction vessel 10a is removed at the base of the furnace by the cooperation of the vertical transfer device 15 and the lifting device 17. The actuating rod of the feed device 18 is advanced so that the reaction vessel 10Ob is received on the upper part of the fork-shaped arm 21 and the reaction vessel 10a is pushed to the side by the end of said arm 21. The reaction vessel 10a thus pushed by the arm 21 is moved laterally to the bottom. of the oven and transferred to the waiting table 19. Next, the support piece 20 fixed to the end of the actuating rod of the lifting device 17 is moved upwards in the gap between the arms of the arm fork 21 until it takes over the reaction vessel 10b located above. Then, the actuating rod of the feed device 18 is retracted to return the arm 21 to its original position. By repeating the above process, the reaction vessels 10 stacked one above the other at the top of the core tube 2 can be discharged at the base of the furnace one after the other. At the same time, at the upper part of the oven, after the reaction vessel 10a has been removed from the base of the oven, the supply means 11 are actuated to present one by one to the core tube 2 the reaction vessels 10 filled in advance of the mixture to be treated by means of a suitable measuring device (not shown). More particularly, the reaction vessels 10 on the support plate 12 are moved laterally towards the core tube 2 by the operation of the horizontal transfer device rod 13. The guide tube 14 aligns the reaction vessels 10 one by one with respect to the axis of the core tube 2. Then, the reaction vessels are lowered inside the core tube 2 by

l'abaissement du dispositif de transfert vertical 15.  lowering the vertical transfer device 15.

En réglant la vitesse à laquelle les récipients à réaction sont extraits de la base du four et circulent -13- l'intérieur du tube de coeur, les récipients à réaction sont maintenus dans la zone de température la plus élevée désirée pendant une durée prédéterminée, en sorte que le mélange à traiter contenu dans les récipients à réaction peuvent recevoir le traitement thermique prescrit. Pendant ce temps, le gaz inerte peut être introduit par le conduit d'entrée 7, ou bien le gaz formé peut être extrait par le tube de sortie 7', afin de régler l'atmosphère à l'intérieur du tube de coeur. Dans ce cas, l'écoulement du gaz et celui du mélange en cours de traitement s'effectue dans des sens opposés, le contrôle de l'atmosphère lors de l'application de la chaleur est réalisé très facilement et la chaleur du gaz est utilisée afin de préchauffer le mélange à  By controlling the rate at which the reaction vessels are withdrawn from the furnace base and circulating inside the core tube, the reaction vessels are held in the highest desired temperature zone for a predetermined period of time, so that the mixture to be treated contained in the reaction vessels can receive the prescribed heat treatment. During this time, the inert gas may be introduced through the inlet conduit 7, or the gas formed may be withdrawn through the outlet tube 7 'to regulate the atmosphere within the core tube. In this case, the flow of the gas and that of the mixture being treated is effected in opposite directions, the control of the atmosphere during the application of the heat is carried out very easily and the heat of the gas is used. to preheat the mixture to

traiter. Ainsi, le four présente une grande efficacité.  treat. Thus, the oven has a high efficiency.

Même lorsque le composant volatile provenant du mélange en traitement, du fait que la température du mélange s'élève, provoque la formation d'un dépôt, puisque le gaz ascendant vient en contact à contre courant avec les récipients à réaction, il n'y a pas de possibilité que ce composant volatile se recombine avec le mélange en cours de  Even when the volatile component from the mixture being processed, because the temperature of the mixture rises, causes the formation of a deposit, since the ascending gas comes into countercurrent contact with the reaction vessels, there is has no possibility that this volatile component recombines with the current mixture of

traitement à l'intérieur de la zone à température de réaction.  treatment inside the reaction temperature zone.

De même, lorsque le composant volatile forme un dépôt sur la paroi du tube de coeur, ce dépôt est râclé par les récipients à réaction au cours de leur descente par frottement sur les parois du tube de coeur. Par suite, ce dépôt ne peut entraverle fonctionnement du four.  Similarly, when the volatile component forms a deposit on the wall of the core tube, this deposit is scraped by the reaction vessels during their descent by friction on the walls of the core tube. As a result, this deposit can not interfere with the operation of the oven.

Pendant le traitement thermique à une température élevée, le mélange à traiter est chauffé à l'état statique par rapport aux récipients à réaction du fait qu'il se trouve préservé à l'intérieur des récipients à réaction et n'est pas exposé à des chocs externes. Même lorsque le mélange à traiter est constitué de matières premières présentant de faibles propriétés de conservation de forme, il peut subir un  During the heat treatment at a high temperature, the mixture to be treated is heated in a static state with respect to the reaction vessels because it is preserved inside the reaction vessels and is not exposed to external shocks. Even when the mixture to be treated consists of raw materials having low shape retention properties, it can undergo a

traitement thermique à des températures élevées.  heat treatment at high temperatures.

Ce four vertical convient pour diverses formes de traitement thermique à diverses températures jusqu'à environ 24000C. Il fonctionne de manière avantageuse pour l'obtention de whiskers de carbure de silicium et procure les effets désirables ci-après. Ainsi, la présente invention contribue de -14-  This vertical furnace is suitable for various forms of heat treatment at various temperatures up to about 24000C. It works advantageously for obtaining silicon carbide whiskers and provides the following desirable effects. Thus, the present invention contributes to

manière très importante à l'économie.  very important way to the economy.

a) le mélange à traiter est soumis à un traitement thermique tout en étant maintenu stable dans des récipients à réaction qui sont automatiquement transférés par gravité. Ainsi, il reçoit le traitement thermique de manière statique par rapport aux récipients à réaction. Aucun moyen de  a) the mixture to be treated is subjected to heat treatment while being kept stable in reaction vessels which are automatically transferred by gravity. Thus, it receives the heat treatment statically with respect to the reaction vessels. No way to

convoyage n'est nécessaire à l'intérieur du four.  Conveying is necessary inside the oven.

b) même lorsqu'un dépôt quelconque se forme dans le tube de coeur, il est râclé au cours de la descente des récipients à réaction. Ainsi on ne rencontre pas les inconvénients du four horizontal. c) puisque l'écoulement de gaz et le déplacement du mélange à traiter s'opèrent dans des sens opposés, le réglage de l'atmosphère à l'intérieur du four peut être effectué aisément et la chaleur du gaz peut être utilisée avantageusement pour  b) even when any deposit is formed in the core tube, it is scraped during the descent of the reaction vessels. Thus we do not encounter the disadvantages of the horizontal furnace. c) since the flow of gas and the displacement of the mixture to be treated are effected in opposite directions, the adjustment of the atmosphere inside the furnace can be carried out easily and the heat of the gas can be advantageously used to

préchauffer le mélange à traiter.  preheat the mixture to be treated.

d) du fait des effets ci-dessus, le four constitue un dispositif idéal pour l'obtention de whiskers de carbure de silicium qui comporte une réaction en  d) because of the above effects, the furnace constitutes an ideal device for obtaining silicon carbide whiskers which comprises a reaction in

phase gazeuse.gas phase.

EXEMPLE 1:EXAMPLE 1

Une poudre de carbone quelconque et une poudre de bioxyde de silicium quelconque ont été mélangées de manière uniforme. Le mélange résultant a été versé sur une hauteur de mm dans des récipients à réaction tubulaire de graphite (figure 6B) et introduit dans un tube de coeur de graphite de 3 m de longueur et 150 mm de diamètre interne d'un four vertical. Les autres conditions de réaction ainsi que les  Any carbon powder and any silicon dioxide powder were mixed uniformly. The resulting mixture was poured over a height of mm into graphite tubular reaction vessels (FIG. 6B) and introduced into a graphite core tube 3 m in length and 150 mm internal diameter of a vertical furnace. The other reaction conditions as well as the

résultats sont indiqués dans le tableau 1 ci-après.  The results are shown in Table 1 below.

Pendant la période d'élévation de température jusqu'à ce que l'intérieur du four atteigne un état constant et pendant le refroidissement du four après l'arrêt du fonctionnement, l'intérieur du tube de coeur a été maintenu rempli de gaz argon. Apres achèvement de la réaction thermique, le produit de réaction a été enlevé des récipients en graphite, placé dans un creuset en céramique et chauffé à  During the period of temperature rise until the inside of the oven reaches a constant state and during the cooling of the oven after stopping operation, the inside of the core tube has been kept filled with argon gas. After completion of the thermal reaction, the reaction product was removed from the graphite containers, placed in a ceramic crucible and heated to

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-15- 750 C dans un four électrique pour éliminer par combustion la  750 C in an electric oven to eliminate by combustion the

poudre de carbone non altérée.unaltered carbon powder.

On a poursuivi pendant 30 jours le fonctionnement du four de la manière décrite ci-dessus. Pendant ce temps, l'intérieur du tube de coeur n'a été obturé par aucun dépôt et les récipients en graphite ainsi que le tube de coeur n'ont  The operation of the oven was continued for 30 days as described above. During this time, the inside of the heart tube has not been closed by any deposit and the graphite containers and the core tube have not

révélé aucune usure due à l'oxydation.  revealed no wear due to oxidation.

EXEMPLE COMPARATIF 1:COMPARATIVE EXAMPLE 1

Des mélanges de diverses poudres de carbone et de diverses poudres de bioxyde de silicium ont été soumis à un traitement thermique en suivant la procédure de l'exemple 1 excepté différentes conditions de réaction comme indiqué dans le tableau 1.l Les résultats sont également indiqués dans le  Mixtures of various carbon powders and various silicon dioxide powders were heat-treated by following the procedure of Example 1 except for different reaction conditions as shown in Table 1. The results are also shown in FIG. the

tableau 1.table 1.

: uT Ja::: :: :-TeInDT:-: -:: oOZZ: 80'0:5: 00'1: oi TITS: ú0'0eu[: -q gTa-e;ed: :-a'ed DTS::-;9Dep aFnS :-d aidtuaxs:  : uT Ja ::: ::: -TeInDT: -: - :: oOZZ: 80'0: 5: 00'1: oi TITS: ú0'0eu [: -q gTa-e; ed:: -a'ed DTS :: -; 9Dep aFnS: -d aidtuaxs:

:::: À: :::::: ::::: AT: :::::: :

:-Te uoud:: : :-uF@3xaR::ú:: : 8::: ::: : *:Tuou. 05105: + ú: Sl 80'0 5 00'1 a.ITS:ú0'0:k-P.pep aTns:;D aidua x:  : -Te uoud :::: -uF @ 3xaR :: ú ::: 8 ::: :::: *: Tuou. 05105: + ú: Sl 80'0 5 00'1 a.ITS: ú0'0: k-P.pep aTns:; D helps x:

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::001-o0: 01 z'o::OO ODITS L'O: auoq: 1-1 gJexed: :: :'::: ':: ::-aeD ap TTON WODu eIdLxS: :: -o: -:I--::: r':p u-ze:::T eTd1s:: :: :: 00T-0ú: lll: Z: 008T: ZZ'0:: 00'O:@ @o.rITS: Zz'0: gF4e oq 4:I-I 4atdz:  :: 001-o0: 01 z'o :: OO ODITS The O: auoq: 1-1 gJexed :: :: :: ':::' :: :: - aeD ap TTON WODu eIdLxS: :: -o: - : I - ::: r ': p u-ze ::: T eTd1s :: :: :: 00T-0u: lll: Z: 008T: ZZ'0 :: 00'O: @ @ o.rITS: Zz'0: gF4e oq 4: II 4atdz:

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OOZ-05 Z-H+l: Z: 0081: >1'0 t, Z'O:3p auTx2ea: Zl'O -XeD aP aTON:ú-1 @Tdu'xS: :*::o -: : o: :: ú1:- p eoIs:-:::3 i :: 0OZ0S: llll: Z: 08T: 80'0: S: OO'IFS ú0'0:ap aFnS:Z-I aTdaxs: :::: :: ::: -:: u qT:: :: OOZOú: 1I: Z: OSLI: Sú0'0'0:: 0-tiTS : ú0'0:,,a-e,p aTns:1-1 atcIdxs: :: MA::::Tc : :-..: _:_ __ _ _ _ __: __::_:::: ed&: :::: : (q :: : :: ::: : ::: (): m oCas: (o) aaIg3,:( D/):(:0/6) 3usq (uo/6): ouesqns :: (ur,) :slaa:sru:@posaid a:a6uelI::a-u4ed: " _.:a'4u:dd:l:p * kk4.kkkkkk k *kkk klTaP UI L'(T aMO :: (E): sap: sduaq:a mk--n dg: np: (c*: suap 9I P suap sadizez$g:PmaHSFt:UOF;E=OZ::- - -: aXua::;iodie-T): - -:-- - --:-- ^ -: - -- - -:: :: S3p:@p (T) uor"ceq;r: _edd: ZOFS/D:unDTITs ap: o,  OOZ-05 Z-H + 1: Z: 0081:> 1'0 t, Z'O: 3p auTx2ea: Zl'O -XeD aP aTON: ú-1 @ Tdu'xS:: * :: o -:: o: :: ú1: - p eoIs: - ::: 3 i :: 0OZ0S: llll: Z: 08T: 80'0: S: OO'IFS ú0'0: ap aFnS: ZI aTdaxs: ::::: : ::: - :: u qT :: :: OOZOu: 1I: Z: OSLI: Sú0'0'0 :: 0-tiTS: ú0'0: ,, ae, p aTns: 1-1 atcIdxs: :: MA :::: Tc:: - ..: _: _ __ _ _ _ __: __ :: _ :::: ed &: ::::: (q ::: :: :::: ::: (): m oCas: (o) aaIg3, :( D /) :(: 0/6) 3usq (uo / 6): ouesqns :: (ur,): slaa: sru: @posaid a: a6uelI :: a -u4ed: "_.:a'4u:dd:l:p * kk4.kkkkkk k * kkk klTaP UI The (T aMO :: (E): sap: sduaq: a mk - n dg: np: ( c *: suap 9I P suap sadizez $ g: PmaHSFt: UOF; E = OZ :: - - -: aXua ::; iodie-T): - -: - - -: - ^ -: - - - - :: :: S3p: @p (T) uor "ceq; r: _edd: ZOFS / D: aDTITs ap: o,

::m.n6uoi:uoDT4puo: ap sUolTPTPUoDq::Tsue:: pxo-q p aTlpnod -  :: m.n6uoi: uoDT4puo: ap sUolTPTPUoDq :: Tsue :: pxo-q p aTlpnod -

::::: : :: :: co T,4 EriEl j -17- (1) Les chiffres de température la plus élevée représentent les valeurs les plus élevées obtenues par la mesure de température instantanée de la surface extérieure du centre de l'élément chauffant en utilisant un thermomètre à radiation. Les valeurs du temps de séjour représentent les durées requises pour des échantillons traversant les zones à température excédant 1400"C dans l'exemple comparatif 1-3 et les zones à température excédant 1500 C dans tous  ::::: :: :: :: co T, 4 EriEl j -17- (1) The highest temperature figures represent the highest values obtained by the instantaneous temperature measurement of the outer surface of the center of the heating element using a radiation thermometer. The residence time values represent the times required for samples passing through the zones at a temperature exceeding 1400 ° C. in Comparative Example 1-3 and zones with a temperature exceeding 1500 ° C. in all

les autres exemples.the other examples.

(2) Les marques portées dans le tableau représentent les résultats obtenus en brûlant des échantillons de carbure de silicium produits en vue d'enlever le carbone résiduel, en appréciant les whiskers obtenus par l'observation SEM, et en classant les pourcentages de whiskers en carbure de silicium selon une échelle à six degrés, dans laquelle +++++ représente 100%, ++++ de 100 à 95%, +++ de 95 à 90%, ++ de 90 à 60%, + de 60 à 0%, et - 0%. Le rendement de SiC de type 8 (granules et whiskers) sur la base du contenu SiO2 de la matière première utilisée a été de 100% dans tous les exemples excepté les exemples comparatifs 1-3 et 1-4. Dans l'exemple comparatif 1-4, du SiC du typed a  (2) The marks in the table represent the results obtained by burning samples of silicon carbide produced in order to remove the residual carbon, by appreciating the whiskers obtained by the observation SEM, and by classifying the percentages of whiskers in silicon carbide according to a six-degree scale, in which +++++ represents 100%, ++++ from 100 to 95%, +++ from 95 to 90%, ++ from 90 to 60%, + 60 to 0%, and - 0%. The yield of Type 8 SiC (granules and whiskers) based on the SiO 2 content of the raw material used was 100% in all examples except Comparative Examples 1-3 and 1-4. In Comparative Example 1-4, SiC from typed a

également été trouvé en grande quantité.  also been found in large quantities.

(3) Les plages représentent celles des longueurs de la plupart des whiskers. Chacun des échantillons comportait naturellement des whiskers de longueur supérieure à la limite supérieure et quelques-uns de longueur inférieure à  (3) The ranges represent those of the lengths of most whiskers. Each of the samples naturally had whiskers longer than the upper limit and some with a length of less than

la limite inférieure de la plage concernée.  the lower limit of the range concerned.

-18--18-

EXEMPLE 2EXAMPLE 2

Une poudre de carbone quelconque et une poudre de bioxyde de silicium quelconque ont été mélangées de manière uniforme. Le mélange résultant a été versé dans des récipients à réaction tubulaire de graphite hermétiquement bouché de 40 mm de diamètre intérieur, de 48 mm de diamètre extérieur et de mm de hauteur. Les récipients ont été placés au centre d'un four à réaction à résistance électrique horizontal et chauffés sous un flux d'argon à la température ambiante à un niveau prédéterminé. Les autres conditions de réaction sont indiquées dans le tableau 2 ci-après. Après achèvement de la réaction thermique, le mélange a été enlevé des récipients en graphite, placé dans un creuset en céramique, et chauffé à 750"C dans un four électrique pour enlever par combustion la poudre de carbone non altérée. Les résultats sont indiqués dans le  Any carbon powder and any silicon dioxide powder were mixed uniformly. The resulting mixture was poured into tightly plugged graphite tube reaction vessels of 40 mm ID, 48 mm ID and mm height. The containers were placed in the center of a horizontal electrical resistance reaction furnace and heated under a stream of argon at room temperature to a predetermined level. The other reaction conditions are shown in Table 2 below. After completion of the thermal reaction, the mixture was removed from the graphite vessels, placed in a ceramic crucible, and heated at 750 ° C in an electric oven to burn off the unaltered carbon powder. the

tableau 2.table 2.

EXEMPLE COMPARATIF 2:COMPARATIVE EXAMPLE 2

Divers mélanges de poudres de carbone et de poudres de silicium ont été soumis à un traitement thermique en suivant la procédure de l'exemple 2 excepté les conditions de réaction différentes indiquées dans le tableau 2. Les  Various blends of carbon powders and silicon powders were subjected to a heat treatment by following the procedure of Example 2 except for the different reaction conditions shown in Table 2.

résultats sont également indiqués dans le tableau 2.  The results are also shown in Table 2.

TABLEAU 2TABLE 2

oudDiesit: Condition.:: eP oudre debiofde ee Longueuro Poudre de carbone d ide e eLngusur d. siiciium appa- ddes de______ e( C/Sio2: rentes. Tem ra=:formmationf:wskers Remexques Ci2 ' éa mt lwbiskers: ReMaus :( -p- --- du =- (ture de À des: (3) :C Ncm dsea 1 dansit o _ densité port mà lange: chauffaga:whiskers(,): Noma de la Noma de lao e sdstece apparent=- Ud o apparenter: mOlo)(g/cm')( c) (1)(2) substatice, g/cm substance: (g/ao3)oo ee e s Exenpe2-1 Suie d'acéty-: 0,03:Silios: 0/,O104 5:0,035 os 1600: 50-200 00 e lene e : Exemple 2-1Suie d'acéty-:0, 03 Silice: 01,04 5 0,035 ': 1600 s: 50-200 lène e - 0e0 e e Exempe 2-2 Suie'acét-:003 Siice!,00 5: 0,08:1800: ++±++: 50-200: : Exemple 2-3: Noir de carbo-:0,12:Farine de:0,22: 4 0,14: 1750: +: 50-200 : rle. sili Oee e e C :ne:silice : Exemple 2-4Charbon actif:0,22:Farine de:0,22 o 4 0, 22: 1750: + +: 30-150: :. :: silice - O o : Exemnple cOm: Noir de car-: 1800 30100 0,17:Silice ' 1,00:4. 0,24: 1800 310 : paratif 2-1: bone: s: ::: Exeople n o 2 l pari2.Charbon actif S5ilice,1,00 5 0,30 1800 + 10-50: paratif 2-2 C ail 1 ::: : : : e Exermple cOan-: Suie d'acéty-:Fractionnom 0,03 Silice: 1,00 5: 0,08: 1400 +. altérée i: paratif 2-3: lène: :: :: : a!têre ira-: :::: : e: : e::: : portante: Exerple ccm-: Suie d'acêty5 008 2100 - SiC parti-: 0,03: Silice:1005 0,08 : 2: paratif 2-4 ne culaire uni: ::: À::: -:cu!aren ::: : : ::: e: r: Tr1t:   oudDiesit: Condition. :: eP oudre debiofde ee Lengtho carbon powder d ide eLngusur d. (C / Sio2: rents: Tem ra =: formmationf: wskers Remexques Ci2 'éa mt lwbiskers: ReMaus :( -p- --- du = - (ture of To: (3): C Ncm dsea 1 dansit o _ density port mixed: heated: whiskers (,): Noma of the Noma de lao e sdstece apparent = - Ud o to relate: mOlo) (g / cm ') (c) (1) (2) substatice, g / cm substance: (g / ao3) oo ee es Exenpe2-1 Acetate Soy: 0.03: Silios: 0 /, O104 5: 0.035 os 1600: 50-200 00 eene e: Example 2 Acetyl salt: 0.03 Silica: 0.04 0.035: 1600 s: 50-200 eene 0e 0 ee Exempt 2-2 Su2-acetone: 003 Si: 0.05: 0.08: 1800: ++ ± ++: 50-200:: Example 2-3: Carbon black: 0.12: Flour of: 0.22: 4 0.14: 1750: +: 50-200: rle. Oe ee C: ne: silica: Example 2-4Active carbon: 0.22: Flour of: 0.22 o 4 0, 22: 1750: + +: 30-150::. :: silica - O o: Exemnple cOm : Black of car-: 1800 30100 0.17: Silica '1.00: 4. 0.24: 1800 310: parative 2-1: bone: s: ::: Exeople no 2 l pari2.Carbon active S5ilice, 1 , 00 5 0.30 1800 + 10-50: parative Example 2: Cleavage: 0.03 Silica: 1.00: 0.08: 1400 +. altered i: parative 2-3: lene: :: ::: a! ira head: ::::: e:: e :::: carrying: Exerple ccm-: acety Soy5 008 2100 - SiC parti- : 0.03: Silica: 1005 0.08: 2: parative 2-4 plain notch: ::: To ::: -: cu! Aren ::: ::: e: r: Tr1t:

::: : : e:.::::: e :.

-2o0- (1) Le -temps de séjour à la température de chauffage a été de 6 heures dans l'exemple comparatif 2-3 et de 1 heure dans  -2o0- (1) The residence time at the heating temperature was 6 hours in Comparative Example 2-3 and 1 hour in

tous les autres exemples.all the other examples.

(,i) Les marques indiquées représentent les résultats obtenus en brûlant des échantillons de carbure de silicium produits pour enlever le carbone résiduel, en évaluant les whiskers obtenus par observation microscopique, et en classant les pourcentages de whiskers en carbure de silicium avec la même échelle que celle utilisée dans le tableau 1. Le rendement de Sic de type (granules et whiskers) sur la base du contenu SiO2 de la matière première utilisée a été de 100% dans tous les exemples  (, i) The marks shown represent the results obtained by burning samples of silicon carbide produced to remove residual carbon, by evaluating the whiskers obtained by microscopic observation, and by classifying the percentages of silicon carbide whiskers with the same scale. than that used in Table 1. The yield of Sic type (granules and whiskers) on the basis of the SiO2 content of the raw material used was 100% in all the examples

excepté les exemples comparatifs 2-3 et 2-4.  except Comparative Examples 2-3 and 2-4.

(3) Les plages représentent celles des longueurs de la plupart des whiskers. Chacun des échantillons comportait naturellement des whiskers de longueur supérieure à la limite supérieure et quelques-uns de longueur inférieure à  (3) The ranges represent those of the lengths of most whiskers. Each of the samples naturally had whiskers longer than the upper limit and some with a length of less than

celle de la limite inférieure de la plage concernée.  that of the lower limit of the range concerned.

-21--21-

Claims (13)

R E V E N D I C A T IONS --=:=.-.=:=--.=:=:=:=:=.-=_R E V E N D I C AT IONS - =: = .-. =: = -. =: =: =: =: = .- = _ 1. Procédé pour l'obtention de whiskers de carbure de silicium de type, caractérisé en ce qu'il consiste à mélanger de la poudre de carbone et de la poudre de bioxyde de silicium, à placer le-mélange résultant dans un récipient à réaction suivant une densité apparente non supérieure à 0,23 j cm, et à chauffer ledit mélange à des fins de réaction dans une atmosphère de gaz inerte à une température comprise entre  Process for obtaining type silicon carbide whiskers, characterized in that it comprises mixing carbon powder and silicon dioxide powder, placing the resulting mixture in a reaction vessel at a bulk density of not more than 0.23 cm, and heating said mixture for reaction in an inert gas atmosphere at a temperature between 1500 et 2000 C.1500 and 2000 C. 2. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la densité apparente est située entre 0,03 et 0,15 g/cm3.  2. Method according to claim 1, characterized in that the bulk density is between 0.03 and 0.15 g / cm3. 3. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la densité apparente de ladite poudre de carbone n'est3. Process according to claim 1, characterized in that the apparent density of said carbon powder is not pas supérieure à 0,12 g/cm3.not more than 0.12 g / cm3. 4. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la poudre de carbone est constituée d'au moins un élément choisi parmi le groupe formé par le coke de poix, le coke de pétrole, le charbon, l'anthracite, le noir de carbone, le charbon actif et les suies à combustion incomplète  4. Process according to claim 1, characterized in that the carbon powder consists of at least one element selected from the group formed by pitch coke, petroleum coke, coal, anthracite, black and white. carbon, activated carbon and incomplete combustion soot d'acétylène.acetylene. 5. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ladite poudre de bioxyde de silicium est constituée d'au moins un élément choisi parmi le groupe formé par le bioxyde de silicium, le carbone blanc, l'acide silicique et la  5. Process according to claim 1, characterized in that said silicon dioxide powder consists of at least one element chosen from the group formed by silicon dioxide, white carbon, silicic acid and silica. farine de silice.silica flour. 6. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ledit gaz inerte est constitué par au moins un élément =oisi parmi le groupe formé par l'argon et le monoxyde de carbone.  6. Process according to claim 1, characterized in that said inert gas consists of at least one element = oisi among the group formed by argon and carbon monoxide. 7. Four à réaction continue vertical comportant des réchauffeurs électriques, caractérisé en ce qu'il comprend un tube de coeur disposé axialement à l'intérieur d'une enveloppe de four, des refroidisseurs et des conduites d'air disposés aux deux extrémités opposées de ladite enveloppe de four, des -35 moyens pour amener des récipients à réaction un à un à la -22- partie supérieure dudit tube de coeur, et des moyens pour supporter et évacuer lesdits récipients à réaction à l'extrémité inférieure du tube de coeur, de manière à soumettre le mélange de matières premières contenu dans lesdits récipients à réaction à un traitement thermique7. Vertical continuous reaction furnace comprising electric heaters, characterized in that it comprises a core tube arranged axially inside an oven casing, chillers and air ducts arranged at the two opposite ends of the furnace. said furnace casing, means for bringing reaction containers one by one to the upper portion of said core tube, and means for supporting and discharging said reaction vessels at the lower end of the core tube; so as to subject the raw material mixture contained in said reaction vessels to a heat treatment continu à l'intérieur dudit tube de coeur.  continuous inside said core tube. 8. Four à réaction continue vertical suivant la revendication 7, caractérisé en ce que lesdits moyens pour supporter et évacuer lesdits récipients à réaction comprennent un dispositif élévateur, un dispositif d'amenée, et une table d'attente, lesdits dispositifs d'élévation et d'amenée étant munis respectivement d'un bras en forme de fourchette à deux doigts et d'une pièce de support susceptible de se déplacer à l'intérieur de ladite fourchette, disposés aux extrémités des  Vertical continuous reaction furnace according to claim 7, characterized in that said means for supporting and discharging said reaction vessels comprise a lifting device, a feed device, and a stand-up table, said lifting devices and with a two-finger fork-shaped arm and a support piece capable of moving inside said fork, arranged at the ends of the tiges d'actionnement desdits dispositifs.  actuating rods of said devices. 9. Four à réaction continue vertical suivant la revendication 7, caractérisé en ce que ledit dispositif d'amenée comporte un dispositif de transfert horizontal, un  9. vertical continuous reaction furnace according to claim 7, characterized in that said feed device comprises a horizontal transfer device, a dispositif de transfert vertical et une plaque-support.  vertical transfer device and a support plate. 10. Four à réaction continue vertical suivant la revendication 7, caractérisé en ce que la différence entre le diamètre interne du tube de coeur et le diamètre externe des  Vertical continuous reaction furnace according to Claim 7, characterized in that the difference between the internal diameter of the core tube and the external diameter of the récipients à réaction n'est pas inférieur à 2 mm.  reaction vessels is not less than 2 mm. 11. Four à réaction continue vertical suivant la revendication 10, caractérisé en ce que ladite différence est  Vertical continuous reaction furnace according to claim 10, characterized in that said difference is comprise entre 2 et 15 mm.between 2 and 15 mm. 12. Four à réaction continue vertical suivant la revendication 7, caractérisé en ce que lesdits moyens pour supporter et évacuer les récipients à réaction comportent, à distance de la surface de ladite plaque support, un dispositif pour saisir à la manière d'une pince les récipients à réaction  12. Continuous vertical reaction furnace according to claim 7, characterized in that said means for supporting and discharging the reaction vessels comprise, at a distance from the surface of said support plate, a device for gripping, in the manner of a gripper, the reaction vessels et un dispositif pour les transférer.  and a device for transferring them. 13. Four à réaction continue vertical suivant la revendication 8, caractérisé en ce que ledit bras en forme de fourchette à deux doigts comporte un dispositif pour saisir à  13. Continuous vertical reaction furnace according to claim 8, characterized in that said fork-shaped arm with two fingers comprises a device for gripping at la manière d'une pince lesdits récipients à réaction.  the manner of a clamp said reaction vessels.
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