FR2561673A1 - APPARATUS FOR REPLENISHING A MOLTEN MASS - Google Patents

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FR2561673A1
FR2561673A1 FR8503508A FR8503508A FR2561673A1 FR 2561673 A1 FR2561673 A1 FR 2561673A1 FR 8503508 A FR8503508 A FR 8503508A FR 8503508 A FR8503508 A FR 8503508A FR 2561673 A1 FR2561673 A1 FR 2561673A1
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FR
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melt
tube
crucible
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FR8503508A
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Andrew A Menna
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Schott Solar CSP Inc
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Mobil Solar Energy Corp
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    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/34Edge-defined film-fed crystal-growth using dies or slits
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/02Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the melt

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Abstract

A.APPAREIL DESTINE A REAPPROVISIONNER UNE MASSE FONDUE PENDANT QU'UNE OPERATION DE FORMATION DE CRISTAL EST EN COURS, CET APPAREIL COMPRENANT UN TUBE DE DISTRIBUTION CREUX 205 ET UNE BOITE DE STOCKAGE CREUSE 210 ENTOURANT CELUI-CI. B.LE TUBE DE DISTRIBUTION 205 ET LA BOITE DE STOCKAGE 210 SONT DISPOSES CONCENTRIQUEMENT L'UN PAR RAPPORT A L'AUTRE, DE FACON A REALISER UNE CHAMBRE DE STOCKAGE 237. UNE RESERVE DE MATIERE DE DEPART 240 EST INTRODUITE DANS CETTE CHAMBRE DE STOCKAGE 237 ET, AU FUR ET A MESURE DE CONSOMMATION DE LA MASSE FONDUE, ON FAIT MONTER LA BOITE DE STOCKAGE 210 POUR QUE LA MATIERE QU'ELLE CONTIENT TOMBE PAR L'EXTREMITE SUPERIEURE OUVERTE 215 DU TUBE DE DISTRIBUTION 205 QUI LA DIRIGE VERS LA MASSE FONDUE. C.APPLICATION : FORMATION DE CRISTAUX.A. APPARATUS INTENDED TO SUPPLY A MELT MASS WHILE A CRYSTAL FORMATION OPERATION IS IN PROGRESS, THIS APPARATUS INCLUDING A HOLLOW DISTRIBUTION TUBE 205 AND A HOLLOW STORAGE BOX 210 SURROUNDING THEM. B. THE DISTRIBUTION TUBE 205 AND THE STORAGE BOX 210 ARE ARRANGED CONCENTRICALLY WITH RESPECT TO THE OTHER, SO AS TO REALIZE A STORAGE CHAMBER 237. A RESERVE OF STARTING MATERIAL 240 IS INTRODUCED IN THIS STORAGE CHAMBER 237 AND, AT THE FUR AND MEASURE OF CONSUMPTION OF THE MELTED MASS, THE STORAGE BOX 210 IS MOUNTED SO THAT THE MATERIAL IT CONTAINS FALLS THROUGH THE UPPER OPEN END 215 OF THE DISTRIBUTION TUBE 205 WHICH DIRECTS IT TOWARDS MASS FONDUE. C. APPLICATION: FORMATION OF CRYSTALS.

Description

La présente invention concerne un appareil d'obtention deThe present invention relates to a device for obtaining

corps cristallins à partir d'une masse fondue et a trait notam-  crystalline bodies from a melt and, in particular,

ment à un appareil de réapprovisionnement en matière fondue.  a refueling machine.

Divers procédés ont été mis au point permettant d'obtenir des corps cristallins à partir d'une masse fondue. Un de ces procédés est connu sous le nom de technique de croissance par appport de film limié à la tranche appelée (appelée également procédé EFG). Les détails du procédé EFG ont été décrits et illustrés dans le brevet américain n 3 591 348 délivré le 6 juillet 1971 au nom de Harold E. LaBelle, Jr., pour "Method of Growing Crystalline Materials", et le brevet américain n 3 687 633 délivré le 29 aoOt 1972 au nom de Harold E. LaBelle, Jr. et al. pour "Apparatus for Growing Crystalline Bodies From  Various methods have been developed for obtaining crystalline bodies from a melt. One of these methods is known as a film delivery growth technique which is lim- ited to the called wafer (also referred to as the EFG process). The details of the EFG process have been described and illustrated in U.S. Patent No. 3,591,348 issued July 6, 1971 to Harold E. LaBelle, Jr., for "Method of Growing Crystalline Materials", and U.S. Patent No. 3,687. 633 issued August 29, 1972 to Harold E. LaBelle, Jr. et al. for "Apparatus for Growing Crystalline Bodies From

The Melt".The Melt ".

Selon le procédé EFG, on place une matrice de formation de capillaires en association avec une masse fondue d'une matière liquide de départ pour qu'une face de formation de la matrice  According to the EFG method, a capillary formation matrix is placed in association with a melt of a starting liquid material so that a formation face of the matrix

soit mouillée par un film liquide de la matière de départ prove-  wetted with a liquid film of the starting material

nant de la masse fondue par action capillaire. On obtient ensuite  melt by capillary action. We then obtain

un corps cristallin en introduisant d'abord un germe de cristal-  a crystalline body by first introducing a crystal germ

lisation dans le film liquide de la matière de départ pour déclencher la formation de cristaux et en éloignant ensuite le germe de cristallisation de la face de formation à une vitesse contrôlée de sorte que le film liquide de la matière de départ reste pris en sandwich entre le corps cristallin en formation et  in the liquid film of the starting material to initiate the formation of crystals and then moving the crystallization seed away from the forming face at a controlled rate so that the liquid film of the starting material remains sandwiched between the crystalline body in formation and

la face de formation de la matrice. Du fait que le film liqui-  the forming face of the matrix. Since the liquid film

de de la matière de départ sur la surface de formation de la matrice est réapprovisionné en continu depuis la masse fondue par  of the starting material on the matrix forming surface is continuously replenished from the melt by

les capillaires de la matrice, on peut obtenir des corps cristal-  the capillaries of the matrix, crystal bodies can be obtained

lins continus de dimensions importantes à partir de la masse fondue. Une conséquence du procédé ci-dessus est que la matière die  Continuous linings of significant dimensions from the melt. A consequence of the above process is that the die material

départ liquide de la masse fondue se consomme lors de la forba-  The liquid start of the melt is consumed during the

tion de cristaux. Jusqu'à présent, aucun moyen fiable et efficace n'a été disponible permettant de rajouter de la matière de départ de manière continue dans la masse fondue pendant que la formation de cristaux EFG est en cours. A moins de pouvoir effectuer un réapprovisionnement en masse fondue pendant que la formation est  crystals. So far, no reliable and efficient means have been available to continuously add starting material to the melt while EFG crystal formation is in progress. Unless it can perform a melt replenishment while the formation is

en cours, l'opération de formation de cristaux doit être totale-  in progress, the crystal formation operation must be complete-

ment arrêtée pour permettre de rajouter de la nouvelle matière de départ à la masse fondue épuisée. Malheureusement, l'obligation d'arrêter l'opération de formation de cristaux de temps à autre pour recharger la masse fondue entraîne certains problèmes. Notamment, l'arrêt (et le démarrage) d'une opération de formation de cristaux EFG prend du  stopped to allow new starting material to be added to the spent melt. Unfortunately, the requirement to stop the crystal formation operation from time to time to recharge the melt causes some problems. In particular, stopping (and starting) an EFG crystal formation operation takes

temps et coOte cher. En outre, l'obligation d'arrêter une opéra-  time and expensive cost. In addition, the obligation to stop an opera-

tion de formation de cristaux pour recharger la masse fondue  formation of crystals to recharge the melt

influe sur la longueur du corps cristallin en cours de forma-  affects the length of the crystalline body being formed.

tion. La longueur maximale d'un cristal continu pouvant être réalisée est limitée par la fréquence à laquelle cette opération de formation de cristaux doit être arrêtée pour recharger la masse fondue. En outre, après un redémarrage ou un arrêt d'une opération de formation de cristaux, le système de formation de cristaux doit se réadapter aux conditions optimales de formation de cristaux ou les quitter. Pendant cette période d'adaptation du système, le cristal qui se forme risque d'être d'une qualité inférieure à celle normalement obtenue. Malheureusement, des exigences de conception ont tendance à limiter les dimensions pratiques maximales du creuset qui contient la masse fondue, et par conséquent la quantité maximale de matière de départ que  tion. The maximum length of a continuous crystal that can be made is limited by the frequency at which this crystal-forming operation is to be stopped to recharge the melt. In addition, after restarting or stopping a crystal-forming operation, the crystal-forming system must readjust to or leave the optimal conditions for crystal formation. During this period of adaptation of the system, the crystal that is formed may be of a lower quality than normally obtained. Unfortunately, design requirements tend to limit the maximum practical dimensions of the crucible that contains the melt, and therefore the maximum amount of starting material that

contient le creuset au démarrage.contains the crucible at startup.

Des tentatives déjà effectuées visant l'introduction automa-  Attempts already made to automatically introduce

tique de matière de départ supplémentaire dans une masse fondue pendant un procédé faisant appel à une matrice capillaire ou à un organe de mise en forme équivalent sont peu satisfaisantes pour plusieurs raisons, dont la perturbation excessive de la masse fondue lors de l'entrée de matière de départ supplémentaire dans le creuset, un manque de fiabilité, des dimensions excessives, un coût élevé et une complication de la conception des éléments  In the case of a process involving a capillary matrix or an equivalent shaper, there is a lack of additional material in the melt for a number of reasons, including excessive disruption of the melt upon entry of material. additional starting point in the crucible, unreliability, excessive dimensions, high cost and complication of element design

voisins du matériel.neighbors of the material.

Par conséquent. le but principal de la présente invention est de fournir un nouveau moyen permettant de recharger une masse fondue pendant qu'une opération de formation de cristaux est en cours, si bien que cette opération de formation de cristaux  Therefore. the main object of the present invention is to provide a new means for reloading a melt while a crystal-forming operation is in progress, so that this crystal-forming operation

puisse se poursuivre sans interruption pendant de longues durées.  can continue uninterrupted for long periods of time.

Un autre but de l'invention est de réaliser un nouvel appa-  Another object of the invention is to provide a new

reil de recharge d'une masse fondue, appareil conçu pour rechar- ger la masse fondue sensiblement à la même vitesse à laquelle la  a melt-charging device, apparatus designed to recharge the melt at substantially the same rate at which the

masse fondue s'épuise lors d'une opération de formation de cris-  melt is exhausted during a crys-

taux. Un autre but est de réaliser un appareil de rechargement  rate. Another goal is to make a reloading device

d'une masse fondue, qui est de construction simple, de fabrica-  of a melt, which is of simple construction, of

tion peu coûteuse et de fonctionnement fiable.  inexpensive and reliable operation.

Un autre but de l'invention est de réaliser un appareil de recharge de la masse fondue pouvant être utilisé conjointement avec un appareil de formation de corps cristallins conformément  Another object of the invention is to provide a melt charging apparatus which can be used in conjunction with a crystalline body forming apparatus in accordance with the present invention.

au procd3 EFG5 ainsi que conjointement avec un appareil de for-  in the EFG5 process as well as in conjunction with a

mation de corps cristallins selon d'autres procédés.  crystalline bodies according to other methods.

Un autre but encore de l'invention est de réaliser un appa-  Another object of the invention is to provide a

reil de recharge de la masse fondue apte à fonctionner depuis une position à l'intérieur d'un corps cristallin creux à mesure que  a charging coil of the melt capable of operating from a position within a hollow crystalline body as

le corps se forme à partir de la masse fondue.  the body is formed from the melt.

Ces buts et d'autres sont réalisés selon la présente inven-  These and other goals are achieved according to the present invention.

tion grâce à un nouvel appareil de recharge d'une masse fondue comprenant un tube creux distributeur entouré d'une boite de stockage creuse. Le tube creux de distribution comprend une paroi  thanks to a new device for refilling a melt comprising a hollow dispensing tube surrounded by a hollow storage box. The hollow distribution tube comprises a wall

latérale, une extrémité supérieure ouverte et une extrémité infé-  side, an open upper end and an inferior extremity

rieure ouverte, et la boîte de stockage creuse, quant à elle, comprend une paroi latérale, une extrémité supérieure ouverte et une extrémité inférieure fermée, l'extrémité inférieure fermée de la boîte de stockage étant percée d'une ouverture centrale. Le tube de distribution et la boîte sont disposés concentriquement  the hollow storage box, in turn, comprises a side wall, an open upper end and a closed lower end, the closed lower end of the storage box being pierced with a central opening. The distribution tube and the box are arranged concentrically

l'un par rapport l'autre5 la paroi laterale du tube de distri-  relative to each other5 the side wall of the distribution tube

bution étant reçue, de manière coulissante à frottement doux, dans ltouverture centrale de l'extrémité inférieure fermée de la Doite de stockage. L'extrémité supérieure du tube de distribution se situs 3 l'intérieur de la boîte de stockage tandis que son entraiit' inférieure se situe à l'extérieur de la boîte de stockage. A l'intérieur de la boîte de stockage, entre la paroi latérale du tube de distribution et la paroi latérale de la boîte de stockage, on place une réserve de matériau de départ destinée à être rajoutée dans la masse fondue, l'extrémité inférieure du tube de distribution étant positionnée au-dessus de la masse fondue à recharger. Lors de la formation de cristaux, on déplace  Bution is smoothly slidingly received in the central opening of the closed bottom end of the storage channel. The upper end of the dispensing tube is located inside the storage box while its lower end is on the outside of the storage box. Inside the storage box, between the side wall of the distribution tube and the side wall of the storage box, a reserve of starting material is placed to be added to the melt, the lower end of the dispensing tube being positioned above the melt to be refilled. When forming crystals, we move

la boîte de stockage vers le haut par rapport au tube de distri-  the storage box upwards relative to the distribution tube

bution et, au fur et à mesure de son déplacement, la matière de départ contenue dans la boîte de stockage est portée vers le haut au-delà de l'extrémité supérieure du tube de distribution et elle tombe automatiquement, sous l'effet de la pesanteur, dans l'extrémité supérieure ouverte du tube de distribution qui la  bution and, as it moves, the starting material contained in the storage box is carried upward beyond the upper end of the dispensing tube and falls automatically, under the effect of the gravity, in the open upper end of the dispensing tube which

dirige dans la masse fondue.directs in the melt.

Une forme d'exécution de la présente invention est décrite ci-après à titre d'exemple, en référence aux dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue oblique du mode de réalisation préféré de la présente invention, certaines portions étant arrachées; - la figure 2 est une vue en coupe, en élévation latérale, de l'appareil de la figure 1; - la figure 3 est une vue en coupe, en élévation latérale,  An embodiment of the present invention is hereinafter described by way of example with reference to the accompanying drawings, in which: - Fig. 1 is an oblique view of the preferred embodiment of the present invention, some portions being cut away; ; FIG. 2 is a sectional view, in side elevation, of the apparatus of FIG. 1; FIG. 3 is a sectional view, in side elevation,

montrant comment la présente invention peut être incorpo-  showing how the present invention can be incorporated into

rée dans un appareil de formation de cristaux EFG type; - la figure 4 est une vue partielle en coupe suivant la ligne 4-4 de la figure 3; et - la figure 5 est une vue oblique montrant une autre façon d'incorporer la présente invention dans un appareil de  in a typical EFG crystal forming apparatus; - Figure 4 is a partial sectional view along the line 4-4 of Figure 3; and FIG. 5 is an oblique view showing another way of incorporating the present invention into a

formation de cristaux EFG type.formation of EFG crystals type.

En se reportant d'abord aux figures 1 et 2, le mode de réalisation préféré de la présente invention comprend de manière générale un tube de distribution creux 5 et une boUte de stockage  Referring first to Figures 1 and 2, the preferred embodiment of the present invention generally includes a hollow dispensing tube and a storage box.

creuse 10.hollow 10.

Le tube de distribution 5 est cylindrique, comprenant une paroi latérale 12, une extrémité supérieure ouverte 15 et une  The dispensing tube 5 is cylindrical, comprising a side wall 12, an open top end 15 and a

extrémité inférieure ouverte 20.open bottom end 20.

La boîte de stockage 10 est cylindrique, comprenant une paroi latérale 22 et une extrémité supérieure ouverte 25. Son extrémité inférieure est obturée par une paroi d'extrémité 30. Le diamètre intérieur de la boite est sensiblement plus grand que le diamètre extérieur du tube de distribution. La paroi d'extrémité  The storage box 10 is cylindrical, comprising a side wall 22 and an open upper end 25. Its lower end is closed by an end wall 30. The inside diameter of the box is substantially larger than the outside diameter of the tube. distribution. The end wall

inférieure 30 est percée d'une ouverture centrale circulaire 35.  lower 30 is pierced with a circular central opening 35.

L'ouverture 35 est dimensionnée pour que son diamètre ne soit que  The opening 35 is dimensioned so that its diameter is only

légèrement supérieur au diamètre extérieur du tube de distribu-  slightly greater than the outside diameter of the dispensing tube

tion. Le tube de distribution 5 et la boîte de stockage 15 sont  tion. The distribution tube 5 and the storage box 15 are

réunis de façon concentrique et télescopique, le tube de distri-  concentrated concentrically and telescopically, the distribution tube

bution étant reçu dans l'ouverture 35 de la boîte de stockage 10 pour lui permettre d'y coulisser à frottement doux. L'extrémité supérieure du tube de distribution 15 est disposée à l'intérieur de la boîte de stockage 10 tandis que son extrémité inférieure 20 est disposée à l'extérieur de la boite de stockage 10.o La paroi latérale du tube de distribution 12 et la paroi latérale 22 de la boîte délimitent entre elles un intervalle ou une région 37. La région 37 constitue une chambre de stockage à volume variable. Le volume de la chambre 37 varie en fonction du mouvement de la boîte de stockage 10 selon une direction axiale par rapport au  Bution is received in the opening 35 of the storage box 10 to allow it to slide smoothly. The upper end of the dispensing tube 15 is disposed inside the storage box 10 while its lower end 20 is disposed outside the storage box 10.o The side wall of the dispensing tube 12 and the side wall 22 of the box delimit between them an interval or a region 37. The region 37 constitutes a variable volume storage chamber. The volume of the chamber 37 varies according to the movement of the storage box 10 in an axial direction relative to the

tube de distribution 5.dispensing tube 5.

Pour préparer l'appareil que l'on vient de décrire en vue de son utilisation, on place d'abord le tube de distribution 5 pour que son extrémité inférieure ouverte 20 soit située directement au-dessus de la masse fondue devant être rechargée. Ensuite, on place la boîte de stockage 10 sur le tube de distribution 5 pour  To prepare the apparatus that has just been described for use, the dispensing tube 5 is first placed so that its open lower end 20 is located directly above the melt to be refilled. Next, the storage box 10 is placed on the dispensing tube 5 for

qu'une partie importante de la paroi latérale du tube de distri-  a significant part of the side wall of the distribution tube

bution 12 dépasse la paroi d'extrémité inférieure fermée 30 de la boîte de stockage de la manière représentée sur les figures 1 et 2. Ensuite, on place dans la boîte de stockage 10 une quantité de  FIG. 12 extends beyond the closed lower end wall 30 of the storage box as shown in FIGS. 1 and 2. Next, a quantity of storage box 10 is placed in the storage box 10.

matière de départ destinée à recharger la masse fondue (générale-  starting material for recharging the melt (generally

ment sous forme de petites pastilles ou petits éclats 40) suffi-  in the form of small pellets or chips.

sante pour remplir la chambre 37, comme le montre la figure 2.  to fill chamber 37, as shown in FIG.

Lors du remplissage, la boîte 10 doit être positionnée pour que  When filling, the box 10 must be positioned so that

la chambre 37 présente un volume maximal.  the chamber 37 has a maximum volume.

Pour introduire ultérieurement la matière de départ 40 dans la masse fondue, selon les besoins, il suffit de déplacer la  To subsequently introduce the starting material 40 into the melt, as needed, simply move the

boîte de stockage 10 vers le haut par rapport au tube de distri-  storage box 10 upwardly relative to the dispensing tube

bution 5. Cette action a pour effet de porter le niveau de la matière de départ 40 dans la chambre 37 au-dessus du niveau de l'extrémité supérieure ouverte 15 du tube de distribution. Au fur et à mesure de ce déplacement, la matière de départ la plus haute tombe, sous l'effet de la pesanteur, dans l'extrémité supérieure ouverte du tube de distribution qui la dirige vers la masse fondue située directement au-dessous de l'extrémité inférieure ouverte 20 du tube de distribution (voir la figure 2). Au fur et mesure du déplacement vers le haut de la boîte de stockage 10, de la matière de départ contenue dans la chambre 37 tombe dans le tube 5 qui la dirige vers la masse fondue. Le déplacement vers le haut continu de la boite de stockage 10 par rapport au tube de distribution 5 aura pour conséquence l'introduction sensiblement continue de matière de départ supplémentaire dans la masse  This action has the effect of bringing the level of the starting material 40 in the chamber 37 above the level of the open upper end 15 of the dispensing tube. As this displacement proceeds, the highest starting material falls, under the effect of gravity, into the open upper end of the distribution tube which directs it to the melt located directly below the open lower end 20 of the dispensing tube (see Figure 2). As the storage box 10 is moved upwardly, starting material contained in the chamber 37 falls into the tube 5 which directs it to the melt. The continuous upward movement of the storage box 10 relative to the distribution tube 5 will result in the substantially continuous introduction of additional starting material into the mass.

fondue, jusqu'à ce que la matière de départ contenue dans l'in-  melted until the starting material contained in the

tervalle 37 s'épuise. L'arrêt du mouvement de la boîte 10 se  Tervalle 37 is running out. Stopping the movement of the box 10 is

traduira par l'arrêt d'introduction de matière de départ supplé-  will result in the discontinuation of the introduction of additional starting

mentaire dans la masse fondue.in the melt.

Grâce à un dimensionnement approprié du tube de distribution et de la boite de stockage 10, et en ajustant de manière appo- priée la vitesse de déplacement de la boîte 10 par rapport au tube 5, on peut faire en sorte que l'appareil décrit assure une introduction continue dans la masse fondue de matière de départ supplémentaire sensiblement à la même vitesse à laquelle la  By appropriate sizing of the dispensing tube and the storage box 10, and by fittingly adjusting the speed of movement of the box 10 relative to the tube 5, it is possible to ensure that the device described ensures continuous introduction into the melt of additional starting material at substantially the same rate at which the

matière de départ s'épuise dans la masse fondue lors d'une opéra-  Starting material is depleted in the melt during an operation.

tion de formation de cristaux.formation of crystals.

Sur les figures 3 et 4, on voit la présente invention incor-  Figures 3 and 4 show the present invention incor-

porée dans un appareil de formation de cristaux EFG. Sauf certai-  pored in an EFG crystal formation apparatus. Except

nes indications ci-après, l'appareil de recharge de la masse fondue est sensiblement le même que celui représenté sur les figures 1 et 2 et décrit ci-dessus, et l'appareil de formation de cristaux EFG est sensiblement le même que l'appareil décrit et illustré par la demande de brevet américaine au nom de R.W. Stormont et al., n 289 410, déposée le 3 août 1981 pour  As indicated below, the melt charging apparatus is substantially the same as that shown in FIGS. 1 and 2 and described above, and the EFG crystal forming apparatus is substantially the same as the apparatus described and illustrated by the American patent application on behalf of RW Stormont et al., No. 289,410, filed August 3, 1981 for

"Apparatus for Growing Tubular Crystalline Bodies".  "Apparatus for Growing Tubular Crystalline Bodies".

Plus précisément, l'appareil de formation de cristaux EFG comprend de manière générale une enceinte de four 110, dans laquelle sont disposes un creuset 112, une matrice capillaire 114 constituée en partie par le creuset, un suscepteur thermique 116  More specifically, the EFG crystal forming apparatus generally comprises a furnace enclosure 110, in which a crucible 112, a capillary matrix 114 constituted in part by the crucible, a thermal susceptor 116 are arranged.

du creuset, deux ensembles creux et concentriques de post-  of the crucible, two hollow and concentric sets of post-

réchauffement 118 et 120, un ensemble porte-germe 122 et un appareil 200 de recharge de la masse fondue. Comme on va le décrire en plus de détail ci-après, une partie de l'appareil de recharge 200 est portée de manière mobile par une tige 124 fixée sur un mécanisme de traction 126. L'enceinte de four 110 est entourée d'une bobine de chauffage par radiofréquence 128 qui est reliée à une source d'alimentation à radiofréquence contr1ôlable (non représentée) de construction classique. En fonctionnement, le creuset 112 est rempli d'une charge initiale 130 de la matière  warming 118 and 120, a seed carrier assembly 122 and a melt charging apparatus 200. As will be described in more detail below, a portion of the charging apparatus 200 is movably carried by a rod 124 attached to a pull mechanism 126. The oven enclosure 110 is surrounded by a radiofrequency heater coil 128 which is connected to a controllable radio frequency power source (not shown) of conventional construction. In operation, the crucible 112 is filled with an initial charge 130 of the material

de départ de formation de cristaux (par exemple silicium, alpha-  crystal formation (for example silicon, alpha-

alumine, et analogue).alumina, and the like).

Plus précisément, l'enceinte de four 110 est réalisée-  More specifically, the furnace enclosure 110 is made

partir de deux tubes en quartz cylindrique, concentrique et espacés l'un de l'autre. Bien que cela ne soit pas représenté,  from two cylindrical quartz tubes, concentric and spaced from each other. Although this is not represented,

l'enceinte de four 110 est fermée en haut et en bas pour permet-  the furnace enclosure 110 is closed up and down to allow

tre de contr81ler le milieu à l'intérieur de l'enceinte.  to control the environment inside the enclosure.

Le creuset 112 est un cylindre circulaire court et creux, ouvert vers le haut et disposé au centre de l'enceinte 110. Le creuset 112 est en un matériau compatible avec la matière de formation de cristaux, c'est-àdire s'il s'agit de la formation  The crucible 112 is a short, hollow, upwardly open circular cylinder disposed in the center of the enclosure 110. The crucible 112 is made of a material compatible with the crystal-forming material, that is, if it is is training

d'un ruban de silicium, le creuset 110 est en graphite.  of a silicon ribbon, the crucible 110 is made of graphite.

La matrice capillaire 114 fait partie intégrante de la paroi latérale du creuset 110, comme le décrit le brevet américain no ' 230 674. La matrice 114 a une face d'extrémité supérieure 132 conformée et dimensionnée pour permettre de contrôler la forme et la dimension du cristal en formation. Ainsi, par exefmpiie la face 132, vue en plan, est constituée d'un polygône régulier creux à paroi mince= La face d'extrémité 132 présente en  The capillary matrix 114 is an integral part of the side wall of the crucible 110, as described in US Pat. No. 230,674. The die 114 has an upper end face 132 shaped and dimensioned to allow the shape and size of the die to be controlled. crystal in formation. Thus, for example, the face 132, seen in plan, consists of a regular thin-walled hollow polygon.

cutre! son cenkre un intervalle capillaire 134 de forme analo-  cutre! its center a capillary interval 134 of similar shape

gue. Une pluralité de fentes allongées 135 est réalisée h l'inté-  ford. A plurality of elongated slots 135 are made in the

rieur de la paroi latérale du creuset 112, pour assurer la commu-  side wall of the crucible 112, to ensure the

nication entre l'intervalle capillaire 134 et l'intérieur du creuset, pour que la charge en fusion 130 puisse s'écouler vers l'intervalle capillaire dans lequel elle monte par action capil- laire pour réapprovisionner en matière la face 132 au fur et à mesure de la formation du cristal. Comme le creuset 112, la matrice capillaire 114 est en un matériau compatible avec la matière de formation de cristal, par exemple s'il s'agit de la formation d'un ruban de silicium, la matrice capillaire 114 est  nication between the capillary interval 134 and the interior of the crucible, so that the melt load 130 can flow to the capillary range in which it mounts by capillary action to replenish the face 132 with respect to measurement of crystal formation. Like the crucible 112, the capillary matrix 114 is made of a material compatible with the crystal-forming material, for example if it is the formation of a silicon ribbon, the capillary matrix 114 is

en graphite.in graphite.

Le suscepteur thermique 116 est en général constitué d'un corps creux court, ouvert vers le haut, et ayant des dimensions lui permettant de recevoir à frottement doux le creuset 112. La hauteur du suscepteur 116 est sélectionnée pour que la matrice capillaire 114 puisse s'étendre vers le haut au-delà du haut du suscepteur. Le suscepteur 116 est en un matériau approprié, le choix étant fonction en partie de la fréquence d'excitation disponible de la bobine de réchauffement 128 et en partie des compatibilités des diverses matières présentes h l'intérieur du four. S'il s'agit de la formation d'un corps de silicium, le  The thermal susceptor 116 is generally constituted by a short hollow body, open upwards, and having dimensions enabling it to receive the crucible 112. The height of the susceptor 116 is selected so that the capillary matrix 114 can extend upward beyond the top of the susceptor. The susceptor 116 is of a suitable material, the choice being a function in part of the available excitation frequency of the heating coil 128 and partly of the compatibilities of the various materials present inside the oven. If it involves the formation of a silicon body, the

suscepteur 116 est en graphite.susceptor 116 is graphite.

Le sommet du suscepteur thermique 116 peut comporter un bouclier extérieur de protection contre le rayonnement 136 sous  The top of the thermal susceptor 116 may include an outer shield of radiation protection 136 under

forme de corps creux à paroi mince ayant une forme et une dimen-  thin-walled hollow body shape having a shape and size

sion extérieures analogues h celles du suscepteur 116 et compre-  similar to those of susceptor 116 and include

nant en général un rebord intérieur 137 présentant une forme  generally having an inner rim 137 having a shape

analogue à celle de la face d'extrémité 132 de la matrice capil-  similar to that of the end face 132 of the capillary matrix

laire 114. Le rebord 137 est situé sensiblement dans le même plan que la face d'extrémité 132 mais est séparé d'elle. Le bouclier  114. The flange 137 is located substantially in the same plane as the end face 132 but is separated from it. The shield

extérieur de protection contre le rayonnement 136 est de préfé-  outside protection against radiation 136 is preferably

rance en un matériau approprié, par exemple le molybdène s'il s'agit de la formation d'un cristal de siliciumo A l'intérieur de la matrice capillaire 114 est mcnté un bouclier intérieur de protection contre le rayonnement 38. Ce bouclier 138 comprend de manière générale une piuralité de plaques graphites parallèles entre elles et espacées les unes en face des autres. Le bouclier 138 est percé d'une ouverture centrale circulaire 139. Le bouclier intérieur 138 peut être porté à une certaine distance de la matrice 114 par une pluralité de goupilles 140 disposées sur la périphérie intérieure de la  In this case, the molybdenum in the case of the formation of a silicon crystal inside the capillary matrix 114 is formed into an inner protective shield 38. This shield 138 comprises generally a piurality of graphite plates parallel to each other and spaced opposite each other. The shield 138 is pierced by a circular central opening 139. The inner shield 138 may be brought to a distance from the die 114 by a plurality of pins 140 disposed on the inner periphery of the

matrice 114.matrix 114.

Des postes-réchauffeurs 118-120 sont disposés au-dessus de la face d'extrémité 132 de la matrice et concentriquement par rapport à elle. Le poste-réchauffeur extérieur 118 a la forme d'un prisme droit à extrémités ouvertes, sa face d'extrémité inférieure ayant la même forme que la face d'extrémité 132 de la  Heater positions 118-120 are disposed above the end face 132 of the die and concentrically to it. The external heater-station 118 is in the form of an open end straight prism, its lower end face having the same shape as the end face 132 of the

matrice mais plus grande qu'elle, c'est-à-dire les faces latéra-  matrix but larger than that, that is to say the lateral faces

les du poste-réchauffeur 118 sont disposées parallèlement au cOté correspondant du polygOne constitué par la face d'extrémité 132,  the post-heater 118 are arranged parallel to the corresponding side of the polygon formed by the end face 132,

et s'étendent sensiblement normalement au plan de la face d'ex-  and extend substantially normally to the plane of the face of ex-

trémité 132. De manière générale, l'ensemble de poste-réchauffe-  132. In general, the post-reheat

ment 118 est une structure à double paroi, comprenant une paroi intérieur de graphite 142 et une paroi extérieure 144 munie d'une isolation externe en feutre de carbone. Le poste-réchauffeur 118 est porté par une pluralité de goupilles 146 pour l'éloigner du  118 is a double walled structure, comprising an inner wall of graphite 142 and an outer wall 144 provided with an outer insulation of carbon felt. The post-heater 118 is carried by a plurality of pins 146 to move it away from the

rebord 137 du bouclier extérieur 136.  edge 137 of the outer shield 136.

Le poste-réchauffeur intérieur 120 comprend une paroi cylin-  The inner heater 120 comprises a cylindrical wall

drique 148, une plaque supérieure 150 et une section inférieure cOnique 152. La section cylindrique 148 présente un diamètre  148, a top plate 150 and a conical lower section 152. The cylindrical section 148 has a diameter

extérieur inférieur à celui d'un cercle tangent aux bords inté-  less than that of a circle tangent to the inner edges.

rieurs de la face d'extrémité 132 de la matrice 114. La plaque supérieure 150 est percée d'une ouverture centrale 153. La  The upper plate 150 is pierced with a central opening 153.

section cOnique 152 a la forme d'un cône tronqué creux à extrémi-  section 152 has the shape of a hollow truncated cone with

tés ouvertes fixé par son extrémité de grand diamètre à l'extré-  open tees attached by its large diameter end to the end

irmité inférieure de la section cylindrique 148. L'extrémité de  lower integrity of the cylindrical section 148. The end of

petit diamètre de la section cOnique 152 a un diamètre sensible-  The small diameter of the conical section 152 has a substantial diameter.

mient identique à celui de l'ouverture centrale 139 du bouclier  identical to that of the central aperture 139 of the shield

intérieur 138. A l'exception du haut du poste-réchauffeur inté-  138. With the exception of the top of the integral heating station

rieur 120, les parois de chaque section sont en général d'une conaffruction à paroi unique. Toutefois, de manière typique, le haut du poste-réchauffeur intérieur 120 est de construction à double paroi, la plaque supérieure 150 portant un matelas isolant en feutre de carbone 154 d'un diamètre inférieur. Le matelas isolant 154 est percé d'une ouverture centrale 155 identique à l'ouverture 153 de la plaque supérieure 150. Le poste-réchauffeur intérieur 120 est porté sur la face supérieure du bouclier inté- rieur 138 par sa section conique 152. La section cylindrique 148 du poste-réchauffeur intérieur est disposée de façon que son axe cylindrique soit sensiblement perpendiculaire au plan de la face  120, the walls of each section are generally of a conaffruction single wall. Typically, however, the top of the inner heater 120 is of double-walled construction with the upper plate 150 carrying a smaller diameter carbon felt insulation blank 154. The insulating blanket 154 is pierced with a central opening 155 identical to the opening 153 of the upper plate 150. The inner heating station 120 is carried on the upper face of the inner shield 138 by its conical section 152. cylindrical 148 of the inner post-heater is arranged so that its cylindrical axis is substantially perpendicular to the plane of the face

d'extrémité 132.132 end.

L'ensemble porte-germe 122 comprend un porte-germe 156 et un germe 158. Lorsqu'il s'agit de la formation d'un cristal de silicium, le porte-germe 156 est en graphite. Le porte-germe 156 est une plaque d'une dimension et d'une forme analogues à celles de la face d'extrémité 132 de la matrice 114. Le porte-germe 156 est percé d'un trou central 160 qui est agrandi en 162. Le porte-germe 156 est percé d'une pluralité d'ouvertures radiales  The seed carrier assembly 122 includes a seed carrier 156 and a seed 158. In the case of forming a silicon crystal, the seed carrier 156 is made of graphite. The seed carrier 156 is a plate of a size and shape similar to that of the end face 132 of the die 114. The seed holder 156 is pierced with a central hole 160 which is enlarged in a second position. The seed carrier 156 is pierced with a plurality of radial openings

164 de passage de gaz.164 gas passage.

Le germe 158 est de préférence un tronçon court d'un corps cristallin réalisé précédemment à l'aide du même appareil. La longueur du germe 158 est choisie pour dépasser la hauteur hors tout du post-réchauffeur 120 par l'épaisseur du porte-germe 156. Le germe 158 peut être fixé sur le porte-germe 156 par des  The seed 158 is preferably a short section of a crystalline body previously made using the same apparatus. The length of the seed 158 is chosen to exceed the overall height of the post-heater 120 by the thickness of the seed carrier 156. The seed 158 can be fixed on the seed carrier 156 by

vis en graphite.graphite screw.

L'appareil 200 permettant de recharger la masse fondue comprend un tube de distribution 205 et une boîte de stockage 210. Le tube de distribution 205 et la boîte de stockage 210 sont en un matériau compatible avec la matière de formation de cristal, par exemple s'il s'agit de la formation d'un ruban de silicium, le tube 205 et la boîte 206 sont en quartz et/ou carbone vitreux. Le tube de distribution 205 a son extrémité inférieure fixée au bouclier intérieur 138 par une pluralité de  The apparatus 200 for recharging the melt comprises a dispensing tube 205 and a storage box 210. The dispensing tube 205 and the storage box 210 are made of a material compatible with the crystal forming material, for example This is the formation of a silicon ribbon, the tube 205 and the box 206 are made of quartz and / or vitreous carbon. The distribution tube 205 has its lower end fixed to the inner shield 138 by a plurality of

supports en graphite 211 (figures 3 et 4), de sorte que l'extré-  graphite supports 211 (FIGS. 3 and 4), so that the end

mité inférieure du tube de distribution est disposée directement audessus de la charge fondue 130 que contient le creuset 112. Le  lower half of the distribution tube is disposed directly above the melted charge 130 that contains the crucible 112. The

tube de distribution 205 s'étend vers le haut sensiblement per-  distribution tube 205 extends upward substantially

pendiculairement au plan de la face d'extrémité 132 de la matri-  perpendicular to the plane of the end face 132 of the matrix

Il ce, traverse les ouvertures 153 et 154 de la plaque 150 et du matelas 154 et traverse enfin le contre-aldsage 162 et le trou  It this, through the openings 153 and 154 of the plate 150 and the mattress 154 and finally cross the counter-aldsage 162 and the hole

du porte-germe 156.of the seed carrier 156.

La boîte de stockage 210 reçoit le tube de distribution 205 à la manière d'un télescope, comme signale ci-dessus, de façon à délimiter une chambre de stockage 237 entre la surface extérieure du tube de distribution et la surface intérieure de la paroi latérale de la boîte de stockage. Le tube de distribution 205 s'étend en outre sensiblement perpendiculairement au plan de la face d'extrémité 132 de la matrice en traversant les ouvertures 153 et 155 de la plaque 150 et du matelas 154 ainsi que le contre-alésage 162 et le trou 160 du porte-germe 156o La boîte de stockage 210 a des dimensions telles que la surface extérieure de sa paroi latérale 222 s'adapte è frottement doux à la plaque 150 et au matelas 154. En même temps, la boite 210 a des dimensions telles que le diamètre de sa paroi latérale 222 est sensiblement inférieur au trou 160 du porte-germe 156. Toutefois, la boite 210 comprend en outre une collerette circulaire externe 274 située en une position intermédiaire de sa longueur, collerette qui  The storage box 210 receives the dispensing tube 205 in the manner of a telescope, as noted above, so as to delimit a storage chamber 237 between the outer surface of the dispensing tube and the inner surface of the side wall. from the storage box. The dispensing tube 205 further extends substantially perpendicular to the plane of the end face 132 of the die through the openings 153 and 155 of the plate 150 and the mattress 154 and the counterbore 162 and the hole 160 The storage box 210 has dimensions such that the outer surface of its side wall 222 fits smoothly to the plate 150 and the mattress 154. At the same time, the box 210 has dimensions such that the diameter of its side wall 222 is substantially smaller than the hole 160 of the seed carrier 156. However, the box 210 further comprises an outer circular flange 274 located at an intermediate position of its length, a collar which

s'emboîte à frottement dur dans le contre-alésage 162 du porte-  engages hard friction in the counter-bore 162 of the holder

qerme 156. La collerette 274 comprend une pluralité d'ouvertures de ventilation 278 disposées de façon à se situer à l'intérieur  The flange 274 comprises a plurality of ventilation openings 278 arranged so as to be located inside.

du trous 160. La collerette 274 est disposée sur la boite cylin-  160. The flange 274 is disposed on the cylindrical box.

drique 210 pour que la distance entre la collerette et l'extrémi-  210 so that the distance between the collar and the end

te inférieure fermée 230 de la boîte soit quelque peu inférieure à a langueur des plaques porte-germe 168, pour des raisons qui seront explicitées ci-après. L'extrémité supérieure de la boite cylindrique 210 est fixée de manière amovible à la tige 124 par des moyens bien connus, par exemple des vise La tige 124 est fixée a un mécanlisme de traction 126 par des moyens connuso Par conséquent, l.orsque le mécanisme de traction 126 tire la tige 124 var.le..aut, la bozte de stockage 210 se déplacera vers le haut par rapport au tube de distribution 205 et au creuset 1120 Lrs- de lassemblage de l'appareil décrit ci-dessus, on fixe d'abord le germe 158 sur le porte-germe 156e On introduit ensuite la coïte cylindrique 210 dans le trou central 160 du porte-germe  The lower closed 230 of the box is somewhat less than langueur seed plates 168, for reasons that will be explained below. The upper end of the cylindrical can 210 is removably attached to the rod 124 by well known means, for example screws. The rod 124 is attached to a pull mechanism 126 by known means. pulling mechanism 126 pulls the stem 124 var.le..aut, the storage box 210 will move upwards relative to the distribution tube 205 and the crucible 1120 Lrs- of the assembly of the apparatus described above, it is first fixes the seed 158 on the seed holder 156e. The cylindrical coit 210 is then introduced into the central hole 160 of the seed carrier.

156 pour que sa collerette 274 vienne s'emboîter dans le contre-  156 so that his collar 274 comes to fit into the counter

alésage 162 pour supporter le porte-germe 156. Il va de soi que, lorsque le porte-germe 156 est supporté de cette façon par la collerette 274, l'extrémité inférieure du germe 158 dépasse l'extrémité inférieure fermée 230 de la boîte 210. Ensuite, on emboîte la boîte de stockage 206 sur le tube de  Bore 162 for supporting the seed carrier 156. Of course, when the seed carrier 156 is supported in this way by the flange 274, the lower end of the seed 158 protrudes from the closed lower end 230 of the can 210 Then, the storage box 206 is nested on the tube of

distribution 205 et on la fait descendre jusqu'à ce que l'extré-  distribution 205 and down until the end

mité inférieure 158 se trouve à proximité de la face d'extrémité supérieure 132 de la matrice sans toutefois être en contact avec  lower mite 158 is close to the upper end face 132 of the die without being in contact with

iO elle.iO her.

A ce propos, il va de soi que, du fait que le germe 158 est dimensionné pour dépasser vers le bas le fond du porte-germe 156  In this respect, it goes without saying that, since the seed 158 is sized to protrude downwards the bottom of the germ carrier 156

d'une distance supérieure à la hauteur du poste-réchauffeur inté-  a distance greater than the height of the heating station

rieur 120, le germe 158 entrera en contact avec la face d'extré-  120, the seed 158 will come into contact with the end face.

mité 132 de la matrice avant que le porte-germe 156 n'entre en  mite 132 of the matrix before the seed carrier 156 enters into

contact avec le matelas isolant 154 situé sur le poste-réchauf-  contact with the insulation blanket 154 located on the warming station

feur. En outre, il va de soi que, en raison de la position parti-  feur. Moreover, it is obvious that, because of the

culière de la collerette 274 sur la boîte cylindrique 210, le germe 158 entrera en contact avec la face d'extrémité 132 de la matrice avant que l'extrémité inférieure fermée 230 de la boîte ne puisse entrer en contact avec les supports 211 qui s'étendent entre l'extrémité inférieure du tube de distribution 205 et le  In the case of the flange 274 on the cylindrical box 210, the seed 158 will contact the end face 132 of the die before the closed lower end 230 of the box can come into contact with the supports 211 which extend between the lower end of the delivery tube 205 and the

bouclier intérieur 138 de protection contre le rayonnement.  inner shield 138 of radiation protection.

On introduit ensuite la matière de départ 240 dans la chambre 237 jusqu'à ce qu'elle soit au niveau de l'extrémité supérieure du tube de distribution 205. L'appareil est alors prêt pour commencer la formation d'un cristal. (Il est à noter que, au démarrage, le creuset est rempli de matière de départ pour former la masse fendue 130 et la matière contenue dans la chambre 137 est destinée à remplacer la charge initiale dans le creuset au  The starting material 240 is then introduced into the chamber 237 until it is at the upper end of the dispensing tube 205. The apparatus is then ready to begin formation of a crystal. (It should be noted that, at startup, the crucible is filled with starting material to form the slotted mass 130 and the material contained in the chamber 137 is intended to replace the initial charge in the crucible.

fur et à mesure de sa consommation par la formation du cristali.  as it is consumed by the formation of cristali.

On chauffe le four pour fondre la charge dans le creuset. La face  The oven is heated to melt the charge in the crucible. The face

d'extrémité 232 de la matrice est portée à une température zupâ-  the end 232 of the matrix is brought to a zup-

rieure au point de fusion de la matiàre constitutive du germe 205 et on descend ensuite le germe jusqu'à ce qu'il entre en contact avec la face d'extrémité 132 de la matrice. la portion pu germe en contact avec la matrice fondra, mouillant de ce fait la face d'extrémité et la mettant en liaison avec la masse fondue dans le  below the melting point of the constituent material of the seed 205 and the seed is then lowered until it comes into contact with the end face 132 of the matrix. the seed portion in contact with the matrix will melt, thereby wetting the end face and connecting it to the melt in the

capillaire 134. Ensuite, on met en action le mécanisme de trac-  capillary 134. Then, the mechanism of trac-

tion 126 pour monter la tige 124 et, avec elle, la boîte de stockage 210. A mesure que la boîte 210 monte le long du tube de distribution 205, le fait que sa collerette 274 est en prise avec le porte-germe, celui-ci est également porté vers le haut. A mesure que le porte-germe monte, le germe 158 s'éloigne de la  126 to mount the rod 124 and, with it, the storage box 210. As the box 210 mounts along the dispensing tube 205, the fact that its flange 274 engages with the seed carrier, the it is also worn up. As the germ carrier goes up, the seed 158 moves away from the

matrice et la matière fondue du germe mouillant la face d'extré-  matrix and the melt of the germ wetting the end face.

mite de la matrice est étirée par la tension superficielle en un film mince entre le germe et la face d'extrémité de la matrice. A mesure que leporte-germe poursuit son éloignement de la face d'extrémité de la matrice, la portion du film liquide la plus  Mite of the matrix is stretched by the surface tension into a thin film between the seed and the end face of the matrix. As the seed carrier continues to move away from the end face of the matrix, the portion of the most liquid film

proche du germe 158 subit une baisse de température. Plus préci-  near the germ 158 undergoes a drop in temperature. More precise

sément, elle commence à se solidifier à mesure que sa température descend au-dessous du point de fusion de la matière de départ, formant de ce fait la structure cristalline recherchée. Entre temps, la matière de départ de la masse fondue 130 monte par action capillaire pour remplacer la matière de départ mouillant la face d'extrémité de la matrice, permettant ainsi une formation  it begins to solidify as its temperature falls below the melting point of the starting material, thereby forming the desired crystalline structure. Meanwhile, the melt starting material 130 mounts by capillary action to replace the starting material wetting the end face of the die, thereby enabling formation

continue de cristaux.continuous crystals.

Conjointement avec cette formation de cristal, le mouvement vers le haut de la boîte 210 fait que la matière de départ dans la chambre de stockage 237 monte au-delà du sommet du tube 205, de sorte qu'il tombe, sous l'effet de la pesanteur, dans le tube  In conjunction with this crystal formation, the upward movement of the box 210 causes the starting material in the storage chamber 237 to rise past the top of the tube 205, so that it falls under the effect of gravity, in the tube

de distribution qui la dirige vers la masse fondue 130. La matiè-  distributing it to the melt 130. The material

re de départ solide rajoutée se liquéfiesous l'effet du chauffage continu et se confond dans la masse fondue. Ainsi, la masse fondue est réapprovisionnée en continue par la matière de départ  The solid starting point added liquefies under the effect of continuous heating and merges into the melt. Thus, the melt is continuously replenished by the starting material

nouvelle, jusqu'h épuisement de la matière de départ supplémen-  new, until exhaustion of the additional starting material

taire dans la boîte de stockage.shut up in the storage box.

Du fait de raccorder l'appareil de réapprovisionnement en matibre fondue 200 au même mécanisme de traction 126 qui géloigne le corps cristallin en formation de la face d'extrémité de la matrica on est sûr que l'appareil de réapprovisionnement en matière.FndJue arrêtera automatiquement l'alimentation de la masse fondue en matière de départ supplémentaire si l'opération de formation de cristal s'arrêtetemporairement. En outre, en choisissant judicieusement les dimensions du tube de distribution 205 et de la boîte de stockage 210, de l'un par rapport à l'autre, ainsi qu'au four de formation de cristaux, on peut adapter la vitesse à laquelle l'appareil alimente la masse fondue quasi exactement à la vitesse de consommation de la matière de  By connecting the melt replenisher 200 to the same pulling mechanism 126 which moves the crystalline body away from forming the end face of the die, it is certain that the material replenishing apparatus will be automatically stopped. supplying the melt with respect to additional departure if the crystal-forming operation is stopped and temporarily. In addition, by judiciously choosing the dimensions of the distribution tube 205 and the storage box 210, relative to each other, as well as to the crystal-forming furnace, the speed at which the apparatus feeds the melt almost exactly at the rate of consumption of the material of

départ dans la masse fondue. Si bien que, si la vitesse de forma-  start in the melt. So, if the speed of training

tion de cristaux augmente, la vitesse d'alimentation augmentera automatiquement de manière correspondante et, si la vitesse de  If the crystal speed increases, the feed speed will automatically increase correspondingly and, if the speed of

formation de cristaux diminue, la vitesse d'alimentation diminue-  formation of crystals decreases, the feeding speed decreases

ra automatiquement de manière correspondante.  ra automatically correspondingly.

A titre d'exemple, pour le cas d'un cristal de silicium nonagon de 82, 86 cm, dont la croissance s'effectue à la vitesse d'environ 2,54 cm par minute, on a constaté que la matière de départ peut être remplacée à une vitesse sensiblement identique à celle de sa consommation à l'aide d'une boîte de stockage d'un diamètre extérieur de 3,94 cm (épaisseur de paroi 1,016 mm), d'un tube de distribution de diamètre extérieur de 2,49 cm (épaisseur de paroi 1,016 mm), avec une vitesse de montée de la boite de2, 54 cm/min. L'utilisation d'une boîte de stockage d'une longueur de 71,12 cm et d'un tube de distribution d'une longueur de 38,1 cm, permet d'alimenter le creuset en matière de départ supplémentaire  By way of example, in the case of a non-82 cm long silicon crystal, whose growth is carried out at a rate of approximately 2.54 cm per minute, it has been found that the starting material can replaced at a rate substantially identical to that of its consumption using a storage box with an outside diameter of 3.94 cm (wall thickness 1.016 mm), an outer diameter 2.49 cm (wall thickness 1.016 mm), with a can rise speed of 2. 54 cm / min. The use of a storage box with a length of 71.12 cm and a distribution tube with a length of 38.1 cm, allows to feed the crucible in terms of additional departure

pour prolonger la durée entre arrêtsd'environ 300 %.  to extend the time between stops by around 300%.

I1 va de soi que des modifications peuvent être apportées au mode de réalisation préféré décrit ci-dessus sans pour autant  It goes without saying that modifications may be made to the preferred embodiment described above without however

sortir du cadre de l'invention.depart from the scope of the invention.

Ainsi, par exemple, le tube de distribution pourrait être supporté audessus de la masse fondue d'une manière autre que celle représentée sur les figures 3 et 4. Plus précisément, comme  Thus, for example, the dispensing tube could be supported above the melt in a manner other than that shown in Figures 3 and 4. More specifically, as

le montre la figure 5, l'extrémité inférieure du tube de distri-  shown in FIG. 5, the lower end of the dispensing tube

bution pourrait être fixée sur une colonne de support 305 à l'aide d'une pluralité de bras 310 constituant un ensemble en forme de cane tronqué, et la colonne de support pourrait avoir son extrémité inférieure fixée à la surface inférieure du creuset d'o il s'étendrait perpendiculairement vers le haut. La matière de départ tombant dans le tube de distribution tomberait entre les bras 10 avant d'arriver au niveau de la masse fondue. Bien entendu, du fait que, selon cette disposition, au moins une partie de le colonne de support 305 serait disposée directement dans la masse fondue, la colonne doit être en un matériau compa- tible avec la matire de formation de cristal, c'est-n-dire s'il s'agit de la formation d'un ruban de silicium, la colonne de  The bution could be attached to a support column 305 by means of a plurality of arms 310 constituting a truncated cane-shaped assembly, and the support column could have its lower end attached to the bottom surface of the crucible. it would extend perpendicularly upwards. The starting material falling in the delivery tube would fall between the arms 10 before reaching the melt. Of course, because according to this arrangement, at least a portion of the support column 305 would be disposed directly in the melt, the column should be made of a material compatible with the crystal formation material, which is say if it's about the formation of a silicon ribbon, the column of

support 305 doit être en graphite.support 305 must be in graphite.

Le tube de distribution et la boite de stockage pourraient  The distribution tube and the storage box could

avoir en outre des formes en section transversale autre que cir-  also have shapes in cross-section other than cir-

culaire, par exemple ils pourraientavoir des formes en section  eyelike, for example they might have shapes in section

polygonale, ou ils pourraient avoir des formes en section differen-  polygonal, or they could have shapes in different sections

tes,par exemple l'un pouvant être circulaire et l'autre polyg -  for example one that can be circular and the other polyg -

nal. Bien entendu, l'ouverture centrale de la paroi d'extrémité inférieure de la boîte doit avoir une forme correspondant A la forme en section transversale du tube de distribution, pour que  nal. Of course, the central opening of the lower end wall of the box must have a shape corresponding to the cross-sectional shape of the dispensing tube, so that

la paroi d'extrémité de la boîte assure une possibilité de glis-  the end wall of the box provides a possibility of sliding

sement A frottement dur avec la paroi latérale du tube de distri-  friction with the side wall of the distribution tube.

bution. Bien entendu, il n'est pas obligatoire que la matrice 114 présente une surfece d'extrémité supérieure ayant la forme d'un  bution. Of course, it is not required that the matrix 114 has an upper end surface having the shape of a

poiygqne rçgulier. La matrice pourrait être adaptée à la forma-  regular polygon. The matrix could be adapted to the training

tion de tubsde section transversale circulaire. On conçoit aisament: que la boîte de stockage pourrait être tirée vers le haut le long du tube de distribution par un dispositif de t-ctifion distinct du dispositif qui fait monter le porte-germeo En outre, l'appareil de réapprovisionnement en masse fondue pourreit ere cxploitt de manière différente de celle décrite ci-dessus. Par exemple, on pourrait arriver au même résultat en ueintenant la bozte de stockage fixe et en déplaçant le tube de iis; ribution vers le bas par rapport à la boîte de stockage. En  tubing of circular cross section. It is easy to see that the storage box could be pulled upwards along the dispensing tube by a separate device from the device which raises the germ carrier. In addition, the melt replenishing apparatus can It operates differently than described above. For example, one could achieve the same result by now holding the fixed storage box and moving the iis tube; ribution down from the storage box. In

iutre, ai matir de départ supplementaire pourrait être dêchar-  In addition, additional departure may be required.

Ge de lappareil de rdapprovisionnsment en masse fondue en depla;çant la boite de stockage vers le haut et, en même temps, le tube de distributic: vers le bas. On pourrait envisager d'autres modifications de ce type sans  Ge of the melt-supply apparatus moving the storage box upwards and, at the same time, the dispensing tube: downwards. Other modifications of this type could be considered without

pour autant sortir du cadre et de l'esprit de l'invention.  however, out of the scope and spirit of the invention.

La présente invention apporte de nombreux avantages.  The present invention provides many advantages.

Premièrement, la présente invention permet d'obtenir un -5 appareil d'approvisionnement en masse fondue au cours d'une opération de formation de cristaux, de sorte que l'opération de formation de cristaux peut se poursuivre sans interruption  First, the present invention provides a melt supply apparatus during a crystal-forming operation, so that the crystal-forming operation can continue uninterrupted.

pendant des périodes de temps plus longues.  for longer periods of time.

Deuxièmement, la présente invention permet d'obtenir un appareil apte à effectuer le réapprovisionnement en masse fondue sensiblement à la même vitesse que sa consommation lors d'une  Secondly, the present invention makes it possible to obtain an apparatus capable of performing the melt replenishment substantially at the same speed as its consumption during a

opération de formation de cristaux.  crystal formation operation.

- Troisièmement, la présente invention permet d'obtenir un appareil destiné au réapprovisionnement de la masse fondue qui est de construction simple, de fabrication peu coûteuse et de  Thirdly, the present invention makes it possible to obtain an apparatus for replenishing the melt which is of simple construction, of inexpensive manufacture and of

fonctionnement fiable.reliable operation.

La présente invention est en outre utilisable avec des appa-  The present invention is furthermore suitable for use with

reils de formation de corps cristallins selon le procédé EFG ainsi qu'avec des appareils destinés à la formation de corps  crystalline body forming films according to the EFG method as well as apparatus for body formation

cristallins selon d'autres procédés connus.  crystalline according to other known methods.

Un autre avantage apporté par la présente invention est que  Another advantage provided by the present invention is that

l'appareil assure simultanément (1) l'éloignement du corps cris-  the device simultaneously ensures (1) the removal of the crys-

tallin en formation de la face de formation de la matrice et (2) le réapprovisionnement de la masse fondue en matière de départ  tallin in formation of the matrix forming face and (2) the replenishment of the melt in starting

supplémentaire.additional.

Un autre avantage important apporté par la présente inven-  Another important advantage provided by the present invention

tion est que le nouveau dispositif d'approvisionnement est peu encombrant et peut fonctionner depuis une position à l'intérieur  tion is that the new supply device is compact and can operate from a position indoors

d'un corps cristallin creux en formation.  of a hollow crystalline body in formation.

D'autres avantages seront évidents à l'homme du métier.  Other advantages will be apparent to those skilled in the art.

Claims (8)

REVENDICATIONS 1. Appareil destiné au réapprovisionnement d'une masse fondue comprenant un tube de distribution creux et une boîte de stockage creuse, le tube de distribution creux (5) comprenant une parai laté- rale (J2), une extrémité supérieure ouverte (15) et une extrémité inférieure ouverte (20) , et  An apparatus for replenishing a melt comprising a hollow dispensing tube and a hollow storage box, the hollow dispensing tube (5) comprising a sidewall (J2), an open top end (15), and an open lower end (20), and la boîte de stockage creuse (10) comprenant une paroi laté-  the hollow storage box (10) comprising a side wall rale (22) et une paroi d'extrémité (30) fermant son extrémité inférieure, ladite paroi d'extrémité étant percée d'une ouverture centrale (35), caractérisé en ce que le tube de distribution (5) et la boîte de stockage (10) s'emboîtent concentriquement l'un dans l'autre à la manière d'un télescope de façon à délimiter une  groove (22) and an end wall (30) closing its lower end, said end wall being pierced with a central opening (35), characterized in that the distribution tube (5) and the storage box (10) intertwined concentrically into each other in the manner of a telescope so as to delimit a chambre annulaire à volume variable (37) entre leur paroi latéra-  variable-volume annular chamber (37) between their lateral wall le, la paroi latérale (12) du tube de distribution (5) s'emboî-  the, the side wall (12) of the distribution tube (5) engages with tant è frottement dur dans ladite ouverture centrale (35) et en ce que le tube de distribution (5) a son extrémité supérieure ouverte (15) disposée h l'intérieur de la boîte de stockage (10) tandis que son extrémité inférieure ouverte (20) est disposée à l'extérieure de la boîte de stockage (10), de sorte que, si on place la matière de départ supplémentaire (40) destinée au réapprovisionnement de la masse fondue, à l'intérieur de ladite chambre (37) et si l'on positionne l'extrémité inférieure (20) du tube de distribution (5) au-dessus d'une masse fondue devant être  both frictionally hard in said central opening (35) and in that the dispensing tube (5) has its open top end (15) disposed inside the storage box (10) while its lower open end ( 20) is disposed on the outside of the storage box (10), so that if the additional melt replenishment starting material (40) is placed inside said chamber (37). and if positioning the lower end (20) of the dispensing tube (5) over a melt to be réapprovisionnée, un déplacement ultérieur de la boîte de stoc-ka-  replenished, a subsequent displacement of the storage box ge (10) vers le haut par rapport au tube de distribution (5) aura pour conséquence un débordement de la matière de départ (40;)  ge (10) upwards relative to the distribution tube (5) will result in an overflow of the starting material (40; contenue dans ladite chambre (37) et son introduction dans l'ex-  contained in said chamber (37) and its introduction in the former trémité supérieure ouverte du tube de distribution (5) qui. la  open upper end of the dispensing tube (5) which. the dirige vers ladite masse fondue.directs to said melt. 2. Appareil selon la revendication 1, caractêrisé en ce que  2. Apparatus according to claim 1, characterized in that le tube de distribution creux (5) présente une section transver-  the hollow distribution tube (5) has a transverse section sale circulaire et en ce que l'ouverture (35) pratiquée dans la neroi d'e<trmiité inférieure (30) de la boîte de stockage (10)  circularly dirty and in that the opening (35) made in the lower e ner (30) of the storage box (10) prOente une forne circulaire.presents a circular shape. 3. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que  3. Apparatus according to claim 1, characterized in that la boîte de stockage (10) a une section transversale circulaire.  the storage box (10) has a circular cross section. 4. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le tube de distribution (205) est supporté au-dessus de la masse fondue par une pluralité de supports (211) fixés à un creuset  4. Apparatus according to claim 1, characterized in that the distribution tube (205) is supported above the melt by a plurality of supports (211) attached to a crucible renfermant la masse fondue, lesdits supports s'étendant sensible-  containing the melt, said supports extending substantially ment radialement à partir de la paroi latérale du tube de distri-  radially from the side wall of the distribution tube. bution (205).bution (205). 5. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le tube de distribution (205) est supporté au-dessus de la masse fondue par une colonne de support (305) et une pluralité de bras de support (310), la colonne de support s'étendant verticalement depuis le fond du creuset renfermant ladite masse fondue, tandis que ladite pluralité de bras de support s'étendent entre la  5. Apparatus according to claim 1, characterized in that the dispensing tube (205) is supported above the melt by a support column (305) and a plurality of support arms (310), the column of support extending vertically from the bottom of the crucible enclosing said melt, while said plurality of support arms extend between the colonne de support et le tube de distribution.  support column and the distribution tube. 6. Appareil destiné à la formation de corps cristallins à partir d'une masse fondue d'une matière de départ sélectionnée, comprenant: a) un creuset (112) destiné à contenir une certaine quantité de la matière de départ; b) un organe de mise en forme du cristal (114) disposé à l'intérieur du creuset; c) des moyens de chauffage du creuset;  An apparatus for forming crystalline bodies from a melt of a selected starting material, comprising: a) a crucible (112) for containing a quantity of the starting material; b) a crystal forming member (114) disposed within the crucible; c) means for heating the crucible; d) des moyens (156) destinés à porter un germe de cristal-  d) means (156) for carrying a crystal seed lisation (158) et à éloigner ledit germe et un corps cristallin en formation de l'organe de mise en forme de cristal (114); et e) des moyens de réapprovisionnement du creuset (112) en matière de départ supplémentaire pour réalimenter la matière fondue,  (158) and removing said seed and a crystalline body in formation from the crystal shaper (114); and e) means for replenishing the crucible (112) with additional starting material to replenish the melt, le tube de distribution creux (5) comprenant une paroi laté-  the hollow distribution tube (5) comprising a side wall rale (12), une extrémité supérieure ouverte (15) et une extrémité inférieure ouverte (20); et  an upper open end (15) and an open lower end (20); and une boite de stockage creuse (10) comprenant une paroi laté-  a hollow storage box (10) comprising a side wall rale (22) et une paroi d'extrémité (30) fermant son extrémité inférieure, ladite paroi d'extrémité étant percée d'une ouverture centrale (35); caractérisé en ce que le tube de distribution (5) et la  (22) and an end wall (30) closing its lower end, said end wall being pierced with a central opening (35); characterized in that the dispensing tube (5) and the boîte de stockage (10) sont disposés concentriquement à la maniè-  storage box (10) are arranged concentrically in the manner re d'un télescope l'un par rapport à Vautre de façon à délimiter entre leurs parois latérales respectives 12, 22, une chambre annulaire à volume variable (37), la paroi latérale (12) du tube de distribution (5) s'emboîtant à frottement dur dans l'ouverture centrale (35) et en ce que le tube de distribution (5) a son extrémité supérieure ouverte (15) disposée à l'intérieur de la boîte de stockage (10) et son extrémité inférieure ouverte (20) disposée à l'extérieur de la boite de stockage (10) et au-dessus d'un creuset, de sorte que, si on dispose dans ladite chambre  telescope relative to each other so as to delimit between their respective lateral walls 12, 22, an annular chamber with variable volume (37), the lateral wall (12) of the distribution tube (5) is frictionally engaging the central opening (35) and that the dispensing tube (5) has its open upper end (15) disposed inside the storage box (10) and its lower open end ( 20) disposed outside the storage box (10) and above a crucible, so that, if it has in said chamber (37) de la matière de départ supplémentaire (40) destinée à réap-  (37) of the additional starting material (40) for provisionner la masse fondue, un déplacement de la boîte de stockage (10) vers le haut par rapport au tube de distribution (5) aura pour conséquence un débordement de la matière de départ (40) contenue dans ladite chambre (37) et son introduction dans l'extrémité supérieure ouverte du tube de distribution (5) qui la  provision the melt, a displacement of the storage box (10) upwardly relative to the distribution tube (5) will result in an overflow of the starting material (40) contained in said chamber (37) and its introduction in the open upper end of the dispensing tube (5) which dirige vers ledit creuset.directs to said crucible. 7. Appareil selon la revendication 6, caractérise en ce que les moyens de traction (126) sont agencés pour déplacer la boîte de stockage (10) vers le haut par rapport au tube de distribution (5) 1 mesure que les moyens de traction éloignent un germe (158)  7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the traction means (126) are arranged to move the storage box (10) upwards relative to the distribution tube (5) 1 as the traction means away a seed (158) de l'organe de mise en forme de cristal (114).  the crystal shaping member (114). 8. Appareil selon la revendication 6, caractérise en ce que les moyens de traction comprennent des moyens porte-germe (156) aptes à porter un germe creux de forme allongée (158) qui s'étend  8. Apparatus according to claim 6, characterized in that the traction means comprise seed carrier means (156) adapted to carry an elongated hollow seed (158) which extends autour du tube de distribution et de la boîte de stockage.  around the dispensing tube and the storage box.
FR8503508A 1984-03-20 1985-03-11 APPARATUS FOR REPLENISHING A MOLTEN MASS Withdrawn FR2561673A1 (en)

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US4968380A (en) * 1989-05-24 1990-11-06 Mobil Solar Energy Corporation System for continuously replenishing melt
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