FR2552236A1

FR2552236A1 - Process for simultaneous manufacture of several couplers of the same type for optical fibres

Info

Publication number: FR2552236A1
Application number: FR8315001A
Authority: FR
Original assignee: Compagnie Generale dElectricite SA
Current assignee: Alcatel Lucent SAS
Priority date: 1983-09-21
Filing date: 1983-09-21
Publication date: 1985-03-22
Also published as: FR2552236B1

Abstract

The couplers, for example Y couplers, are produced by adhesively bonding assemblies E1, E2, each comprising a sheet of fibres F positioned in V-grooves of a single-crystal silicon wafer Si. The formation of these blocks from a single initial assembly and by polishing the silicon wafer at the desired angle starting from its rear face opposite the grooves enable an accurate core-to-core connection of the fibres to be obtained easily. Application to telecommunications.

Description

Procédé de fabrication simultanée de plusieurs coupleurs de mCme type pour fibres optiques
L'invention concerne un procédé de fabrication simultanée de plusieurs coupleurs de même type pour fibres optiques.Method for the simultaneous production of several couplers of the same type for optical fibers
The invention relates to a method of simultaneously manufacturing several couplers of the same type for optical fibers.

Un coupleur est un dispositif qui est composé de trois fibres optiques, et sert à mélanger ou à séparer deux signaux transportés sur deux longueurs d'onde. Pour minimiser les pertes energétiques, les couplages des fibres sont de préférence réalisés coeurs à coeurs. A coupler is a device that is made up of three optical fibers, and is used to mix or separate two signals transported over two wavelengths. To minimize energy losses, the fiber couplings are preferably made heart to heart.

On est amené à définir deux types de coupleurs suivant que les longueurs d'onde choisies sont identiques ou non. We are led to define two types of couplers depending on whether the wavelengths chosen are identical or not.

- Dans un coupleur de type lambda (voir figure 1) deux fibres LL et L1 sont colinéaires la troisième L2 est inclinée suivant un angle A de l'ordre de 400 sur la fibre de ligne LL qui transporte les deux faisceaux lumineux. Ceci conduit au polissage et à l'assemblage de trois extrémités. Les gaines optiques sont représentées en G. Un fll- tre interférentiel séparateur spectral FI permet soit le multiplexage, soit le démultiplexage de deux longueurs d'onde différentes, le coupleur étant réciproque.- In a lambda type coupler (see Figure 1) two fibers LL and L1 are collinear the third L2 is inclined at an angle A of the order of 400 on the line fiber LL which carries the two light beams. This leads to polishing and joining of three ends. The optical sheaths are shown at G. An interference spectral separator filter FI allows either multiplexing or demultiplexing of two different wavelengths, the coupler being reciprocal.

Dans un coupleur de type Y représenté sur la figure 2 deux des fibres Yi et Y2 forment entre elles un petit angle B de l'ordre de quelques degrés. La troisième fibre YL constitue la fibre de ligne et est positionnée symétriquement par rapport aux deux autres. In a type Y coupler shown in FIG. 2, two of the fibers Yi and Y2 form between them a small angle B of the order of a few degrees. The third YL fiber constitutes the line fiber and is positioned symmetrically with respect to the other two.

Ce dispositif, monté sans séparateur spectral, est à préférer au coupleur lambda pour un multiplexage ou lorsque les deux longueurs d'onde cheminant alors dans des sens opposés sont identiques. Au mul- tiplexage (passage de Yi vers YL et Y2 vers YL) les pertes d'insertion sont faibles. Au démultiplexage (passage de YL vers Y1 et Y2) l'énergie est répartie entre les fibres Y1 et Y2, de sorte que sur une fibre Y1 ou Y2 le signal est atténué de 3 dB au minimum. This device, mounted without a spectral separator, is preferable to the lambda coupler for multiplexing or when the two wavelengths then traveling in opposite directions are identical. At the multiplexing (passage from Yi to YL and Y2 to YL) the insertion losses are low. At demultiplexing (passage from YL to Y1 and Y2) the energy is distributed between the fibers Y1 and Y2, so that on a fiber Y1 or Y2 the signal is attenuated by at least 3 dB.

Un coupleur complexe est représenté sur la figure 3 et présente de plus larges possibilités d'utilisation. Il est constitué par l'association d'un coupleur Y à un coupleur lambda. La fibre de ligne YL du coup leur Y constitue en meme temps la fibre L2 du coup leur lambda. Il permet par exemple à une extrémité d'une fibre de ligne (du coupleur complexe) constituée par la fibre LL, de disposer de trois "bornes" optiques distinctes pour émettre un premier signal à 0,85 micron, et un deuxième à 1,3 micron, et pour recevoir un troisième signal à 0,85 micron. A complex coupler is shown in Figure 3 and has wider possibilities of use. It consists of the association of a Y coupler with a lambda coupler. The line fiber YL therefore their Y constitutes at the same time the fiber L2 therefore their lambda. It allows for example at one end of a line fiber (of the complex coupler) constituted by the LL fiber, to have three distinct optical "terminals" for emitting a first signal at 0.85 micron, and a second at 1, 3 micron, and to receive a third signal at 0.85 micron.

Un procédé connu de fabrication simultanée de plusieurs coupleurs de même type pour fibres optiques comporte les opérations suivantes - photolithogravure d'une plaque de silicium monocristallin à l'aide d'un masque pour former dans une face avant de cette plaque une succession de rainures parallèles de même section en V, la face arrière opposée ne portant pas de rainures, - disposition d'une fibre optique à section circulaire dans chacune de ces rainures, - blocage de ces fibres dans ces rainures à l'aide d'un bloc de verre, collé sur la face avant de cette plaque, de manière à réaliser la formation d'un ensemble solide comportant une nappe de fibres, - taillage d'une face de raccordement par usinage et/ou polissage d'un premier ensemble obtenu à l'aide des opérations précédentes, cette opération étant effectuée selon un plan coupant les fibres et incliné sur celles-ci d'un angle inférieur à 900 de manière à faire apparattre dans la face de raccordement ainsi taillée des ellipses constituant des sections d'extrémité de ces fibres, - raccordement de fibres par positionnement et collage de la face de raccordement de ce premier ensemble sur un deuxième ensemble comportant une nappe de fibres parallèles se succèdant avec le même pas, de manière à raccorder chacune à chacune les fibres de ces deux ensembles pour constituer une succession de jonctions solidaires tout en constituant un troisième ensemble comportant ces jonctions, - sciage d'un ensemble comportant ce troisième ensemble pour séparer des coupleurs comportant chacun l'une de ces Jonctions. A known method of simultaneously manufacturing several couplers of the same type for optical fibers comprises the following operations - photolithography of a monocrystalline silicon plate using a mask to form in a front face of this plate a succession of parallel grooves of the same V-section, the opposite rear face not carrying grooves, - arrangement of an optical fiber with circular section in each of these grooves, - blocking of these fibers in these grooves using a glass block , bonded to the front face of this plate, so as to form a solid assembly comprising a sheet of fibers, - cutting of a connection face by machining and / or polishing of a first assembly obtained with with the aid of the preceding operations, this operation being carried out according to a plane cutting the fibers and inclined thereon by an angle less than 900 so as to cause ellipses const to appear in the connection face thus cut ituant to end sections of these fibers, - connection of fibers by positioning and bonding of the connection face of this first assembly on a second assembly comprising a sheet of parallel fibers succeeding each other with the same pitch, so as to each connect to each of the fibers of these two assemblies to constitute a succession of integral junctions while constituting a third assembly comprising these junctions, - sawing of an assembly comprising this third assembly to separate couplers each comprising one of these Junctions.

Ce procédé connu apparatt dans l'article "single-mode and multimode all-fiber directional couplers for WDM"(Applied optics/vol.20,
No.18/15 septembre 19819. This known process appears in the article "single-mode and multimode all-fiber directional couplers for WDM" (Applied optics / vol.20,
No. 18/15 September 19819.

Dans ce procédé connu relatif à un coupleur lambda, seule la fibre L2 a sa face terminale taillée pour faire apparattre son coeur, la gaine optique de la fibre constituant lesdites fibres LL et L1 n'étant nulle part supprimée, c'est-à-dire que le raccordement ne se fait pas coeur à coeur. In this known method relating to a lambda coupler, only the L2 fiber has its end face cut to reveal its core, the optical sheath of the fiber constituting said fibers LL and L1 being nowhere removed, that is to say say that the connection is not made heart to heart.

Ce procédé connu présente les inconvénients suivants - Pertes de lumière en raison de la traversée sans guidage d'une gaine optique. This known method has the following drawbacks - Light losses due to the passage without guiding of an optical sheath.

- Et difficultés pour positionner les fibres d'un ensemble bien en face des fibres de l'autre, notamment en raison des légers décentrements aléatoires des fibres dans les rainures de la plaque de silicium.- And difficulties in positioning the fibers of one set well in front of the fibers of the other, in particular due to the slight random offsets of the fibers in the grooves of the silicon wafer.

La présente invention a pour but de permettre de fabriquer plus facilement des coupleurs présentant de moindres pertes de lumière. The object of the present invention is to make it easier to manufacture couplers having lower light losses.

Elle a pour objet un procédé de fabrication simultanée de plusieurs coupleurs de même type pour fibres optiques comportant lesdites opérations du procédé connu. Le procédé selon l'invention est caractérisé par le fait que lesdits premier et deuxième ensembles sont obtenus par sciage dudit ensemble solide, qui est un ensemble "initial", ce sciage créant deux faces de sciage, - ladite opération de taillage de face étant effectuée de la même manière et avec le même angle sur ces deux ensembles pour que ladite opération de raccordement assure le raccordement des fibres coeurs à coeurs, cette opération de taillage entamant lesdites faces de sciage, - et ladite opération de raccordement étant faite en raccordant toujours entre elles deux fibres du premier et du deuxième ensembles qui proviennent par sciage d'une même fibre de l'ensemble initial, de sorte que les défauts de centrage aléatoires des fibres dans les rainures de la plaque de silicium ntempêchent pas le raccordement précis des fibres des premier et deuxième ensembles, - lesdites opérations de taillage et de raccordement étant des première3 opérations de taillage et de raccordement et étant suivie des opérations suivantes - une deuxième opération de taillage selon un plan perpendiculaire aux bisectrices intérieures des jonctions du troisième ensemble pourfaite apparattre un "coeur de jonction" de section sensiblement circulaire résultant de la réunion de parties des coeurs des deux fibres de la jonction, - c-t une deuxième ooperation de raccordement assurant le raccordement coeur à coeur de ces jonctions à des fibres d'un quatrième ensemble. It relates to a method of simultaneously manufacturing several couplers of the same type for optical fibers comprising said operations of the known method. The method according to the invention is characterized in that said first and second sets are obtained by sawing said solid set, which is an "initial" set, this sawing creating two sawing faces, - said face cutting operation being carried out in the same way and with the same angle on these two assemblies so that said connection operation ensures the connection of the fibers hearts to hearts, this cutting operation starting said sawing faces, - and said connection operation being made by always connecting between they two fibers of the first and second sets which originate by sawing of the same fiber of the initial set, so that the random centering defects of the fibers in the grooves of the silicon plate do not prevent the precise connection of the fibers of the first and second sets, - said cutting and connecting operations being first3 cutting and connecting operations and t followed by the following operations - a second cutting operation along a plane perpendicular to the interior bisectors of the junctions of the third assembly may result in a "junction heart" of substantially circular section resulting from the joining of parts of the hearts of the two fibers of the junction, - ct a second connection operation ensuring the heart-to-heart connection of these junctions to fibers of a fourth set.

De préférence ladite première opération de taillage est de plus faite en inclinant la face de raccordement sur la face de sciage dans le sens propre à entailler d'abord la face arrière de la plaque de silicium, de manière à faire apparattre, en éclairage selon une direction perpendiculaire à la face de raccordement, des entailles claires profondes en V dans le bord de la plaque de silicium opaque et de manière que ces entailles claires facilitent le positionnement mutuel précis des premier et deuxième ensembles lors de l'opération de raccordement. Preferably said first cutting operation is moreover made by tilting the connection face on the sawing face in the proper direction to first cut the rear face of the silicon wafer, so as to appear, in lighting according to a direction perpendicular to the connection face, deep V-shaped clear cuts in the edge of the opaque silicon wafer and in such a way that these clear cuts facilitate the precise mutual positioning of the first and second assemblies during the connection operation.

De préférence encore ledit quatrième ensemble est obtenu à partir des memes opérations que ledit ensemble initial en utilisant un meme masque de photolithogravure, de manière que les espacements entre les fibres de ce quatrième ensemble soient les memes que ceux entre les jonctions dudit troisième ensemble. More preferably still, said fourth set is obtained from the same operations as said initial set by using the same photolithography mask, so that the spacings between the fibers of this fourth set are the same as those between the junctions of said third set.

A l'aide des figures schématiques ci-Jointes on va décrire ciaprès à titre non limitatif, comment l'invention peut etre mise en oeuvre. Il doit être compris que les éléments décrits et représentés peuvent, sans sortir du cadre de l'invention, etre remplacés par d'autres éléments assurant les mêmes fonctions techniques. Lorsqu'un meme élément est représenté sur plusieurs figures il y est désigné par le meme signe de référence. With the aid of the attached schematic figures, a description will be given hereinafter, without limitation, of how the invention can be implemented. It should be understood that the elements described and shown can, without departing from the scope of the invention, be replaced by other elements ensuring the same technical functions. When the same element is represented in several figures, it is designated therein by the same reference sign.

La figure 1 représente un coupleur lambda classique. Figure 1 shows a typical lambda coupler.

La figure 2 représente un coupleur Y classique. FIG. 2 represents a conventional Y coupler.

La figure 3 représente un coupleur complexe. Figure 3 shows a complex coupler.

Les figures 4 à 12 représentent des vues d'un ensemble de coupleurs Y à des étapes successives de sa fabrication selon l'invention. Figures 4 to 12 show views of a set of couplers Y at successive stages of its manufacture according to the invention.

La figure 13 représente un coupleur Y de cet ensemble après achèvement. FIG. 13 represents a coupler Y of this assembly after completion.

Les figures 14 à 18 représentent des vues d'un ensemble de coupleurs complexes à des étapes successives de sa fabrication selon l'invention. Figures 14 to 18 show views of a set of complex couplers at successive stages of its manufacture according to the invention.

Selon les figures 4 et 5 des fibres F dégainées de leurs gaines plastiques sont positionnées sur une plaque de silicium Si gravée de rainures U à section en v et elles sont bloquées dans ces rainures par un bloc de verre bl dont les grandes faces sont polies. On sait qu'une photolithogravure classique permet d'obtenir des rainures d'une grande précision dont les flancs sont orientés selon des directions préférentielles du réseau cristallin du silicium. L'ensemble E est terminé par collage. Il constitue ledit ensemble "initial". Il est découpé en deux parties égales El et E2 selon un plan P1 perpendiculaire aux fibres F (figure 6). On constitue ainsi lesdits premier et deuxième ensembles. According to FIGS. 4 and 5, fibers F stripped of their plastic sheaths are positioned on a silicon plate Si engraved with grooves U with a v section and they are blocked in these grooves by a block of glass bl whose large faces are polished. It is known that a conventional photolithography makes it possible to obtain grooves of great precision whose sides are oriented in preferential directions of the crystal lattice of silicon. The whole E is finished by gluing. It constitutes said "initial" set. It is cut into two equal parts E1 and E2 along a plane P1 perpendicular to the fibers F (Figure 6). These first and second sets are thus formed.

Les faces de sciage sont représentées en FS1 et FS2. The saw faces are shown in FS1 and FS2.

Selon la figure 7 les deux parties El et E2 sont montées cote à cote sur une cale CB dont une face FC est inclinée d'un angle B/2 par rapport au plan de la face arrière Fa. Cette cale est composite et constituée de deux parties CBî et CB2 taillées avec le nîeme angle B/2 et collées dans le plan de la face Fe pour constituer, à l'arrière de la face Fc, un guide présentant une face de guidage FV parallèle à la face arrière Fa. According to FIG. 7, the two parts El and E2 are mounted side by side on a block CB of which one face FC is inclined at an angle B / 2 relative to the plane of the rear face Fa. This block is composite and made up of two parts CBî and CB2 cut with the nth angle B / 2 and glued in the plane of the face Fe to form, behind the face Fc, a guide having a guide face FV parallel to the rear face Fa.

Selon la figure 8 les deux parties El et E2 sur la cale sont usées et polies parallèlement à la face arrière Fa de la cale, afin d'obtenir sur les fibres des ellipses ep et sur le silicium de longues entailles en "V" LU. On forme ainsi sur la fibre une face ep dont l'angle est de B/2 par rapport à l'axe de la fibre. According to FIG. 8, the two parts E1 and E2 on the block are worn and polished parallel to the rear face Fa of the block, in order to obtain long notches in "V" LU on the fibers of the ellipses ep and on the silicon. An ep face is thus formed on the fiber, the angle of which is B / 2 relative to the axis of the fiber.

Selon les figures 9 et 10 les deux parties El et E2 sont démontées de la cale CB puis superposées, les ellipses face à face. Un positionnement précis est fait à l'aide d'une loupe binoculaire en élairant par le dessous. Les blocs en verre étant transparents alors que le silicium est opaque , il est possible de superposer les ellipses ou les entailles en LU visuellement, ce qui assure facilement un posi ticnnement précis. Les parties El et E2 sont collées ainsi pour former un troisième bloc E3. According to FIGS. 9 and 10, the two parts E1 and E2 are removed from the shim CB and then superimposed, the ellipses facing each other. Precise positioning is done using a binocular magnifier, illuminating from below. Since the glass blocks are transparent while the silicon is opaque, it is possible to superimpose the ellipses or the notches in LU visually, which easily ensures precise positioning. The parts E1 and E2 are thus bonded to form a third block E3.

Selon les figures 10 et 11 la face fp formée sur le bloc E3 par le reste des faces de sciage est usinée et polie selon un plan P2 perpendiculaire à la bissectrice de l'angle B formée par les fibres, afin de reconstituer sensiblement en FO la section d'une fibre F. According to FIGS. 10 and 11, the face fp formed on the block E3 by the rest of the sawing faces is machined and polished according to a plane P2 perpendicular to the bisector of the angle B formed by the fibers, in order to reconstitute substantially in FO the section of a fiber F.

Les figures 12 et 13 correspondent en cas où on veut constituer
seulement des coupleurs Y. Figures 12 and 13 correspond in case we want to constitute
only Y couplers.

A partir d'une plaque de silicium identiquement gravée à l'aide d'un même masque de photolithogravure, on monte un nouvel ensemble identique à l'ensemble E. Ce nouvel ensemble est découpé en deux parties qui sont usinées et polies perpendiculairement à l'axe des fibres. From a silicon plate identically engraved using the same photolithography mask, a new assembly identical to assembly E is mounted. This new assembly is cut into two parts which are machined and polished perpendicular to the fiber axis.

Selon la figure 12 une de ces parties El2 constituant ledit quatrième ensemble est rapportée et collée sur un ensemble E3 avec superposition des sections polies des fibres; éventuellement après formation d'un filtre interférentiel non représenté. According to FIG. 12, one of these parts E12 constituting said fourth assembly is attached and glued to an assembly E3 with superposition of the polished sections of the fibers; possibly after formation of an interference filter not shown.

La figure 13 représente un coupleur fini CY résultant d'un découpage par sciage de l'ensemble ainsi constitué selon des plans P3 parallèles aux fibres et perpendiculaires à la nappe de fibre de manière à former une succession de coupleurs Y distincts. FIG. 13 represents a finished coupler CY resulting from cutting by sawing of the assembly thus formed along planes P3 parallel to the fibers and perpendicular to the fiber sheet so as to form a succession of distinct couplers Y.

On va maintenant décrire la fabrication de coupleurs complexes. We will now describe the manufacture of complex couplers.

Le principe de fabrication des coupleurs lambda qui en font partie est le même que pour les coupleurs Y mais adapté pour un angle A qui doit être plus grand que l'angle B. The manufacturing principle of the lambda couplers which form part of it is the same as for the Y couplers but adapted for an angle A which must be greater than the angle B.

Selon les figures 14 et 15 on utilise le même principe de montage que pour le coupleur Y mais avec un bloc de verre supplémentaire bl' placé sous la plaque Si, pour obtenir un ensemble EN. Ce bloc supplémentaire facilite la manipulation et l'usinage et est destiné à occuper l'espace entre les fibres dans le coupleur fini. L'ensemble peut être découpé en deux parties, puis monté sur une cale non représentée, analogue à la cale CB mais d'angle A/2. According to FIGS. 14 and 15, the same mounting principle is used as for the coupler Y but with an additional glass block bl 'placed under the plate Si, to obtain an EN assembly. This additional block facilitates handling and machining and is intended to occupy the space between the fibers in the finished coupler. The assembly can be cut into two parts, then mounted on a block not shown, similar to the block CB but at angle A / 2.

Après usinage et polissage on obtiendra sur les fibres, des faces elliptiques dont l'angle est de A/2 par rapport à l'axe de la fibre, ainsi que des entailles en V sur le silicium. Les deux parties seront montées en superposant les ellipses comme pour les coupleurs Y. After machining and polishing, the fibers will have elliptical faces whose angle is A / 2 relative to the axis of the fiber, as well as V-notches on the silicon. The two parts will be mounted by overlapping the ellipses as for the Y couplers.

Selon la figure 1, pour constituer un coupleur lambda, la fibre L2 doit être polie avec un angle de 900 - A/2 et rapportée dans l'axe d'une fibre LL. According to FIG. 1, to constitute a lambda coupler, the L2 fiber must be polished with an angle of 900 - A / 2 and added in the axis of an LL fiber.

Dans le cas de la réalisation d'un coupleur complexe comportant un coupleur Y sur un coupleur lambda l'ensemble EN est découpé en trois parties EN1, EN2, EN3 selon des plans P4 et P5. In the case of the production of a complex coupler comprising a Y coupler on a lambda coupler, the assembly EN is divided into three parts EN1, EN2, EN3 according to planes P4 and P5.

Les parties EN1 et EN2 sont usinées et polies avec un angle A/2. The parts EN1 and EN2 are machined and polished with an angle A / 2.

Leurs faces Fa2 et Fa3 à l'extrémité des fibres sont usinées et polies pour les rendre perpendiculaires à la bissectrice des fibres (voir figure 16). La face Fal de la partie EN2 est polie perpendiculairement aux fibres de cette partie.Their faces Fa2 and Fa3 at the end of the fibers are machined and polished to make them perpendicular to the bisector of the fibers (see Figure 16). The Fal face of the EN2 part is polished perpendicular to the fibers of this part.

La partie EN3 est usinée et polie avec un angle de 900 - A/2. The EN3 part is machined and polished with an angle of 900 - A / 2.

Selon la figure 17 les parties EN1, EN2, EN3 sont montées de manière a réaliser les coupleurs lambda après réalisation d'un filtre interférentiel FI. According to FIG. 17, the parts EN1, EN2, EN3 are mounted so as to produce the lambda couplers after production of an IF interference filter.

La figure 18 montre le montage final d'un ensemble de coupleurs complexes par collage de l'ensemble E3 de la figure 10. FIG. 18 shows the final assembly of a set of complex couplers by bonding of the assembly E3 of FIG. 10.

Selon la figure 19 chaque coupleur complexe individuel CX est obtenu par découpage selon des plans P6 parallèles entre eux, parallèles au fibres et perpendiculaires aux plans des diverses nappes de fibres. According to FIG. 19, each individual complex coupler CX is obtained by cutting along planes P6 parallel to each other, parallel to the fibers and perpendicular to the planes of the various layers of fibers.

Claims

1 / A method of simultaneously manufacturing several couplers of the same type for optical fibers, this method comprising the following operations; - photolithography of a monocrystalline silicon plate (Si) using a mask to form in a front face of this plate a succession of parallel grooves (U) of the same V-section, the opposite rear face not bearing grooves, - arrangement of an optical fiber (F) with circular section in each of these grooves, - blocking of these fibers in these grooves using a glass block, (bl) glued to the front face of this plate, so as to produce the formation of a solid assembly (E) comprising a sheet of fibers (F), - cutting of a connection face by machining and / or polishing of a first assembly (El) obtained at with the aid of the preceding operations, this operation being carried out according to a plane cutting the fibers and inclined thereon by an angle (B) less than 900 so as to make ellipses appear in the connection face (FR1) thus cut (ep) constituting end sections of these fibers, - connection of fibers by positioning nt and bonding of the connection face of this first assembly (El) on a second assembly (E2) comprising a sheet of parallel fibers succeeding each other with the same pitch, so as to each connect to each of the fibers of these two assemblies to constitute a succession of integral junctions while constituting a third assembly (E3) comprising these junctions, - sawing of an assembly (E3, El2) comprising this third assembly to separate couplers each comprising one of these junctions, - this method being characterized by the fact that said first (El) and second (E2) sets are obtained by sawing said solid set, which is an initial set (E), this sawing creating two sawing faces (fis1, FS2), - said cutting operation of face being carried out in the same way and with the same angle on these two assemblies so that said connection operation ensures the connection of the fibers hearts to hearts, this cutting operation starting said faces sawing, - and said connecting operation being done by always connecting together two fibers of the first (El) and the second (E2) sets which come by sawing the same fiber from the initial set (E), so that the random centering defects of the fibers (F) in the grooves (U) of the silicon wafer (Si) do not prevent the precise connection of the fibers of the first and second sets, - said cutting and connection operations being first cutting and joining operations and being followed by the following operations: - a second cutting operation along a plane (P2) perpendicular to the internal bisectors of the junctions of the third set so as to make appear a "junction core" (Fo) of section substantially circular resulting from the union of parts of the hearts of the two fibers of the Junction, - and a second connection operation ensuring the heart-to-heart connection of these Junctions to fibers of a fourth set (El2).

2 / A method according to claim 1, characterized in that said first cutting operation is also done by tilting the connection face (FR1, FR2) on the sawing face (fus1, FS2) in the proper direction to notch d 'first the rear face of the silicon plate (Si), so as to reveal, in lighting in a direction perpendicular to the connection face, deep clear notches (LV) with cross section in (V) in the edge of the opaque silicon wafer and in such a way that these notches facilitate the precise mutual positioning of the first (E1) and second (E2) together during the connection operation.

3 / A method according to claim 1, characterized in that said fourth set (El2) is obtained from the same operations as said initial set (E) using the same photolithography mask, so that the spacings between the fibers of this fourth set are the same as those between the junctions of said third set (E3).