FR2526161A2 - Optical system wavefront distortion measurement device - performs phase comparison of Bragg cell excitation and diffracted-beam photocurrent - Google Patents
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- G01J9/04—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by beating two waves of a same source but of different frequency and measuring the phase shift of the lower frequency obtained
Abstract
Description
La présente demande de certificat d'addition a pour objet un mode de réalisation du dispositif permettant de mesurer les déformations de surface d'onde introduites par un système optique, et notamr,ent par un objectif, objet de la demande de brevet français nO 81 20840 déposée le 6 novembre 1981 au nom du Commissariat à l'Energie Atomique, et a pour objet un mode de mise en oeuvre. du procédé de mesure de ces déformations, objet de la même demande de brevet. The present application for an addition certificate relates to an embodiment of the device making it possible to measure the wave surface deformations introduced by an optical system, and in particular by an objective, the subject of French patent application No 81 20840 filed on November 6, 1981 in the name of the Atomic Energy Commission, and relates to a method of implementation. the method for measuring these deformations, which is the subject of the same patent application.
La mesure de ces déformations, liée principalement à la fonction de transfert du système optique en éclairage cohérent est effectuée à partir de l'étude de la transmission, par le système optique, d'ondes lumineuses sinusoldales et cohérentes. The measurement of these deformations, mainly related to the transfer function of the optical system in coherent lighting is carried out from the study of the transmission, by the optical system, of sinusoidal and coherent light waves.
On rappelle qu'en lumière cohérente, l'image d'une répartition sinusoldale d'intensité, fournie par un système optique, est une répartition sinusoidale d'intensité de meme amplitude mais présentant une phase différente ; cette phase notée t (;), qui est fonction de la longueur d'onde A de l'onde lumineuse incidente et de la fréquence spatiale Q de l'onde transmise par le système optique est régie par dans laquelle a(o) est un coefficient qui caractérise les déformations de surface d'onde introduites par le système optique, ce coefficient dépendant de la fréquence spatiale o. It will be recalled that in coherent light, the image of a sinusoidal intensity distribution, provided by an optical system, is a sinusoidal intensity distribution of the same amplitude but having a different phase; this phase denoted t (;), which is a function of the wavelength A of the incident light wave and the spatial frequency Q of the wave transmitted by the optical system is governed by in which a (o) is a coefficient which characterizes the wave surface deformations introduced by the optical system, this coefficient depending on the spatial frequency o.
Dans la demande de brevet principal, on a décrit un dispositif de mesure de déformations de surface d'onde introduites par un système optique, comprenant au moins un objectif, se caractérisant en ce qu'il comprend - des moyens susceptibles d'émettre un faisceau princi
pal de lumière monochromatique et cohérente, - une cellule de Bragg susceptible de recevoir au moins
un faisceau en provenance des moyens d'émission, cet
te cellule étant excitée par des ondes radiofréquen
ces émises par un générateur radiofréquence de façon
à émettre un faisceau de référence et un faisceau de
mesure présentant des fréquences temporelles diffé
rentes, - des moyens permettant d'envoyer le faisceau de réfé
rence et le faisceau de mesure, issus de la cellule
de Bragg, en direction du système optique à tester, - des moyens de détection aptes à transformer le signal
lumineux issu du système optique en un signal. élec
trique de fréquence egale à la différence des fré
quences temporelles des faisceaux émis par la cellule
de Bragg et dont la phase est caractéristique des
déformations de surface d'onde introduites par ledit
système, et - des moyens permettant de mesurer le déphasage entre
la phase du signal électrique émis par les moyens de
détection et la phase d'un signal électrique corres
pondant aux ondes radiofréquences servant à exciter
la cellule de Bragg.In the main patent application, a device has been described for measuring wave surface deformations introduced by an optical system, comprising at least one objective, characterized in that it comprises - means capable of emitting a beam princi
pal of monochromatic and coherent light, - a Bragg cell capable of receiving at least
a beam from the transmission means, this
the cell being excited by radiofrequency waves
these emitted by a radio frequency generator so
to emit a reference beam and a beam of
measurement with different time frequencies
rents, - means enabling the referral beam to be sent
rence and the measurement beam, coming from the cell
of Bragg, towards the optical system to be tested, - detection means able to transform the signal
luminous coming from the optical system in a signal. elec
stick of equal frequency unlike the fré
temporal sequences of beams emitted by the cell
of Bragg and whose phase is characteristic of
wave surface deformations introduced by said
system, and - means for measuring the phase difference between
the phase of the electrical signal emitted by the means of
detection and phase of a corresponding electrical signal
laying on radio waves used to excite
the Bragg cell.
Selon une variante de ce dispositif de mesure, la-cellule de Bragg est excitée par deux ondes ra diofréquences de fréquences différentes de façon à engendrer, par diffraction du faisceau principal, le faisceau de référence et le faisceau de mesure. According to a variant of this measurement device, the Bragg cell is excited by two radiofrequency waves of different frequencies so as to generate, by diffraction of the main beam, the reference beam and the measurement beam.
La présente addition a pour objet un mode de réalisation du dispositif de mesure décrit ci-dessus. The present addition relates to an embodiment of the measuring device described above.
Selon l'invention, le dispositif de mesure se caractérise en ce que, la différence de fréquence entre la fréquence de l'une des ondes radiofréquences et la fréquence de l'autre onde radiofréquence étant constante, cette différence constante conduisant à l'émission d'un signal électrique par les moyens de détection dont la phase représente la dérivée, par rapport à la fré quence spatiale du signal lumineux issu du système optique, des déformations de surface introduites par le système optique à tester, le dispositif comprend, après les moyens de mesure, des moyens permettant d'intégrer le signal fourni par les moyens de mesure afin d'obtenir la phase caractéristique desdites déformations. According to the invention, the measuring device is characterized in that, the frequency difference between the frequency of one of the radiofrequency waves and the frequency of the other radiofrequency wave being constant, this constant difference leading to the emission of an electrical signal by the detection means, the phase of which represents the derivative, relative to the spatial frequency of the light signal coming from the optical system, of surface deformations introduced by the optical system to be tested, the device comprises, after the means measuring means for integrating the signal supplied by the measuring means in order to obtain the characteristic phase of said deformations.
Selon une variante préférée du dispositif de l'invention, la différence des deux fréquences est telle que la valeur de l'écart angulaire entre le faisceau de référence et le faisceau de mesure sortant de la cellule de Bragg soit au moins 100 fois plus faible que la valeur de l'ouverture du système optique à tester. According to a preferred variant of the device of the invention, the difference of the two frequencies is such that the value of the angular difference between the reference beam and the measurement beam leaving the Bragg cell is at least 100 times lower than the value of the aperture of the optical system to be tested.
Selon d'autres variantes préférées du dispositif de l'invention, le générateur radiofréquence émet soit deux fréquences variables soit deux fréquences fixes. Dans ces variantes, les moyens permettant d'envoyer les faisceaux de référence et de mesure, émis par la cellule de Bragg, en direction du système optique à tester sont constitués, réciproquement, soit d'au moins une lentille convergente soit d'un système de défle xion. According to other preferred variants of the device of the invention, the radiofrequency generator transmits either two variable frequencies or two fixed frequencies. In these variants, the means making it possible to send the reference and measurement beams, emitted by the Bragg cell, in the direction of the optical system to be tested are made up, reciprocally, either of at least one converging lens or of a system of deflection xion.
Selon une autre variante préférée du dispositif de l'invention, les moyens émettant le faisceau principal de lumière monochromatique et cohérente sont constitués par un laser. According to another preferred variant of the device of the invention, the means emitting the main beam of monochromatic and coherent light consist of a laser.
Par ailleurs, selon l'invention, le dispositif peut être muni d'une fente située dans le plan image du système optique à tester. Furthermore, according to the invention, the device can be provided with a slot located in the image plane of the optical system to be tested.
Dans la demande de brevet principal, on a décrit aussi un procédé de mesure des déformations de surface d'onde introduites par un système optique. Ce procédé consiste à : - diriger sur la cellule de Bragg au moins un faisceau
de lumière monochromatique et cohérente, cette cellu
le, excitée par des ondes radiofréquences émises par
un générateur radiofréquence, étant apte à émettre un
faisceau de référence et un faisceau de mesure pré
sentant des fréquences temporelles différentes, - envoyer sur le système optique à tester le faisceau
de référence et le faisceau de mesure issus de ladite
cellule, - détecter le signal lumineux issu du système optique à
tester au moyen du détecteur apte à transformer ce
signal lumineux en un signal électrique de fréquence
égale à la différence des fréquences temporelles des
faisceaux émis -par la cellule de Bragg et dont la
phase est caractéristique des déformations de surface
d'onde introduites par le système optique à tes
ter, et - mesurer le déphasage entre la phase du signal élec
trique émis par 1e détecteur et la phase d'un signal
électrique correspondant aux ondes radiofréquences
servant à exciter la cellule de Bragg.In the main patent application, a method has also been described for measuring the wave surface deformations introduced by an optical system. This process consists in: - directing at least one beam on the Bragg cell
of monochromatic and coherent light, this cell
the, excited by radiofrequency waves emitted by
a radiofrequency generator, being able to emit a
reference beam and a pre measurement beam
sensing different temporal frequencies, - send to the optical system to test the beam
of reference and the measurement beam from said
cell, - detect the light signal from the optical system
test by means of the detector able to transform this
light signal into an electrical frequency signal
equal to the difference in time frequencies of
beams emitted by the Bragg cell and whose
phase is characteristic of surface deformations
wave introduced by the optical system to your
ter, and - measure the phase shift between the phase of the electrical signal
stick emitted by the detector and the phase of a signal
electric corresponding to radiofrequency waves
used to excite the Bragg cell.
Selon une variante de mise en oeuvre de ce procédé, on envoie sur la cellule de Bragg un faisceau lumineux principal et on excite ladite cellule au moyen de deux ondes radiofréquences de fréquences différentes de façon à engendrer le faisceau de référence et le faisceau de mesure par diffraction du faisceau principal. According to an alternative implementation of this method, a main light beam is sent to the Bragg cell and the said cell is excited by means of two radiofrequency waves of different frequencies so as to generate the reference beam and the measurement beam by main beam diffraction.
La présente addition a aussi pour objet un mode de mise en oeuvre du procédé de mesure décrit cidessus. The present addition also relates to an embodiment of the measurement method described above.
Selon l'invention, ce procédé de mesure consiste à - diriger sur la cellule de Bragg un faisceau principal
de lumière monochromatique et cohérente, cette cellu
le, excitée par deux ondes radiofréquences de fré
quences différentes émises par un générateur radio
fréquence et dont la différence de fréquence entre
ces deux fréquences est constante, étant apte à en
gendrer, par diffraction du faisceau principal, un
faisceau de référence et un faisceau de mesure pré
sentant des fréquences temporelles différentes, - envoyer sur le système optique à tester le faisceau
de. référence et le faisceau de-mesure émis par ladite
cellule, - détecter le signal lumineux issu du système optique à
tester au moyen du détecteur apte à transformer ce
signal lumineux en un signal électrique de fréquence
égale à la différence des fréquences temporelles des
faisceaux éis par la cellule de Bragg et dont la
phase représente la dérivée, par. rapport à la fré
quence spatiale du signal lumineux issu du système
optique, des déformations de surface d'onde introdui
tes par le système optique à tester, - mesurer le déphasage entre la phase du signal élec
trique émis par le détecteur et la phase d'un signal
électrique correspondant aux ondes radiofréquences
servant à exciter la cellule de Bragg, et - intégrer le signal fourni par les moyens de mesure au
moyen d'un intégrateur afin d'obtenir la phase carac
téristique desdites déformations.According to the invention, this measurement method consists in - directing a main beam onto the Bragg cell
of monochromatic and coherent light, this cell
the, excited by two radiofrequency waves from fr
different frequencies emitted by a radio generator
frequency and whose frequency difference between
these two frequencies is constant, being able to
to generate, by diffraction of the main beam, a
reference beam and a pre measurement beam
sensing different temporal frequencies, - send to the optical system to test the beam
of. reference and the measurement beam emitted by said
cell, - detect the light signal from the optical system
test by means of the detector able to transform this
light signal into an electrical frequency signal
equal to the difference in time frequencies of
beams made by the Bragg cell and whose
phase represents the derivative, par. relation to the brother
spatial sequence of the light signal from the system
optical, wave surface deformations introduced
by the optical system to be tested, - measure the phase shift between the phase of the electrical signal
stick emitted by the detector and the phase of a signal
electric corresponding to radiofrequency waves
used to excite the Bragg cell, and - integrate the signal supplied by the measuring means into the
means of an integrator in order to obtain the charac phase
teristics of said deformations.
Selon une variante préférée de mise en oeuvre du procédé de l'invention, on modifie de façon continue la fréquence des ondes radiofréquences par action directe sur le générateur radiofréquence. According to a preferred variant of implementation of the method of the invention, the frequency of the radiofrequency waves is continuously modified by direct action on the radiofrequency generator.
Selon une autre variante préférée de mise en oeuvre du procédé de l'invention, avant de mesurer les déformations de surface d'onde introduites par le système optique à tester, on étalonne le dispositif en déterminant l'évolution de la phase du signal électrique émis par le détecteur, cet étalonnage étant fait en l'absence du système optique à tester et en plaçant le détecteur directement dans le plan image d'une lentille convergente, constituant les moyens permettant d'envoyer les faisceaux de référence et de mesure, émis par la cellule de Bragg, en direction du système optique. According to another preferred variant of implementation of the method of the invention, before measuring the wave surface deformations introduced by the optical system to be tested, the device is calibrated by determining the evolution of the phase of the electrical signal emitted by the detector, this calibration being made in the absence of the optical system to be tested and by placing the detector directly in the image plane of a converging lens, constituting the means making it possible to send the reference and measurement beams, emitted by the Bragg cell, towards the optical system.
Selon une autre variante préférée de mise en oeuvre du procédé de l'invention, avant de mesurer les déformations de surface dlonde introduites par le système optique à tester, on étalonne le dispositif en déterminant l'évolution de la phase du signal électrique émis par le détecteur, cet étalonnage étant fait en l'absence du système optique à tester et en plaçant le détecteur directement derme le système de déflexion, consdtu les moyens permettant d'envoyer les faisceaux de référence et de mesure, émis par la cellule de Bragg, en direction du système optique. According to another preferred variant of implementation of the method of the invention, before measuring the wave surface deformations introduced by the optical system to be tested, the device is calibrated by determining the evolution of the phase of the electrical signal emitted by the detector, this calibration being made in the absence of the optical system to be tested and by placing the detector directly derm the deflection system, using the means allowing to send the reference and measurement beams, emitted by the Bragg cell, in direction of the optical system.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparattront encore à la lecture de la description qui suit donne à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, sur lesquels :
- la figure 1 représente, schématiquement, une première variante du dispositif de l'invention dans laquelle on utilise deux ondes radiofréquences de fréquences variables, et
- la figure 2 représente, schématiquement, une deuxième variante du dispositif de l'invention dans laquelle on utilise deux ondes radiofréquences de fréquences fixes.Other characteristics and advantages of the invention will appear further on reading the description which follows gives by way of indication and in no way limitative, with reference to the appended drawings, in which:
FIG. 1 schematically represents a first variant of the device of the invention in which two radiofrequency waves of variable frequencies are used, and
- Figure 2 shows, schematically, a second variant of the device of the invention in which two radiofrequency waves of fixed frequencies are used.
En se référant aux figures 1 et 2, le dispositif de l'invention comprend, notamment, une source lumineuse 2 susceptible d'émettre un faisceau principal de lumière 4 monochromatique et cohérente de fréquence temporelle v 0, qui peut être par exemple un laser, et une cellule de Bragg 12 susceptible de recevoir le faisceau principal de lumière 4. Cette cellule de Bragg,
ou cellule acousto-optique, est faite en un cristal de quartz couplé à un transducteur piézoélectrique. With reference to FIGS. 1 and 2, the device of the invention comprises, in particular, a light source 2 capable of emitting a main beam of monochromatic and coherent light 4 of time frequency v 0, which may for example be a laser, and a Bragg cell 12 capable of receiving the main beam of light 4. This Bragg cell,
or acousto-optic cell, is made of a quartz crystal coupled to a piezoelectric transducer.
Cette cellule de Bragg 12 est excitée par deux ondes radiofréquences émises par un générateur radiofréquence 16. L'une de ces ondes présente une fré quence f1, l'autre une fréquence f2, différente de fl. This Bragg cell 12 is excited by two radiofrequency waves emitted by a radiofrequency generator 16. One of these waves has a frequency f1, the other a frequency f2, different from fl.
La cellule de Bragg 12, ainsi excitée, peut émettre par diffraction du faisceau principal 4 un premier faisceau 8 servant par exemple de faisceau de référence et présentant une fréquence temporelle $0+fil et un deuxième faisceau lumineux servant par exemple de faisceau de mesure 10 et présentant une fréquence temporelle Q0+f. The Bragg cell 12, thus excited, can emit by diffraction from the main beam 4 a first beam 8 serving for example as a reference beam and having a time frequency $ 0 + wire and a second light beam serving for example as measurement beam 10 and having a time frequency Q0 + f.
L'émission du faisceau de référence 8 et du faisceau de mesure 10 est obtenue par une modification de l'indice de réfraction de la cellule, consécutive aux ondes radiofréquences excitant ladite cellule. Les traits représentés dans la cellule de Bragg représentent les plans de vibrations ou plans d'onde du cristal au niveau desquels peut etre diffracté le faisceau de référence 8 et le faisceau de mesure 10. The emission of the reference beam 8 and of the measurement beam 10 is obtained by a modification of the refractive index of the cell, consecutive to the radiofrequency waves exciting said cell. The lines represented in the Bragg cell represent the vibration planes or wave planes of the crystal at which the reference beam 8 and the measurement beam 10 can be diffracted.
Selon l'invention les fréquences d'excitation de la cellule de Bragg, respectivement fl et f2, sont telles que leur différence soit égale à une constante. According to the invention the excitation frequencies of the Bragg cell, respectively fl and f2, are such that their difference is equal to a constant.
Dans une première variante, représentée sur la figure 1, les deux fréquences fl et f2 sont deux fréquences variables. La valeur de ces fréquences d'excitation, donc celle de la fréquence spatiale de l'onde excitatrice correspondante, peut être modifiée de façon continue par action directe sur le générateur radiofréquence 16. La fréquence spatiale correspondant à chacune des deux fréquences d'excitation peut varier dans une gamme de valeurs comprise entre O et Qc gc représentant la fréquence de coupure du système optique 18 que l'on désire tester, ce système optique pouvant être un simple objectif. Le fait de modifier les fréquences d'excitation de la cellule permet d'explorer toute la surface du système optique 18. In a first variant, shown in FIG. 1, the two frequencies f1 and f2 are two variable frequencies. The value of these excitation frequencies, therefore that of the spatial frequency of the corresponding excitation wave, can be continuously modified by direct action on the radiofrequency generator 16. The spatial frequency corresponding to each of the two excitation frequencies can vary in a range of values between O and Qc gc representing the cut-off frequency of the optical system 18 that it is desired to test, this optical system possibly being a simple objective. Modifying the excitation frequencies of the cell makes it possible to explore the entire surface of the optical system 18.
Dans cette variante, le dispositif de l'invention comprend, aussi, une lentille convergente 20 permettant d'envoyer le faisceau de référence 8 et le faisceau de mesure 10, émis par la cellule de Bragg, en direction du système optique 18. De plus, cette lentille 20 permet d'adapter les caractéristiques angulaires de la cellule de Bragg (angle de diffraction des faisceaux lumineux) en fonction de celles des systèmes optiques à tester (angle e > . In this variant, the device of the invention also comprises a converging lens 20 making it possible to send the reference beam 8 and the measurement beam 10, emitted by the Bragg cell, in the direction of the optical system 18. In addition , this lens 20 makes it possible to adapt the angular characteristics of the Bragg cell (angle of diffraction of the light beams) as a function of those of the optical systems to be tested (angle e>.
Dans une deuxième variante, représentée sur la figure 2, les deux fréquences f1 et f2 sont deux fréquences fixes Comme précédemment la valeur de ces fréquences fl et f2 peut être comprise entre O et #c étant la fréquence de coupure -z-- système optique 18.
c
Dans cette variante, le dispositif de l'invention comprend, aussi, un système de déflexion 21 permettant d'envoyer le faisceau de référence 8 et le faisceau de mesure 10, émis par la cellule de Bragg, en direction du système optique à tester 18. Le système de déflexion qui peut être un système unidirectionnel ou bidirectionnel peut être constitué d'un déflecteur à miroir tournant, d'un déflecteur acousto-optique etc...In a second variant, represented in FIG. 2, the two frequencies f1 and f2 are two fixed frequencies As previously the value of these frequencies fl and f2 can be between O and #c being the cut-off frequency -z-- optical system 18.
vs
In this variant, the device of the invention also comprises a deflection system 21 making it possible to send the reference beam 8 and the measurement beam 10, emitted by the Bragg cell, towards the optical system to be tested 18 The deflection system which can be a unidirectional or bidirectional system can consist of a rotating mirror deflector, an acousto-optic deflector, etc.
Selon l'invention, pour les deux variantes décrites ci-dessus, la différencie entre les deux fréquences d'excitation, c'est-à-di-e fl-f2 qui est constante, est choisie de façon que l'écart angulaire e1 entre le faisceau de référence 8 et le faisceau de mesure 10 sortant de la cellule de 3ragg 12 soit au moins 100 fois plus faible que la valeur de l'ouverture du système optique à tester 18. According to the invention, for the two variants described above, the difference between the two excitation frequencies, that is to say di-e fl-f2 which is constant, is chosen so that the angular difference e1 between the reference beam 8 and the measurement beam 10 leaving the 3ragg cell 12 is at least 100 times lower than the value of the aperture of the optical system to be tested 18.
Il est à noter que par rapport à la demande de brevet principal, le faisceau luminineux 8 et le faisceau de référence 10 peuvent jouer indifféramment lo rôle de faisceau de référence ou le rôle de faisceau de mesure. It should be noted that compared to the main patent application, the light beam 8 and the reference beam 10 can play either the role of reference beam or the role of measurement beam.
Après avoir traversé le système optique à tester 18, les faisceaux lumineux 8 et 10 donnent naissance, au niveau d'une fente 22, à un système de franges d'interférences sinusoldales. Cette fente 22, qui peut être supprimée dans certains cas, notamment lorsque l'écart angulaire es est faible, est située dans le plan image du système optique à étudier. Etant donné que les deux faisceaux lumineux qui interfèrent ne présentent pas la même fréquence temporelle, Vo+fl pour le faisceau 8 et o+fZ pour le faisceau 10, les franges d'interférences se translatent à une vitesse uniforme-. After having passed through the optical system to be tested 18, the light beams 8 and 10 give rise, at the level of a slot 22, to a system of sinusoidal interference fringes. This slot 22, which can be eliminated in certain cases, in particular when the angular difference es is small, is located in the image plane of the optical system to be studied. Since the two light beams which interfere do not have the same time frequency, Vo + fl for the beam 8 and o + fZ for the beam 10, the interference fringes translate at a uniform speed.
Le signal lumineux, résultant de la translation uniforme des franges interférences, peut être recueilli par un détecteur 24 tel qu'un photomultiplicateur, qui transforme ce signal lumineux en un signal électrique de fréquence égale à la différence des fréquences temporelles des faisceaux lumineux arrivant sur le détecteur, c'est-à-dire de fréquence fl-f 2 La phase de ce signal électrique représente la dérivée, par rapport à la fréquence spatiale 2 du signal lumineux issu du système optique 18, des déformations de surface d'onde introduites par le système optique 18, c'est-à- dire le rapport dS(J)/dS. Cette phase peut être mesurée par un dispositif 26, qui peut être par exemple un phasemètre. The light signal, resulting from the uniform translation of the interference fringes, can be collected by a detector 24 such as a photomultiplier, which transforms this light signal into an electric signal of frequency equal to the difference of the temporal frequencies of the light beams arriving on the detector, that is to say of frequency fl-f 2 The phase of this electrical signal represents the derivative, with respect to the spatial frequency 2 of the light signal coming from the optical system 18, of the wave surface deformations introduced by the optical system 18, that is to say the ratio dS (J) / dS. This phase can be measured by a device 26, which can for example be a phase meter.
Ce dispositif 26 compare la phase du signal électrique délivré par le détecteur 24 et la phase d'un signal électrique correspondant aux ondes radiofréquences émises par le générateur radiofréquence 16. Le signal électrique correspondant aux ondes radiofréquences émises par le générateur 16 est engendré par le générateur lui-même. This device 26 compares the phase of the electrical signal delivered by the detector 24 and the phase of an electrical signal corresponding to the radiofrequency waves emitted by the radiofrequency generator 16. The electrical signal corresponding to the radiofrequency waves emitted by the generator 16 is generated by the generator himself.
Le dispositif de l'invention comprend encore un intégrateur 30, relié électriquement au dispositif de mesure 26, permettant d'intégrer, par rapport à la fréquence 4, le signal fourni par le dispositif 26 afin d'obtenir la phase # caractéristique des déformations de surface d'onde introduites par le système optique. The device of the invention also comprises an integrator 30, electrically connected to the measurement device 26, making it possible to integrate, with respect to the frequency 4, the signal supplied by the device 26 in order to obtain the phase # characteristic of the deformations of wave surface introduced by the optical system.
La mesure de ces déformations se fait comme décrit ci-dessus. Cependant3 avant de mesurer ces déformations, il est nécessaire d'effectuer un étalonnage du dispositif afin de s 1assurer que la phase du signal électrique, délivrée par le détecteur 24 est bien celle qui permettra, après intégrationS d'obtenir la phase caractéristique du système optique que l'on étudie. Cet étalonnage consiste à mesurer l'évolution de la phase introduite par le di sposr tif de mesure lui-même, en plaçant le détecteur 24 directement dans le plan image de la lentille convergente 2O, pour la première variante du dispositif de l'invention (figure 1) ou bien en plaçant le détecteur 24 directement derrière le système de déflexion 21 pour l'autre variante (figure 2) et ce, en l'absence du système optique à étudier. The measurement of these deformations is done as described above. However, before measuring these deformations, it is necessary to perform a calibration of the device in order to ensure that the phase of the electrical signal, delivered by the detector 24 is indeed that which will, after integration S, obtain the characteristic phase of the optical system. that we study. This calibration consists in measuring the evolution of the phase introduced by the measuring device itself, by placing the detector 24 directly in the image plane of the converging lens 20, for the first variant of the device of the invention ( Figure 1) or by placing the detector 24 directly behind the deflection system 21 for the other variant (Figure 2) and this, in the absence of the optical system to be studied.
Claims (13)
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| FR8207645A FR2526161B2 (en) | 1982-05-03 | 1982-05-03 | DEVICE AND METHOD FOR MEASURING THE WAVE SURFACE DEFORMATIONS INTRODUCED BY AN OPTICAL SYSTEM |
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| EP82402008A EP0079276B1 (en) | 1981-11-06 | 1982-10-29 | Method and device for the measurement of the wave surface deformations introduced by an optical system |
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|---|---|---|---|
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Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| US3796495A (en) * | 1972-05-30 | 1974-03-12 | Zenith Radio Corp | Apparatus and methods for scanning phase profilometry |
| US3930732A (en) * | 1974-11-22 | 1976-01-06 | Atlantic Research Corporation | Device and process for testing a lens system |
-
1982
- 1982-05-03 FR FR8207645A patent/FR2526161B2/en not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3796495A (en) * | 1972-05-30 | 1974-03-12 | Zenith Radio Corp | Apparatus and methods for scanning phase profilometry |
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Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| APPLIED OPTICS, vol. 18, no. 5, 1 mars 1979, NEW YORK (US); R. KRISTAL: "Rapid spatially scanning ir heterodyne interferometer", pages 615-622 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2526161B2 (en) | 1985-12-27 |
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