FR2466497A1 - Luminophores for colour TV screens or other visual display appts. - esp. using zinc sulphide activated by oxysulphide contg. yttrium plus europium, terbium or thulium - Google Patents

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Abstract

The deposited luminophore contains (a) a matrix based on ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2, and/or CdF2; plus (b) 1-6 mole.% of A(2(1-x)Ln2XO2X; where A is an atom of Y, La, or Gd; Ln is Pr, Nd, Sm, Eu, Tb, Dy, Ho, Er, or T,; X is S or Se; and x=0.1-0.7, esp. 0.2-0.5. The deposit is pref. a film 0.2-1 mu thick; and matrix(a) is pref. ZnS, whereas A is pref. Y or La; and Ln is pref. Eu, Tb or Tm, while X is sulphur. The deposit is pref. formed by sputtering in a chamber contg. a cathode coated with the luminophore and an inert gas at 0.01-0.0001 torr, which may contain up to 5% O2, so the luminophore is deposited on a substrate. The deposit is pref. annealed 1/2 h at ca. 500 deg.C. in inert gas, esp. argon. High brilliance can be obtd. on large screens for the entire spectrum of visible light.

Description

L'invention concerne les dépôts luminescents. The invention relates to luminescent deposits.

Elle a plus particulièrement pour objet de nouveaux dépôts luminescents, notamment cathodo- et surtout électroluminescents, constitués d'une matrice à base de sulfure, de séléniure ou de fluorure de zinc ou de cadmium et renfermant des centres "lumocen", c'est-à-dire des centres capables de fournir, sous excitation, par exemple par bombardement électronique, une luminescence provenant d'un centre complexe de type moléculaire. It more particularly relates to new luminescent deposits, in particular cathodo- and especially electroluminescent, consisting of a matrix based on sulfide, selenide or fluoride of zinc or cadmium and containing "lumocen" centers, that is to say ie centers capable of providing, under excitation, for example by electron bombardment, luminescence coming from a complex center of molecular type.

L'invention a également pour objet un procédé pour la préparation de tels dépôts et des moyens permet tant la mise en oeuvre de ce procédé.  The invention also relates to a process for the preparation of such deposits and means which allow both the implementation of this process.

L'invention a en outre pour objet l'utilisation de ces dépôts. The invention further relates to the use of these deposits.

Les dépôts luminescents suscitent actuellement de nombreuses recherches, compte-tenu des applications multiples et variées qu'ils présentent déjà ou que l'on envisage. Luminescent deposits are currently the subject of much research, given the multiple and varied applications that they already present or that we are considering.

Ceci est particulièrement vrai en ce qui concerne les dépôts en couches présentant des propriétés cathodoluminescentes et encore plus électroluminescentes. Malgré les recherches déjà effectuées, c'est surtout dans le domaine des couches minces électroluminescentes que beaucoup de problèmes restent encore à résoudre. Ces recherches visent l'obtention de dispositifs électroluminescents en couches minces de grande surface et de brillance suffisamment élevée pour permettre des applications telles que par exemple l'obtention d'écrans de télévision en trichromie, d'écrans matriciels en trichromie, par exempledans les consolés d'ordinateurs, la publicité lumineuse, l'affichage monoou polychrome ou encore l'éclairage en couleur ou en lumière blanche par un système solide. This is particularly true with regard to layered deposits having cathodoluminescent and even more electroluminescent properties. Despite the research already carried out, it is especially in the field of thin electroluminescent layers that many problems remain to be resolved. This research aims to obtain light-emitting devices in thin layers of large surface area and of sufficiently high brightness to allow applications such as, for example, obtaining three-color television screens, three-color matrix screens, for example in consoled of computers, light advertising, mono or full color display or even color or white light lighting by a solid system.

Jusqu'à présent le problème n'a été résolu que très partiellement. En effet, on a déjà réalisé des écrans plats émettant, en électroluminescence, une couleur orange (à 5800 A) à partir d'une couche active constituée d'une matrice de sulfure de zinc dopée par des ions Mn2+. So far the problem has been solved only very partially. Indeed, flat screens have already been produced emitting, in electroluminescence, an orange color (at 5800 A) from an active layer consisting of a zinc sulfide matrix doped with Mn2 + ions.

On aussi proposé d'autres solutions devant permettre théoriquement d'obtenir, selon les conditions opératoires, des émissions couvrant tout le domaine visible des longueurs d'ondes, sans toutefois apporter de solution satisfaisante du point de vue pratique. Other solutions have also been proposed which theoretically make it possible to obtain, according to the operating conditions, emissions covering the entire visible range of wavelengths, without however providing a satisfactory solution from the practical point of view.

On a ainsi proposé d'introduire, dans la matrice de
ZnS, des centres complexes dits "Lumocen" (Luminescence from Molecular Centers), c'est-à-dire des centres moléculaires permettant d'obtenir une luminescence. On a plus précisément proposé d'introduire, dans la matrice de ZnS, des centres luminescents LnF3 - (Ln représentant un lanthanide émettant dans le visible). Grâce au choix judicieux du ou des lanthanides utilisés, on peut ainsi obtenir une luminescence pour chacune des longueurs d'ondes visibles.
We have thus proposed to introduce, in the matrix of
ZnS, complex centers called "Lumocen" (Luminescence from Molecular Centers), that is to say molecular centers enabling luminescence to be obtained. More precisely, it has been proposed to introduce, into the ZnS matrix, luminescent centers LnF3 - (Ln representing a lanthanide emitting in the visible). Thanks to the judicious choice of the lanthanide (s) used, it is thus possible to obtain luminescence for each of the visible wavelengths.

Malheureusement, les niveaux de brillance obtenus grâce à ce système sont insuffisants pour les applications--envi- $ sagées.Unfortunately, the gloss levels obtained with this system are insufficient for the applications - envisaged.

L'invention a donc pour but d'obtenir des dépôts luminescents en-particulier électroluminescents, pour toute la gamme des longueurs d'ondes visibles et présentant un niveau de brillance suffisant pour les applications indiquées précédedment. The object of the invention is therefore to obtain luminescent deposits, in particular electroluminescent deposits, for the whole range of visible wavelengths and having a sufficient level of gloss for the applications indicated above.

Ce but a été atteint grâce à l'invention qui a pour objet un dépôt luminescent comprenant a) une matrice base de ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2, CdF2
ou du mélange d'au moins deux de ces composés et b) 1 à 6 % en mole/mole de matrice d'un oxysulfure ou
oxyséléniure complexe de formule générale
A2(l-x) Ln2xO2X (I)
dans laquelle
A représente un atome d'yttrium, de lanthane ou de
gadolinium;
Ln représente un atome de praséodyme, néodyme, sama
rium, europium, terbium, dysprosium, holmium, erbium
ou thulium;
X représente un atome de soufre ou de sélénium; et
x est un nombre compris entre 0,1 et 0,7.
This object was achieved thanks to the invention which relates to a luminescent deposit comprising a) a base matrix of ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2, CdF2
or a mixture of at least two of these compounds and b) 1 to 6% by mole / mole of matrix of an oxysulfide or
complex oxyselenide of general formula
A2 (lx) Ln2xO2X (I)
in which
A represents an atom of yttrium, lanthanum or
gadolinium;
Ln represents an atom of praseodymium, neodymium, sama
rium, europium, terbium, dysprosium, holmium, erbium
or thulium;
X represents a sulfur or selenium atom; and
x is a number between 0.1 and 0.7.

Le dépôt se présente de préférence sous forme d'une couche mince ayant une épaisseur de 0,2 à
La matrice est de préférence à base de ZnS.
The deposit is preferably in the form of a thin layer having a thickness of 0.2 to
The matrix is preferably based on ZnS.

Dans la formule générale I ci-dessus - A représente de préférence un atome d'yttrium ou de
lanthane; - Ln représente de préférence un atome d'europium, de
terbium ou de thulium qui, lorsqu'ils sont excités
par des électrons accélérés > fournissent les trois
couleurs fondamentales à savoir le rouge, le vert
et le bleu respectivement;
X représente de préférence un atome de soufre; et
x a de préférence une valeur comprise entre 0,2 et
0,5.
In the general formula I above - A preferably represents an atom of yttrium or of
lanthanum; - Ln preferably represents a europium atom,
terbium or thulium which when excited
by accelerated electrons> provide the three
fundamental colors namely red, green
and blue respectively;
X preferably represents a sulfur atom; and
x preferably has a value between 0.2 and
0.5.

L'invention a en outre pour objet en tant que moyens utilisables pour la préparation des dépôts luminescents selon l'invention, les oxysulfures et-oxysélé liures de formule générale I telle que définie citdessus qui présentent une composition nouvelle par rapport à celle des composés de même type utilisés jusqu'à présent dans lesquels x a une valeur comprise entre 0,05 et 0,1. Ils peuvent être préparés par exemple par coprécipitation des oxalates des éléments A et Ln choisis, présents dans la proportion x, puis calcination pour former l'oxyde de formule A2(Ix) Ln2x03 puis enfin calcination de cet oxyde en présence de H2S ou d'un dérivé du séléniure selon le cas. The subject of the invention is furthermore, as means which can be used for the preparation of luminescent deposits according to the invention, the oxysulphides and oxy-sulfides of general formula I as defined above which have a new composition compared to that of the compounds of same type used so far in which x has a value between 0.05 and 0.1. They can be prepared for example by coprecipitation of the oxalates of the elements A and Ln chosen, present in the proportion x, then calcination to form the oxide of formula A2 (Ix) Ln2x03 then finally calcination of this oxide in the presence of H2S or a selenide derivative as appropriate.

L'invention vise également en tant que matière première pour la préparation des susdits dépôts, les mélanges obtenus à partir de 10) ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2, CdF2 ou les mélanges ob
tenus à partir d'au moins deux de ces composés et 20) un composé complexe de formule générale I telle que
définie plus haut, dans la proportion de 1 à 6 % en
mole/mole du composé ou mélange de composés selon 10).
The invention also relates, as a raw material for the preparation of the above-mentioned deposits, to the mixtures obtained from 10) ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2, CdF2 or the mixtures ob
held from at least two of these compounds and 20) a complex compound of general formula I such that
defined above, in the proportion of 1 to 6% in
mole / mole of the compound or mixture of compounds according to 10).

Conformément à l'invention les susdits dépôts peuvent être obtenus par mise en oeuvre d'un procédé relevant de la technique dite de sputtering, ou pulvérisation cathodique radiofréquence. In accordance with the invention, the above deposits can be obtained by implementing a method belonging to the so-called sputtering technique, or radiofrequency sputtering.

Ce procédé est caractérisé par le fait qu'à l'intérieur d'une enceinte de pulvérisation sous vide (sputte ring), dans laquelle la pression des gaz résiduels est inférieure à 10 5 torr et dans laquelle sont disposés d'une part au moins un substrat devant recevoir le dépôt luminescent et d'autre part au moins une cathode comprenant, éventuellement en mélange, au moines un des composés ZnS, CdS, Zone, CdSe, ZnF2 et CdF2, et 1 à 6 % exprimés en mole/mole d'un oxysulfure ou oxyséléniure complexe de formule générale
A2(l-x)Ln2xo2 (I) dans laquelle A, Ln, X et x sont définis comme précédemment successivement - on introduit un mélange gazeux constitué d'un gaz iner
te pouvant renfermer jusqu'à 5 % d'oxygène, la pres sion finale devant être de 10 à å 10 4 torr,
et - on effectue, par pulvérisation cathodique, le dépôt
sur le substrat de la matière constitutive de la ou
des cathodes.
This method is characterized in that inside a vacuum spray enclosure (sputte ring), in which the pressure of the residual gases is less than 10 5 torr and in which are arranged on the one hand at least a substrate to receive the luminescent deposit and on the other hand at least one cathode comprising, optionally as a mixture, to the monks one of the compounds ZnS, CdS, Zone, CdSe, ZnF2 and CdF2, and 1 to 6% expressed in mole / mole d '' a complex oxysulfide or oxyséléniure of general formula
A2 (lx) Ln2xo2 (I) in which A, Ln, X and x are defined as previously successively - a gas mixture consisting of an inert gas is introduced
you can contain up to 5% oxygen, the final pressure should be from 10 to å 10 4 torr,
and - depositing is carried out by sputtering
on the substrate of the material of which
cathodes.

Pendant la mise en oeuvre de ce procédé, la vitesse du dépôt et son épaisseur sont contrôlées par exemple selon la méthode interférentielle, au moyen d'un laser. During the implementation of this process, the speed of the deposit and its thickness are controlled for example according to the interference method, by means of a laser.

Avantageusement on soumet le dépôt ainsi obtenu à un "recuit" sous atmosphère inerte, de préférence d'argon, à une température voisine de 500"C, pendant environ 30 minutes, afin d'augmenter son efficacité lumineuse, c'està-dire sa brillance. Advantageously, the deposit thus obtained is subjected to an "annealing" under an inert atmosphere, preferably of argon, at a temperature in the region of 500 "C, for approximately 30 minutes, in order to increase its luminous efficiency, that is to say its shine.

Selon un mode particulièrement préféré de mise en oeuvre de l'invention, le composé destiné à constituer la matrice (c'est-à-dire ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2 ou
CdF2 ou le mélange d'au moins deux de ces composés) et l'oxysulfure ou oxyséléniure choisi, sont pulvérisés à partir d'une cathode constituée de leur mélangeJdans les proportions désirées et obtenue à partir de leurs poudres.
According to a particularly preferred embodiment of the invention, the compound intended to constitute the matrix (that is to say ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2 or
CdF2 or the mixture of at least two of these compounds) and the selected oxysulfide or oxyséléniure, are pulverized starting from a cathode made up of their mixtureJdans the desired proportions and obtained starting from their powders.

Selon un autre mode de mise en oeuvre de l'invention, les composés constituant le dépôt luminescent sont pulvérisés à partir de cathodes séparées. According to another embodiment of the invention, the compounds constituting the luminescent deposit are sprayed from separate cathodes.

Selon encore un autre mode de mise en oeuvre de l'invention, les cathodes soumises à la pulvérisation comprennent une couche du composé destiné à constituer la matrice, munie à sa surface de petites-pastilles de l'oxysulfure ou oxyséléniure choisi. According to yet another embodiment of the invention, the cathodes subjected to spraying comprise a layer of the compound intended to constitute the matrix, provided on its surface with small pellets of the chosen oxysulfide or oxyséléniure.

Les conditions de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, notamment la température du substrat, dépendent largement des différents paramètres qui interviennent et en particulier des caractéristiques de l'enceinte. Les conditions optimales sont définies grâce à des essais préliminaires. The conditions for implementing the method according to the invention, in particular the temperature of the substrate, depend largely on the various parameters involved and in particular on the characteristics of the enclosure. The optimal conditions are defined by preliminary tests.

L'enceinte de pulvérisation sous vide (ou "sput tering1,) comprend essentreïlement - un module diode radiofréquence du type de celui commercialisé par exemple par la Société MATHIS ou CVC, mais dans lequel la cathode est en position basse?; - un système de chauffage et de refroidissement du porte- substrat; et - un système optique de contrôle d'épaisseur du dépôt. The vacuum spraying enclosure (or "sput tering1,") essentially comprises - a radio frequency diode module of the type sold for example by the company MATHIS or CVC, but in which the cathode is in the low position ?; - a system of heating and cooling of the substrate holder, and - an optical system for checking the thickness of the deposit.

Le support de cathode peut être réalisé à partir d'un disque métallique, par exemple en aluminium. Selon le mode particulièrement préféré de mise en oeuvre de l'invention, on dépose sur ce disque un mélange, dans les proportions désirées, du composé ou mélange de composés devant constituer la matrice et du composé de formule générale I choisi, par exemple par l'intermédiaire d'une pâte préparée à l'aide d'un solvant inerte volatile, tel que l'acétone, avec évaporation subséquente dudit solvant. The cathode support can be produced from a metal disc, for example aluminum. According to the particularly preferred embodiment of the invention, a mixture, in the desired proportions, of the compound or mixture of compounds intended to constitute the matrix and of the compound of general formula I chosen, for example, is deposited on this disc. intermediate of a paste prepared using an inert volatile solvent, such as acetone, with subsequent evaporation of said solvent.

La nature du substrat est choisie en fonction des applications envisagées, de l'existence d'un éventuel recuit et des coefficients de dilatation des dépôts ef- fectués. The nature of the substrate is chosen according to the envisaged applications, the existence of a possible annealing and the expansion coefficients of the deposits made.

Le gaz inerte que l'on introduit dans l'enceinte est de préférence de l'argon. The inert gas which is introduced into the enclosure is preferably argon.

On utilise une certaine proportion d'oxygène quand on veut compenser les déficits en oxygène éventuellement observés lors d'essais préliminaires effectués en présence d'un gaz inerte seul. La proportion de l'oxygène dans le mélange gazeux dépend des conditions expérimentales, par exemple des vitesses de pompage et de dépôt. A certain proportion of oxygen is used when it is desired to compensate for the oxygen deficits possibly observed during preliminary tests carried out in the presence of an inert gas alone. The proportion of oxygen in the gas mixture depends on the experimental conditions, for example pumping and deposition rates.

La pulvérisation cathodique peut être effectuée à l'aide a'un système diode radiofréquence dont le principe est bien connu a
Quel que soit le mode de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, les centres complexes "Lumocen" s'introduisent aans la matrice sans décomposition et sans former d'agglomérats.
Sputtering can be performed using a radio frequency diode system, the principle of which is well known.
Whatever the mode of implementation of the process according to the invention, the "Lumocen" complex centers are introduced into the matrix without decomposition and without forming agglomerates.

Les dépôts obtenus, notamment lorsqu'ils se présentent sous la forme d'une couche mince, peuvent constituer l'élément actif a'une cellule électrolumi nescente constituée dun empilement présentant la suc cession : "métal-i sol ant-semi-conducteur-isol ant-métal" ou M.I.S.I.M., fonctionnant sous tension alternative. The deposits obtained, in particular when they are in the form of a thin layer, can constitute the active element in a nescent electrolum cell made up of a stack having the suc cession: "metal-i anti-semiconductor soil- anti-metal isol "or MISIM, operating under alternating voltage.

Les cellules obtenues à partir des couches minces selon l'invention peuvent être alimentées encou- rant alternatif (sinusoidal ou pulsé) de 5 kHz, sous des tensions de 50 à 200 volts efficaces. The cells obtained from the thin layers according to the invention can be supplied with alternating current (sinusoidal or pulsed) of 5 kHz, at voltages of 50 to 200 volts effective.

Les intensités lumineuses émises ont des valeurs d'environ 10 à 20 fois supérieures à celles des cellules "dopées" avec des fluorures de terres rares, mais environ 5 fois inférieures à celles émises par le dispositif au sulfure de zinc "dopé" par des ions manganèse de l'art antérieur. De plus, et c'est là une caractéristique importante remarquable de ces nouvelles cellules, on n'observe pas de "saturation" de la lumière quand la tension appliquée est élevée. The light intensities emitted have values of approximately 10 to 20 times greater than those of cells "doped" with rare earth fluorides, but approximately 5 times lower than those emitted by the device with zinc sulfide "doped" by ions. manganese of the prior art. In addition, and this is an important remarkable characteristic of these new cells, no "saturation" of the light is observed when the applied voltage is high.

En associant plusieurs dépôts, en particulier en couches minces, comprenant des oxysulfures ou oxyséléniures dans lesquels lès éléments Ln sont différents, il est possible de constituer des dispositifs fonctionnant, notamment en électroluminescence, en polychromie. By combining several deposits, in particular in thin layers, comprising oxysulfides or oxyséléniures in which the elements Ln are different, it is possible to constitute devices operating, in particular in electroluminescence, in polychromy.

L'exemple suivant sert à illustrer l'invention, sans toutefois en limiter la portée. The following example serves to illustrate the invention, without however limiting its scope.

EXEMPLE
Réalisation d'une couche mince de ZnS dopé par Y2(1-x)EU2xO2S
Confection de la cathode
On mélange dans l'acétone, à l'aide a'un agita teur magnétique, 80,5 g de poudre de ZnS de pureté 99,95 % et 5,9 g de poudre de 2(1-x) Eu202S (avec x = 0,3). on obtient ainsi un mélange contenant 1,4 % de Eu3+ par mole de ZnS.
EXAMPLE
Realization of a thin layer of ZnS doped with Y2 (1-x) EU2xO2S
Making the cathode
80.5 g of ZnS powder of 99.95% purity and 5.9 g of powder of 2 (1-x) Eu202S (with x are mixed in acetone, using a magnetic stirrer = 0.3). a mixture is thus obtained containing 1.4% of Eu3 + per mole of ZnS.

Le mélange obtenu est déposé sur un support en aluminium de 10 cm de diamètre devant servir de support de cathode, puis séché d'abord à l'air à 1500C et ensuite sous vide à 500"C. L'épaisseur de la cathode est alors de 2,5 mm. The mixture obtained is deposited on an aluminum support 10 cm in diameter to serve as a cathode support, then dried first in air at 1500C and then under vacuum at 500 "C. The thickness of the cathode is then 2.5 mm.

Réalisation d'une couche.Creation of a layer.

Dans une enceinte dans laquelle on a préalablement placé face à face à une distance de 4 cm,la cathode décrite ci-dessus et un substrat en verre résistant à la chaleur désigné par la marque déposée Pyrex ayant une surface de 25 x 35 mm, on réalise un vide molécula;Lre de 10-6 torr. On fait ensuite entrer dans cette enceinte un mélange gazeux constitué d'argon et de 1 d'oxygène tout en maintenant un pompage secondaire fortement diminué par une vanne de réglage, ceci pendant 30 minutes. La pression dans l'enceinte se stabilise alors à 4.10 3 torr.  In an enclosure in which the cathode described above and a heat-resistant glass substrate designated by the trademark Pyrex having a surface area of 25 x 35 mm have previously been placed face to face at a distance of 4 cm. creates a molecular vacuum; Lre of 10-6 torr. A gaseous mixture consisting of argon and 1 of oxygen is then introduced into this enclosure while maintaining a secondary pumping greatly reduced by an adjustment valve, this for 30 minutes. The pressure in the enclosure then stabilizes at 4.10 3 torr.

Parallèlement le substrat est chauffé sous vide durant une heure à 400"C. In parallel, the substrate is heated under vacuum for one hour to 400 "C.

Pulvérisation cathodisue
La pression étant maintenue à la valeur de 4.10 torr sous atmosphère d'argon contenant 1 % d'oxygène avec écoulement continu du gaz et pompage, on réalise la pulvérisation cathodique au moyen d'un système diode radiofréquence sous une tension continue de 1100 V avec une puissance de 60 W, la hauteur de la zone d'accélération des ions ou "espace sombre" étant de 2,7 cm et la température du substrat ayant été ramenée à 1800C.
Cathodisue spraying
The pressure being maintained at the value of 4.10 torr under an argon atmosphere containing 1% of oxygen with continuous gas flow and pumping, sputtering is carried out by means of a radio frequency diode system at a continuous voltage of 1100 V with a power of 60 W, the height of the ion acceleration zone or "dark space" being 2.7 cm and the temperature of the substrate having been brought back to 1800C.

La vitesse du dépôt est contrôlée optiquement à l'aide d'un laser; elle est comprise entre 30 et 50 A par minute. The deposition speed is optically controlled using a laser; it is between 30 and 50 A per minute.

On arrête la pulvérisation lorsque la couche obtenue a une épaisseur de 5000 A. The spraying is stopped when the layer obtained has a thickness of 5000 A.

Le générateur utilisé est un appareil R.D. Mathis
S.G. 1250, de 1250 watts et 13,56 MHz.
The generator used is an RD Mathis device
SG 1250, 1250 watts and 13.56 MHz.

Le module de "sputtering" réalisé au laboratoire comprend essentiellement les éléments mentionnés précédemment. The "sputtering" module produced in the laboratory essentially comprises the elements mentioned above.

Traitement athermique de la couche mince obtenue.Athermic treatment of the thin layer obtained.

Afin d'augmenter l'efficacité lumineuse de la couche mince, on la soumet à uh recuit à 5000C durant 30 minutes, sous atmosphère d'argon. In order to increase the light efficiency of the thin layer, it is subjected to annealing at 5000 ° C. for 30 minutes, under an argon atmosphere.

Résultats
La couche ainsi obtenue est luminescente dans le rouge (env. 6000 A).
Results
The resulting layer is luminescent in red (approx. 6000 A).

Une cellule préparée à partir de cette couche et fonctionnant sous 155 V et 5 kHz a une luminance (ou "brillance") de 70 cd/m2. On n'observe pas de saturation lorsque la tension croit. A cell prepared from this layer and operating at 155 V and 5 kHz has a luminance (or "brightness") of 70 cd / m2. No saturation is observed when the voltage increases.

En procédant de façon analogue on peut réaliser d'autres couches minces luminescentes émettant-également dans le rouge (en utilisant une autre matrice ou en remplaçant, / dans le composé d formule générale I, l'yttrium par le lanthane ou éventuellement le gadolinium et le soufre par le sélénium). On peut encore, en remplaçant l'europium par une autre terre rare émettant dans le visible, obtenir d'autres couleurs visibles, notamment le bleu et le vert en utilisant respectivement le terbium ou le thulium. By proceeding in a similar manner, other thin luminescent layers can also be emitted, also emitting in the red (by using another matrix or by replacing, / in the compound of general formula I, yttrium with lanthanum or optionally gadolinium and sulfur by selenium). It is also possible, by replacing europium with another rare earth emitting in the visible, to obtain other visible colors, in particular blue and green by using terbium or thulium respectively.

On peut en particulier réaliser des couches minces émettant dans l'une des couleurs fondamentales en utilisant une matrice en sulfure de zinc "dopée" par
Y2(1-x)EuxO2S ou La2(1-x)Eu2xO2S pour le rouge Y 2(Ix)Tb2xO2S ou La2(l-x)Tb2xo2s pour le vert; et Y2(Ix)Tm2xO2S ou La2(1-x)Tm2xO2S pour le bleu.
In particular, thin layers emitting in one of the fundamental colors can be produced using a zinc sulfide matrix "doped" by
Y2 (1-x) EuxO2S or La2 (1-x) Eu2xO2S for red Y 2 (Ix) Tb2xO2S or La2 (lx) Tb2xo2s for green; and Y2 (Ix) Tm2xO2S or La2 (1-x) Tm2xO2S for blue.

Ainsi, on a par exemple préparé, selon le procédé décrit précédemment, une couche mince émettant dans le vert, de ZnS "dopé" par La2(ix) Tb2x02S Une cellule obtenue à partir de cette couche et fonctionnant sous 151 V et 5 kHz a une luminance de 350 cd/m2. On n'observe pas de saturation lorsque la tension croit. Thus, for example, a thin layer emitting in the green, of ZnS "doped" with La2 (ix) Tb2x02S, was prepared according to the method described above. A cell obtained from this layer and operating at 151 V and 5 kHz a a luminance of 350 cd / m2. No saturation is observed when the voltage increases.

Comme il va de soi et comme il résulte d'ailleurs déjà de ce qui précède, l'invention ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application et de réalisation qui ont été plus spécialement envisagées; elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes.  As goes without saying and as it already follows from the above, the invention is in no way limited to those of its modes of application and embodiments which have been more especially envisaged; on the contrary, it embraces all its variants.

Claims (16)

REVENDICATIONS 1. Dépôt luminescent comprenant a) une matrice à base de ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2,1. Luminescent deposit comprising a) a matrix based on ZnS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2, CdF2 ou du mélange d'au moins deux de ces composés CdF2 or a mixture of at least two of these compounds et b) 1 à 6 % en mole/mole d'un composé complexe de and b) 1 to 6 mol% / mol of a complex compound of formule formula A2(Ix) Ln2xO2X (I) A2 (Ix) Ln2xO2X (I) dans laquelle in which A représente un atome d'yttrium, de lanthane ou de A represents an atom of yttrium, lanthanum or gadolinium; gadolinium; Ln représente un atome de praséodyme, néodyme, sama Ln represents an atom of praseodymium, neodymium, sama rium, europium, terbium, dysprosium, holmium, erbium rium, europium, terbium, dysprosium, holmium, erbium ou thulium; or thulium; X représente un atome de soufre ou de séléniu;; et X represents a sulfur or selenium atom ;; and x est un nombre compris entre 0,1 et 0,7. x is a number between 0.1 and 0.7. 2. Dépôt luminescent selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il se présente sous forme d'une couche mince ayant une épaisseur de 0,2 à I -2. Luminescent deposit according to claim 1, characterized in that it is in the form of a thin layer having a thickness of 0.2 to I - 3. Dépôt luminescent selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la matrice est à base de ZnS.3. Luminescent deposit according to claim 1 or 2, characterized in that the matrix is based on ZnS. 4. Dépôt luminescent selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que, dans le composé de formule générale I, A représente un atome d'yttrium ou de lanthane.4. Luminescent deposit according to any one of claims 1 to 3, characterized in that, in the compound of general formula I, A represents a yttrium or lanthanum atom. 5. Dépôt luminescent selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que Ln représente un atome d'europium, de terbium ou de thulium.5. Luminescent deposit according to any one of claims 1 to 4, characterized in that Ln represents a europium, terbium or thulium atom. 6. Dépôt luminescent selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que X représente un atome de soufre.6. Luminescent deposit according to any one of claims 1 to 5, characterized in that X represents a sulfur atom. 7. Dépôt luminescent selon l'une quelconque des revendications I à 6, caractérisé en ce que x est compris entre 0,2 et 0,5.7. Luminescent deposit according to any one of claims I to 6, characterized in that x is between 0.2 and 0.5. 8. Procédé pour préparer le dépôt luminescent selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé par le fait qu'à l'intérieur d'une enceinte de pulvérisation sous vide (sputtering), dans laquelle la pression des gaz résiduels est. inférieure à 10 5 torr et dans laquelle sont disposés d'une part au moins un substrat devant recevoir le dépôt luminescent et d'autre part au moins une cathode comprenant, éventuellement en mélange, au moins un des composés ZnS, CdS, ZnSe, CdSe,8. Method for preparing the luminescent deposit according to any one of claims 1 to 7, characterized in that inside a vacuum spraying enclosure (sputtering), in which the pressure of the residual gases is. less than 10 5 torr and in which are arranged on the one hand at least one substrate to receive the luminescent deposit and on the other hand at least one cathode comprising, optionally in mixture, at least one of the compounds ZnS, CdS, ZnSe, CdSe , ZnF2 et CdF2, et 1 à 6 % exprimés en mole/mole d'un oxysulfure ou oxyséléniure complexe de formule générale A2(ix) 2x 2 (I) dans laquelle A, Ln, X et x sont définis comme précédemment successivement - on introduit un mélange gazeux constitué d'un gazZnF2 and CdF2, and 1 to 6% expressed in mole / mole of a complex oxysulfide or oxyselenide of general formula A2 (ix) 2x 2 (I) in which A, Ln, X and x are defined as previously successively - we introduce a gas mixture consisting of a gas inerte pouvant renfermer jusqu'à 5% d'oxygène, la pression finale devant être de 10- a 10-4 torr, et - on effectue, par pulvérisation cathodique, le dépôt inert which may contain up to 5% oxygen, the final pressure must be 10- to 10-4 torr, and - the sputtering is carried out sur le substrat de la matiere constitutive de la ou on the substrate of the material of which des cathodes. cathodes. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une étape de recuit sous atmosphère inerte, de préférence d'argon, à une température voisine de 500"C, pendant environ 30 minutes.9. The method of claim 8, characterized in that it further comprises a step of annealing under an inert atmosphere, preferably of argon, at a temperature in the region of 500 "C, for approximately 30 minutes. 10. Procédé selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que la matrice et l'oxysulfure ou oxyséléniure choisis sont pulvérisés à partir de leur mélange, dans les proportions désires, constituant à partir de leurs poudres; la ou les cathodes.10. Method according to claim 8 or 9, characterized in that the matrix and the selected oxysulfide or oxyséléniure are pulverized starting from their mixture, in the desired proportions, constituting starting from their powders; the cathode (s). 11. Procédé selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que les composés destinés à constituer le dépôt luminescent sont pulvérisés à partir de cathodes sé parées. 11. Method according to claim 8 or 9, characterized in that the compounds intended to constitute the luminescent deposit are sprayed from separated cathodes. 12. Procédé selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que la cathode comprend une couche du composé destiné à constituer la matrice, munie à sa surface de petites pastilles de l'oxysulfure ou oxyséléniure choisi.12. Method according to claim 8 or 9, characterized in that the cathode comprises a layer of the compound intended to constitute the matrix, provided on its surface with small pellets of the chosen oxysulfide or oxyséléniure. 13. Composé complexe destine à la préparation du dépôt luminescent selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il répond à la formule générale13. Complex compound intended for the preparation of the luminescent deposit according to any one of claims 1 to 7, characterized in that it corresponds to the general formula A2(ix)Ln2xO2X (I) dans laquelle A2 (ix) Ln2xO2X (I) in which A représente un atome d'yttrium, de lanthane ou de gadoA represents an atom of yttrium, lanthanum or gado linium;  linium; Ln représente un atome de praséodyme, néodyme, samaLn represents an atom of praseodymium, neodymium, sama rium, europium, terbium, dysprosium, holmium, erbium rium, europium, terbium, dysprosium, holmium, erbium ou thulium; or thulium; X représente un atome de soufre ou de sélénium; et x est un nombre compris entre 0,1 et 0,7.X represents a sulfur or selenium atom; and x is a number between 0.1 and 0.7. 14. Meln9e destiné à la mise en oeuvre du procéde selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comprend de la poudre de znS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2, CdF2 ou un mélange des poudres d'au moins deux de ces composés et 1 à 6 % en mole/mole de poudre du composé complexe selon la revendication 13.14. Meln9e intended for the implementation of the method according to claim 10, characterized in that it comprises powder of znS, CdS, ZnSe, CdSe, ZnF2, CdF2 or a mixture of the powders of at least two of these compounds and 1 to 6 mole / mole powder of the complex compound according to claim 13. 15. Cellule électroluminescente, caractérisée en ce qu'elle comprend, en tant qu'élément actif, au moins un dépôt selon l'une quelconque des revendications 1 à 7.15. Light-emitting cell, characterized in that it comprises, as active element, at least one deposit according to any one of claims 1 to 7. 16. Utilisation des dépôts luminescents selon l'une quelconque des revendications 1à 7 pour la fabrication d'écrans télévision en trichromie, d'écrans matriciels en trichromie, de panneaux de publicité lumineuse ou d'affichage mono ou polychrome, ou de panneaux d'éclairage en couleur ou en lumière blanche par un système solide. 16. Use of luminescent deposits according to any one of claims 1 to 7 for the manufacture of three-color television screens, three-color matrix screens, luminous advertising panels or mono or full color display, or billboards. lighting in color or white light by a solid system.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6632583B2 (en) * 1999-12-07 2003-10-14 Mitsubishi Chemical Corporation Optical recording medium and production method of the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2167535A5 (en) * 1972-01-11 1973-08-24 United States Radium Corp
US4119562A (en) * 1975-05-12 1978-10-10 Dai Nippon Toryo Co. Ltd. Fluorescent compositions

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2167535A5 (en) * 1972-01-11 1973-08-24 United States Radium Corp
US4119562A (en) * 1975-05-12 1978-10-10 Dai Nippon Toryo Co. Ltd. Fluorescent compositions

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2647803A1 (en) * 1989-05-30 1990-12-07 Thomson Tubes Electroniques Luminescent material based on lanthanum oxysulphide for a cathode tube screen which can be used in holographic devices
US6632583B2 (en) * 1999-12-07 2003-10-14 Mitsubishi Chemical Corporation Optical recording medium and production method of the same

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