FR1525109A - Dispositif pour la mise en évidence des lignes équipotentielles à la surface d'un composant semiconducteur, et pour la mesure des potentiels correspondants - Google Patents

Dispositif pour la mise en évidence des lignes équipotentielles à la surface d'un composant semiconducteur, et pour la mesure des potentiels correspondants

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FR1525109A
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R29/00Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
    • G01R29/24Arrangements for measuring quantities of charge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP1081741A2 (fr) * 1999-09-03 2001-03-07 Applied Materials, Inc. Procédé et dispositif de focalisation

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1081741A2 (fr) * 1999-09-03 2001-03-07 Applied Materials, Inc. Procédé et dispositif de focalisation
EP1081741A3 (fr) * 1999-09-03 2001-06-13 Applied Materials, Inc. Procédé et dispositif de focalisation

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