FR1524475A - Procédé et dispositif pour déterminer le degré de propreté dans une pièce à milieu contrôlé - Google Patents

Procédé et dispositif pour déterminer le degré de propreté dans une pièce à milieu contrôlé

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FR1524475A
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Bv Oscar Lindahl
Valentin Lamme
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0350409A1 (fr) * 1988-07-08 1990-01-10 Dosim Developpement S.A. Dispositif de mesure de l'empoussièrement d'une surface

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EP0350409A1 (fr) * 1988-07-08 1990-01-10 Dosim Developpement S.A. Dispositif de mesure de l'empoussièrement d'une surface
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