FR1513576A - Perfectionnements aux canons à particules chargées notamment pour traiter en surface des échantillons placés sous ultra-vide - Google Patents

Perfectionnements aux canons à particules chargées notamment pour traiter en surface des échantillons placés sous ultra-vide

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP3319112A1 (fr) * 2016-11-07 2018-05-09 Meyer Burger (Germany) AG Dispositif d'extraction de porteurs de charge électriques à partir d'un espace de production de porteurs de charge électriques

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP3319112A1 (fr) * 2016-11-07 2018-05-09 Meyer Burger (Germany) AG Dispositif d'extraction de porteurs de charge électriques à partir d'un espace de production de porteurs de charge électriques
WO2018083322A1 (fr) * 2016-11-07 2018-05-11 Meyer Burger (Germany) Ag Dispositif d'extraction de porteurs de charge électrique d'un espace de production de porteurs de charge électrique

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