FR1508463A - Décapage par pulvérisation à haute fréquence - Google Patents
Décapage par pulvérisation à haute fréquenceInfo
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US52013166A | 1966-01-12 | 1966-01-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR1508463A true FR1508463A (fr) | 1968-01-05 |
Family
ID=1587120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR06008272A Expired FR1508463A (fr) | 1966-01-12 | 1967-01-05 | Décapage par pulvérisation à haute fréquence |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
FR (1) | FR1508463A (fr) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2601288A1 (de) * | 1975-01-22 | 1976-07-29 | Tokyo Shibaura Electric Co | Gasaetzvorrichtung, insbesondere zur herstellung von halbleitervorrichtungen |
-
1967
- 1967-01-05 FR FR06008272A patent/FR1508463A/fr not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2601288A1 (de) * | 1975-01-22 | 1976-07-29 | Tokyo Shibaura Electric Co | Gasaetzvorrichtung, insbesondere zur herstellung von halbleitervorrichtungen |
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