FR1488358A - Procédé de métallisation sous vide de grandes surfaces et dispositif pour sa mise en oeuvre - Google Patents

Procédé de métallisation sous vide de grandes surfaces et dispositif pour sa mise en oeuvre

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FR1488358A
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France
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metallization
vacuum
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FR63535A
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Siegfried Schiller
Peter Lenk
Harry Forster
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LOKOMOTIVBAU ELEKTROTECH
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LOKOMOTIVBAU ELEKTROTECH
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2465009A1 (fr) * 1979-09-17 1981-03-20 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Procede pour vaporiser des alliages fondus de metaux ayant des tensions de vapeur differentes
FR2551091A1 (fr) * 1983-08-29 1985-03-01 Gen Electric Cuve d'alimentation en metal fondu pour creuset d'evaporateur a faisceau d'electrons

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2465009A1 (fr) * 1979-09-17 1981-03-20 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Procede pour vaporiser des alliages fondus de metaux ayant des tensions de vapeur differentes
FR2551091A1 (fr) * 1983-08-29 1985-03-01 Gen Electric Cuve d'alimentation en metal fondu pour creuset d'evaporateur a faisceau d'electrons

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