FR1463939A - Procédé de mesure de l'épaisseur et de l'indice de réfraction d'une couche mince d'oxyde - Google Patents

Procédé de mesure de l'épaisseur et de l'indice de réfraction d'une couche mince d'oxyde

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FR1463939A
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International Standard Electric Corp
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    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
    • HELECTRICITY
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    • H01B3/02Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
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