FR1451749A - Procédé et dispositif pour former des couches minces sur un support au moyen d'une pulvérisation à rayonnement ionique - Google Patents

Procédé et dispositif pour former des couches minces sur un support au moyen d'une pulvérisation à rayonnement ionique

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2422729A1 (fr) * 1978-04-13 1979-11-09 Litton Systems Inc Procede de realisation de revetements optiques multicouches

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