FR1353767A - Procédé d'application de couches par vaporisation - Google Patents

Procédé d'application de couches par vaporisation

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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0060627A2 (fr) * 1981-03-16 1982-09-22 Energy Conversion Devices, Inc. Appareil pour contrôler la température d'un substrat dans un procédé de dépôt continu à partir d'un plasma

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0060627A2 (fr) * 1981-03-16 1982-09-22 Energy Conversion Devices, Inc. Appareil pour contrôler la température d'un substrat dans un procédé de dépôt continu à partir d'un plasma
EP0060627A3 (en) * 1981-03-16 1983-05-25 Energy Conversion Devices Inc. Apparatus for regulating substrate temperature in a continuous plasma deposition process

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