FR1348349A - Perfectionnement aux correcteurs d'astigmatisme des faisceaux électroniques - Google Patents
Perfectionnement aux correcteurs d'astigmatisme des faisceaux électroniquesInfo
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
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Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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FR926060A FR1348349A (fr) | 1963-02-26 | 1963-02-26 | Perfectionnement aux correcteurs d'astigmatisme des faisceaux électroniques |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR1348349A true FR1348349A (fr) | 1964-01-04 |
Family
ID=8797919
Family Applications (1)
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FR926060A Expired FR1348349A (fr) | 1963-02-26 | 1963-02-26 | Perfectionnement aux correcteurs d'astigmatisme des faisceaux électroniques |
Country Status (2)
Country | Link |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1514706B1 (de) * | 1966-03-15 | 1970-11-19 | Siemens Ag | Ablenksystem fuer Korpuskularstrahlgeraete |
EP0319107A2 (fr) * | 1987-12-04 | 1989-06-07 | Philips Electronics Uk Limited | Circuit de régulation de courant |
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0
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-
1963
- 1963-02-26 FR FR926060A patent/FR1348349A/fr not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1514706B1 (de) * | 1966-03-15 | 1970-11-19 | Siemens Ag | Ablenksystem fuer Korpuskularstrahlgeraete |
EP0319107A2 (fr) * | 1987-12-04 | 1989-06-07 | Philips Electronics Uk Limited | Circuit de régulation de courant |
EP0319107A3 (fr) * | 1987-12-04 | 1990-01-17 | Philips Electronics Uk Limited | Circuit de régulation de courant |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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NL289547A (fr) |
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