FR1348349A - Perfectionnement aux correcteurs d'astigmatisme des faisceaux électroniques - Google Patents

Perfectionnement aux correcteurs d'astigmatisme des faisceaux électroniques

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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE1514706B1 (de) * 1966-03-15 1970-11-19 Siemens Ag Ablenksystem fuer Korpuskularstrahlgeraete
EP0319107A2 (fr) * 1987-12-04 1989-06-07 Philips Electronics Uk Limited Circuit de régulation de courant

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