FR1340663A - Microanalyseur à rayons chi avec excitation par électrons - Google Patents

Microanalyseur à rayons chi avec excitation par électrons

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2644291A1 (fr) * 1989-02-10 1990-09-14 Max Planck Gesellschaft Microscope electronique pour l'examen de surfaces de corps solides

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