FR1336235A - Procédé et dispositif pour l'obtention d'une couche mince d'un dépôt métalliquesur un support rigide - Google Patents

Procédé et dispositif pour l'obtention d'une couche mince d'un dépôt métalliquesur un support rigide

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FR1336235A
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Ange Manin
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H37/00—Thermally-actuated switches
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    • H01H37/32—Thermally-sensitive members
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015177065A1 (fr) * 2014-05-20 2015-11-26 Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives Procede de fermeture de circuit d'alimentation electrique d'appareil electrique place dans une chambre a pression variable controlee et dispositif associe

Cited By (3)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015177065A1 (fr) * 2014-05-20 2015-11-26 Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives Procede de fermeture de circuit d'alimentation electrique d'appareil electrique place dans une chambre a pression variable controlee et dispositif associe
FR3021453A1 (fr) * 2014-05-20 2015-11-27 Commissariat Energie Atomique Procede de fermeture de circuit d'alimentation electrique d'appareil electrique place dans une chambre a pression variable controlee et dispositif associe
US9922787B2 (en) 2014-05-20 2018-03-20 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Method for closing an electrical power supply circuit of an electric apparatus located in a chamber at a controlled variable pressure and related device

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