FR1264439A - Procédé d'emploi des installations de pompes à vide très poussé - Google Patents

Procédé d'emploi des installations de pompes à vide très poussé

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FR1264439A
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FR835153A
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Ernst Trendelenburg
Walter Huber
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OC Oerlikon Balzers AG
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Balzers AG
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00—Diffusion pumps

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2398199A1 (fr) * 1977-07-20 1979-02-16 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Procede et dispositif pour realiser le vide dans un recipient
CN110671298A (zh) * 2019-10-30 2020-01-10 中山荣拓智能装备有限公司 一种单晶炉的两级抽真空系统

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