FR1219624A - Procédé de préparation de carbure de silicium très pur, cristallisé - Google Patents

Procédé de préparation de carbure de silicium très pur, cristallisé

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    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/90—Carbides
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    • C01B32/956—Silicon carbide
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114585777A (zh) * 2019-10-24 2022-06-03 哈纳材料公司 用于制备碳化硅粉末和单晶碳化硅的方法

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