FR1150562A - Procédé pour la fabrication de métaux de haute pureté - Google Patents

Procédé pour la fabrication de métaux de haute pureté

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    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon
    • C01B33/021—Preparation
    • C01B33/027—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material
    • C01B33/029—Preparation by decomposition or reduction of gaseous or vaporised silicon compounds other than silica or silica-containing material by decomposition of monosilane

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0124901A2 (fr) * 1983-05-07 1984-11-14 Sumitomo Electric Industries Limited Procédé et appareil pour la préparation de poudres fines

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0124901A2 (fr) * 1983-05-07 1984-11-14 Sumitomo Electric Industries Limited Procédé et appareil pour la préparation de poudres fines
EP0124901A3 (en) * 1983-05-07 1988-01-07 Sumitomo Electric Industries Limited Process and apparatus for manufacturing fine powder

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