FR1068587A - Appareil perfectionné pour les vaporisations de métaux ou autres produits - Google Patents

Appareil perfectionné pour les vaporisations de métaux ou autres produits

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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders
    • C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3019129A (en) * 1959-08-10 1962-01-30 Nat Res Corp Apparatus and process for coating
FR2384033A1 (fr) * 1977-03-17 1978-10-13 Balzers Hochvakuum Installation de vaporisation sous vide
US5121707A (en) * 1989-08-16 1992-06-16 Qpl Limited Apparatus for coating materials in a vacuum chamber

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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FR2384033A1 (fr) * 1977-03-17 1978-10-13 Balzers Hochvakuum Installation de vaporisation sous vide
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